KR102470673B1 - 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 차폐판의 자동 이동장치에 관한 것으로서, 특히 애노드를 덮는 차폐판을 자동으로 이동시켜 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치에 관한 것이다.
본 발명의 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치는, 도금조의 내부에 애노드가 배치되고, 상기 애노드의 전방에 배치된 차폐판을 이동시키는 장치에 있어서, 상기 애노드 전방에 배치되는 차폐판과; 상기 차폐판을 상하방향으로 이동시켜 상기 차폐판이 상기 애노드의 앞면을 덮는 면적으로 조절하도록 하는 연결부재와; 전동으로 상기 연결부재를 상하방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지되, 전동으로 작동되는 상기 구동부에 의해 상기 연결부재는 상하방향으로 이동되고, 상기 연결부재의 상하이동에 이동에 의해 상기 차폐판이 상기 애노드의 앞면을 덮는 면적이 조절되는 것을 특징으로 한다.

Description

애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치 { AUTOMATIC MOVING APPARATUS OF SHIELD PLATE }
본 발명은 차폐판의 자동 이동장치에 관한 것으로서, 특히 애노드를 덮는 차폐판을 자동으로 이동시켜 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치에 관한 것이다.
기판 상에 금속막을 패터닝 하기 위해서는 증착 방법에 비해 전기 이동도에 대한 내성이 우수하고 제조비용이 더 저렴한 전기도금방법이 선호된다.
전기도금법에 의하면, 고순도의 금속막(도금막)이 용이하게 얻어지고, 또한 금속막의 성막속도가 비교적 빠를 뿐만 아니라, 금속막의 두께의 제어도 비교적 용이하게 행할 수 있다.
또한, 반도체 웨이퍼상에 대한 금속막 형성에서, 고밀도 실장, 고성능화 및 높은 수율을 추구하기 때문에, 막두께의 면내 균일성도 엄격하게 요구되고 있다.
전기도금에 의하면, 도금액의 금속이온 공급 속도 분포나 전위 분포를 균일하게 함으로써, 막 두께의 면내 균일성이 우수한 금속막을 얻을 수 있다고 기대되고 있다.
종래 전해도금 장치는 도금조 내에 도금액을 수용하여, 애노드, 기판 및 조정판을 도금액 중에 침지시키고, 동시에 도선을 거쳐 애노드를 도금 전원의 양극에, 기판을 캐소드의 음극에 각각 접속하고, 애노드와 기판과의 사이에 기설정된 도금 전압을 인가함으로써, 기판의 표면에 금속이 석출되어 금속막(도금막)이 형성된다.
그리고, 도금시 조정판과 기판과의 사이에 배치된 패들에 의하여 도금액을 교반함으로써 충분한 양의 이온을 기판에 균일하게 공급하여 더욱 균일한 막 두께의 금속막을 형성하도록 하고 있다.
또한, 애노드의 앞면 일부는 덮는 차폐판을 배치하고 있는데, 이러한 차폐판은 기판 양단 부분의 전류가 집중되는 것을 차폐하도록 하여, 기판의 전체적인 도금두께를 균일하게 하는 역할을 한다.
그러나, 종래의 위와 같은 차폐판은 모두 작업자가 수동으로 이동시켜야 했는바, 기판의 크기 또는 종류 등이 변경될 경우, 연속적으로 도금작업이 이루어지 못하고 차폐판을 수동으로 조정해야 되므로 작업성 및 생산성이 떨어지는 단점이 있었다.
공개특허 10-2014-0087133
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 애노드의 일부를 덮는 차폐판을 자동으로 이동시켜 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있는 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치는, 도금조의 내부에 애노드가 배치되고, 상기 애노드의 전방에 배치된 차폐판을 이동시키는 장치에 있어서, 상기 애노드 전방에 배치되는 차폐판과; 상기 차폐판을 상하방향으로 이동시켜 상기 차폐판이 상기 애노드의 앞면을 덮는 면적으로 조절하도록 하는 연결부재와; 전동으로 상기 연결부재를 상하방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지되, 전동으로 작동되는 상기 구동부에 의해 상기 연결부재는 상하방향으로 이동되고, 상기 연결부재의 상하이동에 이동에 의해 상기 차폐판이 상기 애노드의 앞면을 덮는 면적이 조절되는 것을 특징으로 한다.
