JP2023029521A - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023029521A JP2023029521A JP2023001564A JP2023001564A JP2023029521A JP 2023029521 A JP2023029521 A JP 2023029521A JP 2023001564 A JP2023001564 A JP 2023001564A JP 2023001564 A JP2023001564 A JP 2023001564A JP 2023029521 A JP2023029521 A JP 2023029521A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- unit
- substrate
- opening
- processing apparatus
- mounting unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 316
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 221
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 103
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 89
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 89
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 68
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 68
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 14
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 61
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 48
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 32
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 102100021807 ER degradation-enhancing alpha-mannosidase-like protein 1 Human genes 0.000 description 1
- 101000895701 Homo sapiens ER degradation-enhancing alpha-mannosidase-like protein 1 Proteins 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67196—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
- H01L21/67173—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers in-line arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
- H01L21/67178—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers vertical arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
- H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
- H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Polarising Elements (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
9 基板
10 インデクサブロック
12 インデクサロボット
20 処理ブロック
21 処理ユニット
22 センターロボット
23 搬送路
40,40a 載置ユニット
41 下載置部
42 上載置部
51 第1遮蔽部
52 第2遮蔽部
55 第1ガス供給部
56 第2ガス供給部
60 制御部
95 キャリア
100 (インデクサブロックの)内部空間
230 (搬送路の)内部空間
400 (載置ユニットの)内部空間
412,422,432 第1シャッタ
413,423,433 第2シャッタ
415,425,435 第1開口
416,426,436 第2開口
419 下ガス供給部
429 上ガス供給部
S11~S29,S31~S49 ステップ
Claims (9)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
基板を処理する処理ユニットおよび前記処理ユニットへの基板の搬出入を行う第1搬送ロボットが配置される処理ブロックと、
複数の基板を収容可能なキャリアへの基板の搬出入を行う第2搬送ロボットが配置されるインデクサブロックと、
前記処理ブロックと前記インデクサブロックとの接続部に設けられ、前記第2搬送ロボットから前記第1搬送ロボットへと渡される未処理の基板、および、前記第1搬送ロボットから前記第2搬送ロボットへと渡される処理済みの基板を保持する載置ユニットと、
大気よりも酸素濃度が低い低酸素雰囲気の前記インデクサブロックおよび前記載置ユニットと、前記処理ブロックにおいて前記処理ユニットと前記載置ユニットとを接続する搬送路との間の気体の移動を遮断可能な第1遮蔽部と、
前記載置ユニットに不活性ガスを供給することにより前記載置ユニットを低酸素雰囲気とする第1ガス供給部と、
を備え、
前記第1遮蔽部は、前記搬送路の内部空間と前記載置ユニットの内部空間とを接続する第1開口を開閉する第1扉体を備え、
前記第1ガス供給部は、前記載置ユニットにおいて保持される基板の側方および/または上方に設けられていることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記インデクサブロックと前記載置ユニットとの間の気体の移動を遮断可能な第2遮蔽部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記第2遮蔽部は、前記インデクサブロックの内部空間と前記載置ユニットの内部空間とを接続する第2開口を開閉する第2扉体を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記インデクサブロックに不活性ガスを供給することにより前記インデクサブロックを低酸素雰囲気とする第2ガス供給部をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記インデクサブロックと前記載置ユニットとの間の気体の移動を遮断可能な第2遮蔽部と、
前記インデクサブロックに不活性ガスを供給することにより前記インデクサブロックを低酸素雰囲気とする第2ガス供給部と、
前記第1ガス供給部からの不活性ガスの供給と、前記第2ガス供給部からの不活性ガスの供給とを個別に制御する制御部と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記搬送路の酸素濃度は、前記インデクサブロックの酸素濃度および前記載置ユニットの酸素濃度よりも高いことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項6に記載の基板処理装置であって、
前記搬送路は大気雰囲気であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記インデクサブロックと前記載置ユニットとの間の気体の移動を遮断可能な第2遮蔽部と、
前記第1搬送ロボット、前記第2搬送ロボット、前記第1遮蔽部、前記第1ガス供給部および前記第2遮蔽部を制御する制御部と、
をさらに備え、
前記第2遮蔽部は、前記インデクサブロックの内部空間と前記載置ユニットの内部空間とを接続する第2開口を開閉する第2扉体を備え、
前記制御部の制御により、
前記第1扉体および前記第2扉体により前記第1開口および前記第2開口が閉鎖された状態で、前記載置ユニットが低酸素雰囲気とされた後、前記第2開口が開放され、
前記第2開口を介して前記第2搬送ロボットにより未処理の基板が前記載置ユニットに搬入され、
前記第2扉体により前記第2開口が閉鎖された後、前記第1開口が開放され、
前記第1開口を介して前記第1搬送ロボットにより前記未処理の基板が前記載置ユニットから搬出されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記インデクサブロックと前記載置ユニットとの間の気体の移動を遮断可能な第2遮蔽部と、
前記第1搬送ロボット、前記第2搬送ロボット、前記第1遮蔽部、前記第1ガス供給部および前記第2遮蔽部を制御する制御部と、
をさらに備え、
前記第2遮蔽部は、前記インデクサブロックの内部空間と前記載置ユニットの内部空間とを接続する第2開口を開閉する第2扉体を備え、
前記制御部の制御により、
前記第2扉体により前記第2開口が閉鎖されており、前記第1開口が開放された状態で、前記第1開口を介して前記第1搬送ロボットにより処理済みの基板が前記載置ユニットに搬入された後、前記第1扉体により前記第1開口が閉鎖され、
前記第1扉体および前記第2扉体により前記第1開口および前記第2開口が閉鎖された状態で、前記載置ユニットが低酸素雰囲気とされた後、前記第2開口が開放され、
前記第2開口を介して前記第2搬送ロボットにより前記処理済みの基板が前記載置ユニットから搬出されることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023001564A JP7454714B2 (ja) | 2018-09-21 | 2023-01-10 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018177388A JP7209503B2 (ja) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2023001564A JP7454714B2 (ja) | 2018-09-21 | 2023-01-10 | 基板処理装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018177388A Division JP7209503B2 (ja) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023029521A true JP2023029521A (ja) | 2023-03-03 |
JP7454714B2 JP7454714B2 (ja) | 2024-03-22 |
Family
ID=69887132
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018177388A Active JP7209503B2 (ja) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2023001564A Active JP7454714B2 (ja) | 2018-09-21 | 2023-01-10 | 基板処理装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018177388A Active JP7209503B2 (ja) | 2018-09-21 | 2018-09-21 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP7209503B2 (ja) |
KR (2) | KR20230030040A (ja) |
CN (1) | CN112514045A (ja) |
TW (2) | TWI750501B (ja) |
WO (1) | WO2020059375A1 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1145925A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007311691A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム,搬送アームのクリーニング方法及び記録媒体 |
JP2008034490A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
JP2016040801A (ja) * | 2014-08-12 | 2016-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理装置の基板載置部の雰囲気制御方法 |
JP2017028110A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送室、基板処理システム、及び基板搬送室内のガス置換方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4014126B2 (ja) * | 2001-01-17 | 2007-11-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
KR100505061B1 (ko) * | 2003-02-12 | 2005-08-01 | 삼성전자주식회사 | 기판 이송 모듈 |
JPWO2006038472A1 (ja) * | 2004-10-06 | 2008-05-15 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP4787038B2 (ja) * | 2006-03-03 | 2011-10-05 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP4762098B2 (ja) * | 2006-09-28 | 2011-08-31 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP4993614B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2012-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送手段のティーチング方法、記憶媒体及び基板処理装置 |
JP5371854B2 (ja) | 2010-03-26 | 2013-12-18 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置および基板処理方法 |
US9275884B2 (en) * | 2011-03-25 | 2016-03-01 | Novellus Systems, Inc. | Systems and methods for inhibiting oxide growth in substrate handler vacuum chambers |
JP5765985B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2015-08-19 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP5486712B1 (ja) | 2013-04-03 | 2014-05-07 | 有限会社アクセス | 基板搬送ボックス及び基板搬送装置 |
TWI635552B (zh) * | 2013-12-13 | 2018-09-11 | 昕芙旎雅股份有限公司 | 設備前端模組(efem) |
JP6278751B2 (ja) * | 2014-03-04 | 2018-02-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送方法及び基板処理装置 |
JP6262634B2 (ja) | 2014-10-31 | 2018-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP5947435B1 (ja) | 2015-08-27 | 2016-07-06 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラムおよび記録媒体 |
