TW201732205A - 定溫水供給裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題是防止驅動部的損壞，並且大幅地縮減冷卻水的更換作業及停機時間。解決手段是定溫水供給裝置，其具備貯留加工用的水的第1貯留槽、將第1貯留槽的水供給至加工裝置的第1流路、調整第1流路內的水溫的水溫調整機構、貯留驅動部冷卻用的水的第2貯留槽、將第2貯留槽的水供給到驅動部的第2流路、使驅動部冷卻後的水從驅動部返回到第2貯留槽的循環流路、將已藉由水溫調整機構調整溫度的水從第1流路供給到第2貯留槽的定溫水供給流路、將第2貯留槽內的水排出到外部的排水流路，並且做成從第1流路供水到第2貯留槽，並且從第2貯留槽進行排水來對第2貯留槽的水進行更換之構成。

Description

定溫水供給裝置
發明領域 本發明是有關於一種將來自水供給源的水調整成定溫並供給到加工裝置的定溫水供給裝置。
發明背景 一般在研磨裝置或切削裝置等的加工裝置中，會將加工水或主軸的冷卻水等的水溫管理在一定的溫度。藉由一定溫度的加工水或冷卻水之供給，來防止像是因機械零件的熱膨脹及熱收縮所造成的加工精度的惡化、或主軸的擦傷等因零件彼此的接觸而損傷裝置本體之情形。以往，已知有將供給至加工裝置的水保持於一定溫度的定溫水供給裝置(參照例如專利文獻1)。定溫水供給裝置是在從貯留槽至到達加工裝置的流路的中途設置溫度調整器，並將已藉由溫度調整器調整成一定溫度的水供給到加工裝置。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本專利特開2007-127343號公報
發明概要 發明欲解決之課題 然而，由於主軸等的驅動部的冷卻水並不需要像供給到工件等的加工水那種程度的純度或溫度調整，所以有時會使其在加工裝置與定溫水供給裝置之間循環而使用。在這種情況下，若在不更換加工水的情形下經過長時間而持續使用冷卻水的話，不純物會被濃縮而作為污垢堆積於配管等中，而將此污垢與冷卻水一起供給至驅動部，因此恐有導致驅動部之損壞的疑慮。又，因為於驅動部的冷卻水的更換時，必須停止加工裝置的運轉，因而有產生停機時間的問題。
本發明是有鑑於所述問題點而作成之發明，其目的在於提供一種能夠防止驅動部之損壞，並且大幅縮減冷卻水的更換作業及停機時間的定溫水供給裝置。 用以解決課題之手段
本發明之定溫水供給裝置，為將來自水供給源的水調整成定溫並供給至加工裝置，該定溫水供給裝置的特徵在於具備： 第1貯留槽，貯留從水供給源所供給的加工用的水； 第1送出幫浦，將水從該第1貯留槽往加工裝置送出； 水溫調整機構，配設於從該第1貯留槽至到達該加工裝置的第1流路上的比該第1送出幫浦更下游處，並將水的溫度調整成預定溫度； 第2貯留槽，貯留該加工裝置的驅動部冷卻用的水； 第2送出幫浦，將水從該第2貯留槽往該加工裝置送出； 循環流路，使該加工裝置內的驅動部冷卻後的水往該第2貯留槽返回而使其循環； 定溫水供給流路，在該第1流路上的該水溫調整機構的下游處從該第1流路分歧並連通到第2貯留槽而形成，以將已調整成該預定溫度的水供給到該第2貯留槽； 第1電磁閥，配設於從該第1流路往該定溫水供給流路的分歧部位； 排水流路，在從該第2貯留槽至到達該加工裝置的第2流路上的比該第2送出幫浦更下游處從第2流路分歧而形成，以將該第2貯留槽的水往外部排出； 