상기 구동부는, 모터와; 상기 모터에 연결되어 회전하는 샤프트와; 상기 샤프트의 회전운동을 상하방향 직선운동으로 변환시키는 운동변환부;를 포함하여 이루어지고, 상기 연결부재는 상기 운동변환부에 연결되며, 상기 모터의 작동시 상기 운동변환부에 의한 상하방향 직선운동에 의해 상기 연결부재는 상하방향으로 이동하면서 상기 차폐판이 상기 애노드의 앞면을 덮는 면적으로 조절한다.
상기 운동변환부는, 상하방향으로 배치된 홀더부와; 상기 샤프트의 외주면에 결합된 피니언과; 상기 홀더부에 상하방향으로 이동 가능하게 결합된 랙기어;로 이루어지되, 상기 피니언과 랙기어는 서로 맞물려, 상기 샤프트에 의한 상기 피니언의 회전시 상기 랙기어는 상기 홀더부를 따라 상하방향으로 이동하고, 상기 연결부재는 상기 랙기어에 결합되어 상기 랙기어와 함께 상하방향으로 이동한다.
상기 차폐판은, 상기 애노드의 앞면 상부에 배치되는 상부차폐판과; 상기 애노드의 하면 하부에 배치되는 하부차폐판;을 포함하여 이루어지고, 상기 연결부재는, 상기 상부차폐판에 연결된 상부연결대와; 상기 하부차폐판에 연결된 하부연결대;로 이루어지며, 상기 구동부는, 상기 상부연결대를 상하방향으로 이동시켜 상기 상부차폐판을 이동시키는 제1구동부와; 상기 하부연결대를 상하방향으로 이동시키는 상기 하부차폐판을 이동시키는 제2구동부;로 이루어진다.
상기 제1구동부는, 제1모터와; 상기 제1모터에 연결되어 회전하는 제1샤프트와; 상기 제1샤프트의 회전운동을 상하방향 직선운동으로 변환시키는 제1운동변환부;를 포함하여 이루어지고, 상기 상부연결대는 상기 제1운동변환부에 연결되어, 상기 제1모터의 작동시 상기 제1운동변환부에 의한 상하방향 직선운동에 의해 상기 상부연결대는 상하방향으로 이동하면서 상기 상부차폐판이 상기 애노드의 앞면 상부를 덮는 면적으로 조절하며, 상기 제2구동부는, 제2모터와; 상기 제2모터에 연결되어 회전하는 제2샤프트와; 상기 제2샤프트의 회전운동을 상하방향 직선운동으로 변환시키는 제2운동변환부;를 포함하여 이루어지고, 상기 하부연결대는 상기 제2운동변환부에 연결되어, 상기 제2모터의 작동시 상기 제2운동변환부에 의한 상하방향 직선운동에 의해 상기 하부연결대는 상하방향으로 이동하면서 상기 하부차폐판이 상기 애노드의 앞면 하부를 덮는 면적으로 조절한다.
상기 제1운동변환부는, 상하방향으로 배치된 제1홀더부와; 상기 제1샤프트의 외주면에 결합된 제1피니언과; 상기 제1홀더부에 상하방향으로 이동 가능하게 결합된 제1랙기어;로 이루어지며, 상기 제1피니언과 제1랙기어는 서로 맞물려, 상기 제1샤프트에 의한 상기 제1피니언의 회전시 상기 제1랙기어는 상기 제1홀더부를 따라 상하방향으로 이동하고, 상기 상부연결대는 상기 제1랙기어에 결합되어 상기 제1랙기어와 함께 상하방향으로 이동하며, 상기 제2운동변환부는, 상하방향으로 배치된 제2홀더부와; 상기 제2샤프트의 외주면에 결합된 제2피니언과; 상기 제2홀더부에 상하방향으로 이동 가능하게 결합된 제2랙기어;로 이루어지며, 상기 제2피니언과 제2랙기어는 서로 맞물려, 상기 제2샤프트에 의한 상기 제2피니언의 회전시 상기 제2랙기어는 상기 제2홀더부를 따라 상하방향으로 이동하고, 상기 하부연결대는 상기 제2랙기어에 결합되어 상기 제2랙기어와 함께 상하방향으로 이동한다.
