CN109537032A - 镀覆装置 - Google Patents

Abstract

镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极用于在与所述基板之间产生电场；以及至少一个电场遮蔽体，该至少一个电场遮蔽体用于遮蔽所述基板保持架和所述电场的一部分或者全部，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场穿过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。

Description

镀覆装置

技术领域

本发明涉及镀覆装置。

背景技术

以往，在设置于半导体晶片等基板的表面的微细的配线用槽、孔、或者抗蚀剂开口部形成配线、或者在基板的表面形成与封装的电极等电连接的凸点(突起状电极)。作为形成该配线和凸点的方法，公知有例如电解镀覆法、蒸镀法、印刷法、球凸点法等。伴随着半导体芯片的I/O数的增加、细间距化，多数情况下使用能够实现微细化且性能比较稳定的电解镀覆法。

在利用电解镀覆法形成配线或者凸点的情况下，在设置于基板上的配线用槽、孔、或者抗蚀剂开口部的阻挡金属的表面形成有电阻较低的籽晶层(供电层)。在该籽晶层的表面上，镀覆膜成长。近年来，伴随着配线和凸点的微细化，使用更薄的膜厚的籽晶层。当籽晶层的膜厚变薄时，籽晶层的电阻(薄膜电阻)增加。

通常情况下，被镀覆的基板在其周缘部具有电接点。因此，在基板的中央部流过与镀覆液的电阻值和从基板的中央部到电接点的籽晶层的电阻值的合成电阻对应的电流。另一方面，在基板的周缘部(电接点附近)大致流过与镀覆液的电阻值对应的电流。即，在基板的中央部不容易流过与从基板的中央部到电接点的籽晶层的电阻值对应的电流。电流集中于该基板的周缘部的现象被称为终端效应。

在具有比较薄的膜厚的籽晶层的基板中，从基板的中央部到电接点的籽晶层的电阻值比较大。因此，在对具有比较薄的膜厚的籽晶层的基板进行镀覆的情况下，终端效应变得明显。并且，基板越大型化，则从基板的中央部到电接点的籽晶层的电阻值越大。其结果为，基板的中央部的镀覆速度降低，基板的中央部的镀覆膜的膜厚比基板的周缘部的镀覆膜薄，膜厚的面内均匀性有可能降低。

为了抑制由于终端效应而导致的膜厚的面内均匀性的降低，需要调整施加给基板的电场。公知有日本特开2016-98399号公报(专利文献1)中记载的具有阳极掩模的镀覆装置，该阳极掩模能够调整从阳极朝向圆形的基板的电场。并且，公知有日本特开平6-17297号公报(专利文献2)中记载的在基板与阳极之间在远离阳极的位置设置有电流阻止部的镀覆装置。

但是，在不是对圆形的半导体晶片那样的圆形基板而是对矩形或者方形的基板进行镀覆的情况下，应该处理的基板的纵横尺寸比是各种各样的。通过镀覆来埋入金属的凹部等图案的配置的变动也会增加。要想对这样的矩形的基板进行膜厚均匀性良好的镀覆，利用以往的电流阻止单元无法充分地进行电场的控制。并且，即使是矩形以外的例如圆形的基板，也有时希望使外周部分的镀覆膜厚更均匀。

专利文献1：日本特开2016-98399号公报

专利文献2：日本特开平6-17297号公报

发明内容

本发明的目的在于，提高镀覆装置的电场调整功能。

用于解决课题的手段

本发明的一个方式涉及镀覆装置，该镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置；以及至少一个电场遮蔽体，该电场遮蔽体用于遮蔽从所述阳极朝向所述基板的电场的一部分，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场通过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。

本发明的一个方式涉及镀覆装置，该镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置；以及至少一个电场遮蔽体，该电场遮蔽体用于遮蔽从所述阳极朝向所述基板的电场的一部分，所述电场遮蔽体具有三个以上的遮蔽部件，该三个以上的遮蔽部件各自具有用于使来自所述阳极的电场通过的开口部，至少两个所述遮蔽部件构成为能够相对于至少一个所述遮蔽部件移动，以对各开口部重叠形成的开口区域进行调整。

附图说明

图1是示出镀覆装置的一个实施方式的示意图。

图2是概略性地示出镀覆槽的结构的侧视图。

图3是第一实施方式的阳极单元的立体图。

图4是第一实施方式的阳极单元的将下掩模省略而示出的立体图。

图5是第一实施方式的阳极单元的将上部和下掩模省略而示出的立体图。

图6A是从第一实施方式的变形例的阳极单元的右上方观察的立体图。

图6B是从第一实施方式的变形例的阳极单元的左上方观察的立体图。

图7是第二实施方式的阳极单元的立体图。

图8是第二实施方式的阳极单元的将驱动部省略后的立体图。

图9A是第二实施方式的阳极单元的第一状态下的主视图。

图9B是第二实施方式的阳极单元的第二状态下的主视图。

图10A是从前面侧观察第三实施方式的阳极单元的阳极掩模的立体图。

图10B是从背面侧观察第三实施方式的阳极单元的阳极掩模的立体图。

图10C是第三实施方式的阳极单元的阳极掩模的侧视图。

图10D是沿着图10C的A-A线的向视图。

图10E是沿着图10C的B-B线的向视图。

图11A是第一状态下的阳极掩模的前视图。

图11B是第二状态下的阳极掩模的前视图。

图12A是第一状态下的阳极掩模的后视图。

图12B是第二状态下的阳极掩模的后视图。

图13是第四实施方式的阳极单元的立体图。

图14是第四实施方式的阳极单元的局部切口立体图。

图15A是从第四实施方式的阳极单元的前面侧观察的分解立体图。

图15B是从第四实施方式的阳极单元的背面侧观察的分解立体图。

图16是阳极保持架的主视图。

图17是左右掩模可变杆的主视图、侧视图和后视图。

图18是左右掩模叶片的主视图和侧视图。

图19是中间引导部件的主视图和后视图。

图20是上下掩模可变杆的主视图、侧视图和后视图。

图21是上下掩模叶片的主视图和侧视图。

图22是前面引导部件的后视图。

图23A是第一状态下的左右掩模的主视图。

图23B是第二状态下的左右掩模的主视图。

图24A是第一状态下的上下掩模的主视图。

图24B是第二状态下的上下掩模的主视图。

图25是第四实施方式的阳极保持架的变形例。

图26是应用了本发明的调整板的立体图。

符号说明

10、10a、10b、10c 镀覆槽

12 阳极单元

14’ 调整板

200 阳极保持架

204 开口部

300、400、500、600 阳极掩模

311 左掩模

312 右掩模

313 上掩模

314 下掩模

315、316 引导部件

317、318、319、320 齿条

326、327 小齿轮

321、322 马达

416 连杆

421、422 致动器

411 左掩模

412 右掩模

413 上掩模

414 下掩模

453、454 连杆

501 基座

510、520 遮蔽部件

530 马达

534 带轮

537 带

541、542 连杆

612、613 左右叶片

622、623 上下叶片

651、652 致动器

AN 阳极电极

具体实施方式

以下，与附图一同对本发明的镀覆装置和镀覆装置中使用的阳极单元的实施方式进行说明。在附图中，对相同或者类似的要素标注相同或者类似的参照符号，在各实施方式的说明中有时省略关于相同或者类似的要素的重复的说明。并且，各实施方式中所示的特征只要彼此不矛盾，也能够应用于其他的实施方式。另外，在本说明书中，“基板”不仅包含半导体基板、玻璃基板、印刷电路基板，而且还包含磁记录介质、磁记录传感器、反射镜、光学元件或微小机械元件、或者局部制作出的集成电路。基板包含任意的形状(方形、圆形等)。并且，在本说明书中使用“前面”、“背面”、“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”等表达，它们是为了方便说明，而表示例示的附图的纸面上的位置、方向，在装置使用时等的实际的配置上有时不同。

图1是示出镀覆装置的一个实施方式的示意图。如图1所示，镀覆装置具有：架台101；控制镀覆装置的运转的控制部103；对基板W(参照图2)进行装载和卸载的装载/卸载部170A；基板放置部(机械室、基板装卸部)170B，该基板放置部(机械室、基板装卸部)170B将基板W放置于基板保持架11(参照图2)，并且从基板保持架11拆下基板W；对基板W进行镀覆的处理部(前处理室、镀覆室)170C；收纳基板保持架11的保持架收纳部(堆料室)170D；以及对镀覆后的基板W进行清洗和干燥的清洗部170E。本实施方式的镀覆装置是通过使电流流过镀覆液而利用金属对基板W的被镀覆面进行镀覆的电解镀覆装置。并且，作为本实施方式的处理对象的基板W是半导体封装基板等。特别是，本实施方式的镀覆装置能够适用于矩形的基板。并且，在基板W的表面侧和背面侧分别形成有由籽晶层等构成的电导层，此外，在该电导层上的图案面形成区域形成有抗蚀层，在该抗蚀层预先形成有沟槽、通孔。在本实施方式中，能够包含具有将基板的表面和背面连接的贯通孔的基板(所谓的通孔基板)来作为处理对象。

如图1所示，架台101由多个架台部件101a～101h构成，这些架台部件101a～101h构成为能够连结。装载/卸载部170A的结构要素配置在第一架台部件101a上，基板放置部170B的结构要素配置在第二架台部件101b上，处理部170C的结构要素配置在第三架台部件101c～第六架台部件101f上，保持架收纳部170D的结构要素配置在第七架台部件101g和第八架台部件101h上。

在装载/卸载部170A中设置有：装载台105，该装载台105搭载有收纳了镀覆前的基板W的盒体(未图示)；以及卸载台107，该卸载台107搭载有接收由处理部170C镀覆后的基板W的盒体(未图示)。此外，在装载/卸载部170A配置有由输送基板W的输送用机械手构成的基板输送装置122。

基板输送装置122构成为，访问搭载于装载台105的盒体，从盒体取出镀覆前的基板W，将基板W传递给基板放置部170B。在基板放置部170B中，将镀覆前的基板W放置于基板保持架11，从基板保持架11取出镀覆后的基板W。

在处理部170C配置有预湿槽126、预浸槽128、第一洗涤槽130a、鼓风槽132、第二洗涤槽130b、第一镀覆槽10a、第二镀覆槽10b、第三洗涤槽130c、以及第三镀覆槽10c。这些槽126、128、130a、132、130b、10a、10b、130c、10c被依次配置。在以下的说明中，有时将第一镀覆槽10a、第二镀覆槽10b、第三镀覆槽10c进行总称为镀覆槽10、或者参照这些镀覆槽中的任意的镀覆槽而称为镀覆槽10。

