JP6688135B2 - 処理液供給装置 - Google Patents
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Description
いては、中央貯留部12内の処理液は、循環ポンプ18の作用により、中央貯留部12からヒータ15、循環ポンプ18および開閉弁25を介して中央貯留部12に至る循環路を循環することにより、例えば、摂氏100度程度の温度まで昇温される。一方、開閉弁25が閉止され開閉弁26が開放された状態においては、中央貯留部12内の処理液は、循環ポンプ18の作用により、中央貯留部12から開閉弁26を介して下流側貯留部13に送液される。なお、ヒータ15は、この発明に係る第3加熱部を構成する。
なる。このため、この熱交換によりヒータ14による上流側貯留部11に貯留された処理液の加熱作用を補助することが可能となる。これにより、処理液供給装置全体において、処理液を加熱するためのエネルギーを効率的に使用することができ、エネルギーの無駄を排除することが可能となる。
の間で熱交換を実行することなく下流側貯留部13に戻る処理液との流量を調整する。これにより、下流側貯留部13内の処理液の温度が十分降温されなかったり、過度に低くなったりすることを防止することが可能となる。このとき、下流側貯留部13に貯留された処理液の温度を温度センサ49により直接測定することで、下流側貯留部13の温度をより正確に制御することが可能となる。
部12および下流側貯留部12の処理液中に浸漬されていてもよい。
11 上流側貯留部
12 中央貯留部
13 下流側貯留部
14 ヒータ
15 ヒータ
16 ヒータ
17 ポンプ
18 ポンプ
19 ポンプ
20 スピンチャック
21 処理液吐出部
41 排熱用循環路
42 熱交換部
43 温度センサ
44 流量調整弁
45 流量調整弁
46 管路
49 温度センサ
W 基板
Claims (5)
- 処理液吐出部から基板に処理液を吐出することにより基板を処理する基板処理装置に使用される処理液供給装置であって、
処理液供給部と、
前記処理液供給部から供給された処理液を貯留する第1貯留部と、
前記第1貯留部内に貯留された処理液を加熱するための第1加熱部と、
前記第1貯留部内の処理液を外部に送液した後、再度、前記第1貯留部に戻すとともに、その内部を流通する処理液と前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行するための排熱用循環路と、
前記第1貯留部内の処理液を前記処理液吐出部と前記排熱用循環路のいずれかに選択的に送液する送液切替機構と、
前記排熱用循環路から前記第1貯留部に処理液を送液する管路と、
前記排熱用循環路を循環することにより前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行する処理液と、前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行することなく前記第1貯留部に戻る処理液との流量を調整する流量調整機構と、
を備えたことを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記処理液供給部は、
処理液を貯留する第2貯留部と、
前記第2貯留部内に貯留された処理液を前記第1貯留部内の処理液の温度より低い温度まで加熱するための第2加熱部と、
を備え、
前記排熱用循環路は、前記第2貯留部に貯留された処理液中にその一部が浸漬され、前記第2貯留部に貯留された処理液と接触することにより、その内部を流通する処理液と前記第2貯留部に貯留された処理液との間で熱交換を実行する処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記処理液供給部は、
処理液を貯留する第2貯留部と、
前記第2貯留部内の処理液を循環させる加熱用循環路と、当該加熱用循環路内を循環する処理液を加熱するためのヒータとから構成され、前記第2貯留部内に貯留された処理液を前記第1貯留部内に貯留された処理液の温度より低い温度まで加熱するための第2加熱部と、
を備え、
前記排熱用循環路を循環する処理液と、前記加熱用循環路を循環する処理液との間で熱交換を実行する処理液供給装置。 - 請求項2または請求項3に記載の処理液供給装置において、
前記処理液供給部は、
前記第2貯留部と前記第1貯留部との間に配設され、前記第2貯留部内の処理液を受けとるとともに、前記第1貯留部に処理液を送液する第3貯留部と、
前記第3貯留部内の処理液を前記第1貯留部内に貯留された処理液の温度より低く、前記第2貯留部内に貯留された処理液の温度より高い温度まで加熱するための第3加熱部と、
を備える処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記排熱用循環路から前記第1貯留部に戻る処理液の温度、または、前記第1貯留部内の処理液の温度を測定する温度センサをさらに備え、
前記流量調整機構は、前記温度センサにより検出した処理液の温度に基づいて、前記排熱用循環路を循環することにより前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行する処理液と、前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行することなく前記第1貯留部に戻る処理液との流量を調整する処理液供給装置。
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