第2電磁閥，配設於從該第2流路往該排水流路的分歧部位；及 控制機構，至少控制該第1電磁閥及該第2電磁閥的開關， 該控制機構具備管理從該第2貯留槽排水的時序之時序管理部、與控制該第1電磁閥及該第2電磁閥的開關之電磁閥控制部， 並以預定的時序，將該第2電磁閥設為開啟而將預定量的該第2貯留槽內的水排出，並且將該第1電磁閥設為開啟而將預定量的該第1流路內的該水供給到該第2貯留槽，以免使侵入到進行循環的驅動部冷卻水內的不純物濃度上升。
根據此構成，可將第1貯留槽內的加工用的水在第1流路的中途藉由水溫調整機構調整成預定溫度，且將溫度調整後的加工用的水的一部分通過定溫水供給流路供給到第2貯留槽。另一方面，將第2貯留槽內的驅動部冷卻用的水通過第2流路供給至加工裝置的驅動部，且通過循環流路返回到第2貯留槽，並且將驅動部冷卻用的水的一部分通過排水流路而排出。亦即，由於一方面可將第2貯留槽內的驅動部冷卻用的水排出，另一方面可從第1貯留槽將加工用的水供給至第2貯留槽，所以可自動地替換第2貯留槽內的水。由於一邊替換水一邊在第2貯留槽與加工裝置的驅動部之間循環驅動部冷卻用的水，所以不會有不純物濃度上升之情形，且不會有因不純物堆積而成的污垢之供給而導致驅動部損壞的情形。又，由於可在將裝置持續地運轉的狀態下，自動地替換第2貯留槽內的水，所以變得不需要進行驅動部冷卻用的水的更換作業，並且可以大幅地減少停機時間。此外，由於對第2貯留槽會供給與排水量大致同量之溫度調整後的加工用的水，所以可以使驅動部冷卻用的水的溫度變動較小，進而防止因溫度變動所形成的機械故障。又，由於可以藉由單一的水溫調整機構來調整2個系統的水，所以可以減少零件數量而縮減成本。
又，在本發明的定溫水供給裝置中具備冷卻機構，該冷卻機構是配設在比從該第2貯留槽至到達該加工裝置的第2流路上的該第2送出幫浦更下游處，以將水冷卻到預定溫度。 發明效果
根據本發明，由於一方面可將第2貯留槽內的驅動部冷卻用的水排出，另一方面可從第1貯留槽將加工用的定溫水供給至第2貯留槽，所以可自動地替換第2貯留槽內的水。據此，可以防止驅動部的損壞，並且大幅地縮減冷卻水的更換作業及停機時間。
用以實施發明之形態 以下，參照附加圖式，說明本實施形態的定溫水供給裝置。圖1是本實施形態之定溫水供給裝置的示意圖。再者，在以下的說明中，雖然例示的是於切削裝置或磨削裝置等的加工裝置中設置定溫水供給裝置的構成，但並不限定為此構成。定溫水供給裝置也可以設置於具備有主軸等的驅動部的其他的加工裝置上。
如圖1所示，定溫水供給裝置1是將來自水供給源2的水調整成定溫並供給到加工裝置3的裝置，並且具備有供給加工用的水的第1系統10、與供給驅動部冷卻用的水的第2系統20。第1系統10是將加工用的水供給到加工裝置3的噴嘴(未圖示)等以將加工部位冷卻及洗淨。供給後的加工用的水是透過加工裝置3的水箱(未圖示)等而被排出。由於加工用的水也會噴附到加工對象的工件等之上，所以會調整成一定溫度以免對加工精度造成影響。
在第2系統20中，是將驅動部冷卻用的水供給到主軸、工作夾台或旋轉工作台的軸馬達等的驅動部4內，以將在這些驅動部4產生的熱冷卻。由於驅動部冷卻用的水僅需冷卻驅動部4即可，所以不需要像加工用水一般的純度或溫度調整，而可在定溫水供給裝置1與加工裝置3之間循環。像這樣，於加工裝置3的運轉時，是使來自水供給源2的水持續通過第1系統10以供給到加工裝置3，並且在第2系統20使水循環以持續冷卻在驅動部4產生的熱。
