JP7285389B1 - めっき装置、および、めっき方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図11A~図11Cは、変形例におけるアノードマスク18Aを基板Wf側から示す図である。変形例のアノードマスク18Aは、上記した実施形態のアノードマスク18と同様に、基板Wfの多角形形状に対応した多角形開口を画定する枠部材182を備える。また、アノードマスク18Aは、枠部材182に隣接して配置されて枠部材182に対して移動可能な複数のマスク部材184A~187Aを有する。図11A~図11Cでは、見易さを考慮して、枠部材182と4つのマスク部材184A~187Aとのそれぞれにハッチングを付している。4つのマスク部材184A~187Aは、互いに同一形状であり、90度ごと回転した状態で配置されている。代表して、図11A~図11Cでは、開口182aの左上に配置されるマスク部材184Aに対して他のマスク部材185A~187Aと異なるハッチングを付している。
[形態1]形態1によれば、めっき槽と、多角形基板を保持するように構成される基板ホルダと、前記基板ホルダに保持された基板と対向するように前記めっき槽内に配置されたアノードと、前記多角形基板の外形に対応した開口を画定するアノードマスクであって、前記開口における前記多角形基板の第1辺に対応した第1開口辺の中央部に当該開口の中央に向かって突出する第1凸部を画定する第1マスク部材と、前記開口における前記多角形基板の第2辺に対応した第2開口辺の中央部に当該開口の中央に向かって突出する第2凸部を画定する第2マスク部材と、を有し、前記第1マスク部材と前記第2マスク部材との互いの距離が調整できるように構成されるアノードマスクと、を備える、めっき装置が提案される。形態1によれば、第1マスク部材と第2マスク部材との互いの距離を調整してアノードマスクの開口形状を調整することができ、多角形基板にめっきされる膜の面内均一性を向上させることができる。
12 アノード
13 アノードホルダ
17 制御装置
18,18A アノードマスク
18a,18Aa 開口
20 レギュレーションプレート
21 多角形開口
30 基板ホルダ
184~187,184A~187A マスク部材
184a~187a 辺部
184b~187b 凸部
184Aa~187Aa 凹部
184Ab~187Ab 凸部
214~217 補助アノード
Wf 多角形基板
Claims (10)
- めっき槽と、
多角形基板を保持するように構成される基板ホルダと、
前記基板ホルダに保持された基板と対向するように前記めっき槽内に配置されたアノードと、
前記多角形基板の外形に対応した開口を画定するアノードマスクであって、
前記開口における前記多角形基板の第1辺に対応した第1開口辺の中央部に、前記第1開口辺から当該開口の中央に向かって突出する第1凸部を画定する第1マスク部材と、
前記開口における前記多角形基板の第2辺に対応した第2開口辺の中央部に、前記第2開口辺から当該開口の中央に向かって突出する第2凸部を画定する第2マスク部材と、を有し、
前記第1マスク部材と前記第2マスク部材との互いの距離が調整できるように構成されるアノードマスクと、
を備える、めっき装置。 - 前記第1マスク部材は、前記第1開口辺に配置されて当該第1開口辺に垂直な方向に移動可能に構成され、
前記第2マスク部材は、前記第2開口辺に配置されて当該第2開口辺に垂直な方向に移動可能に構成される、
請求項1に記載のめっき装置。 - 前記アノードマスクは、
前記開口における前記多角形基板の第3辺に対応した第3開口辺に配置され、当該第3開口辺の中央部に、前記第3開口辺から前記開口の中央に向かって突出する第3凸部を画定する第3マスク部材と、
前記開口における前記多角形基板の第4辺に対応した第4開口辺に配置され、当該第4開口辺の中央部に、前記第4開口辺から前記開口の中央に向かって突出する第4凸部を画
定する第4マスク部材と、を更に有し、
前記第3マスク部材と前記第4マスク部材との互いの距離が調整できるように構成される、
請求項2に記載のめっき装置。 - 前記第1マスク部材は、前記開口の第1角部に配置され、前記開口における連続した2つの開口辺に、当該2つの開口辺から前記開口の中央に向かって突出する凸部を画定し、
前記第2マスク部材は、前記開口の第2角部に配置され、前記開口における連続した2つの開口辺に、当該2つの開口辺から前記開口の中央に向かって突出する凸部を画定する、
請求項1に記載のめっき装置。 - 前記第1凸部と前記第2凸部とは、前記開口の中央に向かって細くなる台形形状である、請求項1から4の何れか1項に記載のめっき装置。
- 前記アノードマスクは、前記多角形基板の外形に対応した多角形開口を画定する枠部材を備え、
前記第1マスク部材と前記第2マスク部材とは、前記枠部材に隣接して配置されて当該枠部材と共に前記アノードマスクの前記開口を画定する、
請求項1から4の何れか1項に記載のめっき装置。 - 前記アノードホルダと前記基板ホルダとの間に設けられるレギュレーションプレートを備え、
前記レギュレーションプレートは、前記第1マスク部材の前記第1辺に対応して配置された第1補助アノードと、前記第2マスク部材の前記第2辺に対応して配置された第2補助アノードと、を有する、
請求項1、2、4の何れか1項に記載のめっき装置。 - 前記第1マスク部材と前記第2マスク部材との距離が大きいほど前記第1補助アノードと前記第2補助アノードとに流れる電流が大きくなるように前記第1補助アノードおよび前記第2補助アノードと前記多角形基板との間に電流を流す制御装置を備える、請求項7に記載のめっき装置。
- めっき装置においてアノードと多角形基板との間に電流を流して前記多角形基板にめっきする方法であって、
前記多角形基板の外形に対応した開口を画定するアノードマスクであって、前記開口における前記多角形基板の第1辺に対応した第1開口辺の中央部に、前記第1開口辺から当該開口の中央に向かって突出する第1凸部を画定する第1マスク部材と、前記開口における前記多角形基板の第2辺に対応した第2開口辺の中央部に、前記第2開口辺から当該開口の中央に向かって突出する第2凸部を画定する第2マスク部材と、を有するアノードマスクにおいて、前記第1マスク部材と前記第2マスク部材との互いの距離を調整するステップと、
前記アノードと前記多角形基板との間に電流を流すステップと、
を含むめっき方法。 - 前記めっき装置は、前記アノードホルダと前記基板ホルダとの間に設けられるレギュレーションプレートを備え、
前記レギュレーションプレートは、前記第1マスク部材の前記第1辺に対応して配置された第1補助アノードと、前記第2マスク部材の前記第2辺に対応して配置された第2補助アノードと、を有し、
前記めっき方法は、前記第1マスク部材と前記第2マスク部材との距離が大きいほど前記第1補助アノードと前記第2補助アノードとに流れる電流が大きくなるように前記第1補助アノードおよび前記第2補助アノードと前記多角形基板との間に電流を流すステップを含む、
請求項9に記載のめっき方法。
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