JP7098089B1 - めっき装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す斜視図である。図2は、本実施形態のめっき装置の全体構成を示す平面図である。図1、2に示すように、めっき装置1000は、ロードポート100、搬送ロボット110、アライナ120、プリウェットモジュール200、プリソークモジュール300、めっきモジュール400、洗浄モジュール500、スピンリンスドライヤ600、搬送装置700、および、制御モジュール800を備える。
次に、めっきモジュール400の構成を説明する。本実施形態における24台のめっきモジュール400は同一の構成であるので、1台のめっきモジュール400のみを説明する。
410 めっき槽
430 アノード
440 基板ホルダ
442 昇降機構
446 回転機構
450 抵抗体
450-a 対向面
450-a1 第1の対向面
450-a2 第2の対向面
480 パドル
481 遮蔽部材
482 パドル攪拌機構
485 遮蔽機構
1000 めっき装置
Wf 基板
Wf-a 被めっき面
β 窪み領域
Claims (6)
- めっき液を収容するように構成されためっき槽と、
被めっき面を下方に向けた基板を保持するように構成された基板ホルダと、
前記めっき槽内に配置されたアノードと、
前記基板と前記アノードとの間に配置され、前記被めっき面と対向する対向面を有する抵抗体であって、前記対向面は、第1の対向面、および前記第1の対向面よりも前記被めっき面から離れた第2の対向面、を有する、抵抗体と、
前記第2の対向面によって形成される前記抵抗体の窪み領域に配置される、電場を遮蔽するための遮蔽部材と、
を含み、
前記抵抗体は、前記第1の対向面における抵抗率と前記第2の対向面における抵抗率が均一になるように形成される、
めっき装置。 - 前記抵抗体は、前記アノード側と前記基板側とを貫通する複数の貫通孔が形成された板状の部材であり、前記第1の対向面における前記抵抗体の厚みと前記第2の対向面における前記抵抗体の厚みが均一になるように形成される、
請求項1に記載のめっき装置。 - 前記抵抗体は、前記アノード側と前記基板側とを貫通する複数の貫通孔が形成された板状の部材であり、前記第1の対向面における前記抵抗体の厚みが前記第2の対向面における前記抵抗体の厚みよりも大きく、かつ、前記第1の対向面における前記複数の貫通孔による開口率が前記第2の対向面における前記複数の貫通孔による開口率よりも大きくなるように形成される、
請求項1に記載のめっき装置。 - 前記第2の対向面は、前記対向面の外縁部の一部に形成される、
請求項1から3のいずれか一項に記載のめっき装置。 - 前記基板ホルダの回転角度に応じて、前記遮蔽部材を、前記抵抗体の前記第2の対向面と前記基板との間の遮蔽位置と、前記抵抗体の前記第2の対向面と前記基板との間から離れた退避位置と、の間で、前記基板の前記被めっき面に沿った方向に往復移動させるように構成された遮蔽機構、
をさらに含む、
請求項1から4のいずれか一項に記載のめっき装置。 - 前記抵抗体と前記基板との間に配置されたパドルと、
前記パドルを前記基板の前記被めっき面に沿った方向に往復移動させるように構成されたパドル攪拌機構と、
をさらに含む、
請求項1から5のいずれか一項に記載のめっき装置。
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