상기 제1홀더부와 제2홀더부는 하나의 홀더부로 이루어지고, 상기 홀더부에는 2개의 가이드홈이 형성되어, 각각의 가이드홈에 상기 제1랙기어와 제2랙기어가 상하방향으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 애노드의 앞면을 덮는 상기 차폐판의 이동거리값을 입력하는 제1입력부와; 상기 제1입력부에 입력된 이동거리값에 의해 미리 설정된 만큼 상기 모터를 작동시키는 제어부;를 더 포함하여 이루어진다.
투입되는 기판의 종류에 따라 상기 차폐판의 이동거리값을 미리 설정하여 저장해 놓은 저장부와; 투입되는 기판의 종류를 입력하는 제2입력부와; 상기 모터를 작동시키는 제어부;를 더 포함하여 이루어지되, 상기 제어부는 상기 제2입력부에서 입력된 기판의 종류에 따라 상기 저장부에 저장된 상기 차폐판의 이동거리값을 이용하여 상기 모터를 미리 설정된 만큼 작동시킨다.
상기 모터의 회전값을 이용하여 상기 차폐판의 이동거리값을 디스플레이를 통해 외부로 표시한다.
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명의 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명은, 상기 연결부재와 구동부를 이용하여 상기 차폐판을 자동으로 이동시켜 조절함으로서, 기판과 대면하는 상기 애노드의 앞면 면적을 상기 차폐판의 자동 이동을 통해 보다 편리하고 신속하게 조절할 수 있다.
그리고, 투입되는 기판의 종류에 따라 차폐판을 자동으로 조절하여 최적화 함으로서, 도금품질을 향상시킬 수 있고, 기판 도금 작업의 작업성 및 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 차폐판 자동 이동장치가 장착된 도금설비의 사시도- 도금조 투명
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 차폐판 자동 이동장치의 사시도,
도 3은 도 2의 정면도,
도 4는 도 2의 평면도,
도 5는 도 2의 배면도,
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 차폐판 자동 이동장치의 구동부의 일방향 사시도,
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 차폐판 자동 이동장치의 구동부의 타방향 사시도,
도 8은 도 2에서 하부차폐판과 관련된 구성을 제거한 상태의 사시도,
도 9는 도 2에서 상부차폐판과 관련된 구성을 제거한 상태의 사시도,
도 10은 도 3에서 상부차폐판이 하강하고 하부차폐판이 상승한 상태의 정면도.
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 차폐판 자동 이동 장치의 제어계통도.
본 발명은 도금용 애노드의 전방에 배치된 차폐판을 이동시키기 위한 장치로서, 도 1에 도시된 바와 같이 애노드(20)는 도금조(10)의 내부에 배치되어 있다.
그리고, 하나의 도금조(10)에는 양측에서 다수개의 차폐판 이동장치가 장착되어 있고, 도 1에서는 이러한 차폐판 이동장치를 구성하는 구동부(50)를 표시하였다.
도 2에서는 도 1에 도시된 다수개의 차폐판 이동장치 중, 설명의 편의성을 위해 하나를 차폐판 자동 이동장치만을 도시하였다.
본 발명의 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치는, 도 1 내지 7에 도시된 바와 같이, 차폐판(30)과, 연결부재(40)와, 구동부(50)를 포함하여 이루어진다.
상기 차폐판(30)은 상기 애노드(20) 전방에 배치되어, 상기 애노드(20)의 앞면 일부 덮는다.
이때, 상기 애노드(20)는 도금되는 피도물 즉 기판(미도시)과 대면하고 있고, 상기 차폐판(30)은 상기 애노드(20)의 앞면에 배치되면서 상기 애노드(20)와 기판 사이에 배치되게 된다.
상기 연결부재(40)는 상기 차폐판(30)을 상하방향으로 이동시켜 상기 차폐판(30)이 상기 애노드(20)의 앞면을 덮는 면적으로 조절하도록 한다.
상기 구동부(50)는 전동으로 상기 연결부재(40)를 상하방향으로 이동시킨다.
전동으로 작동되는 상기 구동부(50)에 의해 상기 연결부재(40)는 상하방향으로 이동되고, 상기 연결부재(40)의 상하이동에 이동에 의해 상기 차폐판(30)이 상하방향으로 이동하면서 상기 애노드(20)의 앞면을 덮는 면적이 조절된다.