-
2018
- 2018-09-21 JP JP2018177388A patent/JP7209503B2/ja active Active
-
2019
- 2019-08-16 KR KR1020237005934A patent/KR20230030040A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-08-16 WO PCT/JP2019/032155 patent/WO2020059375A1/ja active Application Filing
- 2019-08-16 CN CN201980051209.1A patent/CN112514045A/zh active Pending
- 2019-08-16 KR KR1020217003168A patent/KR102503896B1/ko active IP Right Grant
- 2019-08-23 TW TW108130193A patent/TWI750501B/zh active
- 2019-08-23 TW TW110148085A patent/TWI791356B/zh active
-
2023
- 2023-01-10 JP JP2023001564A patent/JP7454714B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1145925A (ja) * | 1997-07-24 | 1999-02-16 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2007311691A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム,搬送アームのクリーニング方法及び記録媒体 |
JP2008034490A (ja) * | 2006-07-26 | 2008-02-14 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
JP2016040801A (ja) * | 2014-08-12 | 2016-03-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理装置の基板載置部の雰囲気制御方法 |
JP2017028110A (ja) * | 2015-07-23 | 2017-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送室、基板処理システム、及び基板搬送室内のガス置換方法 |
US20180211850A1 (en) * | 2015-07-23 | 2018-07-26 | Tokyo Electron Limited | Substrate transfer chamber, substrate processing system, and method for replacing gas in substrate transfer chamber |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202018847A (zh) | 2020-05-16 |
JP2020047888A (ja) | 2020-03-26 |
KR20210027444A (ko) | 2021-03-10 |
JP7209503B2 (ja) | 2023-01-20 |
TW202215589A (zh) | 2022-04-16 |
TWI750501B (zh) | 2021-12-21 |
WO2020059375A1 (ja) | 2020-03-26 |
CN112514045A (zh) | 2021-03-16 |
KR20230030040A (ko) | 2023-03-03 |
TWI791356B (zh) | 2023-02-01 |
KR102503896B1 (ko) | 2023-02-24 |
JP7454714B2 (ja) | 2024-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100831933B1 (ko) | 기판처리장치 및 반도체장치의 제조방법 | |
KR101180283B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
US11501987B2 (en) | Loadlock module and semiconductor manufacturing apparatus including the same | |
JP2003124284A (ja) | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 | |
KR20020025042A (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 반도체 장치의 제조방법 | |
KR20090124118A (ko) | 기판 처리 시스템 | |
KR20190098056A (ko) | 기판 반송 장치 및 기판 처리 시스템 | |
JP5164416B2 (ja) | 基板処理装置、収納容器の搬送方法および半導体装置の製造方法 | |
JP6275824B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及びプログラム | |
JP7209503B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
KR20120022598A (ko) | 기판 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2014067797A (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び半導体装置の製造方法 | |
TWI809131B (zh) | 基板處理裝置、基板處理系統及基板處理方法 | |
JP4383636B2 (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2004119627A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2005347667A (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2013161837A (ja) | 半導体製造装置、基板移載装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2009130225A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2006147779A (ja) | 処理システム | |
JP2006128208A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2011238841A (ja) | 金属膜形成システム | |
JP2014216413A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2002043389A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2001358192A (ja) | 半導体製造設備 | |
KR20160072878A (ko) | 기판 처리 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230110 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231228 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240219 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240311 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7454714 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |