TW200928619A - Composition for striipping and stripping method - Google Patents

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200928619 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於剝除組成物及剝除方法，且更具體而言， 係關於當在基板上形成彩色濾光片或有機絕緣薄膜之製程 期間出現缺陷時，易於剝除基板上所形成之彩色光阻或有 機絕緣薄膜以再利用基板之組成物及方法。 . 本申請案主張優先於於2007年9月28日在韓國智慧財產 局提出申請之韓國專利申請案第1〇_2〇〇7_98〇28號，其揭示 參 内容全部以引用之方式併入本文中。 【先前技術】 在液晶顯示裝置中，頂部基板包括：紅、綠及藍彩色濾 光片，用於防止每一像素間漏光且改善反差比之黑色基 質，及用於施加電壓至液晶單元之公用電極。 製造頂部基板上之彩色濾光片之方法係如下：將可用作 黑色基質材料之Cr/Cr〇x或有機材料施於玻璃基板上以形 • 《圖案。可形成黑色遮罩圖案。此後，藉由微影蝕刻技術 形成彩色光阻圖案以顯示彩色。將彩色光阻施於玻璃基板 上，且使其曝光以藉由光聚合加以固化。曝光後，藉由顯 - 料除彩色光阻之未經曝絲域，且彩色光阻經歷供烤處 ，理。 藉由顏料分散方法 '染色方法、電沈積方法或諸如此類 製造彩色光阻，且通常使用顏料分散方法。顯示彩色之有 機顏料係-般分散於用於光阻劑之光敏性組成物中，包括 光聚口反應起始劑、單體及黏結劑。光聚合反應起始劑係 133989.doc 200928619 當被照射時能產生自由基之高度敏感化合物。在聚合反應 開始且變為不溶於溶劑後，單體藉由自由基形成聚合物。 ㈣劑w止㈣單體於室溫下受顯影劑影響，且影響顏 料分散之敎性m及藍圖案之料性、耐紐及耐 藥性之可靠性。 迄今為止，-旦在製造彩色渡光片過程期間固化彩色光 阻，則不可能僅移除或修復圖案之損傷部分。另外，由於

無適當溶劑移除彩色光阻，故廢棄於其上形成損傷彩色濾 光片之基板。 彩色光阻係負型綠，與正型綠相比，其通常難以藉 由剝除移除’因此人們期望改善剝除性能。 具體而言’在於底部基板之薄膜電晶體上形成彩色濾光 片之情形中，可在移除彩色綠期間損壞由包_之金屬 所形成之電極。因此，需求解決該等問題之剝除性能。 另外’能移除薄膜電晶體上所形成之負型有機絕緣薄膜 之適當剝除組成物目前未得到良好發展，其增大了對能剝 除薄膜之組成物之需求。 鑒於上述原因，通常使用無機剝除溶液及使用電漿之反 應離子蝕刻（RIE)。然而，在使用無機剝除溶液時，將硫 酸、硝酸、發煙硫酸及硝酸與過氧化氫之混合溶液加熱至 12〇°C或更高溫度，因而在處理時需要特別加以注意以確 保用戶之安全並避免火災之危險。 移除經固化彩色光阻之使用電漿之RIE方法（其藉由習知 濕法蝕刻方法難以移除）係揭示於美國專利第5,756,239號 133989.doc 200928619 中’其中連續使用〇2-rIEasF6_rie。此外，藉由使 之電漿移除彩色光阻之吸收層及藉由使用六氣化硫或三氣 化氮之RIE移除彩色光阻之障壁層之方法係揭示於美國專 利第5,059’5()()號中’其中㈣、聚酿胺及盼經清漆樹脂可 用作吸收層且聚石夕炫、聚石夕氧烧、有機石夕化合物、二氧化 矽、氮化石夕及其混合物可用作障壁層。然而，藉由使用電 渡蚀刻彩色遽光片之方法具有實際限制，乃因 ❹ 空及高能量、難以控制過程條件、該方法不可用、於廣域、 且柬用昂貴設備。 此由於對用戶安全性及低生產力及產率之關注藉 由習知方法不可易於移除大量彩色光阻。 【發明内容】 本發明之-態樣提供能易於移除彩色光阻或有機絕緣薄 臈之剝除組成物。 本發明之另—態樣提供可移除在薄膜電晶體上所形成之 彩色光阻或貞型有制㈣膜之_組成物及聽方法。 本發明之又一態樣所提供的剝除組成物及剝除方法在移 除彩色光阻或有機絕緣薄膜時不損傷底部基板之薄膜電晶 體。 本發明之態樣提供包括0.5七wt%之氫氧化物化合物、 10 89 wt%之伸院基二醇院基趟化合物、wt%之烧醇 胺化合物及O.OUwt%之無機鹽化合物之剝除組成物。 就此而S ’氫氧化物化合物具有纟⑴個碳原子之烷 基’且可包括選自由下列組咸之群之一種：無機驗金屬氫 133989.doc 200928619 氧化物、氫氧化烷基銨、氫氧化烷基烯丙基銨及其組人 無機鹼金屬氫氧化物可包括選自由下列組成之群之二α ° 氫氧化鋰、氫氧化鈉、氫氧化鉀及其組合。 另外，氫氧化烷基銨可包括選自由下列組成之群之一 種：四乙基氫氧化錄、四甲基氫氧化銨（ΤΜαη)、四丁: 氫氧化敍、氫氧化三甲基㈣、氫氧化銨及其組合 化烷基烯丙基銨可包括選自由下列組成之群之一種：氫氧

❷ 化敍、四甲基氫氧化録、四乙基氫氧化録、四丁基氣氧化 銨、四苄基氫氧化銨及其組合。 另外，伸烷基二醇烷基醚化合物包括具有丨至4個碳原子 之烷基，且可包括選自由下列組成之群之一種··單伸烷基 二醇單烷基醚、二伸烷基二醇單烷基醚、三伸烷基單烷基 醚及其組合。 土 伸烷基二醇烷基醚化合物可包括選自由下列組成之群之 種·乙二醇單丁醚、二乙二醇單丁醚、三乙二 三乙二醇單鍵、 喊、乙二醇單甲醚、二乙二醇單甲醚、 乙一醇單曱喊、乙二醇單乙二醇醚、丙二醇單曱謎、二丙 二醇單甲醚、三丙二醇單曱醚及其組合。 另外’烷醇胺化合物分子中可包括至少一個由下式⑴表 示之官能團。 R1 ^N-C-〇h R2 ⑴ 133989.doc 200928619 (其中R1及R2分別包括氫原子且係Cl_c8烷基或Ci-Cs烯 基）。 燒醇胺化合物可由下式（II)表示。 R3 &

，>t〇H (II) (其中R1及R2係如上文所定義，R3係Ci_Ci〇烷基、Ci_Ci〇烯 ❹基、胺基、CVC,。羥烷基、。胺基烷基、（CVC,。烷基） 苯基、苯基（C〗-C1Q)烷基、CVCw烷氧基、（CVCw)烷氧基 (c!-c,。）烧基、羥基（C|_Ci())烷氧基（Ci_CiG)烷基、Ci_Ci〇烷 基胺基、胺基（CVCw)烧氧基（(VCto)烧基、經基（(：〗-(：,〇) 烧基胺基（C>-C1Q)胺基；R4係氫、CH2OH、-CH(OH)CH3、 CVCw院基、Cl_CiQ烯基、胺基、Ci_Ci〇經烧基、Ci_Ci〇胺 基烧基、（cvq。烷基）苯基、苯基（Cl_Ci())烷基、Cl-c10：^ 氧基、（CVC,。）烷氧基（Cl_Cl0；)烷基、羥基（Ci_Ci〇)烷氧基 ® (C,-Cl(>)炫基、Ci-Cio院基胺基、胺基（CVCw)烧氧基（c,- CI0)烧基、經基（c「Cl())烷基胺基（Ci_CiQ)烷基；或…及… 可與氮結合以形成具有1至12個碳原子之環胺基。） 另外，在另一實施例中，每一 R1及R2係氫，或R〗可為氫 • 且R2可為甲基。 烷醇胺化合物可包括選自由下列組成之群之一種：（ι) 剝除脂肪族燒醇胺，例如N-經甲基曱胺、N_經曱基二曱 胺、N，N-二羥甲基甲胺、Ν_(α•羥乙基）甲胺、Ν_(α_羥乙 基）一甲胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙基）甲胺、Ν-經曱基乙胺、Ν_ 133989.doc 200928619 羥甲基二乙胺' N，N-二羥甲基乙胺、Ν-(α-羥乙基）乙胺、 Ν-(α-羥乙基）二乙胺、n，N-(二-α-羥乙基）乙胺、N-羥甲基 丙胺、Ν-羥甲基二丙胺、ν，Ν-二羥甲基丙胺、Ν-(α-羥乙 基）丙胺、Ν-(α-羥乙基）二丙胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙基）丙胺、 Ν-經曱基丁胺、Ν-經甲基二丁胺、Ν，Ν-二經曱基丁胺、Ν-(α-羥乙基）丁胺、Ν-(α-羥乙基）二丁胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙 基）丁胺、Ν-羥曱基戊胺、Ν-羥甲基二戊胺、Ν，Ν-二羥甲 基戊胺、Ν-(α-羥乙基）戊胺、Ν-羥甲基己胺、Ν-羥甲基二 己胺、Ν，Ν-二羥曱基己胺、Ν-(α-羥乙基）己胺、Ν-羥甲基 庚胺、Ν-羥甲基二庚胺、ν,Ν-二羥甲基庚胺、Ν-羥甲基辛 胺、Ν-羥甲基二辛胺、ν，Ν-二羥甲基辛胺、Ν-(α-羥乙基） 辛胺、Ν-羥甲基曱基乙胺、Ν-(α-羥乙基）甲基乙胺、沁羥 曱基甲基丙胺、Ν-(α-羥乙基）曱基丙胺、Ν-羥甲基甲基丁 胺、Ν-(α-羥乙基）甲基丁胺、Ν·羥曱基乙基丙胺、 乙基）乙基丙胺、N-羥甲基乙基丁胺、N-(a-羥乙基）乙基丁 胺、>^-羥甲基乙醇胺（〇八8第65184-12-5號）、>^(〇1-經乙基） 乙醇胺、N，N-二羥甲基乙醇胺、n，N-(二-a-羥乙基）乙醇 胺、N-經曱基一乙醇胺、N-(a-經乙基）二乙醇胺、經曱 基-N-甲基乙醇胺、N_(a_羥乙基）_N_甲基乙醇胺、队經甲 基-N-丙基乙醇胺、N-(a-羥乙基）-N-丙基乙醇胺、N_經甲 基-N-丁基乙醇胺、N-(a-羥乙基）-N-丁基乙醇胺、N_羥甲 基異丙醇胺（CAS第76733-35-2號）、N_(a-羥乙基）異丙醇 胺、Ν,Ν-二經甲基異丙醇胺、n，N-(二_a-經乙基）異丙醇 胺、N-羥曱基二異丙醇胺、N-(a-羥乙基）二異丙醇胺、ν 133989.doc 12· 200928619 經甲基-N-甲龙田 卷異丙醇胺、Ν-(α-羥乙基）-N-甲基異丙醇 胺、N-經甲其χτ ' 患—N-乙基異丙醇胺、Ν·(α_羥乙基）_Ν•己篡里 丙醇胺、：w 曱基-N-丙基異丙醇胺、Ν-(α-羥乙基>N_丙 基異丙醇胺、^ 羥曱基·ν_ 丁基異丙醇胺、Ν-(α-羥乙某 Ν· 丁基異丙酸&

畔胺、Ν-羥曱基胺基乙氧基乙醇、Ν-(α_^ ? 基）胺基乙氧A 和暴乙醇、N，N-二羥曱基胺基乙氧基乙醇、 N，N-(二·α_羥广甘、衫 分 叶 基）胺基乙氧基乙醇、Ν-羥曱基胺基_2_甲 基丙醇、p《 包乙基）胺基-2-甲基丙醇、Ν，Ν -二經甲基胺 基-2_曱基丙醇及Ν，Ν-(二-α-羥乙基）胺基-2-甲基丙醇；（2) 脂肪族燒醇多胺，例如Ν·羥曱基乙二胺（CAS第41434-24-6 號）、Ν-(α-羥乙基）乙二胺、Ν，Ν•二羥曱基乙二胺（cas第 70495-38-4號）、N-羥甲基丁二胺（CAS 第 66210-83-1 號）、 N-羥曱基丙二胺（CAS第66210-82-0號）、N，N'-二羥甲基丁 二胺、N，N-二羥曱基丁二胺、ν，Ν，Ν·-三羥曱基丁二胺、 Ν，Ν，Ν’Ν’-四羥甲基丁二胺、Ν,Ν，-二羥甲基丙二胺、Ν，Ν_ 二羥甲基丙二胺、Ν，Ν，Ν，-三羥甲基丙二胺、Ν，Ν，Ν，，Ν，-四 羥甲基丙二胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙基）乙二胺、Ν，Ν，Ν，-三羥甲 基乙二胺、Ν，Ν，Ν，-(三-α-羥乙基）乙二胺、ν,Ν,Ν’Ν，-四羥 曱基乙二胺、Ν，Ν，Ν，Ν，-(四-α-羥乙基）乙二胺、Ν-羥甲基-Ν-曱基乙二胺、Ν-(α-經乙基）-Ν-甲基乙二胺、Ν，Ν'-二經 曱基-Ν-曱基乙二胺、Ν,Ν，-(二·α_羥乙基）_Ν-甲基乙二胺、 Ν,Ν'，Ν'-(三-cx-羥乙基）-Ν-甲基乙二胺、Ν，Ν，，Ν·-三羥甲基_ Ν-甲基乙二胺、Ν-羥甲基-Ν，，Ν，-二甲基乙二胺、Ν-(α-羥 乙基）-Ν’，Ν’-二曱基乙二胺、Ν，Ν-二羥曱基-Ν'，Ν，-二甲基乙 133989.doc -13· 200928619 二胺、N，N-(二-α-羥乙基）·Ν，，Ν，_二甲基乙二胺、N_經甲 基Ν,Ν,Ν-二曱基乙二胺、Ν-(α-經乙基卜队^卞丨-三甲基 乙二胺、Ν-羥曱基-Ν-乙基乙二胺、Ν，Ν，-二羥甲基_Ν_乙基 乙二胺、Ν，Ν，，Ν，-三羥甲基-Ν-甲基乙二胺、Ν_羥甲基 Ν，Ν·-二乙基乙二胺、ν，Ν-二經甲基-Ν',Ν'-二乙基乙二 胺、Ν-經曱基_Ν，Ν，Νι_三乙二胺、Ν·羥甲基丙二胺、ν，ν· 二羥甲基丙二胺、Ν，Ν，Ν，-三羥甲基丙二胺、Ν，Ν，Ν,，Ν,_四 羥曱基丙二胺、Ν-羥甲基丁二胺、Ν，Ν-二羥甲基丁二胺、 Ν，Ν，Ν’-三羥曱基丁二胺、Ν，Ν，Νι，Ν，_四羥甲基丁二胺、Ν_ 經曱基二乙三胺、Ν，Ν”-二羥甲基二乙三胺及队羥甲基三 乙四胺，（3)脂肪族烧醇不飽和胺’例如Ν-經‘甲基稀丙 胺、Ν，Ν-二羥曱基烯丙胺、Ν-(α-羥乙基）烯丙胺、Ν,Ν_ (二-α-經乙基）稀丙胺、Ν-經甲基二稀丙胺、Ν-經曱基-Ν-甲基稀丙胺及Ν-經曱基-Ν-乙基稀丙胺；（4)剝除環狀烧醇 胺，例如Ν-羥甲基吡咯、Ν-(α·羥乙基）吡咯、Ν_經甲基_甲 基吡咯、Ν-羥甲基-二曱基吡咯、Ν-羥曱基_三曱基吡咯、 Ν-羥甲基吡咯啶、Ν-(α-羥乙基）吡咯啶、Ν-羥甲基-甲基啦 略咬、Ν-經甲基吼〇坐、Ν-經曱基0米β坐、Ν-經甲基三0坐、Ν-經曱基四峻、Ν-經甲基六氫0比咬、Ν-((χ-經乙基）六氮0比 啶、Ν-羥甲基甲基哌啶、Ν-羥曱基二曱基哌啶、Ν_經甲基 六氫β比唤、Ν，Ν-二羥甲基六氫11比嗓、Ν-(α-羥乙基）六氮0比 嗪、Ν-羥甲基甲基六氫吡嗪、Ν-羥曱基嗎啉及Ν_(α經乙 基）嗎淋，（5)脂肪族烧醇鍵胺’例如Ν-經甲基甲氧基乙 胺、Ν-(α-羥乙基）曱氧基乙胺、Ν，Ν-二羥甲基甲氧基乙 133989.doc 200928619 胺、W基甲氧基丙胺、Ν，Ν_二經甲基甲氧基丙胺、Ν· 每曱基乙乳基乙胺、Ν_(α_經乙基）乙氧基乙胺、AN·二經 甲基乙氧基乙胺、Ν_羥甲基乙氧基丙胺及⑽-二羥甲基乙 氧基丙胺；及其組合。 ❹ 烧醇胺化合物可進—步包括至少—種選自由下列組成之 群之額外^垸基胺、㈣胺、多胺、㈣、環胺及其組 合。烷基胺可包括選自由下列組成之群之一種：脂肪族第 -烷基胺’例如曱⑯、乙胺、正丙胺、異丙胺、正丁胺、 第二丁胺、異丁胺、第三丁胺、戊胺、2_胺基戊烷、3•胺 基戊烷、1-胺基_2_曱基丁烷、2_胺基甲基丁烷、2_胺 基-2-甲基丁烷、3_胺基_2_甲基丁烷、4_胺基-2_甲基丁 烷、己胺、5-胺基-2-甲基戊烷、庚胺、辛胺、壬胺、癸 胺、十一烷胺、十二烷胺、十三烷胺、十四烷胺、十五烷 胺、十六燒胺、十七烷胺及十八烷胺；脂肪族第二烷基 胺’例如一甲胺、二乙胺、二丙胺、二異丙胺、二丁胺、 二異丁胺、二·第二丁胺、二-第三丁胺、二戊胺、二己 胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、甲基乙胺、曱基 丙胺、曱基異丙胺、曱基丁胺、曱基異丁胺、甲基第二丁 胺、曱基第三丁胺、曱基戊胺、曱異戊胺、乙基丙胺、乙 基異丙胺、乙基丁胺、乙基異丁胺、乙基第二丁胺、乙基 第三丁胺、乙基異戊胺、丙基丁胺及丙基異丁胺；脂肪族 第三烷基胺，例如三曱胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三 戊胺、二曱基乙胺、二曱基丙胺、甲基二乙胺、甲基二丙 胺；及其組合。烷醇胺可包括選自由下列組成之群之一 133989.doc •15- 200928619 種：脂肪族烷醇胺，例如乙醇胺、N_甲基乙醇胺、Ν·乙美 乙醇胺、:Nl·丙基乙醇胺、Ν_ 丁基乙醇胺、^乙醇胺、三： 醇胺、Ν-甲基二乙醇胺、Ν_乙基二乙醇胺、異丙醇胺、二 異丙醇胺、三異丙醇胺、Ν_甲基異丙醇胺、Ν_乙基異丙醇 胺、Ν-丙基異丙醇胺、2_胺基丙_卜醇、Ν_甲基胺基丙— 1-醇、Ν-乙基-2-胺基丙_丨·醇、丨_胺基丙_3_醇、甲基_卜 胺基丙-3-醇、Ν-乙基-ΐ_胺基丙_3_醇、丨_胺基丁 _2_醇、& 甲基-1-胺基丁-2-醇、Ν-乙基-1-胺基丁 _2_醇、2_胺基丁 q — 醇、N-甲基-2-胺基丁-1-醇、N-乙基-2-胺基丁 _ι_醇、3_胺 基丁 -1-醇、N-曱基-3-胺基丁 -1-醇、N-乙基-3-胺基丁 醇、1-胺基丁-4 -醇、N-甲基-1-胺基丁-4 -醇、N-乙基_1_胺 基丁-4 -醇、1-胺基-2-甲基丙-2 -醇、2 -胺基-2-甲基丙_ι_ 醇、1-胺基戊-4 -醇、2 -胺基-4-曱基戊-1-醇、2-胺基己_ι_ 醇、3-胺基庚-4-醇、1-胺基辛-2-醇、5-胺基辛-4-醇、1_胺 基丙-2,3 -二醇、2-胺基丙-1，3 -二醇、卷（氧甲基）胺基甲 烷、1，2-二胺基丙-3-醇、1,3-二胺基丙-2-醇、2-(2-胺基乙 氧基）乙醇及其組合。多胺可包括選自由下列組成之群之 一種：乙二胺、丙二胺、丁二胺、三亞曱基二胺、四亞曱 基二胺、1,3-二胺基丁烷、2,3-二胺基丁烷、戍亞甲基二 胺、2,4-二胺基戊烷、六亞曱基二胺、七亞曱基二胺、八 亞甲基二胺、九亞甲基二胺、N_曱基乙二胺、N，N-二曱基 乙二胺、三甲基乙二胺、N-乙基乙一胺、N，N-—乙基乙二 胺、三乙基乙二胺、1，2,3-三胺基丙烧、畚（2-胺基乙基） 胺、四（胺基甲基）曱烷、二乙三胺、三乙四胺、四伸乙基 133989.doc -16 - 200928619

