JP2016092143A - 基板液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る基板液処理装置は、液処理部と、第1排気管と、第2排気管とを備える。液処理部は、処理液を用いて基板を処理する。第1排気管は、少なくとも一部が液処理部よりも上方に配置される。第2排気管は、液処理部に一端側が接続され、排気機構により第1排気管を介して液処理部を排気する。また、第2排気管は、第1排気管の液処理部よりも上方に配置される部分に他端側が接続される。
【選択図】図3
Description
次に、本実施形態に係る基板処理システム1の変形例について図15および図16を参照して説明する。図15は、第1変形例に係る処理ステーションの模式側面図であり、図16は、第2変形例に係る処理ステーションの模式平面図である。なお、以下の説明では、既に説明した部分と同様の部分については、既に説明した部分と同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
3 処理ステーション
15 搬送部
16 処理ユニット
18 制御部
52 排気口
71 アルカリ系処理液供給源
72 酸系処理液供給源
73 有機系処理液供給源
74 DIW供給源
100 第1排気管
101〜103 個別排気管
151〜153 排気機構
200 第2排気管
201 水平部
202 上昇部
250 ドレン部
300 排気切替ユニット
310 排気導入部
320_1〜320_3 切替機構
321 本体部
322 排気取込口
323 外気取込口
324 流出口
325 弁体
326 駆動部
330 外気導入部
331 本体部
332〜334 連通口
335 開口部
340 流出部
350 外気取込管
360 差圧ポート
370 排気流量調整部
371 駆動部
400 フレーム構造体
401 柱部
402 梁部
Claims (13)
- 処理液を用いて基板を処理する液処理部と、
少なくとも一部が前記液処理部よりも上方に配置される第1排気管と、
前記液処理部に一端側が接続され、排気機構により前記第1排気管を介して前記液処理部を排気する第2排気管と
を備え、
前記第2排気管は、
前記第1排気管の前記液処理部よりも上方に配置される部分に他端側が接続されること
を特徴とする基板液処理装置。 - 前記第2排気管の下部に設けられ、前記第2排気管内の液体を外部へ排出するドレン部
をさらに備えること
を特徴とする請求項1に記載の基板液処理装置。 - 前記第2排気管は、
上方に延びる上昇部
を有し、
前記ドレン部は、
前記上昇部の最下位置に設けられること
を特徴とする請求項2に記載の基板液処理装置。 - 前記液処理部は、
複数種類の処理液を供給する処理液供給部
を有し、
前記第1排気管は、
前記複数種類の処理液の少なくとも1つに対応する複数の個別排気管
を有し、
前記第2排気管内を流れる排気の流出先を前記個別排気管の何れかに切り替える排気切替ユニット
をさらに備え、
前記排気切替ユニットは、
前記液処理部よりも上方に配置されること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 前記排気切替ユニットは、
前記個別排気管の上部に配置されること
を特徴とする請求項4に記載の基板液処理装置。 - 多段に積層される複数の前記液処理部
を備え、
前記第1排気管は、
複数の前記液処理部のうち最上段に配置される前記液処理部よりも上方に配置され、複数の前記液処理部にそれぞれ対応する複数の前記第2排気管に接続されること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 前記液処理部は、
複数種類の処理液を供給する処理液供給部
を有し、
前記第1排気管は、
前記複数種類の処理液にそれぞれ対応する複数の個別排気管
を有し、
前記液処理部ごとに設けられ、前記第2排気管内を流れる排気の流出先を前記個別排気管の何れかに切り替える複数の排気切替ユニット
をさらに備え、
前記排気切替ユニットは、
前記第2排気管から流入する排気の流量を調整する排気流量調整部
を備えることを特徴とする請求項6に記載の基板液処理装置。 - 前記複数の排気切替ユニットのうち一の前記排気切替ユニットと他の一の前記排気切替ユニットとが、向かい合わせで配置されること
を特徴とする請求項7に記載の基板液処理装置。 - 多段に配置される複数の前記液処理部と、
複数の前記液処理部の各段に対応して設けられる複数の前記第1排気管と
を備え、
前記第1排気管は、
対応する段に配置される前記液処理部よりも上方、かつ、対応する段の一つ上段に配置される前記液処理部よりも下方に配置されること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 複数の前記液処理部にそれぞれ対応する複数の前記第2排気管は、
複数の前記液処理部の同じ側に配置されること
を特徴とする請求項6〜9のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 前記基板が搬送される搬送部と、
前記搬送部に沿って並列に配置される複数の前記液処理部と
を備え、
前記第1排気管は、
複数の前記液処理部が並列配置される領域の上方に配置されること
を特徴とする請求項1〜10のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 前記基板が搬送される搬送部と、
前記搬送部に沿って並列に配置される複数の前記液処理部と
を備え、
前記第1排気管は、
前記搬送部の上方に配置されること
を特徴とする請求項1〜10のいずれか一つに記載の基板液処理装置。 - 複数の柱部および複数の梁部を有し、前記柱部と前記梁部とによって形成される収容空間内に前記液処理部を収容するフレーム構造体
を備え、
前記第1排気管は、
前記フレーム構造体の上部に配置されること
を特徴とする請求項1〜12のいずれか一つに記載の基板液処理装置。
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