在预湿槽126中，作为前处理准备，将基板W浸渍在纯水中。在预浸槽128中，通过药液对形成于基板W的表面的籽晶层等导电层的表面的氧化膜进行蚀刻去除。在第一洗涤槽130a中，利用清洗液(例如，纯水)对预浸后的基板W进行清洗。

在第一镀覆槽10a、第二镀覆槽10b以及第三镀覆槽10c中的至少一个镀覆槽10中，对基板W的被镀覆面进行镀覆。另外，在图1所示的实施方式中，镀覆槽10为三个，但作为其他的实施方式，也可以具有任意数量的镀覆槽10。并且，这里，举例说明对基板W的单面进行镀覆的情况，但也能够将本发明应用于两面镀覆的情况。

在第二洗涤槽130b中，由第一镀覆槽10a或者第二镀覆槽10b镀覆后的基板W与基板保持架11一同由清洗液(例如，纯水)进行清洗。在第三洗涤槽130c中，由第三镀覆槽10c镀覆后的基板W与基板保持架11一同由清洗液(例如，纯水)进行清洗。在鼓风槽132中，在镀覆处理前后进行清洗后的基板W的脱液。

预湿槽126、预浸槽128、洗涤槽130a～130c以及镀覆槽10a～10c是能够在它们的内部贮存处理液(液体)的处理槽。这些处理槽具有贮存处理液的多个处理单元，但不限于该实施方式，这些处理槽也可以具有单一的处理单元。并且，也可以是，这些处理槽的至少一部分具有单一的处理单元，其他的处理槽具有多个处理单元。

镀覆装置还具有对基板保持架11进行输送的输送机140。输送机140构成为能够在镀覆装置的结构要素之间移动。输送机140具有：固定基座142，该固定基座142从基板放置部170B到处理部170C沿水平方向延伸；以及多个运输机141，该多个运输机141构成为能够沿着固定基座142移动。

这些运输机141构成为分别具有用于保持基板保持架11的可动部(未图示)，对基板保持架11进行保持。运输机141构成为，在基板放置部170B、保持架收纳部170D以及处理部170C之间输送基板保持架11，进一步使基板保持架11与基板W一同上下移动。例如，运输机141中的一个通过使保持着基板W的基板保持架11从镀覆槽10的上方下降，能够使基板W与基板保持架11一同浸渍到镀覆槽10内的镀覆液中。作为运输机141的移动机构，能够列举例如马达与齿轮齿条的组合。另外，在图1所示的实施方式中，设置有三个运输机，但作为其他的实施方式也可以采用任意数量的运输机。

(镀覆槽的结构)

图2是概略性地示出镀覆槽的结构的侧视图。在镀覆处理中，在镀覆槽10配置有保持基板W的基板保持架11、保持阳极电极AN的阳极单元12、调整板14、以及搅拌器15。镀覆槽10收容镀覆液，将基板W和阳极电极AN浸渍在镀覆液中。阳极单元12具有：保持阳极电极AN的阳极保持架200；以及用于对阳极电极AN与基板W之间的电场进行调整的阳极掩模300。在一例中，阳极单元12收容在阳极盒13内。在阳极盒13的与阳极电极AN对置的位置设置有开口部，在开口部配置有隔膜13a。阳极掩模300包含由例如电介质材料构成的一个或者多个大致板状的部件。关于阳极掩模的详细情况，后述进行说明。调整板14具有开口部，与阳极掩模300同样地调整与基板W之间的电场。在一例中，调整板14的开口部的尺寸固定，更换使用不同的开口尺寸的调整板。在其他的例中，调整板14的开口尺寸能够调整。搅拌器15对基板W的被镀覆面附近的镀覆液进行搅拌。搅拌器15例如能够采用大致棒状的部件，能够以朝向铅垂方向的方式设置在镀覆槽10内。搅拌器15构成为能够通过未图示的驱动装置而沿着基板W的被镀覆面进行水平移动。并且，搅拌器15也可以是在板状部件设置多个纵向的缝的结构。另外，从镀覆品质的观点出发，优选处于(基板W的被镀覆面的露出面积或者尺寸)＞(调整板的开口面积或者尺寸)＞(阳极掩模的开口面积或者尺寸)的关系。在该情况下，基板W自身的面积或者尺寸比调整板的开口部的面积或者尺寸大。因此，优选对阳极掩模的开口面积(或者开口尺寸)和调整板的开口面积(或者开口尺寸)进行设定和/或调整以满足上述关系。

阳极电极AN经由阳极保持架200内的配线而与外部电源(未图示)连接。并且，基板W的被镀覆面经由基板保持架11内的配线而与外部电源连接。当从外部电源对阳极电极AN与基板W之间供给电压时，镀覆电流按照从外部电源穿过阳极电极AN、镀覆液、基板W的被镀覆面的籽晶层而返回外部电源的路径流动。由此，镀覆液中的金属析出到基板W的被镀覆面上，对基板W进行镀覆处理。

在镀覆槽10设置有使镀覆液在镀覆槽10与外槽16之间循环的循环机构700。循环机构700具有循环线路702，该循环线路702将接受从镀覆槽10溢出的镀覆液的外槽16和镀覆槽10连接。在一例中，循环线路702与镀覆槽10的底部和外槽16的底部连接。在循环线路702中设置有阀704，能够进行循环线路702的开闭。也可以是，阀704能够采用例如电磁阀，能够通过控制部103(参照图1)来控制循环线路702的开闭。在循环线路702中设置有泵706，能够通过泵706使镀覆液穿过循环线路702而从外槽16循环到镀覆槽10。在循环线路702设置有温度控制装置708，能够对穿过循环线路702的镀覆液的温度进行控制。例如，也可以在镀覆槽10中设置未图示温度计，根据该温度计所测定出的镀覆液温度，通过控制部103来控制温度控制装置708。在循环线路702中设置有过滤器710，能够除去穿过循环线路702的镀覆液的固体物。

(阳极单元)

(第一实施方式)

图3是第一实施方式的阳极单元的立体图。图4是第一实施方式的阳极单元的将下掩模省略而示出的立体图。图5是第一实施方式的阳极单元的将上和下掩模省略而示出的立体图。

阳极单元12具有：保持阳极电极AN的阳极保持架200；以及用于调整阳极电极AN的露出区域(开口区域)的阳极掩模300。阳极保持架200具有阳极主体201和臂部202。阳极掩模300一体地安装于阳极保持架200的前面。阳极主体201具有开口部204。阳极主体201构成为保持阳极电极AN，使阳极电极AN从开口部204露出。臂部202构成为在其两端部将阳极保持架200装配于镀覆槽10，在一个端部设置有与外部电源(未图示)电连接的供电端子203a。在按照两个供电路径对阳极电极AN供电的情况下，也可以进一步在臂部202的另一个端部设置有供电端子203b。在以下的说明中，将阳极单元(阳极保持架、阳极掩模)的与基板保持架11对置的一侧称为阳极单元(阳极保持架、阳极掩模)的前面(正面)，将相反侧称为后面(背面)。

阳极掩模300具有左掩模311、右掩模312、上掩模313和下掩模314。左掩模311、右掩模312、上掩模313和下掩模314分别对阳极主体201的开口部204的左侧端部、右侧端部、上侧端部、下侧端部的开口部204的开口区域(开口尺寸、开口位置)进行调整。各掩模311～314由例如电介质材料构成。

如图5所示，左掩模311是大致L字状的板状部件，沿着阳极主体201的开口部204的左侧端部延伸。在阳极主体201的前面设置有在开口部204的下部沿着下边延伸的引导件333。在引导件333的内侧设置有缝。左掩模311的下部与引导件333的缝卡合，通过由引导件333被沿着左右方向引导。在左掩模311的上部安装有引导部件315。引导部件315也可以设置两个以上。引导部件315可以作为其他部件而安装于左掩模311，也可以与左掩模311一体形成。引导部件315具有沿着阳极主体201的左右方向延伸的贯通孔，在贯通孔的内周设置有内螺纹。可以在引导部件315的贯通孔直接设置内螺纹，也可以将设置有在内周具有内螺纹的贯通孔的其他部件安装于引导部件315。

右掩模312是大致L字状的板状部件，沿着阳极主体201的开口部204的右侧端部延伸。右掩模312的下部通过引导件333被沿着左右方向引导。在右掩模312的上部安装有引导部件316。引导部件316的结构与引导部件315的结构相同。

在引导部件315、316的贯通孔中插入有沿阳极主体201的左右方向延伸的杆324。在杆324的外周设置有外螺纹。引导部件315、316的内螺纹与杆324的外螺纹螺合，构成进给丝杠机构。杆324支承于轴承341、342，杆324的一端与马达321的旋转轴连结。引导部件315的内螺纹和引导部件316的内螺纹以通过杆324的旋转而沿着杆324的轴向彼此向相反方向移动的方式与杆324的外螺纹卡合。另外，在其他的实施方式中，也可以是，引导部件315的内螺纹和引导部件316的内螺纹以通过杆324的旋转而沿着杆324的轴向向相同方向移动的方式与杆324的外螺纹卡合。

当杆324通过马达321而旋转时，引导部件315、316沿着左右方向以彼此接近或者分离的方式移动，由此，固定于引导部件315、316的左掩模311、右掩模312沿着左右方向以彼此接近或者分离的方式移动。其结果为，对阳极主体201的开口部204的左侧端部和右侧端部的开口区域进行调整。换言之，对开口部204的左右方向的开口尺寸进行调整。

如图4所示，上掩模313在阳极主体201的开口部204的上部沿着上边延伸。在阳极主体201的前面设置有在开口部204的左边和右边的外侧沿着左边和右边延伸的引导件331a、331b。在引导件331a、331b的内侧设置有缝。上掩模313的左部和右部与引导件331a、331b的缝卡合，被引导件331a、331b引导为沿着上下方向移动。在上掩模313上设置有两个齿条317、318。各齿条317、318具有齿条齿。各齿条317、318设置于上掩模313的左右对称的位置。齿条的数量可以是一个，也可以是三个以上。各齿条317、318分别与设置于沿左右方向延伸的杆325的两个小齿轮326、327卡合。通过齿条317、318和小齿轮326、327而构成齿条齿轮机构。杆325由轴承343、344支承，杆325的一端与马达322的旋转轴连结。当杆325通过马达322而旋转时，通过齿条齿轮机构而使上掩模313沿着上下方向移动。其结果为，对阳极主体201的开口部204的上侧端部的开口区域进行调整。