본 실시예에서, 상기 차폐판(30)은, 상기 애노드(20)의 앞면 상부에 배치되는 상부차폐판(31)과, 상기 애노드(20)의 하면 하부에 배치되는 하부차폐판(32)을 포함하여 이루어진다.
경우에 따라 상기 차폐판(30)은, 상기 상부차폐판(31)과 하부차폐판(32) 중 어느 하나만으로 이루어질 수도 있고, 이 경우 상기 연결부재(40)와 구동부(50)는 그에 맞게 한 세트로 이루어지게 된다.
본 실시예의 도면에서 상기 상부차폐판(31)은 'ㅡ'자 형상으로 형성되어 있고, 상기 하부차폐판(32)은 '└┘'형상으로 형성되어 있으나, 그 외 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
본 실시예에서는 상기 차폐판(30)이 상부차폐판(31)과 하부차폐판(32)으로 이루어져 있기 때문에, 상기 연결부재(40)와 구동부(50)는 각각 2세트로 이루어져 있다.
보다 구체적으로, 상기 연결부재(40)는, 상기 상부차폐판(31)에 연결된 상부연결대(41), 상기 하부차폐판(32)에 연결된 하부연결대(42)로 이루어진다.
상기 상부연결대(41)는 상기 상부차폐판(31)의 상부에 연결되어 있고, 상기 하부연결대(42)는 상기 애노드(20)의 측면을 따라 하강하여 상기 하부차폐판(32)의 상부에 연결되어 있다.
상기 차폐판(30)의 상부 위치에서, 상기 하부연결대(42)는 상기 상부연결대(41)보다 상부에 위치하고 있다.
이를 보다 잘 설명하기 위해, 도 8에서는 상기 하부차폐판(32)과 관련된 구성을 삭제한 상태에서 상기 상부차폐판(31)과 관련된 구성을 도시하였고, 도 9에서는 상기 상부차폐판(31)과 관련된 구성을 삭제한 상태에서 상기 하부차폐판(32)과 관련된 구성을 도시하였다.
그리고, 상기 구동부(50)는, 상기 상부연결대(41)를 상하방향으로 이동시켜 상기 상부차폐판(31)을 이동시키는 제1구동부(51)와, 상기 하부연결대(42)를 상하방향으로 이동시키는 상기 하부차폐판(32)을 이동시키는 제2구동부(55)로 이루어진다.
상기 제1구동부(51)는, 제1모터(52)와, 제1샤프트(53)와, 제1운동변환부(54)로 이루어진다.
상기 제1샤프트(53)는 상기 제1모터(52)에 연결되어 회전하게 된다.
상기 제1운동변환부(54)는 상기 제1모터(52)에 의한 상기 제1샤프트(53)의 회전운동을 상하방향의 직선운동으로 변환시킨다.
상기 상부차폐판(31)에 연결된 상기 상부연결대(41)는 상기 제1운동변환부(54)에 연결된다.
상기 제1모터(52)의 작동시 상기 제1운동변환부(54)에 의한 상하방향의 직선운동에 의해, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제1운동변환부(54)에 연결된 상기 상부연결대(41)는 상하방향으로 이동하면서 상기 상부차폐판(31)이 상기 애노드(20)의 앞면 상부를 덮는 면적을 조절하게 된다.
상기 제1운동변환부(54)는, 제1홀더부(54a)와, 제1피니언(54b)과, 제1랙기어(54c)로 이루어진다.
상기 제1홀더부(54a)는 상하방향으로 배치되어 있다.
상기 제1피니언(54b)은 상기 제1샤프트(53)의 외주면에 결합되어, 상기 제1샤프트(53)와 함께 회전하게 된다.
상기 제1랙기어(54c)는 상기 제1홀더부(54a)에 상하방향으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 제1피니언(54b)과 제1랙기어(54c)는 서로 맞물려, 상기 제1샤프트(53)에 의한 상기 제1피니언(54b)의 회전시 상기 제1랙기어(54c)는 상기 제1홀더부(54a)를 따라 상하방향으로 이동한다.
이때, 상기 상부연결대(41)는 상기 제1운동변환부(54) 중 상기 제1랙기어(54c)에 결합되어 상기 제1랙기어(54c)와 함께 상하방향으로 이동하게 된다.
따라서, 상기 제1랙기어(54c)의 상하 이동시 상기 상부연결대(41)는 상하방향으로 이동하면서 상기 애노드(20)의 앞면 상부를 덮고 있는 상기 상부차폐판(31)을 상하방향으로 이동시켜, 상기 상부차폐판(31)이 상기 애노드(20)의 앞면 상부를 덮는 면적을 자동으로 조절할 수 있도록 한다.
상기 제2구동부(55)는, 제2모터(56)와, 제2샤프트(57)와, 제2운동변환부(58)로 이루어진다.
상기 제2샤프트(57)는 상기 제2모터(56)에 연결되어 회전하게 된다.
상기 제2운동변환부(58)는 상기 제2모터(56)에 의한 상기 제2샤프트(57)의 회전운동을 상하방향의 직선운동으로 변환시킨다.
상기 하부차폐판(32)에 연결된 상기 하부연결대(42)는 상기 제2운동변환부(58)에 연결된다.
상기 제2모터(56)의 작동시 도 10에 도시된 바와 같이 상기 제2운동변환부(58)에 의한 상하방향의 직선운동에 의해, 상기 제2운동변환부(58)에 연결된 상기 하부연결대(42)는 상하방향으로 이동하면서 상기 하부차폐판(32)이 상기 애노드(20)의 앞면 하부를 덮는 면적을 조절하게 된다.
상기 제2운동변환부(58)는, 제2홀더부(58a)와, 제2피니언(58b)과, 제2랙기어(58c)로 이루어진다.
상기 제2홀더부(58a)는 상하방향으로 배치되어 있다.
상기 제2피니언(58b)은 상기 제2샤프트(57)의 외주면에 결합되어, 상기 제2샤프트(57)와 함께 회전하게 된다.
상기 제2랙기어(58c)는 상기 제2홀더부(58a)에 상하방향으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 제2피니언(58b)과 제2랙기어(58c)는 서로 맞물려, 상기 제2샤프트(57)에 의한 상기 제2피니언(58b)의 회전시 상기 제2랙기어(58c)는 상기 제2홀더부(58a)를 따라 상하방향으로 이동한다.
이때, 상기 하부연결대(42)는 상기 제2운동변환부(58) 중 상기 제2랙기어(58c)에 결합되어 상기 제2랙기어(58c)와 함께 상하방향으로 이동하게 된다.
따라서, 상기 제2랙기어(58c)의 상하 이동시 상기 하부연결대(42)는 상하방향으로 이동하면서 상기 애노드(20)의 앞면 하부를 덮고 있는 상기 하부차폐판(32)을 상하방향으로 이동시켜, 상기 하부차폐판(32)이 상기 애노드(20)의 앞면 하부를 덮는 면적을 자동으로 조절할 수 있도록 한다.
상기 제1홀더부(54a)와 제2홀더부(58a)는 각각 별개로 이루어질 수도 있으나, 본 실시예의 도면에 도시된 바와 같이 상기 제1홀더부(54a)와 제2홀더부(58a)는 하나의 홀더부로 이루어지도록 함이 바람직하다.
상기 홀더부에는 2개의 가이드홈이 형성되어, 각각의 가이드홈에 상기 제1랙기어(54c)와 제2랙기어(58c)가 상하방향으로 이동 가능하게 결합된다.
상기 상부연결대(41) 및 하부연결대(42)의 안정적인 상하방향 이동을 위해, 상기 제1운동변환부(54)와 제2운동변환부(58)는 다수개로 이루어져 설치되도록 함이 바람직하다.
본 실시예에서는 상기 차폐판(30)은 상기 상부차폐판(31)과 하부차폐판(32)으로 이루어져 있으나, 경우에 따라 상기 상부차폐판(31) 또는 하부차폐판(32) 중 어느 하나만으로 이루어질 수도 있고 이 경우 상기 연결부재(40)와 구동부(50)는 그에 맞는 구성만 필요하게 된다.
또한, 본 발명은 도 11에 도시된 바와 같이, 제1입력부(61)와, 제어부(64)와를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.
상기 제1입력부(61)는 작업자가 상기 애노드(20)의 앞면을 덮는 상기 차폐판(30)의 이동거리값을 입력하는 부분이다.