然而，一般而言若將驅動部冷卻用的水經過長時間持續循環並使用時，恐有使不純物被濃縮而作為污垢堆積於流路等之疑慮。於是，在本實施形態的定溫水供給裝置1中，是做成：將於第2系統20進行循環的驅動部冷卻用的水的一部分排出，並且將第1系統10的加工用的水的一部分供給到第2系統20，以自動地替換第2系統20內的水。藉此，由於可以抑制不純物的濃縮，進而在使加工裝置3運轉的狀態下替換第2系統20內的水，所以變得可大幅地減少停機時間。
又，若在加工裝置3的初期運轉時，驅動部冷卻用的水過冷時，會有導致各驅動部4的軸承等收縮而使旋轉軸擦傷的可能性。通常來說，雖然可藉加工前驅動部4的空載(idling)時的發熱來使驅動部冷卻用的水上升到一定溫度而抑制加工中的擦傷，但會使初期運轉時的啟動時間變得較遲。於是，在本實施形態中是做成將已在第1系統10進行溫度調整成預定溫度的加工用的水供給到第2系統20。藉此，不會有第2系統20內的驅動部冷卻用的水變得過冷之情形，而可將初期運轉時的啟動時間提前。
以下，針對本實施形態的定溫水供給裝置1之第1系統10及第2系統20之詳細構成進行說明。在第1系統10中，設置有從第1貯留槽11至到達加工裝置3的第1流路12。在第1流路12上，從上游朝向下游依序設置有第1貯留槽11、第1送出幫浦14、第1壓力檢測機構15、水溫調整機構16及第1過濾器17。在第1貯留槽11貯留有從水供給源2所供給的加工用的水，且第1貯留槽11內的水是藉由第1送出幫浦14而從第1貯留槽11送出至加工裝置3。
第1送出幫浦14的送出壓力是藉由第1壓力檢測機構15而被檢測，並且可因應第1壓力檢測機構15的檢測結果來調整第1送出幫浦14的送出壓力。在第1流路12上的第1送出幫浦14的下游，是藉由水溫調整機構16來將水的溫度調整成預定溫度。水溫調整機構16是由冷卻器(chiller)等的第1冷卻機構18與加熱器等加熱機構19所構成，並且組合第1冷卻機構18的冷卻與加熱機構19的加熱來將水調整到預定溫度。已成為預定溫度的水(定溫水)會通過第1過濾器17，並作為加工用的水而供給到加工裝置3內的噴嘴。
在第2系統20中，設置有從第2貯留槽21至到達加工裝置3之驅動部4的第2流路22、與從加工裝置3之驅動部4至到達第2貯留槽21的循環流路23。在第2流路22上，從上游朝向下游而設置有第2貯留槽21、第2送出幫浦24、第2壓力檢測機構25、第2冷卻機構(冷卻機構)26及第2過濾器27。在第2貯留槽21中貯留有加工裝置3的驅動部冷卻用的水，且第2貯留槽21內的水是藉由第2送出幫浦24，而從第2貯留槽21送出至加工裝置3的驅動部4。
第2送出幫浦24的送出壓力是藉由第2壓力檢測機構25而被檢測，並且可因應第2壓力檢測機構25的檢測結果來調整第2送出幫浦24的送出壓力。在第2流路22上的第2送出幫浦24的下游，是藉由冷卻器等的第2冷卻機構26來將水的溫度冷卻到預定溫度。已被冷卻到預定溫度的水會通過第2過濾器27，並作為驅動部冷卻用的水而供給到加工裝置3內的驅動部4。又，驅動部冷卻後的水會通過循環流路23返回到第2貯留槽21內，並在第2貯留槽21與驅動部4之間循環。