另外，马达321、322固定于镀覆槽10。并且，虽然在图3～图6B中未图示，但能够在引导部件315与轴承341之间将杆324分割成两个，利用接头将两个杆324之间连结(参照图13)。同样，能够在齿条317与轴承343之间将杆325分割成两个，利用接头将两个杆325之间连结。关于轴承342、344侧的杆324、325，也能够同样地构成。在像这样构成的情况下，在进行阳极电极AN的更换等阳极单元12的维护时，通过解除接头对杆间的连结，能够从镀覆槽10取出阳极单元12。

如图3所示，下掩模314具有：下掩模部314a，该下掩模部314a在阳极主体201的开口部204的下侧端部沿着开口部204的下边延伸；左延长部314b和右延长部314c，该左延长部314b和右延长部314c在开口部204的左边和右边的外侧沿着左边和右边延伸；以及上延长部314d，该上延长部314d形成为将左延长部314b和右延长部314c彼此连结。左延长部314b和右延长部314c的上部向远离阳极主体201的方向屈曲以避免与上掩模313发生干涉，进一步以沿与阳极主体201平行的方向延伸的方式屈曲，与上延长部314d连结。并且，在正面观察时，上延长部314d配置在避免与上掩模313发生干涉的位置。换言之，上延长部314d构成为从前方观察阳极单元12时与上掩模313不重叠。

在阳极主体201的前面设置有在开口部204的左边和右边的外侧沿着左边和右边延伸的引导件332a、332b。在引导件332a、332b的内侧设置有缝。左延长部314b和右延长部314c与引导件332a、332b的缝卡合，被引导件332a、332b引导为沿着上下方向移动。在下掩模314的上延长部314d的背面设置有齿条319、320(图3、图4)。齿条319、320的结构与齿条317、318的结构相同。齿条319、320分别与小齿轮326、327卡合。通过齿条319、320和小齿轮326、327来构成齿条齿轮机构。当杆325通过马达322而旋转时，通过齿条齿轮机构而使上延长部314d沿着上下方向移动，由此，下掩模314沿着引导件332a、332b而沿上下方向移动。其结果为，对阳极主体201的开口部204的下侧端部的开口区域进行调整。

上掩模313和下掩模314通过齿条齿轮机构而沿着上下方向向相反方向移动。上掩模313的齿条317、318和下掩模314的齿条319、320以通过小齿轮326、327的旋转而彼此向相反方向移动的方式与小齿轮326、327卡合。另外，在其他的实施方式中，也可以是，上掩模313与下掩模314一体形成，通过齿条齿轮机构以向上下方向的相同方向移动的方式卡合。

根据以上说明的阳极单元12，左掩模311与右掩模312能够以沿着左右方向接近、分离的方式移动，并且上掩模313和下掩模314能够以沿着上下方向接近、分离的方式移动。其结果为，能够彼此独立地调整阳极保持架200的开口部204的左右方向的开口区域和上下方向的开口区域。由此，能够更精细地对基板上的应该镀覆的图案的配置、由于对基板或者阳极电极的供电方法而受到影响的基板上的镀覆膜厚分布进行调整。

并且，由于左掩模311和右掩模312以沿着左右方向同步地接近、分离的方式移动，因此能够按照相同的量来调整开口部204的左右的各端部的开口区域。并且，能够对称地调整开口部204的左右的各端部的开口区域。同样，由于上掩模313和下掩模314以沿着上下方向同步地接近、分离的方式移动，因此能够按照相同的量来调整开口部204的上下的各端部的开口区域。能够对称地调整开口部204的上下的各端部的开口区域。例如，在以基板、阳极电极、阳极掩模的开口部204的中心处于一条直线上的方式配置各部件的状态下，能够保持开口部的中心不移动地调整成开口部204的左右方向的开口尺寸和上下方向的开口尺寸分别为最佳，因此镀覆膜厚的调整方法变简单，也容易抑制镀覆槽间的镀覆膜厚的均匀性的偏差。

(第一实施方式的变形例)

图6A是从第一实施方式的变形例的阳极单元的左上方观察的立体图。图6B是从第一实施方式的变形例的阳极单元的右上方观察的立体图。在变形例的阳极单元12中，左掩模311和右掩模312由独立的驱动机构进行驱动，上掩模313和下掩模314由独立的驱动机构进行驱动。左掩模311和右掩模312能够由独立的驱动机构同步地进行驱动、或者不同步地进行驱动。左掩模311和右掩模312能够以接近、分离的方式被驱动，能够以向相同方向移动的方式被驱动。上掩模313和下掩模314也相同。

如图6A和图6B所示，杆324被分割成杆324a和杆324b，杆324a的一端与马达321a的旋转轴连结，杆324b的一端与马达321b的旋转轴连结。杆324a与左掩模311的引导部件315卡合。杆324b与右掩模312的引导部件316卡合。与杆324同样，在杆324a和杆324b的外周分别设置有外螺纹。利用杆324a的外周的外螺纹和引导部件315的贯通孔的内螺纹来构成进给丝杠机构。利用杆324b的外周的外螺纹和引导部件316的贯通孔的内螺纹来构成进给丝杠机构。左掩模311和右掩模312能够通过作为独立的驱动源的马达321a、321b的旋转而同步地或者不同步地在左右方向上移动。左掩模311和右掩模312能够通过作为独立的驱动源的马达321a、321b的旋转而沿着左右方向以接近或者分离的方式移动或者向相同方向移动。

如图6A和图6B所示，杆325被分割成杆325a和杆325b。杆325a的一端与马达322a的旋转轴连结，杆325b的一端与马达322b的旋转轴连结。杆325a的小齿轮326与上掩模313的齿条317卡合。杆325b的小齿轮327与下掩模314的齿条320卡合。杆325a的另一端由安装于阳极保持架200的轴承345进行支承。杆325b的另一端由安装于阳极保持架200的轴承346进行支承。在上掩模313的右侧上方部设置有用于避免与轴承346发生干涉的切口。在下掩模314的上延长部314d的左侧上方部设置有用于避免与轴承346发生干涉的切口。

上掩模313和下掩模314能够通过作为独立的驱动源的马达322a、322b的旋转而同步地或者不同步地沿着上下方向移动。上掩模313和下掩模314能够通过作为独立的驱动源的马达322a、322b的旋转而沿着上下方向以接近或者分离的方式移动或者向相同方向移动。

另外，各马达321a、321b、322a、322b固定于镀覆槽10。并且，能够将各杆324a、324b、325a、325b分割成两个，利用接头进行连结。在该情况下，在进行阳极电极AN的更换等阳极单元12的维护时，通过解除接头对各杆的连结，能够从镀覆槽10取出阳极单元12。

根据变形例的阳极单元12，由于能够按照不同的量对左掩模311和右掩模312进行调整，能够按照不同的量对上掩模313和下掩模314进行调整，因此能够对开口区域的中心位置进行调整。例如，在基板W与阳极掩模的中心位置的对位存在偏差的情况下，能够通过阳极掩模的开口区域的调整来校正对位的偏差。并且，在基板W、调整板与阳极掩模的中心位置的对位存在偏差的情况下，能够通过阳极掩模的开口区域的调整来校正对位的偏差。并且，在对应该镀覆的图案的配置偏向左右或者上下的基板进行处理时，也能够调整电场而不使阳极掩模自身的位置移动。另外，若使用后述的调整板的应用例，由于也能够同样地调整调整板的开口区域，因此能够进一步提高中心对位的精度。

另外，在变形例的阳极单元12中，通过控制部103的控制而能够同步地调整左掩模311和右掩模312，能够同步地调整上掩模313和下掩模314。

(对调整板的应用)

图26是应用了本发明的调整板的立体图。调整板14’具有底板140’和调节板12’。底板140’是具有一定的开口面积的开口部140a的屏蔽板。调节板12’是具有与上述实施方式的阳极掩模300相同的结构的板。调节板12’具有与阳极掩模300同样地贯通的开口部，能够通过与阳极掩模300相同的机构而改变开口部的大小或者位置或者形状。由此，能够通过与阳极掩模300相同的机构而调整与阳极电极稍稍分离的配置在基板与阳极电极的中间的调整板的开口部从而控制电场。另外，调节板12’能够具有与各实施方式的阳极掩模相同的结构。例如，调节板12’能够采用后述的图7～图9B所示的第二实施方式的阳极掩模的结构、图10A～图12B所示的第三实施方式的阳极掩模的结构、图13～图25所示的第四实施方式的阳极掩模的结构。通过这样的结构，能够利用调节板12’来调整阳极掩模的各掩模的位置，由此调整底板140’的开口部140a的开口区域。

另外，由于阳极掩模接近阳极电极而远离基板，因此对于控制基板的镀覆面整体的膜厚来说是有效的。另一方面，调节板比阳极掩模接近基板侧，调节板比较有利于控制基板的外周部的膜厚。优选通过使阳极掩模和调节板双方在两个方向上独立可变，能够进行更精细的镀覆膜厚控制。

另外，在图26中描述了使底板140’和调节板12’组合的方式，该底板140’具备具有一定的开口面积的开口部140a，该调节板12’具有与阳极掩模300相同的结构，只要能够充分地进行电场的遮蔽控制，也可以不设置底板140’。即，也可以仅将能够使开口区域可变的调节板12’配置在基板保持架11与阳极单元12之间，而用作调整板。在使用调节板12’而使调整板的开口区域可变的情况下，作为阳极单元的阳极掩模，也可以使用具有固定的开口区域的阳极掩模。并且，在使调整板的开口区域和阳极掩模的开口区域双方都可变的情况下，能够调整各个开口尺寸的方向也可以彼此不同。

(阳极掩模开口区域的调整控制)

阳极掩模的各掩模的移动控制由控制部103来执行。控制部103具有执行阳极掩模的各掩模的移动控制的程序、或者从外部的存储器等取得。例如，阳极单元(阳极掩模)的开口区域的信息(例如，各掩模的位置、致动器的移动量)包含在方案的项目中，存储在存储器等中。并且，控制部103读出方案项目，根据开口区域的信息来控制致动器，从而调整阳极单元(阳极掩模)的开口区域。此时，能够通过致动器而独立地控制开口区域的左右方向和上下方向的开口尺寸。致动器能够采用马达、螺线管、气缸等任意的驱动源。并且，阳极单元(阳极掩模)的开口区域的调整能够在镀覆处理前、处理中进行。例如，能够在镀覆处理前按照基板的种类来变更开口区域。并且，也能够在镀覆处理中调整开口区域(开口部)的面积或者尺寸。例如，由于在镀覆初期，终端效应强力地作用，因此减小开口区域而防止基板的外周部的镀覆膜厚变厚，在镀覆推进而镀覆膜厚整体上变厚的阶段，由于终端效应缓和，因此能够扩大开口区域而进一步提高镀覆膜厚的均匀性。能够对调整板也同样地进行控制。另外，调整板的开口区域的调整也能够同样地由控制部103进行。以下说明的实施方式也相同。

