JP2014099528A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る液処理装置は、複数の液処理ユニットと、第1主配管と、第1通流制御機器と、第2主配管と、第2通流制御機器とを備える。液処理ユニットは、基板に処理液を供給して液処理を行う。第1主配管は、第1処理液を液処理ユニットへ供給する。第1通流制御機器は、第1主配管と液処理ユニットとの間に接続される。第2主配管は、第1処理液よりも温度の低い第2処理液を液処理ユニットへ供給する。第2通流制御機器は、第2主配管と液処理ユニットとの間に接続される。そして、第1通流制御機器と第2通流制御機器とがそれぞれ異なるボックスに収容されるとともに、第1通流制御機器を収容するボックスに隣接して第1主配管が配置され、第2通流制御機器を収容するボックスに隣接して第2主配管が配置される。
【選択図】図3
Description
まず、第1の実施形態に係る液処理装置の概略構成について図1および図2を用いて説明する。図1は、第1の実施形態に係る液処理装置の外観構成を示す模式斜視図である。また、図2は、第1の実施形態に係る液処理装置の模式平断面図である。
次に、液処理装置の他の構成例について図8および図9を用いて説明する。図8および図9は、液処理装置の他の構成例を示す模式平断面図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
3 載置ステーション
4 搬入出ステーション
5 受渡ステーション
6 液処理ステーション
7 サイドタワー
8 高温キャビネット
9 制御部
71,72 第2主配管
73 第2バルブボックス
74 過酸化水素水供給源
75 DIW供給源
76 第2通流制御ユニット
81,82 第1主配管
83 第1バルブボックス
84 硫酸供給源
86 第1通流制御ユニット
Claims (7)
- 基板に処理液を供給して液処理を行う複数の液処理ユニットと、
第1処理液を前記液処理ユニットへ供給するための第1主配管と、
前記第1主配管と前記液処理ユニットとの間に接続される第1通流制御機器と、
前記第1処理液よりも温度の低い第2処理液を前記液処理ユニットへ供給するための第2主配管と、
前記第2主配管と前記液処理ユニットとの間に接続される第2通流制御機器と
を備え、
前記第1通流制御機器と前記第2通流制御機器とがそれぞれ異なるボックスに収容されるとともに、前記第1通流制御機器を収容するボックスに隣接して前記第1主配管が配置され、前記第2通流制御機器を収容するボックスに隣接して前記第2主配管が配置されること
を特徴とする液処理装置。 - 前記複数の液処理ユニットが配置される第1筐体部と、
前記第1筐体部に隣接して設けられる第2筐体部と
をさらに備え、
前記第1主配管は、前記第1筐体部に配置され、
前記第2主配管は、前記第2筐体部に配置されること
を特徴とする請求項1に記載の液処理装置。 - 前記第1通流制御機器を収容するボックスは、前記第1筐体部に配置され、
前記第2通流制御機器を収容するボックスは、前記第2筐体部に配置されること
を特徴とする請求項2に記載の液処理装置。 - 前記第1通流制御機器を収容するボックスは、前記液処理ユニットの下方に配置されること
を特徴とする請求項3に記載の液処理装置。 - 前記液処理ユニットは、
前記第1処理液を吐出する第1ノズルと、
前記第2処理液を吐出する第2ノズルと
を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の液処理装置。 - 前記液処理ユニットは、
前記第1ノズルを支持する第1アームと、
前記第2ノズルを支持する第2アームと
を備えることを特徴とする請求項5に記載の液処理装置。 - 前記基板へ供給された後の第1処理液を装置外部へ排出するための排液管
をさらに備え、
前記排液管は、前記第1筐体部に配置されること
を特徴とする請求項2〜6のいずれか一つに記載の液処理装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160027800A (ko) * | 2014-09-02 | 2016-03-10 | 주식회사 제우스 | 기판 액처리 방법 및 장치 |
WO2017086158A1 (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
JP2018032724A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
KR20220015930A (ko) * | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
KR20220159267A (ko) | 2021-05-25 | 2022-12-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005093769A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および気圧調節方法 |
JP2006351709A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給装置 |
JP2010147212A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2011035133A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2012142404A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
JP2012142405A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
-
2012
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005093769A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および気圧調節方法 |
JP2006351709A (ja) * | 2005-06-14 | 2006-12-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 処理液供給装置 |
JP2010147212A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2011035133A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2012142404A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
JP2012142405A (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-26 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160027800A (ko) * | 2014-09-02 | 2016-03-10 | 주식회사 제우스 | 기판 액처리 방법 및 장치 |
KR101927478B1 (ko) * | 2014-09-02 | 2018-12-10 | 주식회사 제우스 | 기판 액처리 방법 및 장치 |
CN108292597A (zh) * | 2015-11-16 | 2018-07-17 | 东京毅力科创株式会社 | 液处理装置 |
KR20180093886A (ko) | 2015-11-16 | 2018-08-22 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액 처리 장치 |
JPWO2017086158A1 (ja) * | 2015-11-16 | 2018-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
WO2017086158A1 (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理装置 |
US10714365B2 (en) | 2015-11-16 | 2020-07-14 | Tokyo Electron Limited | Liquid processing apparatus |
CN108292597B (zh) * | 2015-11-16 | 2022-05-31 | 东京毅力科创株式会社 | 液处理装置 |
KR102613750B1 (ko) * | 2015-11-16 | 2023-12-13 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 액 처리 장치 |
JP2018032724A (ja) * | 2016-08-24 | 2018-03-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
KR20220015930A (ko) * | 2020-07-31 | 2022-02-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
KR102563501B1 (ko) * | 2020-07-31 | 2023-08-04 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치 |
TWI824941B (zh) * | 2020-07-31 | 2023-12-01 | 日商斯庫林集團股份有限公司 | 基板處理裝置 |
KR20220159267A (ko) | 2021-05-25 | 2022-12-02 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
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