鲁 戊胺、七伸乙基辛胺、九伸乙基癸胺及其組合。經胺可包 括選自由下列組成之群之一種：經胺、N_甲基經胺、义乙 基’工胺N，N_ 一乙基羥胺及其組合。環胺可包括選自由下 歹J、，且成之群之一種· π比略、2_甲基吼略、3·甲基吼嘻、 乙基比洛、3-乙基η比洛、2,3_二甲基〇比嘻、2,4_二甲基口比 洛、3,4-二甲基吼嘻、2,3,4_三甲基料、2,3,5_三甲基呢 咯、2-η比嘻琳、3_吼„各琳、吼略鳴、2_甲基吼略咬、3_甲 基吼哈咬、°比嗤、味唾、1，2,3_三唾、1，2,3,4_四吐、六氣 吡啶、2·甲基哌啶、3_甲基哌啶、4甲基哌啶、2,4_二甲 基㈣:2,6_二甲基_、3,5二甲基錢、六氫^秦、^ 甲基六氫σ比嗪、25- -田Λ 一甲基六虱吡嗪、2,6-二甲基六氫吡 嗪、嗎啉及其組合。 另外，無機鹽化合物可包括選自由下列組成之群之一 種：乱氧化鉀、醋酸卸、硝酸卸、碳酸卸、焦破酸钟及其 組合。剝除組成物可進一步包括選自由下列組成之群之j 種：經胺化合物、耐腐敍試劑、極性溶劑、水及其組合。 另外，羥胺化合物係水溶性且可包括選自由下列組成之 群之-種：乙醇胺、甲醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺及其組 合。羥胺化合物可包括選自由下列組成之群之一種：單乙 醇胺、單甲醇胺、異丙醇胺、二甲醇胺、〔乙醇胺、二丙 醇胺、二甲醇胺、三乙醇胺、四乙醇胺及其組合。 另外，耐腐蝕試劑可包括選自由下列組成之群之一種： 糖類、糖醇、芳香經基化合物、乙块醇、㈣化合物及其 肝、三啥化合物及其組合。 133989.doc 17 200928619 ❿ 糖類可包括選自由下列組成之群之一種：具有3至6個碳 原子之單糖，例如甘油醛、抗壞血酸、異抗壞血酸、蘇 糖'阿拉伯糖、木糖、核糖、核_、木綱糖、葡萄糖、 甘露糖、半乳糖、塔格糖（tagatose)、阿羅糖（aU〇se)、阿 卓糖（ah⑽）、古洛糖（gul〇se)、艾杜糖（id〇se)、塔羅糖 ⑽⑽)、山梨糖、阿洛酮糖及果糖；諸如海蕩糖等二糖， 及其組合。糖醇可包括選自由下肋成之群之—種：蘇糖 醇、赤蘚醇、核糖醇、阿拉伯糖醇、木糖醇、塔羅糖醇、 山梨醇、甘露酵、艾杜糖醇、半乳糖醇、肌醇及其組合。 芳香羥基化合物可包括選自由下列組成之群之一種：苯 酚、甲酚、二甲苯酚、鄰苯二酚、間苯二酚、對苯二酚、 連苯三酚、1，2,4·間苯三酚、水楊酸醇、對-羥基苯甲醇、 對-羥基笨乙醇、對胺基笨酚、間胺基苯酚，二胺基苯酚、 胺基間苯二盼、對經基苯曱酸、鄰經基苯甲酸、2,4•二經 基苯甲酸、2’5·—經基苯甲酸、3,4.二經基苯曱酸、3,5_二 羥基苯甲酸、沒食子酸及其組合。乙炔醇可包括選自由下 列”且成之群之一種.2-丁烯。，馭二醇、3,5_二甲基」·己烯_ 3醇2甲基_3_ 丁稀-2-醇、3·甲基戊稀_3醇、3,6_二甲 基4辛稀_3,6_ 一醇、2,4,7,9_四甲基癸烯_4,7_二醇、 2,5-二甲基_3_己烯_2,5_二醇及其組合。㈣化合物及其酐 可包括選自由下列組成之群之—種：甲酸、醋酸、丙酸、 丁酸、異丁酸、草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、馬來 ?、富馬酸、苯曱酸、鄰笨二甲酸、1，2,3-苯三甲酸、乙 醇酸—乙醇酸、乳酸、蘋果酸、檸檬酸、乙酸Sf、鄰笨 I33989.doc -18- 200928619 二甲酸酐、馬來酸酐、琥珀酸酐、水楊酸及其組合。三唑 化合物可包括選自由下列組成之群之一種：苯并三唑:鄰 甲基苯并三。坐、間甲基苯并三嗤、對曱基苯并三嗤、竣基 苯并三》坐、1-經基苯并三唾、硝基苯并三唾、二經丙基笨 并二唑及其組合。耐腐蝕試劑可包括選自由下列組成之群 之一種：兒茶盼（例如鄰苯二盼）、山梨醇、木糖醇、沒食 子酸、2-丁稀-l，4-二醇、鄰苯二甲酸、鄰苯二甲酸肝、水 楊酸、抗壞血酸、甲基苯并三嗤、苯并三錢其組合。 另外，極性溶劑可為硫化合物錢基„叫_。硫化人 物可包括選自由下賴成之群之—種：二甲基亞碌、二乙 基亞礙、二丙基亞硬、SUlf_n及其混合物。炫基。比略。定 _可包括選自由下列組成之群之―種：㈣㈣、正甲基 口比略咬酮、正乙基❹各相、正丙基、正辛心比 略。定嗣、正環己基料㈣、正十m各㈣、L比 略π定酿1、1 -經乙其0 nU_ π & 基·2比咯啶酿I、1-羥丙基-2-吡咯啶醐及其 ❿ 組合。 剝除組成物可進—牛々 步匕括0.5-10 wt%之羥胺化合物、 0’(H_5wt%之耐心試劑及剩餘量水。 氫氧化物化合物可為四甲基氫氧錢 醚化合物可為r - 可包括選自* H二乙二醇甲_，燒醇胺化合物 . 下列組成之群之一種：單乙醇胺、二乙醇 胺、二乙醇胺及复知人 畔 化卸，射旗為〇、 無機鹽化合物可為醋酸鉀或氫氧 *劑可包括選自由下列組成之群之一種：笨 并二唑、兒芩酪， ^ 徑.本 '、、炔醇、苯并三唑、三唑及其組合。 133989.doc •19- 200928619 本發明態樣之剝险^pγ A t 〃法可包括：在基板上形成含有無機 材料之薄膜；及使用含 …機 之用3有〇.5_45 wt%氫氧化物化合物、 89 wt%伸院基二醇烷基 土嵝化口物、5-45 Wt%烷醇胺化合物 _ wt%無機鹽化合物之剝除組成物剝除基板上之 膜。 崎 剝：方法可進一步包括：檢查薄膜之缺陷；及在剝除薄 膜之則，當檢測到缺陷時確定薄膜之缺陷性。 薄膜可為彩色濾光片或有機絕緣薄膜。有機絕緣薄 為負型。 ' 另外，基板可包括裝置層壓板（其包括薄膜電晶體），在 裝置層壓板上可形成薄膜，且薄膜電晶體可包括由金屬 (包括A1)形成之電極。 【實施方式】