另外，优选对调整板的开口区域(或者开口尺寸)、阳极掩模的开口面积(或者开口尺寸)进行调整，以处于(基板W的面积或者尺寸)＞(调整板的开口面积或者尺寸)＞(阳极掩模的开口面积或者尺寸)的关系。以下说明的实施方式也相同。

在上述实施方式中，也可以不使用来自致动器的动力，而手动地使各掩模移动。其他的实施方式也同样，也可以不使用来自致动器的动力，而手动地使各掩模移动。

(第二实施方式)

图7是第二实施方式的阳极单元的立体图。图8是第二实施方式的阳极单元的省略了驱动部的立体图。图9A是第二实施方式的阳极单元的第一状态下的主视图。图9B是第二实施方式的阳极单元的第二状态下的主视图。

本实施方式的阳极单元12具有阳极保持架200和阳极掩模400。由于阳极保持架200的结构与第一实施方式大致相同，因此省略详细的说明。另外，与第一实施方式同样，在将阳极保持架和阳极掩模分体设置的情况下，能够将上述阳极保持架200作为阳极掩模300的底板而使用。

阳极掩模400具有左掩模411、右掩模412、上掩模413、以及下掩模414。左掩模411、右掩模412、上掩模413和下掩模414分别对阳极主体201的开口部204的左侧端部、右侧端部、上侧端部、下侧端部的开口部204的开口区域(开口尺寸等)进行调整。各掩模411～414由例如电介质材料构成。

左掩模411是板状部件，沿着阳极主体201的开口部204的左侧端部延伸。左掩模411的下端部经由连杆451而与阳极保持架200连接，左掩模411的上端部经由连杆453而与阳极保持架200连接。左掩模411的下端部通过销451a而相对与连杆451的一端部以能够旋转的方式连接。连杆451的另一端部通过销451b而以能够旋转的方式与阳极保持架200连接。在本实施方式中，连杆453为大致三角形状，但也可以是其他的形状。左掩模411的上端部通过销453a而相对于连杆453以能够旋转的方式连接。连杆453通过销453b而以能够旋转的方式与阳极保持架200连接。并且，连杆453经由连杆455而与移动部件425的一端连接。连杆455通过销453c而以能够旋转的方式与连杆453连接，通过销426a而以能够旋转的方式与移动部件425的一端连接。

右掩模412是板状部件，沿着阳极主体201的开口部204的右侧端部延伸。右掩模412的下端部经由连杆452而与阳极保持架200连接，右掩模412的上端部经由连杆454而与阳极保持架200连接。右掩模412的下端部通过销452a而相对于连杆452的一端部以能够旋转的方式连接。连杆452的另一端部通过销452b而以能够旋转的方式与阳极保持架200连接。在本实施方式中，连杆454为大致三角形状，但也可以是其他的形状。右掩模412的上端部通过销454a而相对于连杆454以能够旋转的方式连接。连杆454通过销454b而以能够旋转的方式与阳极保持架200连接。并且，连杆454经由连杆456而与移动部件425的一端连接。连杆456通过销454c而以能够旋转的方式与连杆454连接，通过销427a而以能够旋转的方式与移动部件425的一端连接。

移动部件425采用具有沿上下方向延伸的上下边426、427且将上下边426、427的上端部彼此连结的结构。在各上下边426、427分别设置有引导槽428、429。设置于阳极保持架200的引导销205、206分别与各引导槽428、429卡合。通过引导销205、206而沿着引导槽428、429对移动部件425的上下方向上的移动进行引导。并且，在移动部件425的上下边426、427的连结部的大致中央部设置有手柄425a。手柄425a是在通过手动使左掩模411、右掩模412移动的情况下使用的。

如图7所示，移动部件425与移动部件424连结。在本实施方式中，移动部件424从与移动部件425的连结部向上方延伸，然后，沿着左右方向向左侧延伸。另外，移动部件424的结构是一例，也可以是其他的结构。移动部件424的左侧端部被定位为能够与致动器421的输出轴抵接。致动器421能够使移动部件424在上下方向上移动。致动器421固定于镀覆槽10，例如具有马达以及将马达的旋转转换成直线运动的旋转直动转换机构(滚珠丝杠机构、滚珠滑道机构等)。致动器421也可以是螺线管、气缸等其他的驱动源。

当在图9A的左掩模411的位置(第一状态)下，移动部件424、425通过致动器421而向上方移动时，如图9B(第二状态)所示，连杆453经由连杆455而被移动部件425向上方提拉，连杆453以销453b为中心而逆时针旋转。虽然左掩模411通过连杆453的旋转而也要旋转，但左掩模411的下端部经由连杆451而与阳极保持架200连接，因此左掩模411上升并且向左方平行移动。右掩模412也同样地从图9A的位置(第一状态)向图9B(第二状态)移动。但是，由于连杆454的旋转方向与连杆453的旋转方向为相反方向，因此右掩模412向右方移动。其结果为，左掩模411和右掩模412以接近的方式移动。并且，当移动部件424、425通过致动器421而向下方移动时，连杆453、454分别向相反方向旋转，左掩模411与右掩模412向分离的方向移动。如上所述，左掩模411与右掩模412经由移动部件425而同步地沿着左右方向以接近、分离的方式移动。其结果为，根据左掩模411与右掩模412的移动量而对阳极主体201的开口部204的左侧端部和右侧端部的开口区域进行调整。

当移动部件424、425通过致动器421在上下方向上移动时，连杆453、454绕销453b、454b旋转，该连杆453、454旋转被转换成左掩模411、右掩模412的左右方向的移动。其结果为，对阳极主体201的开口部204的左侧端部和右侧端部的开口区域(左右方向的开口尺寸)进行调整。

另外，也可以使连杆453、454的旋转方向为相同方向，而使左掩模411和右掩模412向相同方向移动。在该情况下，能够变更开口面积或者不变更开口面积地使开口部204的开口区域的中心在左右方向上位移。

上掩模413在阳极主体201的开口部204的上侧端部沿着上边延伸。例如，在图9B的第二状态下，上掩模413的下边被配置为与开口部204的上边重叠、或者位于开口部的上边的外侧。在上掩模413设置有：用于避让连杆453的销453b的开口部413b；用于避让连杆454的销454b的开口部413c；以及用于避让连杆416的销416b的开口部413d。并且，在上掩模413设置有长孔413a。通过使销416a与长孔413a卡合，使上掩模413与连杆416的一端部连接。销416a能够沿着长孔413a移动。连杆416的中间部分通过销416b而以能够旋转的方式与阳极保持架200连接。连杆416的另一端部与连杆417的一端部都通过销417b而与设置于下掩模414的上延长部414d的长孔414e连接(图9A)。销417b能够沿着长孔414e移动。在连杆417的另一端部设置有手柄417a。手柄417a是在手动地使上掩模413、下掩模414移动的情况下使用的。

下掩模414是框状的部件。下掩模414具有：在阳极主体201的开口部204的下侧端部沿着开口部204的下边延伸的下掩模部414a；在开口部204的左边和右边的外侧沿着左边和右边延伸的左延长部414b和右延长部414c；以及形成为将左延长部414b和右延长部414c彼此连结的上延长部414d。下掩模414以在第一状态(图9A)下下掩模部414a与开口部204重叠的区域最大的方式、以及在第二状态(图9B)下下掩模部414a与开口部204重叠的区域最小(包含0)的方式配置于阳极保持架200。例如，在图9B的第二状态下，下掩模414的下掩模部414a的上边配置成与开口部204的下边重叠的方式、或者位于开口部204的下边的外侧。在上延长部414d设置有长孔414e，将连杆416、417支承为能够旋转的销417b与长孔414e卡合。在阳极主体201的前面设置有引导部207。在本实施方式中，引导部207作为设置于阳极主体201的凹部而构成。另外，引导部207可以是将其他部件安装于阳极主体201而构成的，也可以使阳极主体201的凹部与其他部件组合。通过引导部207的侧壁而沿着上下方向对下掩模414的左延长部414b和右延长部414c进行引导。通过下掩模414的左延长部414b和右延长部414c的内侧面而对上掩模413的上下方向的移动进行引导。

如图7所示，移动部件435的一端与连杆417的上端部连结。在本实施方式中，移动部件435是沿着开口部204的上边延伸的板状部件，移动部件434与移动部件435的另一端连结。在本实施方式中，移动部件434从与移动部件435的连结部向上方延伸，然后，沿着左右方向向左侧延伸。另外，移动部件434、435的结构是一例，也可以是其他的结构。移动部件434的左侧端部被定位为能够与致动器422的输出轴抵接。致动器422能够使移动部件434在上下方向上移动。致动器422固定于镀覆槽10，例如具有马达以及将马达的旋转转换成直线运动的旋转直动转换机构(滚珠丝杠机构、滚珠滑道机构等)。致动器422也可以是螺线管、气缸等其他的驱动源。

当在图9A的上掩模413、下掩模414的位置(第一状态)，移动部件434、435通过致动器422而向下方移动时，如图9B(第二状态)所示，连杆417向下方移动，销417b在长孔414e内向左方移动并且向下方移动，使下掩模414的上延长部414d向下方移动。并且，销417b向下方的移动使连杆416绕销416b顺时针旋转，销416a在长孔413a内向右方移动并且向上方移动，使上掩模413向上方移动。其结果为，上掩模413与下掩模414(下掩模部414a)同步地沿着上下方向以分离的方式移动。即，由于上掩模413向上方移动，下掩模414向下方移动，因此开口部204的上侧端部和下侧端部的开口区域扩大。

当在图9B的上掩模413、下掩模414的位置(第二状态)，移动部件434、435通过致动器422而向上方移动时，如图9A(第一状态)所示，连杆417向上方移动，销417b在长孔414e内向右方移动并且向上方移动，使下掩模414的上延长部414d向上方移动。并且，销417b向上方的移动使连杆416绕销416b逆时针旋转，销416a在长孔413a内向左方移动并且向下方移动，使上掩模413向下方移动。其结果为，上掩模413与下掩模414(下掩模部414a)同步地沿着上下方向以接近的方式移动。即，由于上掩模413向下方移动，下掩模414向上方移动，因此开口部204的上侧端部和下侧端部的开口区域缩小。