又，在第1系統10中，是在水溫調整機構16的下游設置從第1流路12分歧並連通到第2貯留槽21的定溫水供給流路31，並將已調整成預定溫度的水通過定溫水供給流路31來從第1流路12供給到第2貯留槽21。在第2系統20中，是在第2送出幫浦24的下游設置有從第2流路22分歧並將第2貯留槽21的水往外部排出的排水流路32。在從第1流路12往定溫水供給流路31的分歧部位上，配設有往第2貯留槽21之供水用的第1電磁閥33，而在從第2流路22往排水流路32的分歧部位上，配設有第2貯留槽21之排水用的第2電磁閥34。
在定溫水供給裝置1中，設置有至少控制第1電磁閥33及第2電磁閥34的開關的控制機構41。在控制機構41中，設置有管理來自第2貯留槽21的排水時序的時序管理部42、與控制第1電磁閥33及第2電磁閥34的開關的電磁閥控制部43。再者，控制機構41是由執行各種處理的處理器(processor)或記憶體(memory)等所構成。記憶體是因應用途而由ROM(唯讀記憶體(Read Only Memory))、RAM(隨機存取記憶體(Random Access Memory))等的一個或複數個儲存媒體所構成。在記憶體中儲存有用於執行時序管理或開關控制的程式等。
在如此所構成的定溫水供給裝置1中，是在預定的時序下，開啟第2電磁閥34來將相當於預定量的第2貯留槽21內的水排出，並且開啟第1電磁閥33來將相當於預定量的第1流路12內的水供給至第2貯留槽21。一邊將第2貯留槽21內的水按預定量進行替換，一邊使水在第2貯留槽21與加工裝置3的驅動部4之間循環。據此，可以抑制在第2貯留槽21與驅動部4之間進行循環的水的不純物濃度之上升，並且可自動地實施第2貯留槽21內的驅動部冷卻用的水的更換作業。
參照圖2，針對定溫水供給裝置所進行的水的供給動作進行說明。圖2是本實施形態之定溫水供給裝置所進行的水的供給動作之說明圖。再者，分別顯示的是圖2A為已停止從第1流路往第2貯留槽21的供水之供水停止狀態，圖2B為從第1流路對第2貯留槽21供水的供水狀態。
如圖2A所示，在往第2貯留槽21的供水停止狀態下，是因應來自時序管理部42的指示，藉由電磁閥控制部43將定溫水供給流路31的第1電磁閥33及排水流路32的第2電磁閥34關閉。藉此，將從第1流路12往第2貯留槽21的供水停止，並且將第2貯留槽21往外部的排水停止。在這個往第2貯留槽21的供水停止狀態下，會從水供給源2對第1貯留槽11供給加工用的水，並將第1貯留槽11內的水藉由第1送出幫浦14的送出壓力送出到第1流路12內。
第1流路12內的水是藉由通過水溫調整機構16而被調整成預定溫度。在第1流路12內的水溫為預定溫度以上的情況下，可藉由水溫調整機構16的第1冷卻機構18來冷卻到預定溫度。又，在第1流路12內的水溫比預定溫度更低的情況下，可藉由水溫調整機構16的加熱機構19來加熱到預定溫度。並且，預定溫度的水會在已藉由第1過濾器17移除異物的狀態下，從加工裝置3的噴嘴朝向工件的加工點噴射。此加工用的水是透過加工裝置3的水箱等而排出到外部。
另一方面，第2貯留槽21內的水是藉由第2送出幫浦24的送出壓力而被送出到第2流路22內。第2流路22內的水是藉由通過第2冷卻機構26而被冷卻到預定溫度。在第2流路22內的水溫為預定溫度以上的情況下，可藉由第2冷卻機構26來冷卻到預定溫度。又，在第2流路22內的水溫比預定溫度更低的情況下，則可在不以第2冷卻機構26冷卻的情形下通過。並且，冷卻後的水會在已藉由第2過濾器27移除異物的狀態下，供給到加工裝置3的驅動部4。驅動部冷卻後的水會通過循環流路23而返回到第2貯留槽21。