後文將詳細闡述本發明。然而，本發明並不限於下述實 施例。另外，本發明可體現為諸多不同之形式，而不應將 本發明理解為僅限於本文所述之實施例。此外，提供該等 實施例旨在使本揭示内容透徹且完整，且向熟習此項技術 者全面傳達本發明之概念。 提供有效地移除彩色光阻、尤其薄膜電晶體上所形成之 彩色光阻或有機絕緣薄膜、更具體而言負型有機絕緣薄膜 之方法以使得先前廢棄之基板再利用。已發現藉由使用本 發明之剝除組成物可易於移除彩色光阻、尤其彩色光阻或 有機絕緣薄膜、更具體而言負型有機絕緣薄膜。 本發明提供剝除組成物，其包括：（A)約0.5-約45 wt%之 133989.doc -20- 200928619 氫氧化物化合物，（B)約1 〇-約89 wt%之伸院基二醇貌基喊 化合物，（C)約5-約45 wt%之烷醇胺化合物，及（£))約〇 〇1_ 約5 wt%無機鹽化合物。 (A)氫氧化物化合物 用於本發明實施例之剝除組成物中之氫氧化物化合物係 選自由下列組成之群：無機鹼金屬氫氧化物、氫氧化烧基 錢、氫氧化烧基烯丙基錢及其組合。由於殘餘金屬不影響 在上方基板上形成彩色滤光片，故亦可使用無機驗金屬氫 氧化物。氫氧化物化合物可包括具有1至4個碳原子之烷 基。剝除組成物可包括〇.5_45 wt%之氫氧化物化合物。在 氫氧化物化合物之含量係小於〇 5 wt%之情形中，彩色光 阻或有機絕緣薄臈之剝除性能降低，乃因其滲透入彩色光 阻或有機絕緣薄膜之聚合組份之能力降低。同時，在氫氧 匕物化s物之含量係大於45 wt%之情形下，溶脹效應增 大，且無機鹼金屬沈澱，藉此改變溶液之組成以產生^ ❹ '’因此可降低性能。另外，固體可在剝除過程期間當蒸 發濕氣或有機溶劑時沈積，因此會損傷基板（尤其底部基 fe)之薄膜電晶體。具體而言，由於氫氧化燒基録及氯氧 .㈣基烯丙基㈣不穩定的，故較佳將其溶解於水中。 ，無機鹼金屬氫氧化物可為選自由下列組成之群之一種： 氫氧化鐘、氩氧化納、氫氧化卸及其組合。氣氧化院基錢 可㈣自由下列組成之群之一種：四乙基氣氧化録、四甲 基風，化錢（TMAH)、四丁基氫氧化錄、氣氧化三甲 銨、風氧化錢及其組合。另外，氫氧化院基婦丙基錢可為 133989.doc -21 · 200928619 選自由下列組成之群之一種：氩氧化銨、四甲基氫氧化 錢、四乙基氫氧化錢、四丁基氫氧化錢、四节基氫氧化銨 及其組合。 ”體而„四甲基氫氧化錢（TMAH)可用於移除底部基 板上所形成之彩色光阻及上方基板上所形成之彩色光阻， 且可用於移除正型及負型有機絕緣薄膜二者。 (B)伸烷基二醇烷基醚化合物 本發明實施例之剝除組成物中之伸烷基二醇烷基醚化合 物滲透入有機聚合物内以改善其溶解能力，且因此改善後 清洗期間之可洗性H化合物降低彩色綠或有機絕 緣薄臈與底部基板（尤其由金屬形成之底部基板）間之表面 張力，使得可易於移除彩色光阻或有機絕緣薄膜，且化合 物用於溶解經剝除彩色光阻或有機絕緣薄臈之黏結劑、聚 合物或其類似物。一般而言，二醇醚衍生物包括醚基與羥 基二者。因此，二醇醚衍生物可用作與水及有機溶劑極充 分混合之優良溶劑。伸烷基二醇烷基醚化合物可具有i至4 個碳原子。 根據本發明’添加伸烷基二醇烷基醚化合物可改善後清 洗效果，尤其當其與下述烷醇胺化合物混合時。作為伸烷 基二醇烷基醚化合物之實例，可提及諸如單伸烷基二醇單 燒基醚、二伸烧基二醇單烷基醚及三伸烷基單烷基醚等下 述化合物，但本發明並不侷限於此： CH3CH2CH2CH2-OCH2CH2-OH ； ch3ch2ch2ch2-och2ch2-och2ch2-oh ; CH3CH2CH2CH2-〇CH2CH2- 133989.doc •22- 200928619 OCH2CH2-OCH2CH2-OH ； CH3CH2CH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OH ； CH3-OCH2CH2-OH ； CH3-OCH2CH2-OCH2CH2-OH ； CH3-OCH2CH2-OCH2CH2-och2ch2-oh ； CH3-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OCH2CH2-OH ; CH3-OCH2CH2CH2-OH ； CH3-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OH ； CH3-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2- och2ch2ch2-oh ; CH3-OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2- OCH2CH2CH2-OCH2CH2CH2-OH。 另外，可使用選自由下列組成之群之一種：乙二醇單丁 醚、二乙二醇單丁醚、三乙二醇單丁醚、乙二醇單甲醚、 二乙二醇單曱醚、三乙二醇單醚、三乙二醇單甲醚、乙二 醇單乙二醇醚、丙二醇單曱醚、二丙二醇單甲醚及三丙二 醇單甲醚。 當本發明組成物中之伸烷基二醇烷基醚化合物之含量小 於10 wt%時’很難容易地移除彩色光阻或有機絕緣薄膜。 另一方面，當伸烧基二醇烷基醚化合物之含量係大於89 Wt%時，無機鹼金屬離子之活性降低，因此難以改善性 能。 (C)烷醇胺化合物 本發明剝除組成物中所用之烷醇胺化合物可改善氫氧化 物化合物之作用且加速至彩色光阻聚合物中之滲透及溶 脹。烷醇胺化合物之適宜含量範圍係大約5-45 wt%。當含 量係小於5 wt%，會延緩彩色光阻或有機絕緣薄膜之剝除 速率，此係不可行的。另外，當含量係大於45 wt%時，不 -23- 133989.doc 200928619 月色充分地防止溶腸。 下式⑴表示之官能困 燒醇胺化合物分子中 具有至少 一個由 R1 ^n-c-oh ❿ (其中R1及R2分別包枯 基） ^虱原子’且係c,-c8院基或c】_Ci 在-個實例中，由式⑴表示之官能團可如下： 烯 :n-ch2〇h ❹ ，一?H0H 〇h3 烷醇胺化合物之實例係如下： 燒醇胺化合物可為選自由下列組成之群之-種： ()到除月曰肪族炫醇胺，例如N_經甲基甲胺、N·經甲美 二甲胺、N’N-二經甲基甲胺、Ν_(α_經乙基）甲胺、 乙基)一甲胺、N’N-(二_α_羥乙基)甲胺、N_羥甲基乙胺、 Ν·沒甲基二乙胺、N，N-二經〒基乙胺' Ν-(α·經乙基）乙 胺羥乙基）二乙胺' Ν，Ν-(二·α·羥乙基）乙胺、义羥 甲基丙胺、Ν-羥甲基二丙胺、Ν，Ν_二羥甲基丙⑯、Ν_(α_ 羥乙基）丙胺、Ν·(α_羥乙基）二丙胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙基）丙 胺、Ν-羥甲基丁胺、…羥甲基二丁胺、Ν，Ν_二羥甲基丁 胺Ν-(α-經乙基）丁胺、Ν_(α_經乙基）二丁胺、Ν，Ν_(二_α· 經乙基）丁胺、Ν-羥甲基戊胺、甲基二戊胺、Ν，Ν•二 赵甲基戊胺、Ν-(α•羥乙基）戊胺、Ν-羥甲基己胺、Ν·羥甲 或 133989.doc •24· 200928619 基二己胺、N，N-二羥甲基己胺、Ν_(α_羥乙基）己胺、队羥 曱基庚胺、N-羥甲基二庚胺、N，N_二羥甲基庚胺、N_羥甲 基辛胺、N-羥曱基二辛胺、^N—二羥甲基辛胺、沁(心羥 乙基）辛胺、N-羥甲基甲基乙胺、Ν_(α·羥乙基）甲基乙胺、 Ν-羥甲基甲基丙胺、Ν-(α-羥乙基）甲基丙胺、N-羥甲基甲 基丁胺、Ν-(α-羥乙基）甲基丁胺、Ν_羥甲基乙基丙胺、Ν_ (α-經乙基）乙基丙胺、Ν-羥甲基乙基丁胺、Ν-(α-羥乙基） 乙基丁胺、义經甲基乙醇胺（〇八8第65 184-12-5號）、>^〇1_ ® 經6基）乙醇胺、Ν，Ν-二羥甲基乙醇胺、ν，Ν-(二-α_經乙 基）乙醇胺、Ν-經曱基二乙醇胺、Ν-(α-經乙基）二乙醇胺、 Ν-羥甲基-Ν-甲基乙醇胺、Ν·(α-羥乙基）-Ν-曱基乙醇胺、 Ν-羥曱基-Ν-丙基乙醇胺、Ν-(α-羥乙基）-Ν_丙基乙醇胺、. Ν-羥甲基-Ν-丁基乙醇胺、Ν-(α-羥乙基）-Ν-丁基乙醇胺、 Ν-羥曱基異丙醇胺（CAS第76733-35-2號）、Ν-(α-羥乙基）異 丙醇胺、Ν，Ν-二羥甲基異丙醇胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙基）異丙 0 醇胺、Ν-羥甲基二異丙醇胺、Ν-(α-經乙基）二異丙醇胺、 Ν-羥曱基-Ν-曱基異丙醇胺、Ν-(α-羥乙基）-Ν-甲基異丙醇 胺、Ν_羥甲基_Ν·乙基異丙醇胺、Ν-(α-羥乙基乙基異 丙醇胺、Ν-羥甲基-Ν-丙基異丙醇胺、Ν-(α-羥乙基）_Ν_丙 基異丙醇胺、Ν-經甲基-Ν- 丁基異丙醇胺、Ν-(α-經乙基）_ Ν-丁基異丙醇胺、Ν-經曱基胺基乙氧基乙醇、Ν-(α-經乙 基）胺基乙氧基乙醇、Ν，Ν-二羥甲基胺基乙氧基乙醇、 Ν，Ν-(二·α-羥乙基）胺基乙氧基乙醇、Ν-羥曱基胺基·2_甲 基丙醇、Ν-(α-經乙基）胺基-2-曱基丙醇、Ν，Ν-二經甲基胺 133989.doc -25- 200928619 基-2-甲基丙醇及n，N-(二-α-羥乙基）胺基-2-甲基丙醇； (2)脂肪族炫醇多胺，例如N-經甲基乙二胺（CAS第 41434-24-6號）、Ν-(α-輕乙基）乙二胺、N，N-二經甲基乙二 胺（CAS 第 7〇495-；58·4號）、N-羥甲基 丁二胺（CAS 第 6621〇_ 83-1號）、>1-羥曱基丙二胺（〇八8第 66210-82-0號）、：^，：^,-二 羥甲基丁二胺、N，N-二羥甲基丁二胺、Ν,Ν,Ν、三羥甲基 丁二胺、Ν，Ν，Ν’Ν'-四羥甲基丁二胺、ν，Ν'-二羥甲基丙二 胺、Ν，Ν-二經甲基丙二胺、ν，Ν，Ν’-三經曱基丙二胺、 N，N，N’，Nf-四羥甲基丙二胺、ν，Ν-(二-α-羥乙基）乙二胺、 >1，>1，>1-二經甲基乙二胺、>1，>1，>^|-(三-〇1-經乙基）乙二胺、 Ν，Ν，Ν'Ν’-四羥甲基乙二胺、ν，Ν，Ν'Ν，-(四-α-羥乙基）乙二 胺、Ν-經甲基-Ν-甲基乙二胺、Ν-(α-經乙基）-Ν-甲基乙二 胺、Ν，Ν'-二羥甲基-Ν-甲基乙二胺、ν，Ν，-(二-α-羥乙基）-Ν-甲基乙二胺、Ν，Ν，，Ν，-(三-α·羥乙基）·Ν_曱基乙二胺、 Ν，Ν，Ν -二經甲基-Ν-甲基乙二胺、Ν-經曱基-Ν’,Ν' -二甲基 乙二胺、Ν-(α-羥乙基）_Ν，，Ν，·二甲基乙二胺、Ν，Ν_二羥甲 基-Ν'，Ν’-二甲基乙二胺、ν，Ν-(二-α·羥乙基）_ν'，Ν'-二曱基 乙二胺、Ν-羥甲基_Ν，Νι，Ν，_三甲基乙二胺、Ν_(α·羥乙基）_ Ν，Ν，Ν _二曱基乙二胺、Ν-經甲基·ν·乙基乙二胺、ν，Ν'-二 羥甲基-Ν-乙基乙二胺、Ν，Ν，，Ν，·三羥甲基_Ν-甲基乙二 胺、Ν-羥曱基-Ν’，Ν’_二乙基乙二胺、ν，Ν-二羥曱基-Ν·，Ν'-二乙基乙一胺、Ν-經曱基-Ν,Ν’Ν’-三乙二胺、Ν-經甲基丙 二胺、Ν，Ν-二羥甲基丙二胺、Ν，Ν，Ν，_三羥甲基丙二胺、 Ν，Ν，Ν’，Ν·-四經甲基丙二胺、Ν-經曱基丁二胺、ν，Ν-二經 133989.doc -26- 200928619 甲基丁二胺、Ν，Ν，Ν·-三羥甲基丁二胺、ν,Ν,Ν',Ν，-四經甲 基丁·一胺、Ν-經甲基二乙三胺、Ν，Ν"-二經甲基二乙三胺 及Ν-羥甲基三乙四胺； (3) 脂肪族烧醇不飽和胺，例如Ν-經甲基稀丙胺、ν，Ν-二羥甲基烯丙胺、Ν-(α-羥乙基）烯丙胺、ν，Ν-(二-α-經乙 基）烯丙胺、Ν-羥曱基二烯丙胺、Ν-羥甲基-Ν-甲基烯丙胺 及Ν-羥甲基-Ν-乙基烯丙胺； (4) 環狀烷醇胺’例如Ν-羥甲基吡咯、Ν-(α·羥乙基）吼 咯、Ν-羥甲基-甲基吡咯、Ν_羥甲基-二甲基吡咯、Ν_羥甲 基-三甲基吡咯、Ν-羥曱基吡咯啶、Ν-(α_羥乙基）吡咯咬、 Ν-經甲基-甲基吡洛咬、Ν_羥甲基吡唑、Ν•羥甲基咪唑、 Ν-羥甲基三唑、Ν-羥甲基四唑、Ν·羥甲基六氫吡啶、Ν_ (α-羥乙基）六氫吡啶、Ν•羥甲基甲基哌啶、Ν羥曱基二甲 基哌啶、Ν-羥甲基六氫吡嗪、Ν，Ν_二羥甲基六氫吡嗪、Ν_ (α-羥乙基）六氫吡嗪、Ν_羥甲基甲基六氫吡嗪、Ν_羥甲基 嗎啉及Ν-(α-羥乙基）嗎啉；及 (5) 脂肪族烷醇醚胺，例如Ν_羥曱基甲氧基乙胺、ν_(… 羥乙基）甲氧基乙胺、Ν，Ν-二羥甲基甲氧基乙胺、Ν•羥甲 基甲氧基丙胺、Ν，Ν-二羥甲基甲氧基丙胺、Ν•羥甲基乙氧 基乙胺Ν (α-經乙基）乙氧基乙胺、ν，ν_二窥甲基乙氧基 乙胺、义經甲基乙氧基丙胺及Ν，Ν_4甲基乙氧基丙胺广 另外，烷醇胺化合物可為剝除化合物，且可由下式（π) 表不1 · 133989.doc -27· (II)200928619 R、 R〆 闩1