通过使上掩模413和下掩模414同步地沿着上下方向以接近、分离的方式移动，从而根据其移动量对阳极主体201的开口部204的上侧端部和下侧端部的开口区域进行调整。

另外，在第一状态(图9A)下，示出了左掩模和右掩模接近到最小，上掩模和下掩模接近到最小的状态，在第二状态(图9B)下，示出了左掩模和右掩模扩大到最大，上掩模和下掩模扩大到最大的状态，但左掩模和右掩模的移动与上掩模和下掩模的移动能够通过独立的致动器421、422或者手动而独立调整。

根据以上说明的阳极单元12，左掩模411和右掩模412能够沿着左右方向以接近、分离的方式移动，并且上掩模413和下掩模414能够沿着上下方向以接近、分离的方式移动。其结果为，能够彼此独立地调整阳极保持架200的开口部204的左右方向的开口区域和上下方向的开口区域。

并且，由于左掩模411和右掩模412沿着左右方向同步地以接近、分离的方式移动，因此能够按照相同的量来调整开口部204的左右的各端部的开口区域。并且，能够对称地调整开口部204的左右的各端部的开口区域。同样，由于上掩模413和下掩模414沿着上下方向同步地以接近、分离的方式移动，因此能够按照相同的量来调整开口部204的上下的各端部的开口区域。能够对称地调整开口部204的上下的各端部的开口区域。

另外，也可以以上掩模413、下掩模414向相同方向移动的方式构成连杆机构。在该情况下，能够变更开口面积或者不变更开口面积地使开口部204的开口区域的中心在上下方向上位移。并且，也可以利用独立的驱动源使上掩模413、下掩模414移动。即，也可以分别独立地具有用于使上掩模413和下掩模414移动的上述的机构。

并且，若构成为使左掩模411和右掩模412向相同方向移动而进行调整(例如，独立地驱动连杆453、454)，则能够变更开口面积或者不变更开口面积地使开口部204的开口区域的中心在左右方向上位移。并且，也可以利用独立的驱动源使左掩模411和右掩模412移动。

另外，也可以不使用来自致动器的动力，而手动地使各掩模移动。

另外，第二实施方式的阳极掩模的结构也与第一实施方式中描述的结构同样地能够应用于调整板。并且，第二实施方式的阳极掩模和调整板的开口区域也与第一实施方式中描述的内容同样地能够通过控制部进行调整。

(第三实施方式)

图10A是从前面侧观察第三实施方式的阳极单元的阳极掩模的立体图。图10B是从背面侧观察第三实施方式的阳极单元的阳极掩模的立体图。图10C是第三实施方式的阳极单元的阳极掩模的侧视图。图10D是沿着图10C的A-A线的向视图。图10E是沿着图10C的B-B线的向视图。

阳极掩模500配置在上述的阳极保持架200的具有开口部204的一侧的前方。阳极掩模500具有基座501、遮蔽部件510以及遮蔽部件520。基座501、遮蔽部件510和遮蔽部件520分别构成第一至第三遮蔽部件。

基座501具有开口部502。在基座501的前面形成有引导部503，该引导部503由用于引导遮蔽部件510的移动的凹部构成。在基座501的背面形成有引导部504，该引导部504由用于引导遮蔽部件520的移动的凹部构成。另外，引导部503、504的一方或者双方也可以是凹部以外的结构。例如，可以是安装了其他部件的引导部件的结构、使凹部与其他部件的引导部件组合的结构。另外，引导部503具有用于引导遮蔽部件510向倾斜方向(左右方向与上下方向之间的方向)的移动的倾斜引导部503a～503c(图11A)。并且，遮蔽部件510在与倾斜引导部503a～503c对应的位置还具有倾斜边部515a～515c。引导部504具有用于引导遮蔽部件520向倾斜方向(左右方向与上下方向之间的方向)的移动的倾斜引导部504a～504c(图12A)。并且，遮蔽部件520在与倾斜引导部504a～504c对应的位置还具有倾斜边部525a～525c。

遮蔽部件510是框状的部件，具有开口部513。遮蔽部件510具有下掩模510a、左掩模510b、右掩模510c以及上掩模510d。在第一状态(图10A、10B、图11A、11B)下，将遮蔽部件510的开口部513设定成与基座501的开口部502相同的形状和尺寸、或者比基座501的开口部502小的尺寸，以使遮蔽部件510的开口部513规定基座501的开口部502的开口区域。遮蔽部件510还具有比上掩模510d更向上方延伸的延长部511，在延长部511设置有销512。销512与连杆541的长孔541a卡合。

遮蔽部件520是框状的部件，具有开口部523。遮蔽部件520具有下掩模520a、左掩模520b、右掩模520c以及上掩模520d。在第一状态(图10A、10B、图11A、11B)下，将遮蔽部件520的开口部523设定成与基座501的开口部502相同的形状和尺寸、或者比基座501的开口部502小的尺寸，以使遮蔽部件520的开口部523规定基座501的开口部502的开口区域。遮蔽部件520还具有比上掩模520d更向上方延伸的延长部521，在延长部521设置有销522。销522与连杆542的长孔542a卡合。

在本实施方式中，遮蔽部件520的开口部523具有与遮蔽部件510的开口部513相同的形状和尺寸。另外，在第一状态下，基座501的开口部502的开口区域由遮蔽部件520的开口部523以及遮蔽部件510的开口部513来规定，为最大。另外，在第一状态下，也可以将遮蔽部件510、520的开口部513、523形成得比基座501的开口部502大，基座501的开口部502的开口区域由开口部502的开口区域自身来规定。并且，在第一状态下，基座501的开口部502的开口区域的上边、下边、左边、右边的至少一部分也可以由遮蔽部件520的开口部523以及遮蔽部件510的开口部513的至少一方来限制。

阳极掩模500具有作为驱动源的马达530。在本实施方式中，马达530设置于基座501的前面侧。马达530的旋转轴与齿轮531和带轮533连结。如图10A、10E所示，带轮533通过带537而与带轮534、535连接。如图10A所示，带轮534构成为与连杆541的一端侧连结，向连杆541传递旋转运动。如图10A、10D所示，齿轮531与齿轮532啮合，将与齿轮531的旋转相反方向的旋转传递给齿轮532。齿轮532的轴从基座501的前面侧贯通到背面侧，如图10B所示，带轮536与该轴连结。带轮536经由带538与带轮539连结。如图10B所示，带轮539与连杆542的一端侧连结，向连杆542传递旋转运动。在该结构中，与马达530的旋转相同方向的旋转经由带轮533、534而传递给连杆541，与马达530的旋转相反方向的旋转经由齿轮532、带轮536、539而传递给连杆542。其结果为，遮蔽部件510和遮蔽部件520通过马达530的旋转而在对角线上向相反方向移动。

图11A是第一状态下的阳极掩模的前视图。图11B是第二状态下的阳极掩模的前视图。图12A是第一状态下的阳极掩模的后视图。图12B是第二状态下的阳极掩模的后视图。

当在图11A中带轮534通过马达530的旋转而逆时针旋转时，如图11B所示，连杆541逆时针旋转，遮蔽部件510经由与长孔541a卡合的销512而向斜上方移动。此时，遮蔽部件510的销512在连杆541的长孔541a内移动，并且遮蔽部件510沿着位于引导部503的对角线上的倾斜引导部而向斜上方移动。其结果为，遮蔽部件510的下掩模510a和右掩模510c将开口部502的下侧端部和右侧端部的开口区域缩小。

当在图12A中，带轮539通过马达530的旋转而逆时针旋转时，如图12B所示，连杆542逆时针旋转，遮蔽部件520经由与长孔542a卡合的销522而向斜下方移动。此时，遮蔽部件520的销522在连杆542的长孔542a内移动，并且遮蔽部件520沿着位于引导部504的对角线上的倾斜引导部向斜下方移动。其结果为，遮蔽部件520的上掩模520d和左掩模520b将开口部502的上侧端部和左侧端部的开口区域缩小。

另外，从图11B和图12B(第二状态)向图11A和图12A(第一状态)的移动是通过使马达逆旋转而以相反的动作来进行。通过马达的旋转来调整连杆541、542的旋转角，由此调整基于遮蔽部件510、520的开口部502的开口区域。

如图11B和图12B所示，遮蔽部件510向左斜上方移动，而由遮蔽部件510的下掩模510a和右掩模510c将开口部502的下侧端部和右侧端部的开口区域缩小，并且遮蔽部件520向右斜下方移动，而由遮蔽部件520的上掩模520d和左掩模520b将开口部502的上侧端部和左侧端部的开口区域缩小。由此，开口部502的开口区域在上下左右的各端部同步地缩小。换言之，遮蔽部件510、520沿着遮蔽部件510、520的对角线方向向相反方向移动，从而根据它们的移动量来调整开口部502的开口区域。

另外，在上述中，对遮蔽部件510、520沿着对角线移动的情况进行了说明，但也可以构成为向对角线以外的倾斜方向移动。并且，各遮蔽部件510、520也可以构成为沿着彼此不同的直线移动。

第三实施方式的阳极掩模的结构也与第一实施方式中描述的结构同样地能够应用于调整板。并且，第三实施方式的阳极掩模和调整板的开口区域也与第一实施方式中描述的内容同样地能够通过控制部进行调整。

(第四实施方式)

图13是第四实施方式的阳极单元的立体图。图14是第四实施方式的阳极单元的局部切口立体图。图15A是从第四实施方式的阳极单元的前面侧观察的分解立体图。图15B是从第四实施方式的阳极单元的背面侧观察的分解立体图。图16是阳极保持架的主视图。图17是左右掩模可变杆的主视图、侧视图和后视图。图18是左右掩模叶片的主视图和侧视图。图19是中间引导部件的主视图和后视图。图20是上下掩模可变杆的主视图、侧视图和后视图。图21是上下掩模叶片的主视图和侧视图。图22是前面引导部件的后视图。

本实施方式的阳极单元12具有阳极保持架200和阳极掩模600。阳极保持架200具有开口部204，使阳极电极AN从开口部204露出。另外，与第一实施方式同样，在将阳极保持架和阳极掩模分体设置的情况下，能够将上述阳极保持架200作为阳极掩模300的底板而使用。

如图15B和图16所示，阳极保持架200具有用于引导后述的左右掩模610的左右掩模可变杆611的动作的引导部208。引导部208形成为设置于阳极主体201的锪孔，该锪孔的深度比将左右掩模可变杆611和左右叶片612、613重叠的厚度稍大。在引导部208中的四角，特别地设置有叶片避让部208a～208d，该叶片避让部208a～208d用于在左右叶片612、613移动时避让左右叶片612、613。

阳极掩模600具有左右掩模610、上下掩模620、中间引导部件630以及前面引导部件640。左右掩模610配置在阳极保持架200与中间引导部件630之间，上下掩模620配置在中间引导部件630与前面引导部件640之间。中间引导部件630夹在阳极保持架200与前面引导部件640之间，对外周部分进行螺纹紧固。即，可以说是，中间引导部件630相对于阳极保持架200或者阳极掩模600固定。中间引导部件630不与左右掩模610和上下掩模620一同移动，而作为阳极掩模600的底板发挥功能。左右掩模610被收容于在阳极保持架200的前面所形成的引导部208内。上下掩模620像后述那样被收容在前面引导部件640的引导部641内。

如图22所示，前面引导部件640具有比开口部204大的开口部640a。前面引导部件640具有用于引导后述的上下掩模620的上下掩模可变杆621的动作的引导部641(图15B、图22)。引导部641形成为设置于前面引导部件640的背面的锪孔，该锪孔深度比将上下掩模可变杆621和上下叶片622、623重叠的厚度稍大。在引导部641中的四角特别地设置有叶片避让部641a～641d，该叶片避让部641a～641d用于在上下叶片622、623移动时避让上下叶片622、623。

如图15B所示，左右掩模610具有左右掩模可变杆611和左右叶片(掩模)612、613。如图17所示，左右掩模可变杆611呈从大致圆形的轮廓的框状部件在下部和左右部的外周部分设置了直线部分的形状。左右掩模可变杆611具有大致矩形的开口部611a。开口部611a配置为比开口部204大，包围开口部204的外侧。在左右掩模可变杆611的开口部611a的大致对角线上的两个部位设置有卡合孔614、615。后述的左右叶片612、613的卡合销616与这些卡合孔614、615卡合，左右叶片612、613与左右掩模可变杆611卡合。

在左右掩模可变杆611的上端部设置有卡合销613a(图15A)。如图13、图14所示，卡合销613a在贯穿了上下掩模可变杆621的引导槽627的状态下，与固定于杆654的卡合钩661卡合。杆654由固定于阳极保持架200的引导部件659、660引导为能够往复移动。杆654经由接头657而与杆653连接，杆653与致动器651连接。致动器651是能够使杆653、654在左右方向上往复移动的装置。致动器651固定于镀覆槽10，例如具有马达以及将马达的旋转转换成直进运动的旋转直动转换机构(滚珠丝杠机构、滚珠滑道机构等)。致动器651也可以是螺线管、气缸等其他的结构。当致动器651经由杆653、654、卡合钩661而使卡合销613a向左方移动时，从前面侧观察，左右掩模可变杆611顺时针旋转。当致动器651经由杆653、654、卡合钩661而使卡合销613a向右方移动时，从前面侧观察，左右掩模可变杆611逆时针旋转。

左右叶片612、613具有相同的结构，如图18所示，在第一面具有卡合销616，在第二面具有引导销671、672。左右叶片612的卡合销616与左右掩模可变杆611的卡合孔614卡合，左右叶片612与左右掩模可变杆611卡合(图15B)。左右叶片612的引导销671、672与中间引导部件630的引导槽675、676分别卡合(图15B)。由此，在左右掩模可变杆611旋转时，左右叶片612维持着与开口部204的右边平行的状态，被引导为沿着引导槽675、676向倾斜方向移动。其结果为，左右叶片612维持着与开口部204的左边平行的状态，在左右方向上移动，以使开口部204的左侧端部的开口区域变化。

同样，左右叶片613的卡合销616与左右掩模可变杆611的卡合孔615卡合，左右叶片613与左右掩模可变杆611卡合(图15B)。左右叶片613的引导销671、672与中间引导部件630的引导槽677、678分别卡合(图15B)。由此，左右叶片613维持着与开口部204的右边平行的状态，被引导为沿着引导槽677、678向倾斜方向移动。其结果为，左右叶片613维持着与开口部204的右边平行的状态，在大致左右方向上移动，以使开口部204的右边侧端部的开口区域变化。

上下掩模620具有与左右掩模610大致相同的结构。上下掩模620具有上下掩模可变杆621和上下叶片(掩模)622、623。如图20所示，上下掩模可变杆621呈从大致圆形的轮廓的框状部件在下部和左右部的外周部分设置了直线部分的形状。上下掩模可变杆621具有大致矩形的开口部621a。开口部621a配置为比开口部204大，包围开口部204的外侧。在上下掩模可变杆621的开口部621a的大致对角线上的两个部位设置有卡合孔624、625。后述的上下叶片622、623的卡合销626与这些卡合孔624、625卡合，上下叶片622、623与上下掩模可变杆621卡合。

在上下掩模可变杆621的上端部设置有卡合销623a(图15A、图20)。如图13、图14所示，卡合销623a与固定于杆656的卡合钩662卡合。杆656由固定于阳极保持架200的引导部件659、660引导为能够往复移动。杆656经由接头658而与杆655连接，杆655与致动器652连接。致动器652是能够使杆655、656在左右方向上往复移动的装置。致动器652例如具有马达以及将马达的旋转转换成直进运动的旋转直动转换机构(滚珠丝杠机构、滚珠滑道机构等)。致动器652也可以是螺线管、气缸等其他的结构。当致动器652经由杆655、656、卡合钩662而使卡合销623a向左方移动时，从前面侧观察，上下掩模可变杆621顺时针旋转。当致动器652经由杆655、656、卡合钩662而使卡合销623向右方移动时，从前面侧观察，上下掩模可变杆621逆时针旋转。

上下叶片622、623具有相同的结构，如图21所示，在第一面具有卡合销626，在第二面具有引导销681、682。上下叶片622的卡合销626与上下掩模可变杆621的卡合孔625卡合，上下叶片622与上下掩模可变杆621卡合(图15B、图20)。上下叶片622的引导销681、682与中间引导部件630的引导槽687、688分别卡合(图15B、图19)。由此，在上下掩模可变杆621旋转时，上下叶片622维持着与开口部204的下边平行的状态，被引导为沿着引导槽687、688向倾斜方向移动。其结果为，上下叶片622维持着与开口部204的下边平行的状态，在上下方向上移动，以使开口部204的下侧端部的开口区域变化。

同样，上下叶片623的卡合销626与上下掩模可变杆621的卡合孔624卡合，上下叶片623与上下掩模可变杆621卡合(图15B、图20)。上下叶片623的引导销681、682与中间引导部件630的引导槽685、686分别卡合(图15B、图19)。由此，上下叶片623维持着与开口部204的上边平行的状态，被引导为沿着引导槽685、686向倾斜方向移动。其结果为，上下叶片623维持着与开口部204的上边平行的状态，在上下方向上移动，以使开口部204的上侧端部的开口区域变化。

图23A是第一状态下的左右掩模的主视图。图23B是第二状态下的左右掩模的主视图。在第一状态(图23A)下，左右叶片612、613处于扩大到最大的状态，左右叶片612和613的内侧边分别与阳极保持架200的开口部204的左边和右边一致。另外，左右叶片612和613的内侧边也可以处于阳极保持架200的开口部204的左边和右边的外侧。并且，也可以构成为，在第一状态下，左右叶片612、613的一部分与开口部204重叠。在第二状态(图23B)下，左右叶片612、613处于缩小到最小的状态，左右叶片612、613的内侧边处于按照最大量位移到阳极保持架200的开口部204的左边和右边的内侧的状态。

当在第一状态(图23A)下，从正面观察，左右叶片可变杆611根据来自致动器651的动力而顺时针旋转时，左右叶片612、613的销616也顺时针旋转，但通过中间引导部件630的引导槽675、676(677、678)来引导左右叶片612、613的引导销671、672，由此左右叶片612、613保持与开口部204的左边和右边平行的状态，并且以彼此接近的方式移动(参照图23B)。关于从第二状态(图23B)向第一状态(图23A)的位移，从正面观察，左右叶片可变杆611根据来自致动器651的动力而逆时针旋转，由此，通过与上述相反的动作而使左右叶片612、613保持与开口部204的左边和右边平行的状态并且以彼此分离的方式移动。通过调整基于致动器651的左右掩模可变杆611的旋转角，能够调整基于左右叶片612、613的开口部204的左侧端部和右侧端部的开口区域。

图24A是第一状态下的上下掩模的主视图。图24B是第二状态下的上下掩模的主视图。在第一状态(图24A)下，上下叶片622和623处于扩大到最大的状态，上下叶片622和623的内侧边分别与阳极保持架200的开口部204的上边和下边一致。另外，上下叶片622和623的内侧边也可以处于阳极保持架200的开口部204的上边和下边的外侧。并且，在第一状态下，也可以构成为上下叶片622、623的一部分与开口部204重叠。在第二状态(图24B)下，上下叶片622、623处于缩小到最小的状态，上下叶片622、623的内侧边处于按照最大量位移到阳极保持架200的开口部204的上边和下边的内侧的状态。

当在第一状态(图24A)下，从正面观察，上下叶片可变杆621根据来自致动器652的动力而顺时针旋转时，上下叶片622、623的销626也顺时针旋转，但通过中间引导部件630的引导槽687、688(685、686)来引导上下叶片622、623的引导销681、682，由此上下叶片622、623保持与开口部204的上边和下边平行的状态并且以彼此接近的方式移动(参照图24B)。关于从第二状态(图24B)向第一状态(图24A)的位移，从正面观察，上下叶片可变杆621根据来自致动器652的动力而逆时针旋转，由此，通过与上述相反的动作而使上下叶片622、623保持与开口部204的上边和下边平行的状态并且以彼此分离的方式移动。通过调整基于致动器652的上下掩模可变杆621的旋转角，能够调整基于上下叶片622、623的开口部204的上侧端部和下侧端部的开口区域。

图25是第四实施方式的阳极保持架的变形例。如图25所示，也可以在左右掩模610与阳极保持架200之间以及上下掩模620与前面引导部件640之间的至少一方设置滑动部件670。由此，能够使左右掩模610和/或上下掩模620的旋转运动变得圆滑。

另外，在上述中，在阳极保持架200与中间引导部件630之间配置左右掩模610，在中间引导部件630与前面引导部件640之间配置上下掩模620，但也可以与之相反，在阳极保持架200与中间引导部件630之间配置上下掩模620，在中间引导部件630与前面引导部件640之间配置左右掩模610。

另外，在上述中，为了引导左右叶片612、613，而在中间引导部件630设置引导槽，以与形成于左右叶片的引导销卡合，但也可以在中间引导部件630设置引导销，而在左右叶片612、613设置引导槽。但总之，优选引导销与引导槽中的任意一方相对于阳极掩模600固定。换言之，优选引导销与引导槽中的任意一方固定于阳极掩模600中的不移动的结构(作为阳极掩模的底板发挥功能的部件：例如中间引导部件、前面引导部件、阳极保持架)。并且，在上述中，为了使左右叶片612、613移动，而在左右叶片可变杆611设置卡合孔，以与左右叶片612、613的卡合销卡合，但也可以在左右叶片可变杆611设置引导槽而与左右叶片612、613的卡合销卡合，使左右叶片612相对于左右叶片可变杆611一边旋转一边滑动。