상기 제어부(64)는 상기 제1입력부(61)에 입력된 이동거리값에 의해 미리 설정된 만큼 상기 모터(52,56)를 작동시켜, 상술한 작동 과정에 의해 상기 상부차폐판(31)과 하부차폐판(32)이 상하방향으로 이동하여 상기 애노드(20)의 앞면을 덮는 면적을 자동으로 조절하게 한다.
또는, 본 발명은 저장부(63)와, 제2입력부(62)와, 제어부(64)를 더 포함하여 이루어질 수도 있다.
상기 저장부(63)는 투입되는 기판의 종류에 따라 상기 차폐판(30)의 이동거리값을 미리 설정하여 저장해 놓은 데이터베이스와 같은 곳이다.
상기 제2입력부(62)는 투입되는 기판의 종류를 입력하는 부분으로서, 상기 제2입력부(62)에는 작업자가 투입되는 기판의 종류를 입력할 수도 있고, 별도의 센서가 투입되는 기판을 자동으로 감지한 후 상기 제2입력부(62)에 전송하여 기판의 종류를 자동으로 입력할 수도 있다.
상기 제어부(64)는 상기 제2입력부(62)에서 입력된 기판의 종류에 따라 상기 저장부(63)에 저장된 상기 차폐판(30)의 이동거리값을 이용하여 상기 모터(52,56)를 미리 설정된 만큼 작동시킨다.
상기 제어부(64)에 의해 상기 모터(52,56)가 작동하게 되면, 상술한 작동 과정에 의해 상기 상부차폐판(31)과 하부차폐판(32)이 상하방향으로 이동하여 상기 애노드(20)의 앞면을 덮는 면적을 자동으로 조절하게 한다.
또한, 본 발명은 엔코더 등을 이용하여 작동되는 상기 모터(52,56)의 회전값을 감지하고, 상기 엔코더에 의해 감지된 데이터를 이용하여 상기 차폐판(30)의 실제 이동거리값을 디스플레이(65)를 통해 외부로 표시하도록 할 수도 있다.
위와 같이 본 발명은 상기 연결부재(40)와 구동부(50)를 이용하여 상기 차폐판(30)을 자동으로 이동시켜 조절함으로서, 기판과 대면하는 상기 애노드(20)의 앞면 면적을 상기 차폐판(30)의 자동 이동을 통해 보다 편리하고 신속하게 조절할 수 있다.
본 발명인 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치는 전술한 실시예에 국한하지 않고, 본 발명의 기술 사상이 허용되는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.
10 : 도금조,
20 : 애노드,
30 : 차폐판, 31 : 상부차폐판, 32 : 하부차폐판,
40 : 연결부재, 41 : 상부연결대, 42 : 하부연결대,
50 : 구동부, 51 : 제1구동부, 52 : 제1모터, 53 : 제1샤프트, 54 : 제1운동변환부, 54a : 제1홀더부, 54b : 제1피니언, 54c : 제1랙기어,
55 : 제2구동부, 56 : 제2모터, 57 : 제2샤프트, 58 : 제2운동변환부, 58a : 제2홀더부, 58b : 제2피니언, 58c : 제2랙기어,
61 : 제1입력부, 62 : 제2입력부, 63 : 저장부, 64 : 제어부, 65 : 디스플레이.

Claims (10)

  1. 도금조의 내부에 애노드가 배치되고, 상기 애노드의 전방에 배치된 차폐판을 이동시키는 장치에 있어서,
    상기 애노드 전방에 배치되는 차폐판과;
    상기 차폐판을 상하방향으로 이동시켜 상기 차폐판이 상기 애노드의 앞면을 덮는 면적으로 조절하도록 하는 연결부재와;
    전동으로 상기 연결부재를 상하방향으로 이동시키는 구동부;를 포함하여 이루어지되,
    전동으로 작동되는 상기 구동부에 의해 상기 연결부재는 상하방향으로 이동되고, 상기 연결부재의 상하이동에 이동에 의해 상기 차폐판이 상기 애노드의 앞면을 덮는 면적이 조절되며,
    상기 차폐판은,
    상기 애노드의 앞면 상부에 배치되는 상부차폐판과; 상기 애노드의 하면 하부에 배치되는 하부차폐판;을 포함하여 이루어지고,
    상기 연결부재는,
    상기 상부차폐판에 연결된 상부연결대와; 상기 하부차폐판에 연결된 하부연결대;로 이루어지며,
    상기 구동부는,
    상기 상부연결대를 상하방향으로 이동시켜 상기 상부차폐판을 이동시키는 제1구동부와; 상기 하부연결대를 상하방향으로 이동시키는 상기 하부차폐판을 이동시키는 제2구동부;로 이루어지며,
    상기 제1구동부는,
    제1모터와; 상기 제1모터에 연결되어 회전하는 제1샤프트와; 상기 제1샤프트의 회전운동을 상하방향 직선운동으로 변환시키는 제1운동변환부;를 포함하여 이루어지고,
    상기 상부연결대는 상기 제1운동변환부에 연결되어, 상기 제1모터의 작동시 상기 제1운동변환부에 의한 상하방향 직선운동에 의해 상기 상부연결대는 상하방향으로 이동하면서 상기 상부차폐판이 상기 애노드의 앞면 상부를 덮는 면적으로 조절하며,
    상기 제2구동부는,
    제2모터와; 상기 제2모터에 연결되어 회전하는 제2샤프트와; 상기 제2샤프트의 회전운동을 상하방향 직선운동으로 변환시키는 제2운동변환부;를 포함하여 이루어지고,
    상기 하부연결대는 상기 제2운동변환부에 연결되어, 상기 제2모터의 작동시 상기 제2운동변환부에 의한 상하방향 직선운동에 의해 상기 하부연결대는 상하방향으로 이동하면서 상기 하부차폐판이 상기 애노드의 앞면 하부를 덮는 면적으로 조절하며,
    상기 제1운동변환부는,
    상하방향으로 배치된 제1홀더부와; 상기 제1샤프트의 외주면에 결합된 제1피니언과; 상기 제1홀더부에 상하방향으로 이동 가능하게 결합된 제1랙기어;로 이루어지며,
    상기 제1피니언과 제1랙기어는 서로 맞물려, 상기 제1샤프트에 의한 상기 제1피니언의 회전시 상기 제1랙기어는 상기 제1홀더부를 따라 상하방향으로 이동하고, 상기 상부연결대는 상기 제1랙기어에 결합되어 상기 제1랙기어와 함께 상하방향으로 이동하며,
    상기 제2운동변환부는,
    상하방향으로 배치된 제2홀더부와; 상기 제2샤프트의 외주면에 결합된 제2피니언과; 상기 제2홀더부에 상하방향으로 이동 가능하게 결합된 제2랙기어;로 이루어지며,
    상기 제2피니언과 제2랙기어는 서로 맞물려, 상기 제2샤프트에 의한 상기 제2피니언의 회전시 상기 제2랙기어는 상기 제2홀더부를 따라 상하방향으로 이동하고, 상기 하부연결대는 상기 제2랙기어에 결합되어 상기 제2랙기어와 함께 상하방향으로 이동하며,
    상기 제1홀더부와 제2홀더부는 하나의 홀더부로 이루어지고,
    상기 홀더부에는 2개의 가이드홈이 형성되어, 각각의 가이드홈에 상기 제1랙기어와 제2랙기어가 상하방향으로 이동 가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항1에 있어서,
    상기 애노드의 앞면을 덮는 상기 차폐판의 이동거리값을 입력하는 제1입력부와;
    상기 제1입력부에 입력된 이동거리값에 의해 미리 설정된 만큼 상기 제1모터와 제2모터를 작동시키는 제어부;를 더 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치.
  9. 청구항1에 있어서,
    투입되는 기판의 종류에 따라 상기 차폐판의 이동거리값을 미리 설정하여 저장해 놓은 저장부와;
    투입되는 기판의 종류를 입력하는 제2입력부와;
    상기 제1모터와 제2모터를 작동시키는 제어부;를 더 포함하여 이루어지되,
    상기 제어부는 상기 제2입력부에서 입력된 기판의 종류에 따라 상기 저장부에 저장된 상기 차폐판의 이동거리값을 이용하여 상기 제1모터와 제2모터를 미리 설정된 만큼 작동시키는 것을 특징으로 하는 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치.
  10. 청구항1에 있어서,
    상기 제1모터와 제2모터의 회전값을 이용하여 상기 차폐판의 이동거리값을 디스플레이를 통해 외부로 표시하는 것을 특징으로 하는 애노드를 덮는 차폐판의 자동 이동장치.
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