N-C-OH R2 其中R1及R2係如上文所定義；R3係Ci_c〗〇烷基、Ci_Ci〇烯 . 基、胺基、C「Ci。羥烷基、CVCw胺基烷基、（cvc,。烷基） 苯基、苯基（Cl-CiQ)燒基、C^-Cb院氧基、（(：〗-(：,〇)烷氧基 (cvc〗。）院基、經基（Cl_Ci())燒氧基（Ci_Ci。）烷基、Ci_Ci〇炫 0 基胺基、胺基（C1_C1。）烷氧基（C丨-C丨。）烷基、羥基（C丨_c,0) 烧基胺基（CrCw)烷基；r4係氫、ch2OH、-ch(oh)ch3、 CrC,。烧基、cvc,。稀基、胺基、（：,·(：,0經炫《基、CVCw胺 基院基、（cvc,。；^基）苯基、苯基（Cl_ClQ)烧基、Ci_Ci。烧 氧基、（Ci-Ciq)烧氧基（Ci-C1())烧基、經基（C^-C^o)炫氧基 (Ci-C1(>)院基、CVCw烧基胺基、胺基（Ci-Cw)炫氧基（C〗· cl0)烷基、或羥基（(：,-(：,〇)烷基胺基（CVCm)烷基；及R3及 R4可與氮結合以形成具有1至12個碳原子之環胺基。 〇 更佳剝除烷醇胺可由下式（in)表示： 闩3、 ^n~co2〇h R〆 ’ （III)。 •其中R3及R4係如上文所定義。 較佳院醇胺之實例包括N-羥甲基乙醇胺、N-羥甲基異丙 醇胺、N，N-二經甲基乙醇胺、N-經曱基二乙醇胺、ν·經甲 基-N-甲基乙醇胺、N-羥曱基-N-乙基乙醇胺、N-羥甲基胺 基乙氧基乙醇、NW-二羥甲基乙二胺、N_羥甲基乙二 133989.doc -28· 200928619 胺、N，N-二羥甲基乙二胺、N，N，N、三羥甲基乙二胺、 Ν,Ν,Ν ,Ν四經甲基乙二胺、經子基丁二胺、n_經甲基 丙二胺、N，N’-二羥甲基丁二胺、N，N_二羥甲基丁二胺、 N’N，N’-三羥甲基丁二胺、Ν，Ν，Ν·，Ν,_四羥甲基丁二胺、 Ν，Ν·-二羥甲基丙二胺、Ν，Ν_二羥甲基丙二胺、Ν，Ν，Ν，_三 羥甲基丙二胺、N，N，Nf，Nf-四羥甲基丙二胺、队羥甲基二 乙三胺、N，N"-二羥曱基二乙三胺、N_羥曱基甲胺、N，N_ 二羥甲基曱胺、N-羥曱基二甲胺、N_羥甲基乙胺、N_羥曱 基二乙胺、N，N-二羥曱基乙胺、N_羥甲基丙胺、Ν·羥甲基 丁胺、Ν-經甲基六氫吡嗪及Ν_羥曱基嗎啉。根據應用情 形，從高剝除能力角度來講，由式（111)表示之剝除烷醇胺 (其中R4係氫）可為令人滿意的。 上述烧醇胺化合物可單獨使用或與兩種或更多種其他化 合物組合使用。在烷醇胺化合物係液體之情形中，不使用 任何溶劑稀釋其即可直接包含於剝除組成物中。若需要， 可將額外胺另外添加至院醇胺化合物中。 本發明之可用額外胺可包括烷基胺、烷醇胺、多胺、經 胺、環胺及其組合。 烧基胺之實例包括脂肪族第一烧基胺，例如甲胺、乙 胺、正丙胺、異丙胺、正丁胺、第二丁胺、異丁胺、第三 丁胺、戊胺、2-胺基戊燒、3-胺基戍院、1-胺基_2_甲基丁 烷、2-胺基-2-曱基丁烷、3·胺基-2-甲基丁烷、4_胺基-2_ 曱基丁烷、己胺、5-胺基曱基戊烷、庚胺、辛胺、壬 胺、癸胺、十一烷胺、十二烷胺、十三烷胺、十四垸胺、 133989.doc •29- 200928619 十五炫胺、十六烷胺、十七烷胺及十八烷胺；脂肪族第二 烷基胺’例如二甲胺、二乙胺、二丙胺、二異丙胺、二丁 胺、二異丁胺、二-第二丁胺、二-第三丁胺、二戊胺、二 己胺、二庚胺、二辛胺、二壬胺、二癸胺、甲基乙胺、甲 基丙胺、甲基異丙胺、甲基丁胺、甲基異丁胺、甲基第二 丁胺、曱基第三丁胺、甲基戊胺、甲異戊胺、乙基丙胺、 乙基異丙胺、乙基丁胺、乙基異丁胺、乙基第二丁胺、乙 基第二丁胺、乙基異戊胺、丙基丁胺及丙基異丁胺；及脂 肪族第二烧基胺’例如三曱胺、三乙胺、三丙胺丁 胺、三戊胺、二甲基乙胺、二曱基丙胺、甲基二乙胺及甲 基二丙胺。

作為額外胺之烷醇胺之實例包括脂肪族烷醇胺，例如乙 醇胺、Ν-曱基乙醇胺、Ν_乙基乙醇胺、Ν·丙基乙醇胺、Ν_ 丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、N—曱基二乙醇胺、ν_ 乙基二乙醇胺、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、Ν· 甲基異丙醇胺、Ν-乙基異丙醇胺、义丙基異丙醇胺、2-胺 基丙-i-醇、Ν-甲基胺基丙+醇、Ν_乙基_2·胺基丙_卜 酵、1-胺基丙-3-醇、Ν_甲基小胺基丙_3_醇、^乙基小胺 基丙-3-醇、胺基丁 _2·醇、Ν_甲基+胺基丁 ·2_醇、乙 基-1·胺基丁-2-醇、2-胺基丁醇、Ν甲基_2_胺基丁小 醇、Ν-乙基-2-胺基丁小醇、3_胺基丁小醇、甲基·3_胺 基丁小醇、Ν-乙基_3_胺基丁]醇、1•胺基丁 _4_醇、甲 基-1-胺基丁-4-醇、Ν_乙基小胺基丁 ·4_醇、丨胺基1甲基 丙-2-醇、2-胺基-2-甲基丙小醇、胺基戊_4•醇、2•胺基_ 133989.doc 200928619 4-曱基戊-1-醇、2-胺基己-i_醇、3_胺基庚-4-醇、1·胺基 辛-2-醇、5-胺基辛_4_醇、丨_胺基丙_2,3_二醇、2-胺基丙_ I3-二醇、叁（氧甲基）胺基甲烷、1，2-二胺基丙-3-醇、1，3-二胺基丙-2-醇及2-(2-胺基乙氧基）乙醇。 多胺之實例包括乙二胺、丙二胺、丁二胺、三亞甲基二 胺、四亞甲基二胺、13 —二胺基丁烷、2,3_二胺基丁烷、 戊亞曱基二胺、2,4-二胺基戊烷、六亞甲基二胺、七亞甲 基二胺、八亞甲基二胺、九亞甲基二胺、N_甲基乙二胺、 N，N-二甲基乙二胺、三曱基乙二胺、N_乙基乙二胺、n，n_ 二乙基乙二胺、三乙基乙二胺、i，2,3-三胺基丙烷、叁（2-胺基乙基）胺、四（胺基甲基）甲烷、二乙三胺、三乙四胺、 四伸乙基戊胺、七伸乙基辛胺及九伸乙基癸胺。 經胺之實例包括羥胺、N-甲基羥胺、N-乙基羥胺及N，N-二乙基羥胺。 環胺之實例包括〇比《7各、2-甲基"比p各、3·甲基0比0各、2-乙 基吡咯、3-乙基吡咯、2,3-二甲基吡咯、2,4-二甲基吡咯、 3,4-二曱基吡咯、2,3,4-三曱基吡咯、2,3,5-三甲基吡咯、 2-"比咯啉、3-吡咯啉、吡咯啶、2-甲基吡咯啶、3 -甲基吡 咯啶、吡唑、咪唑、1，2,3-三唑、1，2,3,4-四唑、六氫吡 咬、2-甲基旅咬、3 -甲基η辰咬、4-甲基略β定、2,4-二甲基 0底σ定、2,6 -二曱基略咬、3,5 -二曱基略咬、六氫η比唤、2·曱 基六氫0比嗪、2,5-二甲基六氫11比嗓、2,6-二甲基六氫〇比唤 及嗎琳。 在上述額外胺中’曱胺、乙胺、丙胺、丁胺、乙醇胺、 133989.doc -31 - 200928619 、二乙醇胺、異丙醇胺、2-、丙二胺、丁二胺、二乙三 六氫吡嗪及嗎啉可為尤佳 N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺 (2-胺基乙氧基）乙醇、乙二胺 胺、羥胺、N，N-二乙基羥胺、 的。 額外胺與烷醇胺化合物之笪π & # ^ ώ 啊 < 冥耳比並不特別受限，但範圍 可為約0.01-約100 ’且更佳約〇丨·約1〇。 (D)無機鹽化合物 ❹

本發明所用無機鹽化合物改善氫氧化物化合物之作用並 促進與彩色光阻之聚合物部分合併，鹽化合物可用範 圍為相對於組成物總量之0抓5 wt%。#無機鹽化合物含 量係過高時’在剝除期間蒸發出水分或有機溶劑使得以 固體形式沈積出鹽 薄膜電晶體。同時 因此’可損傷基板（尤其底部基板）之 當無機鹽化合物含量係過低時，剝除 性能降低。因A，可將含量控制於上述範圍内。無機鹽化 合物W括選自由下列組成之群之—種：氫氧切、醋酸 卸' 苯曱酸_、硝酸_、碳酸卸、㈣酸鉀及其組合。 作為無機鹽化合物實例之氫氧化卸（KOH)係適合於維持 驗性濃度t強驗性材肖。藉由K〇H剝除溶液將彩色光阻或 有機絕緣薄膜溶解於藉由K〇H溶液滲透之溶脹凝膠區域 中。當KOH溶於水中時，其解離成κ+離子及〇η·離子。 〇Η離子去質子化彩色光阻之.〇Η官能團之Η。因此，0Η-離子變為仏〇，且《色光阻變為〇-離子(酚鹽）。產生酚鹽 可顯著弱化彩色光阻分子間之相互作用以改善水溶性。另 外’ Κ+離子易於滲透人溶脹凝膝區域以成鹽，因此增強彩 133989.doc •32- 200928619 色光阻之水4性且剝除基板上之彩色光阻。彩色光阻可為 頂部基板或底部基板上所形成之彩色光阻。另外，經由相 同剝除機制剝除負型及正型有機絕緣薄膜。 一並未特殊限制本發明剝除組成物之製備方法。舉例而 °可藉由熟知方法製備剝除組成物，其中將材料（A)至 ⑼提供於裝備有簡單授拌器之混合器中，於室溫下授摔 1獲得均相☆液，且若需要隨後用具有預定孔徑之膜過渡 器過渡。 ❹ 另外’本發明之剝除組成物可進一步包括至少下述⑻ 至（H)之一種材料。 (E)羥胺化合物 本發明剝除組成物中所人士_ 2 ―一 有之羥胺化合物能改善氫氧化 物化合物之作用及藉由ό Λ 胺仆Μ人县 自基反應促進彩色光阻溶解。羥 胺化合物含量之範圍可為 ，W 當羥胺化合物之含 量係小於0.5 wt%時，則難 ^ ^ ^ θ ^ 缺陷杉色光阻。當羥胺 化0物之含$係大於1〇糾0/眸 (例如鋁及鋁合金)。 ，可過度腐蝕底部金屬層 羥胺化合物可為水溶性 群之一種：乙醇胺1醇胺、二=㈣一自由下列組成之 合。較佳地，經胺化合物 ^ '二乙醇胺及其組 種：單乙醇胺、單f醇胺、成之群之一 胺、二丙醇胺、三f 、 醇胺一乙醇 合。 二乙醇胺、四乙醇胺及其組 (F)耐腐蝕試劍 133989.doc -33- 200928619 本發明剝除組成物中所含<耐腐料劑防止對底 傷及金屬材料與剝除組成物之接觸造成腐飯。耐腐餘^ 範圍可為相對於剝除組成物之G G1_5 wt%。耐腐钮 為選自由下列組成之群之-種：糖類、糖醇、芳香經基化 合物、乙块醇、幾酸化合物及其軒、三哇化合物及其組 合0

糖類之實例包括具有3至6個碳原子之單糖例如甘油 醛、蘇糖、抗壞血酸、異抗壞血酸、阿拉伯糖、木糖、核 糖、核綢糖、木明糖、葡萄糖、甘露糖、半乳糖、技格 糖、阿羅糖、阿卓糖、古洛糖、艾杜糖、塔羅糖、山裂 糖、阿洛酮糖及果糖，及諸如海藻糖等二糖。 糖醇之實例包括蘇糖醇、赤蘚醇、核糖醇、阿拉伯糖 醇、木糖醇、塔羅糖醇、山梨醇、甘露醇、艾杜糖醇、半 乳糖醇及肌醇。 芳香經基化合物之實例包括笨酚'曱酚、二甲苯盼、鄰 笨一酚、間苯二酚、對苯二酚、連苯三盼、丨，2 ‘間苯三 酚、水楊酸醇、對-羥基苯甲醇、對_羥基笨乙醇、對胺基 苯酚、間胺基苯酚、二胺基苯酚、胺基間笨二酚、對羥基 苯曱酸、鄰羥基苯甲酸、2,4-二羥基苯曱酸、2,5_二經基 苯曱酸、3,4-二羥基苯曱酸、3,5_二羥基笨甲酸及沒食子 酸。 乙炔醇之實例包括2-丁烯-1,4-二醇、3,5·二曱基_丨_己稀_ 3-醇、2-曱基-3-丁烯-2-醇、3-甲基戊烯醇、3,6-二甲 基·4_辛烯_3,6_二醇、2,4,7,9-四曱基_5_癸烯_4,7_二醇及 133989.doc -34· 200928619 2，5-二曱基-3-己烯-2,5-二醇。 羧酸化合物及其酐之實例包括甲酸、醋酸、丙酸、丁 酸、異丁酸、草酸、丙二酸、琥王白酸、戊二酸、馬來酸、 富馬酸、苯甲酸、鄰笨二甲酸、似苯三甲酸 酸、二乙醇酸、乳酸、蘋果酸、檸檬酸、乙酸奸、鄰苯二 甲酸酐、馬來酸酐、琥珀酸酐及水揚酸。 三唾化合物之實例包括甲基苯并三唾、苯并三唾、 ❿

基苯并二唑、Μ甲基笨并三唑、對甲基苯并三唑、羧基笨 ^三哇、1_經基苯并三唾、硝基苯并三錢基笨并 二0坐〇 其中，較佳_腐蚀試劑可為兒茶盼，例如鄰笨二酚、山 梨醇、木糖醇、沒食子酸、2_丁烯_Μ_二醇、鄰笨二曱 ，'鄰苯一甲酸酐、水楊酸、抗壞血酸、甲基笨并三唾及 本并二唑。耐腐蝕試劑可單獨使用或與兩種或更多種其他 試劑組合使用。 、 (G)極性溶劑 作為用於本發明之極性溶劑，可使用諸如：甲基亞硬等 硫化合物、或諸如正甲基轉咬酮等烧基㈣咬_。 ，硫化合物係、充分渗透且高度可溶於彩色光阻或有機絕緣 薄膜中。硫化合物渗透入彩色光阻或有機絕緣薄膜之 物中以增強溶Μ。 、 ° 曰®冷脹。極性硫化合物之較佳使用範圍係相對於 創除組成物之⑽wt%。當含量係小於1 wt%時，則難以 移T知色光阻或有機絕緣薄膜。當含量係大於50 wt%時， 一氫氧化物化合物之混溶性降低，使得不能達到預期性能 133989.doc -35- 200928619 改善。本發明中所用極性硫化合物可為選自由下列組成之 群之一種：二甲基亞礙、二乙基亞石風、二丙基亞硬、 sulforan及其混合物。 烧基料㈣可用作溶解彩色綠或有機絕緣薄膜之溶 • #1 ’且降低㈣組成物之表面張力以改善對彩色光阻或有 機絕緣薄膜之可濕性。院基吼略㈣之含量可為i㈣或 1大以充分地實施其功能，但從成本效益角度及為了防止 稀釋其他組份來講’含量可為5〇 wt%或更少。烷基吡咯啶 社實例包括料㈣、正甲基料_、正乙基料咬 嗣、正丙基吡咯啶酮、正辛基吡咯啶鲷、正環己基吡咯啶 酮，正十二烷基吡咯啶酮、2_吡咯啶酮、丨_羥乙基吡咯 啶酮、1-經丙基-2-吼咯啶酮及諸如此類。較佳地，可使用 正甲基吡咯啶酮，但本發明不限於此。 (H)水 在本發明之剝除組成物中，水可為經由離子交換樹脂過 ❿ 濾之純水，且更佳為具有18 ΜΩ或更大電阻率之超純水。 在能將（E)至（G)中任何一或多種包含於至之組成物 中之剝除組成物中，可以剩餘量使用水。當含量低時，剝 除組成物之黏度増大以降低剝除溶液之滲透能力及剝除組 成物之排放能力。當含量高時，則過度稀釋剝除組成物而 降低剝除能力。 後文將闡述本發明之剝除方法。 圖1係顯示在損傷检查後剝除基板上所形成之彩色濾光 片或有機絕緣薄骐以對基板再利用之方法流程圖。 133989.doc -36 - 200928619 本發明之剝除方法包括：在基板上形成含有有機材料之 薄膜；及使用含有下列之剝除組成物剝除基板上之薄膜： (A) 約0.5-約45 wt%之氫氧化物化合物，（B)約1〇_約89 wt% 之伸烷基二醇烷基醚化合物，（C)約5-約45 wt%之烷醇胺 化合物，及（D)約0.01-約5 wt%之無機鹽化合物。 首先，製備基板（S10)，且在基板上形成裝置層壓板 (S20) ^基板可為液晶顯示器之頂部或底部基板。當基板 係底部基板時，裝置層壓板可為薄膜電晶體，其包括由金 屬（包括A1)形成之電極。另外，當基板係頂部基板時，可 忽略形成裝置層壓板（S20)。然後，在基板之裝置層壓板 上形成彩色濾光片或有機絕緣薄膜（S3〇)。可使用正型及 負型有機絕緣薄膜之任何一者。基板（於其上形成彩色濾 光片或有機絕緣薄膜）經受检查過程以確定其是否有缺陷 (S40)。若基板無缺陷，則其經受下一過程（s52)。另一方 面，有缺陷基板經受使用剎除組成物之剝除過程（S5i)， Φ 其中剝除組成物含有：（A)〇.5-45糾％之氫氧化物化合物； (B) l〇-89 wt%之伸烷基二醇烷基醚化合物；（c)5 45㈣之 烷醇胺化合物；及（0) 〇·〇1·5 wt%之無機鹽化合物、藉由 除過程（州）’可易於移除基板上之彩色濾光片或有機 • I緣薄膜而不損傷底部基板上所形成之裝置層壓板。基板 (移除其上之彩色據光片或有機絕緣薄臈）返回形成彩色滤 光片或有機絕緣薄膜之步驟（S3〇)。 [實例] 後文將闡述本發明之實例。在下述實例中，除非另有說 I33989.doc -37- 200928619 明，否則百分比及混合比率係以重量計。 以顯示於下表1中之比率混合每一組份以製備實例及比 較實例之每一剝除組成物。 [表1] 氫氧化 物化合 伸烷基二醇 烷基醚化合物 烷醇胺 化合物 羥胺 化合物 極档 溶齊 無機鹽 化合物 财腐 蝕試劑 水 1 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - PA 0.05 BT 1 17.7 2 TMAH 6.25 MDG 53 DEA 20 2 - - PA 0.05 BT 1 17,7 3 TMAH 6.25 MDG 63 TEA 10 2 - - PA 0.05 BT 1 17,7 4 TMAH 6.25 MG 43 MEA 30 2 - - PA 0.05 BT 1 17.7 5 TMAH 6.25 MG 53 DEA 20 2 - - PA 0.05 BT 1 17.7 6 TMAH 6.25 MG 63 TEA 10 2 - - PA 0.05 BT 1 17.7 7 TMAH 6.25 MDG 30 MEA 30 2 NMP 10 PA 0.05 BT 1 20.7 8 TMAH 6.25 MDG 10 MEA 30 2 DMSO 40 PA 0.05 BT 1 10.7 9 TMAH 6.25 MDG 30 MEA 30 2 環丁颯 10 PA 0.05 BT 1 20.7 實例 10 TMAH 6.25 MDG 30 TEA 10 2 NMP 10 PA 0.05 BT 1 20.7 11 TMAH 6.25 MDG 10 TEA 10 2 DMSO 40 PA 0.05 BT 1 10.7 12 TMAH 6.25 MDG 30 TEA 10 2 環丁颯 10 PA 0.05 BT 1 20.7 13 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - PB 0.05 BT 1 17.7 14 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - PN 0.05 BT 1 17.7 15 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - KOH 0.05 BT 1 17.7 16 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - PA 0.05 BT 1 17.7 17 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - PA 0.05 兒茶酚 17.7 18 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - PA 0.05 AA 1 17,7 19 TMAH 6.25 MDG 43 MEA 30 2 - - PA 0.05 TT 1 17.7 20 TMAH 5 MDG 67 MEA 10 2 DMSO 10 PA 0.2 BT 0.5 5.3 比較 TMAH 12.5 MDG 50 MEA 10 - 27.5 2 TMAH 6 - - MEA 10 - DMSO 60 - - - - 24 實例 3 - - MDG 50 MEA 10 - DMSO 39 - - BT 1 -