此外，在上述中，为了使左右叶片移动而在与左右叶片可变杆611之间设置一个卡合部位，为了引导左右叶片而在与中间引导部件630之间设置两个卡合部位，但卡合部位的数量不限于上述。例如，也可以为了使左右叶片移动而在与左右叶片可变杆611之间设置两个卡合部位，为了引导左右叶片而在与中间引导部件630之间设置一个卡合部位。

第四实施方式的阳极掩模的结构也与第一实施方式中描述的结构同样，能够应用于调整板。并且，第四实施方式的阳极掩模和调整板的开口区域也与第一实施方式中描述的内容同样，能够通过控制部进行调整。

根据上述，阳极掩模一体地安装于阳极保持架200，用于调整阳极电极AN的露出区域(开口区域)，阳极掩模能够彼此独立地调整阳极掩模的开口部的左右方向的开口区域和上下方向的开口区域。并且，配置在基板保持架11与阳极单元12之间的调整板12’也具有与阳极掩模相同的机构，能够彼此独立地调整调整板12’的开口部的左右方向的开口区域和上下方向的开口区域。将阳极掩模和调整板12’总称为“电场遮蔽体”。电场遮蔽体在像阳极掩模那样配置在阳极电极的附近的情况下对于基板整体的镀覆膜厚的调整来说是有效的，在像调整板12’那样配置在比较接近基板保持架的位置的情况下对于调整基板的外周部的镀覆膜厚来说是有效的。

将阳极电极AN、或者用于保持阳极电极AN的阳极保持架总称为“阳极”。阳极配置在与基板保持架对置的位置。

根据上述实施方式，能够至少掌握以下的方式。

根据第一方式，提供镀覆装置，该镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置；以及至少一个电场遮蔽体，该电场遮蔽体用于遮蔽从所述阳极朝向所述基板的电场的一部分，所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场通过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。这里，阳极具有阳极电极。并且，存在如下情况：阳极具有阳极电极、以及保持阳极电极的阳极保持架。电场遮蔽体能够包含阳极掩模、调整板中的至少一个。

根据第一方式，能够在第一方向和第二方向(例如，左右方向、上下方向)上独立地调整电场遮蔽体的开口区域。由此，能够在第一方向和第二方向(例如，左右方向、上下方向)上独立地调整基板与阳极之间的电场，能够根据镀覆图案的配置、对阳极的供电方法而更精密地控制电场，能够提高镀覆膜厚的均匀性。

根据第二方式，在第一方式的镀覆装置中，所述电场遮蔽体具有一个或者多个第一遮蔽部件以及一个或者多个第二遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部中的至少一方侧，所述第二遮蔽部件配置在所述开口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部中的至少一方侧。

根据第二方式，能够在开口部的第一方向上的第一端部和第二端部中的至少一方侧调整开口区域，并且能够在开口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部中的至少一方侧调整开口区域。

根据第三方式，在第二方式的镀覆装置中，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧，各端部处的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移动。

根据第三方式，由于在开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部侧的双方侧沿相反方向调整开口尺寸，因此容易保持对称性地调整开口区域。

根据第四方式，在第二方式的镀覆装置中，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧，各端部处的所述第一遮蔽部件按照相同的量进行移动。

根据第四方式，由于在开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧按照相同的量来调整开口尺寸，因此容易保持对称性地调整开口区域。

根据第五方式，在第二方式的镀覆装置中，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧，各端部处的所述第一遮蔽部件通过彼此独立的驱动源而移动。

根据第五方式，能够在开口部的第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧单独地调整开口区域。在该情况下，能够以调整开口部的开口区域的中心位置的方式调整开口部的第一方向上的开口区域。另外，也可以控制各驱动源以使各端部处的第一遮蔽部件同步地移动。

根据第六方式，在第二至第五方式中的任意的镀覆装置中，所述一个或者多个第一遮蔽部件和所述一个或者多个第二遮蔽部件中的至少一个遮蔽部件通过进给丝杠机构而移动。

根据第六方式，能够通过进给丝杠机构而简单地构成遮蔽部件的驱动机构。并且，能够使多个遮蔽部件精度良好地同步移动。

根据第七方式，在第二至第五方式中的任意的镀覆装置中，所述一个或者多个第一遮蔽部件和所述一个或者多个第二遮蔽部件中的至少一个遮蔽部件通过齿条齿轮机构而移动。

根据第七方式，能够通过齿条齿轮机构而简单地构成遮蔽部件的驱动机构。并且，能够使多个遮蔽部件精度良好地同步移动。

根据第八方式，在第二方式的镀覆装置中，所述电场遮蔽体具有配置在所述开口部的所述第一方向上的所述第一端部侧的所述第一遮蔽部件，相对于所述第一遮蔽部件以能够旋转的方式连接的第一连杆部件与所述第一遮蔽部件一同形成第一连杆机构，所述第一连杆部件的旋转被转换成所述第一遮蔽部件的移动。

根据第八方式，由于将第一连杆部件的旋转运动转换成第一遮蔽部件的移动，因此能够以节省空间且简单的结构构成第一遮蔽部件的驱动机构。

根据第九方式，在第八方式的镀覆装置中，所述电场遮蔽体还具有基座，所述第一遮蔽部件的一端以能够旋转的方式与所述第一连杆部件连接，所述第一遮蔽部件的另一端以能够旋转的方式与第二连杆部件连接，该第二连杆部件以能够旋转的方式与所述基座连接，所述第二连杆部件与所述第一遮蔽部件一同形成第二连杆机构，所述第一遮蔽部件通过所述第一连杆部件和所述第二连杆部件的旋转而平移移动。

根据第九方式，能够通过与第一遮蔽部件的两端连接的第一连杆部件和第二连杆部件的旋转，以节省空间且简单的结构实现第一遮蔽部件的平移运动。

根据第十方式，在第二方式的镀覆装置中，所述电场遮蔽体还具有基座，在配置于所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧的所述第一遮蔽部件分别形成有长孔，形成于第三连杆部件的两个销插入于各第一遮蔽部件的所述长孔中，该第三连杆部件相对于所述基座以能够旋转的方式连接，通过所述第三连杆部件的旋转，使配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部侧的所述第一遮蔽部件与配置在所述开口部的所述第一方向上的第二端部侧的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移动。

根据第十方式，能够使两端部的第一遮蔽部件同步地移动。并且，如果在一端侧的第一遮蔽部件形成向另一端侧延伸的延长部，而在另一端侧使各第一遮蔽部件与第三连杆卡合，则能够使驱动机构汇集在另一端侧，能够实现节省空间化。例如，能够将上端部和下端部处的第一遮蔽部件的驱动机构汇集在镀覆液面的上方。

根据第十一方式，在第二方式的镀覆装置中，所述电场遮蔽体具有：基座；所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的所述第一端部侧；引导槽，该引导槽相对于所述基座固定；以及引导销，该引导销相对于所述第一遮蔽部件固定，通过使所述引导销沿着所述引导槽移动而引导所述第一遮蔽部件。相对于所述基座固定的引导槽可以是在基座、或者固定于基座的部件上设置的引导槽。

根据第十一方式，由于采用使第一遮蔽部件与卡合部卡合而进行引导的结构，该卡合部相对于基座固定，因此能够提高第一遮蔽部件的移动方向的精度，能够精度良好地控制第一遮蔽部件的移动量。

根据第十二方式，在第二方式的镀覆装置中，所述电场遮蔽体具有：基座；所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的所述第一端部侧；引导销，该引导销相对于所述基座固定；以及引导槽，该引导槽相对于所述第一遮蔽部件固定，通过使所述引导销沿着所述引导槽移动而引导所述第一遮蔽部件。相对于所述第一遮蔽部件固定的引导槽可以是在第一遮蔽部件、或者固定于第一遮蔽部件的部件上设置的引导槽。

根据第十二方式，由于采用使第一遮蔽部件与卡合部卡合而进行引导的结构，该卡合部相对于基座固定，因此能够提高第一遮蔽部件的移动方向的精度，能够精度良好地控制第一遮蔽部件的移动量。

根据第十三方式，提供镀覆装置，该镀覆装置具有：镀覆槽；基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置；以及至少一个电场遮蔽体，该至少一个电场遮蔽体用于遮蔽从所述阳极朝向所述基板的电场的一部分，所述电场遮蔽体具有三个以上的遮蔽部件，该三个以上的遮蔽部件各自具有用于使来自所述阳极的电场通过的开口部，至少两个所述遮蔽部件构成为能够相对于至少一个所述遮蔽部件移动，以对各开口部重叠形成的开口区域进行调整。

根据第十三方式，通过具有开口部的至少两个遮蔽部件的移动来调整电场遮蔽部件的开口区域，因此能够以简单的结构进行开口区域的调整。

根据第十四方式，在第十三方式的镀覆装置中，所述电场遮蔽体具有：第一遮蔽部件，该第一遮蔽部件具有第一开口部，该第一开口部具有第一方向上的尺寸和第二方向上的尺寸；第二遮蔽部件，该第二遮蔽部件具有第二开口部；以及第三遮蔽部件，该第三遮蔽部件具有第三开口部，所述第二遮蔽部件能够沿着所述第一方向与所述第二方向之间的第三方向相对于所述第一遮蔽部件移动，以调整所述第一开口部与所述第二开口部重叠的区域，所述第三遮蔽部件能够沿着所述第一方向与所述第二方向之间的第四方向相对于所述第一遮蔽部件移动，以调整所述第一开口部与所述第三开口部重叠的区域。

根据第十四方式，通过使各遮蔽部件在第一方向和第二方向之间的方向上移动，能够通过各遮蔽部件来同时调整第一方向和第二方向上的开口区域。并且，能够以各遮蔽部件的较小的移动量而得到开口区域的较大的调整量。

根据第十五方式，在第一至第十四方式中的任意的镀覆装置中，所述阳极包含用于保持阳极电极的阳极保持架，且具有一体地设置于所述阳极保持架的所述电场遮蔽体。

在一体地设置于阳极保持架的电场遮蔽体的情况下，由于能够将电场遮蔽体配置为接近阳极电极且远离基板，因此有利于控制基板的镀覆面整体的膜厚。并且，由于使阳极保持架与电场遮蔽体一体化，因此能够实现节省空间化。

