JP6190278B2 - 熱交換システム及び同熱交換システムを有する基板処理装置 - Google Patents
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Description
69a,69b 熱交換器
81 流体供給部
82 流体排出部
85,86 流入管
87,90,93 マニホールド
88 排気管
89 供給管
91a,91b,92a,92b 分岐管
94 排出管
95 給気管
Claims (8)
- 内部を通過する流体を加熱又は冷却する熱交換器と、
加熱又は冷却する流体を熱交換器の下部に供給する流体供給部と、
加熱又は冷却した流体を熱交換器の上部から排出する流体排出部と、
を有し、
前記流体供給部は、
流体が流入する流入管と、
前記熱交換器の上端部よりも上方に位置し、前記流入管を接続した第1のマニホールドと、
前記第1のマニホールドに接続され、流体に混入した気体を排出する排気管と、
前記第1のマニホールドから熱交換器に流体を供給する供給管と、
を有し、
前記流体排出部は、流体に気体を供給する給気管を有し、
熱交換器の内部を下方から上方へ向けて通過する流体を加熱又は冷却することを特徴とする熱交換システム。 - 前記流体供給部は、流体を自重で熱交換器の下部に供給することを特徴とする請求項1に記載の熱交換システム。
- 前記流体供給部は、流体が流入する複数本の流入管と、複数の流入管を接続した第1のマニホールドと、前記第1のマニホールドから熱交換器に流体を供給する一本の供給管とを有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の熱交換システム。
- 前記流体供給部は、流体を供給する一本の供給管と、供給管に接続した第2のマニホールドと、前記第2のマニホールドから複数の熱交換器に分岐して流体を供給する複数本の分岐管とを有することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の熱交換システム。
- 前記流体排出部は、複数の熱交換器にそれぞれ接続した分岐管と、複数本の分岐管を接続した第3のマニホールドと、前記第3のマニホールドに接続した一本の排出管とを有することを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の熱交換システム。
- 前記流体供給部は、流体を供給する一本の供給管と、供給管に接続した第2のマニホールドと、前記第2のマニホールドから複数の熱交換器に分岐して流体を供給する複数本の分岐管とを有し、
前記流体排出部は、複数の熱交換器にそれぞれ接続した分岐管と、複数本の分岐管を接続した第3のマニホールドと、前記第3のマニホールドに接続した一本の排出管とを有し、
供給管から排出管に流れる流体の流路長をいずれの熱交換器を通過する場合でも同一としたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の熱交換システム。 - 基板を処理する流体を加熱又は冷却するための熱交換システムを有する基板処理装置において、
熱交換システムは、
内部を通過する流体を加熱又は冷却する熱交換器と、
加熱又は冷却する流体を熱交換器の下部に供給する流体供給部と、
加熱又は冷却した流体を熱交換器の上部から排出する流体排出部と、
を有し、
前記流体供給部は、
流体が流入する流入管と、
前記熱交換器の上端部よりも上方に位置し、前記流入管を接続した第1のマニホールドと、
前記第1のマニホールドに接続され、流体に混入した気体を排出する排気管と、
前記第1のマニホールドから熱交換器に流体を供給する供給管と、
を有し、
前記流体排出部は、流体に気体を供給する給気管を有し、
熱交換器の内部を下方から上方へ向けて通過する流体を加熱又は冷却することを特徴とする熱交換システムを有する基板処理装置。 - 前記流体供給部は、基板を処理する基板処理部で使用した流体を自重で熱交換器の下部に供給することを特徴とする請求項7に記載の熱交換システムを有する基板処理装置。
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