(TMAH :四曱基氫氧化銨，MDG :二乙二醇甲醚，MG : 乙二醇甲醚，MEA :單乙醇胺，DEA :二乙醇胺，TEA : 三乙醇胺，NMP :正甲基吡咯啶酮，DMSO :二曱基亞 砜、環丁砜，PA :醋酸鉀，PB :苯甲酸鉀’ PN :硝酸 鉀，KOH :氫氧化鉀，AA :乙炔醇，BT :苯并三唑， TT :曱基苯并三唑） 為了測試實例1至20及比較實例1至3中所製備之剝除組 成物之性能，使用彩色濾光片實施彩色光阻剝除測試，如 下所述： 38· 133989.doc 200928619 樣品製備 在玻璃基板上形成彩色濾光片圖案’在玻璃基板底部上 沈積Mo/Al/Mo多層且形成圖案。使用下述微影蝕刻方法 以紅、綠及藍順序塗佈彩色光阻。將習用之彩色光阻組成 物（Dongjin Semichem有限公司，產品名稱：DCR-725S)旋 轉塗佈以具有1.7 μιη之最終薄膜厚度。隨後’於9〇t下在 加熱盤上預烘烤光阻薄膜12〇秒、曝光、且於室溫下用1% KOH顯影劑顯影60秒。然後，於22〇〇c下在烘箱中將試樣 (在其上形成圖案）硬烤2〇秒。 另外，為了製備其上塗佈有有機絕緣薄膜之試樣，用已 研發出之有機絕緣薄膜組成物（D〇ngjin sernichem有限公 司，產品名稱：SO JN-091)旋轉塗佈玻璃基板（在其底部沈 積Mo/Al/Mo多層且形成圖案），以使其最終厚度變為 μπι。隨後，於9〇°C下在加熱盤上軟烘烤有機絕緣薄膜丨2〇 秒、曝光、且然後於室溫下用2·38% TMAH顯影劑顯影7〇 秒。將薄膜完全曝光且於13〇°C下硬烤3分鐘。 剝除測試 於70°C下將所製備試樣浸入剝除組成物中以移除彩色光 阻及有機絕緣薄膜材料，且量測完全剝除基板上之彩色光 阻或有機絕緣薄膜所用之時間。隨後，將試樣自剝除組成 物取出，用超純水洗滌，且用氮氣乾燥。然後，使用放大 1 00倍之顯微鏡觀測試樣，以檢測圖案中是否仍存殘餘彩 色光阻。另外，為了觀測底部基板是否受損傷，將施加有 彩色光阻之試樣浸入每一剝除組成物中保持30分鐘，且然 133989.doc -39· 200928619 後使用掃描電子顯微鏡（SEM)觀測試樣。完全剝除有機絕 緣薄膜材料及彩色光阻且因此不再觀測到殘餘物所用時間 係示於下表2中。 [表2]

A1薄膜中損傷 程度 移除時間 (有機絕緣薄膜） 移除時間 (彩色光阻） 實例 1 ⑨ 1分鐘 10分鐘 2 ⑨ 1分鐘 10分鐘 3 ⑨ 1分鐘 10分鐘 4 ◎ 1分鐘 10分鐘 5 ◎ 1分鐘 10分鐘 6 1分鐘 10分鐘 7 @ 1分鐘 10分鐘 8 ⑨ 1分鐘 10分鐘 9 ⑨ 1分鐘 10分鐘 10 ⑨ 1分鐘 10分鐘 11 ⑨ 1分鐘 10分鐘 12 1分鐘 10分鐘 13 ⑨ 1分鐘 10分鐘 14 ⑨ 1分鐘 10分鐘 15 ◎ 1分鐘 10分鐘 16 ⑨ 1分鐘 10分鐘 17 ◎ 1分鐘 10分鐘 18 ◎ 1分鐘 10分鐘 19 ⑨ 1分鐘 10分鐘 20 ⑨ 1分鐘 10分鐘 比較 實例 1 X 1分鐘 15分鐘 2 X 1分鐘 15分鐘 3 Δ 20分鐘或更長 30分鐘或更長 (X :線被完全移除，Δ : A1係嚴重受損，〇：出現表面蝕 斑，@ :未觀測到損傷） 如表2所示，發現本發明之實例具有移除彩色光阻或有 機絕緣薄膜而不損傷底部基板之優良性能。另外，與比較 實例相比，其具有移除彩色光阻及防止腐蝕之優良性能。 有利的是，藉由本發明之剥除組成物可易於移除彩色光 133989.doc •40- 200928619 阻或有機絕緣薄膜1體而言，可移除薄膜電晶體上所形 成之彩色光阻或負型有機絕緣薄臈。 另外，可藉由本發明之剝除組成物及剝除方法實施· 過程而在移除彩色絲或有機絕緣薄㈣對底部基板之 膜電晶體無任何損傷。 儘管參考較佳實施例闡述本發明，但應注意，在不背離 本附屬中請專利範圍之技術精神下，㉟習此項技術者可對 其進行各種改變及修改。

【圖式簡單說明】 圖1係顯示在損傷检查後剝除基板上所形成之彩色濾光 片或有機絕緣薄膜以對基板再利用之方法流程圖。

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Claims (1)