根据第十六方式，在第一至第十五方式中的任意的镀覆装置中，所述阳极包含用于保持阳极电极的阳极保持架，且具有与所述阳极保持架分体设置的所述电场遮蔽体。

在与阳极保持架分体设置的电场遮蔽体的情况下，能够将电场遮蔽体配置为接近基板，有利于基板的外周部的膜厚的控制。并且，若设置了配置为接近基板的电场遮蔽体以及配置为接近阳极电极且远离基板的电场遮蔽体，则能够进一步提高基板的膜厚的控制。并且，能够单独地维护阳极和电场遮蔽体。

根据第十七方式，在第一至第十六方式中的任意镀覆装置中，所述第一遮蔽部件和/或所述第二遮蔽部件通过来自马达、螺线管或者气缸的动力而被驱动。

根据第十七方式，能够通过来自马达、螺线管或者气缸的动力而精度良好地进行遮蔽部件的移动的控制。

根据第十八方式，在第一至第十七方式中的任意的镀覆装置中，所述开口部是矩形。

根据该方式，能够根据矩形的基板的各种纵横比而更精密地控制电场，能够提高镀覆膜厚的均匀性。并且，能够根据镀覆图案的配置、对阳极的供电方法而更精密地控制电场，能够提高镀覆膜厚的均匀性。

根据第十九方式，在第一至第十八方式中的任意的镀覆装置中，所述阳极包含用于保持阳极电极的阳极保持架，所述至少一个电场遮蔽体具有：第一电场遮蔽体、以及相比于所述第一电场遮蔽体配置在所述基板侧的第二电场遮蔽体，所述第一电场遮蔽体与所述阳极保持架一体设置，所述第二电场遮蔽体与所述阳极保持架分体设置，且所述第二电场遮蔽体配置在所述基板保持架与所述阳极保持架的中间。

根据该方式，在配置为接近基板的第二电场遮蔽体和配置为远离基板且接近阳极的第一电场遮蔽体中，通过独立地控制各个开口区域的多个方向上的开口尺寸、和/或精度良好地控制电场遮蔽体的多个方向上的开口尺寸，能够更精细地控制镀覆膜厚的分布。

根据第二十方式，在第十九方式的镀覆装置中，所述基板保持架所保持的所述基板的面积比所述第二电场遮蔽体的开口面积大，并且所述第二电场遮蔽体的所述第二开口部的开口面积比所述第一电场遮蔽体的开口面积大。

根据第二十方式，能够良好地调整阳极与基板之间的电场，能够提高镀覆膜厚的均匀性。

根据第二十一方式，在第一至第二十方式中的任意的镀覆装置中，该镀覆装置还具有控制部，所述控制部控制所述至少一个电场遮蔽体，以使所述至少一个电场遮蔽体的所述开口部的面积在镀覆中发生变化。

根据第二十一方式，能够根据镀覆处理中的终端效应的强度的变化来调整基板上的电场。例如，由于在镀覆初期，终端效应强力地作用，因此减小至少一个电场遮蔽体的开口区域而防止基板的外周部的镀覆膜厚变厚，由于在镀覆推进而镀覆膜厚整体上变厚的阶段，终端效应缓和，因此扩大至少一个电场遮蔽体开口区域而能够进一步提高镀覆膜厚的均匀性。

以上，根据几个例子对本发明的实施方式进行了说明，但上述的发明的实施方式是为了容易理解本发明而进行的说明，并没有限定本发明。本发明在没有脱离其主旨的情况下能够进行变更、改良，并且在本发明中当然包含其均等物。例如，大型基板的形状不限于矩形，可以是正方形，也可以是除此以外的多边形形状、例如五边形或六边形。并且，当然本发明也能够应用于对圆形形状的基板进行处理的镀覆装置。并且，在能够解决上述课题的至少一部分的范围内、或者在实现效果的至少一部分的范围内，能够使要保护的范围和说明书中记载的各结构要素进行任意的组合、或者省略。

本申请基于在2017年9月22日提出的日本申请号2017-182570来主张优先权。通过参照将包含在2017年9月22日提出的日本申请号2017-182570的说明书、权利要求、摘要在内的所有的公开内容作为整体编入本申请。

通过参照将包含了日本特开2016-98399号公报(专利文献1)、日本特开平6-17297号公报(专利文献2)的说明书、权利要求、摘要在内的公开内容作为整体编入本申请。

Claims (21)

1.一种镀覆装置，其特征在于，具有：

镀覆槽；

基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；

阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置；以及

至少一个电场遮蔽体，该电场遮蔽体用于遮蔽从所述阳极朝向所述基板的电场的一部分，

所述电场遮蔽体具有使所述基板与所述阳极之间的电场通过的开口部，并且，所述电场遮蔽体构成为能够独立地调整所述开口部的第一方向上的开口尺寸以及第二方向上的开口尺寸。

2.根据权利要求1所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体具有一个或者多个第一遮蔽部件以及一个或者多个第二遮蔽部件，

所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部中的至少一方侧，

所述第二遮蔽部件配置在所述开口部的所述第二方向上的第三端部和第四端部中的至少一方侧。

3.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧，各端部处的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移动。

4.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧，各端部处的所述第一遮蔽部件按照相同的量进行移动。

5.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧，各端部处的所述第一遮蔽部件通过彼此独立的驱动源而移动。

6.根据权利要求2至5中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

所述一个或者多个第一遮蔽部件和所述一个或者多个第二遮蔽部件中的至少一个遮蔽部件通过进给丝杠机构而移动。

7.根据权利要求2至5中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

所述一个或者多个第一遮蔽部件和所述一个或者多个第二遮蔽部件中的至少一个遮蔽部件通过齿条齿轮机构而移动。

8.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体具有配置在所述开口部的所述第一方向上的所述第一端部侧的所述第一遮蔽部件，

相对于所述第一遮蔽部件以能够旋转的方式连接的第一连杆部件与所述第一遮蔽部件一同形成第一连杆机构，所述第一连杆部件的旋转被转换成所述第一遮蔽部件的移动。

9.根据权利要求8所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体还具有基座，

所述第一遮蔽部件的一端以能够旋转的方式与所述第一连杆部件连接，

所述第一遮蔽部件的另一端以能够旋转的方式与第二连杆部件连接，该第二连杆部件以能够旋转的方式与所述基座连接，所述第二连杆部件与所述第一遮蔽部件一同形成第二连杆机构，

所述第一遮蔽部件通过所述第一连杆部件和所述第二连杆部件的旋转而平移移动。

10.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体还具有基座，

在配置于所述开口部的所述第一方向上的第一端部和第二端部的双方侧的所述第一遮蔽部件分别形成有长孔，

形成于第三连杆部件的两个销插入于各第一遮蔽部件的所述长孔中，该第三连杆部件相对于所述基座以能够旋转的方式连接，

通过所述第三连杆部件的旋转，使配置在所述开口部的所述第一方向上的第一端部侧的所述第一遮蔽部件与配置在所述开口部的所述第一方向上的第二端部侧的所述第一遮蔽部件彼此向相反方向移动。

11.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体具有：

基座；

所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的所述第一端部侧；

引导槽，该引导槽相对于所述基座固定；以及

引导销，该引导销相对于所述第一遮蔽部件固定，

通过使所述引导销沿着所述引导槽移动而引导所述第一遮蔽部件。

12.根据权利要求2所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体具有：

基座；

所述第一遮蔽部件，所述第一遮蔽部件配置在所述开口部的所述第一方向上的所述第一端部侧；

引导销，该引导销相对于所述基座固定；以及

引导槽，该引导槽相对于所述第一遮蔽部件固定，

通过使所述引导销沿着所述引导槽移动而引导所述第一遮蔽部件。

13.一种镀覆装置，其特征在于，具有：

镀覆槽；

基板保持架，该基板保持架配置于所述镀覆槽，用于保持基板；

阳极，该阳极与所述基板保持架对置配置；以及

所述基板保持架与所述阳极之间的至少一个电场遮蔽体，

所述电场遮蔽体具有三个以上的遮蔽部件，该三个以上的遮蔽部件各自具有用于使来自所述阳极的电场通过的开口部，

至少两个所述遮蔽部件构成为能够相对于至少一个所述遮蔽部件移动，以对各开口部重叠形成的开口区域进行调整。

14.根据权利要求13所述的镀覆装置，其特征在于，

所述电场遮蔽体具有：

第一遮蔽部件，该第一遮蔽部件具有第一开口部，该第一开口部具有第一方向上的尺寸和第二方向上的尺寸；

第二遮蔽部件，该第二遮蔽部件具有第二开口部；以及

第三遮蔽部件，该第三遮蔽部件具有第三开口部，

所述第二遮蔽部件能够沿着所述第一方向与所述第二方向之间的第三方向相对于所述第一遮蔽部件移动，以调整所述第一开口部与所述第二开口部重叠的区域，

所述第三遮蔽部件能够沿着所述第一方向与所述第二方向之间的第四方向相对于所述第一遮蔽部件移动，以调整所述第一开口部与所述第三开口部重叠的区域。

15.根据权利要求1至5、8至14中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

所述阳极包含用于保持阳极电极的阳极保持架，且具有一体地设置于所述阳极保持架的所述电场遮蔽体。

16.根据权利要求1至5、8至14中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

所述阳极包含用于保持阳极电极的阳极保持架，且具有与所述阳极保持架分体设置的所述电场遮蔽体。

17.根据权利要求1至5、8至14中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

所述第一遮蔽部件和/或所述第二遮蔽部件通过来自马达、螺线管或者气缸的动力而被驱动。

18.根据权利要求1至5、8至14中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

所述开口部是矩形。

19.根据权利要求1至5、8至14中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

所述阳极包含用于保持阳极电极的阳极保持架，

所述至少一个电场遮蔽体具有第一电场遮蔽体、以及相比于所述第一电场遮蔽体配置在所述基板侧的第二电场遮蔽体，

所述第一电场遮蔽体与所述阳极保持架一体设置，所述第二电场遮蔽体与所述阳极保持架分体设置，且所述第二电场遮蔽体配置在所述基板保持架与所述阳极保持架的中间。

20.根据权利要求19所述的镀覆装置，其特征在于，

所述基板保持架所保持的所述基板的面积比所述第二电场遮蔽体的开口面积大，并且所述第二电场遮蔽体的所述第二开口部的开口面积比所述第一电场遮蔽体的开口面积大。

21.根据权利要求1至5、8至14中的任意一项所述的镀覆装置，其特征在于，

还具有控制部，所述控制部控制所述至少一个电场遮蔽体，以使所述至少一个电场遮蔽体的所述开口部的面积在镀覆中发生变化。