JP2017188497A - 処理液供給装置 - Google Patents
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Abstract
Description
11 上流側貯留部
12 中央貯留部
13 下流側貯留部
14 ヒータ
15 ヒータ
16 ヒータ
17 ポンプ
18 ポンプ
19 ポンプ
20 スピンチャック
21 処理液吐出部
41 排熱用循環路
42 熱交換部
43 温度センサ
44 流量調整弁
45 流量調整弁
46 管路
49 温度センサ
W 基板
Claims (7)
- 処理液吐出部から基板に処理液を吐出することにより基板を処理する基板処理装置に使用される処理液供給装置であって、
処理液供給部と、
前記処理液供給部から供給された処理液を貯留する第1貯留部と、
前記第1貯留部内に貯留された処理液を加熱するための第1加熱部と、
前記第1貯留部内の処理液を外部に送液した後、再度、前記第1貯留部に戻すとともに、その内部を流通する処理液と前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行するための排熱用循環路と、
前記第1貯留部内の処理液を前記処理液吐出部と前記排熱用循環路のいずれかに選択的に送液する送液切替機構と、
を備えたことを特徴とする処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記処理液供給部は、
処理液を貯留する第2貯留部と、
前記第2貯留部内に貯留された処理液を前記第1貯留部内の処理液の温度より低い温度まで加熱するための第2加熱部と、
を備え、
前記排熱用循環路は、前記第2貯留部に貯留された処理液中にその一部が浸漬され、前記第2貯留部に貯留された処理液と接触することにより、その内部を流通する処理液と前記第2貯留部に貯留された処理液との間で熱交換を実行する処理液供給装置。 - 請求項1に記載の処理液供給装置において、
前記処理液供給部は、
処理液を貯留する第2貯留部と、
前記第2貯留部内の処理液を循環させる加熱用循環路と、当該加熱用循環路内を循環する処理液を加熱するためのヒータとから構成され、前記第2貯留部内に貯留された処理液を前記第1貯留部内に貯留された処理液の温度より低い温度まで加熱するための第2加熱部と、
を備え、
前記排熱用循環路を循環する処理液と、前記加熱用循環路を循環する処理液との間で熱交換を実行する処理液供給装置。 - 請求項2または請求項3に記載の処理液供給装置において、
前記処理液供給部は、
前記第2貯留部と前記第1貯留部との間に配設され、前記第2貯留部内の処理液を受けとるとともに、前記第1貯留部に処理液を送液する第3貯留部と、
前記第3貯留部内の処理液を前記第1貯留部内に貯留された処理液の温度より低く、前記第2貯留部内に貯留された処理液の温度より高い温度まで加熱するための第3加熱部と、
を備える処理液供給装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の処理液供給装置において、
前記排熱用循環路から前記第1貯留部に処理液を送液する管路をさらに備えるとともに、
前記排熱用循環路を循環することにより前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行する処理液と、前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行することなく前記第1貯留部に戻る処理液との流量を調整する流量調整機構を備える処理液供給装置。 - 請求項5に記載の処理液供給装置において、
前記排熱用循環路から前記第1貯留部に戻る処理液の温度、または、前記第1貯留部内の処理液の温度を測定する温度センサをさらに備え、
前記流量調整機構は、前記温度センサにより検出した処理液の温度に基づいて、前記排熱用循環路を循環することにより前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行する処理液と、前記処理液供給部における処理液との間で熱交換を実行することなく前記第1貯留部に戻る処理液との流量を調整する処理液供給装置。 - 処理液吐出部から基板に処理液を吐出することにより基板を処理する基板処理装置に使用される処理液供給装置であって、
前記処理液吐出部に供給する処理液を貯留する第1貯留部と、
前記第1貯留部内に貯留された処理液を加熱するための第1加熱部と、
前記第1貯留部に送液するための処理液を貯留する第2貯留部と、
前記第2貯留部内に貯留された処理液を、前記第1貯留部内に貯留された処理液の温度より低い温度まで加熱する第2加熱部と、
前記第2貯留部内に貯留された処理液を前記第1貯留部に送液する送液管路と、
前記第1貯留部内の処理液を外部に送液した後、再度、前記第1貯留部に戻すとともに、その内部を流通する処理液と前記第2加熱部により加熱された処理液との間で熱交換を実行する排熱用循環路と、
前記第1貯留部内の処理液を前記処理液吐出部と前記排熱用循環路のいずれかに選択的に送液する送液切替機構と、
を備えたことを特徴とする処理液供給装置。
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