JP3961996B2 - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3961996B2 JP3961996B2 JP2003293727A JP2003293727A JP3961996B2 JP 3961996 B2 JP3961996 B2 JP 3961996B2 JP 2003293727 A JP2003293727 A JP 2003293727A JP 2003293727 A JP2003293727 A JP 2003293727A JP 3961996 B2 JP3961996 B2 JP 3961996B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust
- processing
- processing unit
- collecting container
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
気流の動圧をPV (mmH2O )とすれば、管ダクト1m当たりの圧力損失である直管圧損ΔPL (mmH2O/m )は、下記(2) 式で与えられる。
ただし、気流の流速をVとすれば、標準大気状態においては、
PV =(V/4.04)2 である。
この直管圧損ΔPL (mmH2O/m )を用いて、管ダクトの圧力損失PL (mmH2O )は、下記(3) 式で与えられる。
したがって、直径D(またはDe)(m)および長さL(m)を適切に定めることによって、圧力損失を調整できることが理解される。
7 主排気管
8 負圧源
9 ダンパ
51,52,53,54,55 処理部
61,62,63,64,65 副排気管
MTC 薬液処理部
DTC 洗浄処理部
MTR 主搬送ロボット
115 搬送室
120 排気集合容器
130 主排気管
140 負圧源
150 ダンパ
141,142,143,144 副排気管
210 主搬送ロボット
215 搬送室
G1,G2,G3,G4,G5 処理部群
220 排気集合容器
SP 副排気管
MP 主排気管
225 負圧源
226 ダンパ
310 第1処理部群
320 第2処理部群
TC 低温ロボット
TH 高温ロボット
301 搬送室
302 搬送室
340 排気集合容器
350 負圧源
351 ダンパ
SP1 副排気管
MP1 主排気管
345 排気集合容器
360 負圧源
361 ダンパ
SP2 副排気管
MP2 主排気管
Claims (1)
- 基板に対して加熱処理を施すための加熱処理部を少なくとも1つ含み、基板に処理を施すための複数の処理部と、
これらの複数の処理部のうちの少なくとも1つの処理部に対して基板を受け渡しする搬送手段と、
この搬送手段の周囲を取り囲むように形成された搬送室と、
上記複数の処理部にそれぞれ接続された複数の副排気管と、
これらの複数の副排気管を介して上記複数の処理部に接続されているとともに、上記搬送室の上方または下方に配置された排気集合容器と、
この排気集合容器に接続された主排気管と、
この主排気管を介して上記排気集合容器に接続された負圧源と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003293727A JP3961996B2 (ja) | 2003-08-15 | 2003-08-15 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003293727A JP3961996B2 (ja) | 2003-08-15 | 2003-08-15 | 基板処理装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP33866796A Division JP3562743B2 (ja) | 1996-12-18 | 1996-12-18 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004088104A JP2004088104A (ja) | 2004-03-18 |
JP3961996B2 true JP3961996B2 (ja) | 2007-08-22 |
Family
ID=32064500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003293727A Expired - Fee Related JP3961996B2 (ja) | 2003-08-15 | 2003-08-15 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3961996B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6289341B2 (ja) | 2014-10-31 | 2018-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置、排気切替ユニットおよび基板液処理方法 |
JP6430784B2 (ja) | 2014-10-31 | 2018-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置 |
CN115440633B (zh) * | 2022-10-17 | 2023-07-11 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体工艺设备和排气调节机构 |
-
2003
- 2003-08-15 JP JP2003293727A patent/JP3961996B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004088104A (ja) | 2004-03-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3926890B2 (ja) | 処理システム | |
JP2002280296A (ja) | 液処理装置 | |
JP2002217267A (ja) | 基板処理装置 | |
JP3225344B2 (ja) | 処理装置 | |
JPH1079343A (ja) | 処理方法及び塗布現像処理システム | |
JP5280141B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3562743B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3961996B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP3771430B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理システム | |
KR20100035119A (ko) | 감압 건조 장치 및 감압 건조 방법 | |
US20210278768A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
JP2010087116A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2007103638A (ja) | 基板処理における排気装置 | |
JP2014057002A (ja) | 基板処理装置および基板処理システム | |
US11728205B2 (en) | Device for transferring substrate, system for processing substrate, and method of processing substrate | |
KR102564512B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
US8127713B2 (en) | Multi-channel developer system | |
KR102316618B1 (ko) | 버퍼 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
KR101985754B1 (ko) | 공조 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치 | |
JP3878441B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP4030697B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR20210043185A (ko) | 반도체 기판의 이송 장치 및 기판 처리 장치 | |
JP3305215B2 (ja) | ガス処理方法および装置 | |
WO2023019590A1 (zh) | 涂覆显影设备 | |
JPH11145055A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070213 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070515 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070517 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100525 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |