JP2008034490A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハWに処理液を供給して液処理を行う複数の液処理ユニット22が水平に配置されたユニット室21bと、ユニット室21bの複数の液処理ユニット22へ供給する処理液を貯留する処理液貯留部21hと、処理液貯留部21hから各液処理ユニット22へ処理液を導く処理液配管群70を有する配管ボックス21fと、ユニット室21b、処理液貯留部21h、および配管ボックス21fを収容する共通の筐体21とを具備し、配管ボックス21fの処理液配管群70は、ユニット室21bの下方に水平に配置された水平配管70a〜70cを有し、この水平配管70a〜70cから各液処理ユニット22へ処理液を導くように構成され、処理液貯留部21hは、配管ボックス21fの下方に設けられている。
【選択図】 図2
Description
前記FFU23は、清浄空気を搬送室21a内に供給し、その一部が搬送室21aからユニット室21b,21cおよび液処理ユニット22の気流導入部49に導かれる。ユニット室21b,21cに導かれた清浄空気はさらに駆動エリア21d,21eに導かれる。駆動エリア21d,21eには、排気管73が接続されており、ユニット室21b,21cで発生したパーティクルおよび駆動エリア21d,21eの主に駆動系から発生したパーティクル等をこの排気管73を介して強制排気可能となっている。また、気流導入部49から導入された清浄空気は、上述したように液処理ユニット22内のウエハWに供給される。また、これも上述したように、液処理ユニット22の排気カップ92からは、配管ボックス21f,21gに設けられた排気配管群72の酸排気配管72a、アルカリ排気配管72bへ、酸排気、アルカリ排気がそれぞれ供給される。配管ボックス21f,21gには、その中を排気するための排気管74が接続されている。さらに、排気空間21jの底部には、搬送室21aを流れてきた気流を排気するための2つの排気管75,76と、搬送機構24の内部を通って来た気流を排気する搬送駆動系排気管77が接続されている。
2;処理ステーション
11;キャリア載置部
12;搬送部
13;受け渡し部
14;筐体
15;搬送機構
19;受け渡しステージ
20;受け渡し棚
21;筐体
21a;搬送室(搬送路)
21b,21c;ユニット室
21d,21e;駆動エリア
21f,21g;配管ボックス
21h,21i;薬液供給ユニット
21j;排気空間
22;液処理ユニット
23;ファン・フィルター・ユニット(FFU)
24;搬送機構
27a;第1垂直配管エリア
27b;第2垂直配管エリア
41;ベースプレート
42;ウエハ保持部
47;排気・排液部
70;処理液配管群
70a;SC1配管
70b;DHF配管
70c;純水配管
71;排液配管群
71a;酸排液配管
71b;アルカリ排液配管
71c;酸回収配管
71d;アルカリ回収配管
72;排気配管群
72a;酸排気配管
72b;アルカリ排気配管
73,74,75,76;排気管
77;搬送駆動系排気管
100;液処理装置
101;第1薬液タンク
102;第1回収タンク
103;送出管
104;返戻管
105;接続管
106,107;渡り配管
C;ウエハキャリア
W;半導体ウエハ
Claims (12)
- 基板に処理液を供給して液処理を行う複数の液処理ユニットが水平に配置された液処理部と、
前記液処理部の前記複数の液処理ユニットへ供給する処理液を貯留する処理液貯留部と、
前記処理液貯留部から前記複数の液処理ユニットへ処理液を導く配管を有する配管ユニットと、
前記液処理部、前記処理液貯留部、および前記配管ユニットを収容する共通の筐体と
を具備し、
前記配管ユニットの前記配管は、前記液処理部の下方に水平に配置された水平配管を有し、この水平配管から前記各液処理ユニットへ処理液を導くように構成され、前記処理液貯留部は、前記配管ユニットの下方に設けられていることを特徴とする液処理装置。 - 水平に配置され、基板に処理液を供給して液処理を行う複数の液処理ユニットを搬送路の両側に配し、前記搬送路を移動する搬送機構により前記複数の液処理ユニットに基板を搬送するように構成された液処理部と、
前記液処理部の前記複数の液処理ユニットへ供給する処理液を貯留する処理液貯留部と、
前記処理液貯留部から前記複数の液処理ユニットへ処理液を導く配管を有する配管ユニットと、
前記液処理部、前記処理液貯留部、および前記配管ユニットを収容する共通の筐体と
を具備し、
前記配管ユニットの前記配管は、前記搬送路の両側の液処理ユニットの下方にそれぞれ水平に配置された水平配管を有し、この水平配管から前記各液処理ユニットへ処理液を導くように構成され、これら水平配管は配管接続されて環状配管を構成し、この環状配管は前記処理液貯留部の処理液を循環可能に設けられ、前記処理液貯留部は、前記配管ユニットの下方に設けられていることを特徴とする液処理装置。 - 前記両側の水平配管は、前記搬送路の下側を通って設けられた配管により接続されることを特徴とする請求項2に記載の液処理装置。
- 前記搬送路に清浄空気を供給するファン・フィルター・ユニットをさらに具備し、その清浄空気を前記液処理ユニットへ導くことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の液処理装置。
- 前記配管ユニットは、前記各液処理ユニットから排出された処理液を排液する、水平に設けられた排液配管をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記排液配管を流れる処理液の少なくとも一部を再利用するために回収する回収機構をさらに具備することを特徴とする請求項5に記載の液処理装置。
- 前記配管ユニットは、前記各液処理ユニットからの排気を装置外に導く、水平に設けられた排気配管をさらに有することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記配管ユニットは、水平に配置されたケーシングを有し、その中に前記水平配管が延在していることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記ケーシング内を排気する排気管をさらに具備することを特徴とする請求項8に記載の液処理装置。
- 前記液処理部は、前記複数の液処理ユニットの駆動系が一括して配置された駆動エリアを有することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の液処理装置。
- 前記駆動エリア内を排気する排気管をさらに具備することを特徴とする請求項10に記載の液処理装置。
- 前記液処理部に隣接して設けられ、基板を複数枚収納する基板収納容器を載置可能に構成され、前記基板収納容器内の基板を前記液処理部へ搬入し、前記液処理部での処理後の基板を前記基板収納容器に搬出する基板搬入出部を具備することを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の液処理装置。
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