像這樣，由於對加工裝置3，會供給通過第1流路12且已調整成預定溫度的加工用的水，所以可以抑制工件之加工時的加工精度之降低。又，由於對加工裝置3中的驅動部4，會供給通過第2流路22且已冷卻到預定溫度以下的驅動部冷卻用的水，所以可以從驅動部4奪取熱以抑制驅動部4的熔執等。又，雖然驅動部冷卻後的水會吸收熱而變暖，但返回到第2貯留槽21之後，會再度在第2流路22內被冷卻到預定溫度之下，藉此可再度作為驅動部冷卻用的水而被再利用。
如圖2B所示，在往第2貯留槽21的供水狀態下，是因應來自時序管理部42的指示，而藉由電磁閥控制部43將定溫水供給流路31的第1電磁閥33及排水流路32的第2電磁閥34開啟。藉此，開始進行從第1流路12往第2貯留槽21的供水，並且開始進行從第2貯留槽21往外部的排水。在往此第2貯留槽21的供水狀態下，當藉由第1送出幫浦14將加工用的水從第1貯留槽11送出時，會將已通過水溫調整機構16的預定溫度的水在第1流路12的中途部分處藉由定溫水供給流路31而分流。
於第1流路12直進的水會從加工裝置3的噴嘴朝向加工點噴射，並透過加工裝置3的水箱等排出至外部。已流入定溫水供給流路31的水會供給到第2貯留槽21，並在第2貯留槽21中作為驅動部冷卻用的水而貯留。此時，由於已將定溫水供給流路31內的水藉由水溫調整機構16調整成預定溫度，所以不會有使已貯留於第2貯留槽21中的水的溫度大幅變動之情形。再者，由於即使因開啟第1電磁閥33而使水壓下降，第1送出幫浦14的送出壓力還是相當地高，因此仍可將加工用的水送出到加工裝置3。
另一方面，當藉由第2送出幫浦24將驅動部冷卻用的水從第2貯留槽21送出時，會在第2流路22的中途部分處藉由排水流路32而被分流。於第2流路22直進的水會藉由第2冷卻機構26而被冷卻到預定溫度以下，並供給至加工裝置3的驅動部4，進而通過循環流路23返回到第2貯留槽21中。已流入排水流路32的水會被排出到外部，以在第2貯留槽21與驅動部4之間在不純物於循環中濃縮之前將水量減少。像這樣，以相當於從定溫水供給流路31供水到第2貯留槽21的量，從第2貯留槽21通過排水流路32進行排水。
由於可逐次少量地替換第2貯留槽21的水來抑制不純物之濃度的上升，所以不會有將不純物堆積而成的污垢供給到驅動部4之情形，而可防止驅動部4的損壞。又，由於是在使加工裝置3運轉的狀態下自動地替換第2貯留槽21內的水，所以可以減少第2貯留槽21內的水的更換作業並且縮減裝置停止所形成的停機時間。在這種情況下，較理想的是控制對第2貯留槽21的供水時序、與從第2貯留槽21的排水時序，以在24小時內替換第2貯留槽21內的水。
如上述，由於對於第2貯留槽21會從定溫水供給流路31供給預定溫度的水，所以不會有第2貯留槽21內的水變得過低的情形。由於第2流路22內的水溫不會極端地降低，因此即便縮短加工裝置3的初期運轉前的空轉時間(空載(idling)時間)，也不致產生起因於軸承的收縮等的驅動部4的旋轉軸的擦傷等不良狀況。據此，可以將加工裝置3的初期運轉時的啟動時間提前。再者，由於即使因開啟第2電磁閥34而使水壓下降，第2送出幫浦24的送出壓力還是相當地高，因此依然可將冷卻用的水送出到驅動部4。
如以上所述，在本實施形態的定溫水供給裝置1中，由於一方面可將第2貯留槽21內的驅動部冷卻用的水排出，另一方面可從第1貯留槽11將加工用的水供給至第2貯留槽21，所以可自動地替換第2貯留槽21內的水。由於一邊替換水一邊在第2貯留槽21與加工裝置的驅動部4之間循環驅動部冷卻用的水，所以不會有不純物濃度上升之情形，且不會有因不純物堆積而成的污垢之供給而導致驅動部4損壞的情形。又，由於可在將裝置持續運轉的狀態下，自動地替換第2貯留槽21內的水，所以變得不需要進行驅動部冷卻用的水的更換作業，並且可以大幅地縮減停機時間。此外，由於對第2貯留槽21會供給與排水量大致同量之經過溫度調整後的加工用的水，所以可以使驅動部冷卻用的水的溫度變動較小，進而防止因溫度變動所形成的機械故障。
再者，本發明並不受限於上述實施之形態，且可進行各種變更而實施。在上述實施形態中，關於在附圖所圖示的大小與形狀等，並不受限於此，並可在能發揮本發明的效果的範圍內作適當變更。另外，只要不脫離本發明的目的之範圍，均可以作適當的變更而實施。
例如，在上述實施形態中，雖然是做成將第1流路12的水藉由水溫調整機構16來調整成預定溫度，並將第2流路22的水藉由第2冷卻機構26來調整成預定溫度以下之構成，但並不限定為此構成。例如，亦可為在第2流路22中不設置第2冷卻機構26，以不在第2流路22內進行水溫調整。雖然第2流路22內的水會從驅動部4奪取熱而升溫，但由於從第1流路12以預定溫度的水對第2貯留槽21進行供水，所以不會有第2流路22內的水變得過於高溫之情形，而可以持續地冷卻驅動部4。像這樣，由於可用單一的水溫調整機構16對第1流路12及第2流路22的2個系統供給預定溫度的水，所以可以減少零件數量並降低成本。
又，在上述之實施形態中，雖然將往第2貯留槽21的供水時序、與由第2貯留槽21的排水時序同時實施，但並不限定為此構成。只要能將預定量以上的水貯留在第2貯留槽21即可，亦可將往第2貯留槽21的供水時序、與由第2貯留槽21的排水時序設成一前一後。
又，在上述之實施形態中，雖然做成在第1過濾器17的下游從第1流路12分歧而形成定溫水供給流路31之構成，但並不限定為此構成。定溫水供給流路31只要是在水溫調整機構16的下游且從第1流路12分歧而形成即可，亦可為例如讓定溫水供給流路31在第1過濾器17的上游從第1流路12分歧而形成。
又，在上述之實施形態中，雖然是做成使排水流路32在第2送出幫浦24與第2冷卻機構26之間從第2流路22分歧而形成之構成，但並不限定為此構成。排水流路32只要是在第2送出幫浦24的下游從第2流路22分歧而形成即可，亦可為例如排水流路32是從循環流路23分歧而形成。
又，在上述之實施形態中，雖然作為驅動部4而例示了主軸、工作夾台或旋轉工作台的軸馬達，但並不限定為此構成。驅動部4只要是伴隨加工裝置3的運轉而發熱之驅動部位即可，並無特別限定。 産業上之可利用性
如以上所說明的，本發明具有可以防止驅動部的損壞，並且大幅地縮減冷卻水的更換作業以及停機時間之效果，特別是對在切削裝置或磨削裝置等的加工裝置上供給加工水及冷卻水之定溫水供給裝置而言是很有用的。
1‧‧‧定溫水供給裝置
2‧‧‧水供給源
3‧‧‧加工裝置
4‧‧‧驅動部
10‧‧‧第1系統
11‧‧‧第1貯留槽
