JP2012142404A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wに対して液処理を行うための複数の液処理ユニット2が互いに横方向に並べて配置され、液処理ユニット2内の雰囲気を排気する排気管3は、これら複数の液処理ユニット2の下方側に、当該液処理ユニット2の並びに沿って伸びるように配置され、給液用の通流制御機器群4は前記排気管3の下方側に設けられている。給液用主配管5及び排液用主配管6は、これら通流制御機器群4の下方側にて複数の液処理ユニット2の並びに沿って各々伸びるように設けられ、前記給液用主配管5からは、複数の給液用分岐管が分岐して、前記給液用の通流制御機器402を介して各液処理ユニット2に接続され、前記排液用主配管6からは複数の排液用分岐管が分岐して各液処理ユニットに接続されている。
【選択図】図4
Description
これら複数の液処理ユニットの下方側に当該複数の液処理ユニットの並びに沿って伸びるように配置され、各液処理ユニット内の雰囲気を排気するための排気管と、
各々前記排気管の下方側に設けられた給液用の通流制御機器群と、
これら通流制御機器群の下方側にて複数の液処理ユニットの並びに沿って各々伸びるように設けられ、処理液を液処理ユニットに供給するための給液用主配管及び液処理ユニットからの液を排液するための排液用主配管と、
前記給液用主配管から複数の液処理ユニット毎に分岐され、前記給液用の通流制御機器を介して各液処理ユニットに接続された複数の給液用分岐管と、
前記排液用主配管から複数の液処理ユニット毎に分岐されて各液処理ユニットに接続された複数の排液用分岐管と、を備えたことを特徴とする。
(a)各液処理ユニットに対応する給液用の通流制御機器群が筐体に取り付けられ、これら通流制御機器群が当該共通の筐体ごと排気管の下方に装着されていること。
(b)前記通流制御機器群は、共通の前記筐体内に取り付けられていること。
(c)前記給液用主配管及び排液用主配管は、前記筐体に取り付けられていること。
(d)処理液の種別に応じて、前記給液用主配管及び排気管の各々が複数設けられ、複数の排気管は互いに横に並んで配置されていること。
(e)当該液処理装置における前記液処理ユニットの並びに臨む領域を主メンテナンス領域、この液処理ユニットの並びを挟んで、当該主メンテナンス領域に対向する位置から当該液処理に臨む領域を副メンテナンス領域としたとき、前記給液用の通流制御機器は、前記主メンテナンス領域側に液処理ユニット毎に引き出し可能に構成されていること。
(f)当該液処理装置における前記液処理ユニットの並びに臨む領域を主メンテナンス領域、この液処理ユニットの並びを挟んで、当該主メンテナンス領域に対向する位置から当該液処理に臨む領域を副メンテナンス領域としたとき、前記給液用主配管は処理液の種別に応じて複数設けられ、前記給液用の通流制御機器は、前記主メンテナンス領域側に処理液の種別毎に引き出し可能に構成されていること。
(g)前記複数の液処理ユニットの上方には、液処理ユニットが置かれている雰囲気に清浄気体の下降気流を形成するための清浄気体供給ユニットが液処理ユニットの配列方向に伸びるようにていること。
回転軸251は、液処理部141内のベースプレート27上に設けられた軸受け部253に、回転自在な状態で保持されされている。
このように、用力系の配管群3、5、6の中で、液処理ユニット2に最も近い高さ位置に排気管3を配置することにより、圧力損失の増大を抑制し、工場全体の排気能力に対する液処理装置1への割り当て排気量を低減することができる。
ここで図1に示す147は、各液処理ユニット2が設けられている位置の液処理部141の壁面部分を、個別の液処理ユニット2が配置されている位置毎に取り外し可能な蓋体である。
また、用力系の配管群3、5、6の中で、液処理ユニット2に最も近い高さ位置に排気管3を配置することにより、圧力損失の増大を抑制し、工場全体の排気能力に対する液処理装置1への割り当て排気量を低減することができる。
1 液処理装置
2 液処理ユニット
3 排気管
4 通流制御ブロック
40 通流制御機器ユニット
402 通流制御器群
403 上流側ポート
406 下流側ポート
46 筐体基体
5 給液用主配管
6 排液用主配管
7 制御部
Claims (8)
- 互いに横方向に並べて配置され、処理液により基板に対して液処理を行うための複数の液処理ユニットと、
これら複数の液処理ユニットの下方側に当該複数の液処理ユニットの並びに沿って伸びるように配置され、各液処理ユニット内の雰囲気を排気するための排気管と、
各々前記排気管の下方側に設けられた給液用の通流制御機器群と、
これら通流制御機器群の下方側にて複数の液処理ユニットの並びに沿って各々伸びるように設けられ、処理液を液処理ユニットに供給するための給液用主配管及び液処理ユニットからの液を排液するための排液用主配管と、
前記給液用主配管から複数の液処理ユニット毎に分岐され、前記給液用の通流制御機器を介して各液処理ユニットに接続された複数の給液用分岐管と、
前記排液用主配管から複数の液処理ユニット毎に分岐されて各液処理ユニットに接続された複数の排液用分岐管と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 各液処理ユニットに対応する給液用の通流制御機器群が筐体に取り付けられ、これら通流制御機器群が当該共通の筐体ごと排気管の下方に装着されていることを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記通流制御機器群は、共通の前記筐体内に取り付けられていることを特徴とする請求項2記載の液処理装置。
- 前記給液用主配管及び排液用主配管は、前記筐体に取り付けられていることを特徴とする請求項3記載の液処理装置。
- 処理液の種別に応じて、前記給液用主配管及び排気管の各々が複数設けられ、複数の排気管は互いに横に並んで配置されていることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 当該液処理装置における前記液処理ユニットの並びに臨む領域を主メンテナンス領域、この液処理ユニットの並びを挟んで、当該主メンテナンス領域に対向する位置から当該液処理に臨む領域を副メンテナンス領域としたとき、前記給液用の通流制御機器は、前記主メンテナンス領域側に液処理ユニット毎に引き出し可能に構成されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 当該液処理装置における前記液処理ユニットの並びに臨む領域を主メンテナンス領域、この液処理ユニットの並びを挟んで、当該主メンテナンス領域に対向する位置から当該液処理に臨む領域を副メンテナンス領域としたとき、前記給液用主配管は処理液の種別に応じて複数設けられ、前記給液用の通流制御機器は、前記主メンテナンス領域側に処理液の種別毎に引き出し可能に構成されていることを特徴とする請求項1ないし6のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記複数の液処理ユニットの上方には、液処理ユニットが置かれている雰囲気に清浄気体の下降気流を形成するための清浄気体供給ユニットが液処理ユニットの配列方向に伸びるようにていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載の液処理装置。
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