12‧‧‧第1流路
14‧‧‧第1送出幫浦
15‧‧‧第1壓力檢測機構
16‧‧‧水溫調整機構
17‧‧‧第1過濾器
18‧‧‧第1冷卻機構
19‧‧‧加熱機構
20‧‧‧第2系統
21‧‧‧第2貯留槽
22‧‧‧第2流路
23‧‧‧循環流路
24‧‧‧第2送出幫浦
25‧‧‧第2壓力檢測機構
26‧‧‧第2冷卻機構(冷卻機構)
27‧‧‧第2過濾器
31‧‧‧定溫水供給流路
32‧‧‧排水流路
33‧‧‧第1電磁閥
34‧‧‧第2電磁閥
41‧‧‧控制機構
42‧‧‧時序管理部
43‧‧‧電磁閥控制部
圖1是本實施形態之定溫水供給裝置的示意圖。 圖2A、B是由本實施形態之定溫水供給裝置所進行的水的供給動作之說明圖。
1‧‧‧定溫水供給裝置
2‧‧‧水供給源
3‧‧‧加工裝置
4‧‧‧驅動部
10‧‧‧第1系統
11‧‧‧第1貯留槽
12‧‧‧第1流路
14‧‧‧第1送出幫浦
15‧‧‧第1壓力檢測機構
16‧‧‧水溫調整機構
17‧‧‧第1過濾器
18‧‧‧第1冷卻機構
19‧‧‧加熱機構
20‧‧‧第2系統
21‧‧‧第2貯留槽
22‧‧‧第2流路
23‧‧‧循環流路
24‧‧‧第2送出幫浦
25‧‧‧第2壓力檢測機構
26‧‧‧第2冷卻機構(冷卻機構)
27‧‧‧第2過濾器
31‧‧‧定溫水供給流路
32‧‧‧排水流路
33‧‧‧第1電磁閥
34‧‧‧第2電磁閥
41‧‧‧控制機構
42‧‧‧時序管理部
43‧‧‧電磁閥控制部

Claims (2)

  1. 一種定溫水供給裝置，是將來自水供給源的水調整成定溫並供給至加工裝置，該定溫水供給裝置的特徵在於具備： 第1貯留槽，貯留從水供給源所供給的加工用的水； 第1送出幫浦，將水從該第1貯留槽往加工裝置送出； 水溫調整機構，配設於從該第1貯留槽至到達該加工裝置的第1流路上的比該第1送出幫浦更下游處，並將水的溫度調整成預定溫度； 第2貯留槽，貯留該加工裝置的驅動部冷卻用的水； 第2送出幫浦，將水從該第2貯留槽往該加工裝置送出； 循環流路，使該加工裝置內的驅動部冷卻後的水往該第2貯留槽返回而使其循環； 定溫水供給流路，在該第1流路上的該水溫調整機構的下游處從該第1流路分歧並連通到第2貯留槽而形成，以將已調整成該預定溫度的水供給到第2貯留槽； 第1電磁閥，配設於從該第1流路往該定溫水供給流路的分歧部位； 排水流路，在從該第2貯留槽至到達該加工裝置的第2流路上的比該第2送出幫浦更下游處從第2流路分歧而形成，以將該第2貯留槽的水往外部排出； 第2電磁閥，配設於從該第2流路往該排水流路的分歧部位；及 控制機構，至少控制該第1電磁閥及該第2電磁閥的開關， 該控制機構具備管理從該第2貯留槽排水的時序之時序管理部、與控制該第1電磁閥及該第2電磁閥的開關之電磁閥控制部， 並以預定的時序，將該第2電磁閥設為開啟而將預定量的該第2貯留槽內的水排出，並且將該第1電磁閥設為開啟而將預定量的該第1流路內的該水供給到該第2貯留槽，以免使侵入到進行循環的驅動部冷卻水內的不純物濃度上升。
  2. 如請求項1之定溫水供給裝置，其具備冷卻機構，該冷卻機構是配設在比從該第2貯留槽至到達該加工裝置的第2流路上的該第2送出幫浦更下游處，以將水冷卻到預定溫度。
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