1. 200928619 十、申請專利範圍： 1， 一種剝除組成物，其包含： 約0.5-約45 wt%之氫氧化物化合物； 約1 0-約89 wt%之伸烧基二醇烧基峻化合物； 約5-約45 wt%之烷醇胺化合物；及 約0.01-約5 wt°/。之無機鹽化合物。 ' 2·如請求項1之剝除組成物’其中該氫氧化物化合物包含 具有1至4個碳原子之烷基。 © 3.如請求項1之剝除組成物，其中該氫氧化物化合物包含 選自由下列組成之群之一種：無機鹼金屬氫氧化物、氫 氧化燒基銨、氫氧化烷基烯丙基銨及其組合。 4，如請求項3之剝除組成物，其中該無機鹼金屬氫氧化物 包含選自由下列組成之群之一種：氫氧化鋰、氫氧化 鈉、氫氧化鉀及其組合。 5.如明求項3之剝除組成物，其中該氫氧化烷基銨包含選 ❹ 自由下列組成之群之一種：四乙基氫氧化錢、四甲基氫 乳化銨（TMAH)、四丁基氫氧化銨、氫氧化三曱基苄 知風氧化錢及其組合。 * 6.:凊求項3之剝除組成物，其中該氩氧化烷基烯丙基銨 選自由下列組成之群之一種：氫氧化錢、四甲基氫 氧化銨、四乙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、四苄基氫 氧化銨及其組合。 7 ·如 '^眚 js 1 之剝除組成物’其中該伸烷基二醇烷基醚化 〇物包含具有1至4個碳原子之烷基。 133989.doc 200928619 «·如頭·求項 人孩伸烷基二醇烷基醚介 合物包含選自由下列組成 ^ _ ^ 拜之一種：單伸烷基二醇單 烷基醚、二伸烷基二醇單浐 甘,人 几丞駿、三伸烷基單烷基醚及 其組合。 9. 如請求項1之剝除組成物， 人札—a 丹中該伸烷基二醇烷基醚化 合物包含選自由下列組成 _ 蛘之一種：乙二醇單丁醚、 一乙一醇卓丁醚、三乙二 蛘早丁醚、乙二醇單甲醚、二 乙一％牟甲醚、三乙二醇 — _ 、二乙二醇單甲醚、乙二 醇皁乙一知醚、丙二醇單 卞了喝、二丙二醇單 七 二醇單甲峻及其組合。 畔單甲赋一丙 1 0.如凊求項丨之剝除組成物， φ , 丹中該烷醇胺化合物包含至 夕個由下式⑴表示之官能團： R1 /N-C~〇h R2 % (I) 其中R1及R2各 基。 包含氫原子’且係。丨-c8烷基或ci_c! 稀 11 ·如請求項1之 式（11)表示： 制除組成物’其中該烷醇胺化合物係 由下 3 R 4 R Η . ο 1 I 2 RICIR N~ (Π) I33989.doc 200928619 其中R3&R2各自包含氫原子，且係C丨-C8烷基或C丨-c8烯 基R係（^-(：1()院基、稀基、胺基、d-CB經烷 基、Ci-c10胺基烧基、（Ci_Ci〇院基）苯基、苯基（Ci_Ci〇) 烧美、Γ1 Α 丨、Cl0燒氧基、（Ci-C丨〇)烷氧基（C丨-c丨〇)烷基、羥 基（Cl_cio)燒氧基（CVC丨0)烷基、（：丨-(：10烷基胺基、胺基 (Cl Cl〇)燒氧基（C丨-C!〇)烷基、或羥基（C丨-C丨〇)烷基胺基 (Cl Cl〇)燒基；且 R4 係氫、cH2〇H、_CH(〇H)CH3、Ci_ c10院基、Ci_CiG烯基、胺基、經烧基、Ci_c丨0胺 基烧基、（Ci_CiQ烧基）苯基、苯基心烷基、Ci_Ci〇 烧氧基、（C^C^)烧氧基（c^C,。）烧基、經基（c^-Cn)烷氧 基（C〗_Ci〇)燒基、Ci_Ci〇烷基胺基、胺基（C1_C丨烷氧基 (Ci-Cio)炫基、或經基（Cl_Cl())^基胺基（Ci_Ci())烷基。 12. 如清求項11之剝除組成物，其中R3及R4與氮結合以形成 具有1至12個碳原子之環胺基。 13. 如清求項10之剝除組成物，其中R1及R2分別係氫，或R1 係氫且R2係甲基。 14·如S青求項10之剝除組成物，其中該烷醇胺化合物包含選 自由下列組成之群之一種：（1)剝除脂肪族烷醇胺，包括 N-經甲基甲胺、N-羥甲基二曱胺、Ν,Ν-二羥曱基甲胺、 Ν·(α·經乙基）甲胺、Ν-(α-經乙基）二曱胺、Ν，Ν-(二-α-經 乙基）甲胺、Ν_羥甲基乙胺、Ν-羥甲基二乙胺、Ν，Ν-二 經曱基乙胺、Ν-(α-羥乙基）乙胺、Ν-(α-羥乙基）二乙胺、 Ν，Ν-(二-α_羥乙基）乙胺、Ν-羥曱基丙胺、Ν-羥曱基二丙 胺、Ν，Ν-二羥甲基丙胺、Ν-(α-羥乙基）丙胺、Ν-(α-羥乙 133989.doc 200928619 基）二丙胺、N，N-(二-α-經乙基）丙胺、N-經曱基丁胺、 N-羥甲基二丁胺、N，N-二羥甲基丁胺、Ν-(α-羥乙基）丁 胺、Ν-(α-羥乙基）二丁胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙基）丁胺、Ν-羥甲基戊胺、Ν-羥甲基二戊胺、Ν,Ν·二羥曱基戊胺、Ν-(α-羥乙基）戊胺、Ν-羥甲基己胺、Ν-羥甲基二己胺、 Ν,Ν-二羥曱基己胺、Ν-(α-羥乙基）己胺、Ν-羥曱基庚 胺、Ν-羥曱基二庚胺、Ν，Ν·二羥曱基庚胺、N-羥甲基辛 胺、Ν-羥曱基二辛胺、Ν，Ν-二羥甲基辛胺、Ν-(α-羥乙 ® 基）辛胺、Ν-經甲基甲基乙胺、Ν-(α-經乙基）甲基乙胺、 Ν-羥曱基甲基丙胺、Ν-(α-羥乙基）甲基丙胺、Ν-羥甲基 甲基丁胺、Ν-(α-羥乙基）甲基丁胺、ν-羥曱基乙基丙 胺、Ν-(α-羥乙基）乙基丙胺、羥甲基乙基丁胺、Ν·(α_ 經乙基）乙基丁胺、Ν-羥甲基乙醇胺（CAS第65184-12-5 號）、Ν-(α-經乙基）乙醇胺、N，N-二羥甲基乙醇胺、N，N_ (二-α-經乙基）乙醇胺、N•羥甲基二乙醇胺、Ν_(α羥乙 ❷ 基）二乙醇胺、Ν-羥曱基_Ν•甲基乙醇胺、Ν_(α_羥乙基）_ Ν-甲基乙醇胺、Ν·羥甲基-Ν-丙基乙醇胺、Ν·(α羥乙 基）-Ν-丙基乙醇胺、Ν_羥甲基_ν·丁基乙醇胺、羥 乙基）_Ν_丁基乙醇胺、Ν-羥甲基異丙醇胺（CAS第76733- 35-2號）、7 &乙基）異丙醇胺、Ν，Ν_二羥甲基異丙醇 胺、Ν，Ν·(二-a-麵 7 父己基）異丙醇胺、N-經甲基二異丙醇 胺Ν (α羥乙基）二異丙醇胺、N_羥甲基_N甲基異丙醇 胺、Ν_(α·經乙基）·Ν-曱基異丙醇胺、N-經曱基-N-乙基 異丙醇胺、Ν_(α·經乙基）-Ν-乙基異丙醇胺、Ν-經曱基· 133989.doc 200928619 N-丙基異丙醇胺、Ν_(α_羥乙基）_n_丙基異丙醇胺、N•羥 甲基-N_ 丁基異丙醇胺、Ν-(α-羥乙基）-N- 丁基異丙醇 胺N-經曱基胺基乙氧基乙醇、Ν-(α-羥乙基）胺基乙氧 基乙醇、Ν，Ν-二羥甲基胺基乙氧基乙醇、Ν，Ν_(二_α_羥 乙基）胺基乙氧基乙醇、Ν_羥曱基胺基_2_甲基丙醇、Ν_ 羥乙基）胺基-2-甲基丙醇、Ν，Ν-二羥曱基胺基-2-曱基 丙醇及Ν，Ν-(二羥乙基）胺基-2-甲基丙醇；（2)脂肪族 φ 烷醇多胺，包括Ν-羥曱基乙二胺（CAS第41434-24-6號）、 Ν(α羥乙基）乙二胺、Ν，Ν二羥甲基乙二胺（CAS第 70495-38-4 號）、N-羥甲基 丁二胺（Cas 第 66210-83-1 號）N-經甲基丙二胺（〇八8第6621〇_82_〇號）、ν,ν, — 二羥 甲基丁二胺、N，N-二羥甲基丁二胺、Ν，Ν，Νι·三羥甲基丁 一胺、Ν，Ν，Ν’Ν'-四羥甲基丁二胺、Ν，Ν，_二羥甲基丙二 胺、ν，ν·二羥曱基丙二胺、Ν，Ν，Ν·_三羥曱基丙二胺、 Ν，Ν，Ν’，Ν’·四羥甲基丙二胺、Ν，Ν-(二-α-羥乙基）乙二 Ο 胺、Ν，Ν，Ν·-三羥甲基乙二胺、Ν，Ν，Ν，-(三-α-羥乙基）乙 一胺、Ν，Ν，Ν’Ν，-四羥甲基乙二胺、Ν，Ν，ΝιΝ，·(四_α_羥乙 基）乙一胺、Ν-羥甲基·Ν-曱基乙二胺、Ν-(α-羥乙基）_Ν-甲基乙二胺、Ν，Ν，-二羥甲基_Ν_甲基乙二胺、Ν，Ν，·（二_ α·羥乙基）·Ν-曱基乙二胺、Ν,Ν',Ν1-(三-α·羥乙基）_Ν-甲 基乙二胺、Ν，Ν·，Ν，-三羥甲基-n曱基乙二胺、冰羥曱基· Ν’Ν-—甲基乙二胺、Ν-(α-羥乙基）-Ν，，Ν，-二甲基乙二 胺Ν，Ν-二羥曱基-Ν'，Ν，-二曱基乙二胺、ν，Ν-(二-α-羥 土）Ν，Ν _—曱基乙二胺、Ν-經甲基_Ν，Ν',Ν'-三曱基乙 I33989.doc 200928619 二胺、N♦經乙基）_N，N，,N、三曱基乙二胺、 N_乙基乙二胺、N，N、二經曱…基乙二胺、二 二鉍甲基I甲基乙二胺、N-羥甲基_N，，Ni•二乙 胺、N，N-二經甲基·Ν，，Ν’_二乙基乙二胺 ：- Ν，Ν，Ν，-三乙二胺、Ν_ Τ 丞_ 玫甲基丙一胺、Ν，Ν-二羥甲基 胺、Ν，Ν，Ν’-二夠甲| π 〜 一 一羥甲基丙二胺、Ν，Ν，Ν，，Ν，_四羥甲基丙二 胺、Ν_羥甲基丁二胺、Ν，Ν-二羥曱基丁二胺、Ν，ΝΝ，-三 經甲基丁二胺、邮，_，_四經甲基丁二胺、沐經甲基 二乙三胺、Ν，Ν，’-二羥甲基二乙三胺及沁羥甲基三乙四 胺；（3)脂肪族院醇不飽和胺，包括Ν•經甲基稀丙胺、 Ν，Ν-二羥甲基烯丙胺、Ν_(α_羥乙基）烯丙胺、Ν，Ν_(二 羥乙基）烯丙胺、Ν-羥甲基二烯丙胺、Ν_羥曱基_Ν_甲基 烯丙胺及Ν-羥甲基_Ν_乙基烯丙胺；（4)剝除環狀烷醇 胺，包括Ν-羥甲基吡咯、Ν_(α_羥乙基）吡咯、Ν羥甲基_ 曱基吡咯、Ν-羥甲基_二曱基吡咯、Ν_羥甲基_三甲基吡 ❹ 洛、Ν-經曱基吼略咬、Ν·(α_經乙基）0比洛咬、輕甲基_ 曱基吡咯啶、Ν-羥曱基吡唑、Ν_羥甲基咪唑、Ν_羥甲基 二0坐、Ν-輕甲基四唾、Ν-經曱基六氩吼。定、Ν_(α_經乙 基）六氫吼啶、Ν-羥曱基甲基哌啶、ν-羥曱基二甲基哌 咬、Ν-經甲基六氫η比嗪、Ν，Ν_二經曱基六氫η比嗓、Ν_(α_ 羥乙基）六氫吡嗪、Ν-羥甲基曱基六氫咣嗪、Ν-羥甲基 嗎啉及Ν-(α_羥乙基）嗎啉；（5)脂肪族烷醇醚胺，包括Ν-羥甲基甲氧基乙胺、Ν-(α-羥乙基）曱氧基乙胺、Ν，Ν-二 羥曱基甲氧基乙胺、Ν-羥甲基曱氧基丙胺、Ν，Ν-二羥甲 133989.doc -6 - 200928619 基曱氧基丙胺、N_經甲基乙氧基乙胺、Ν·(α·經乙基）乙 氧基乙胺、N，N_:羥甲基乙氧基乙胺、N_羥甲基乙氧基 丙胺及N，N•二羥曱基乙氧基丙胺；及其組合。 15. 如明求項1〇之剝除組成物，其中該烷醇胺化合物進一步 包3至少一種選自由下列組成之群之額外胺：烷基胺、 烧醇胺、多胺、經胺、環胺及其組合。 16. 如明求項15之剝除組成物，其中該烷基胺包含選自由下 列組成之群之一種：脂肪族第一烷基胺，包括甲胺、乙 胺正丙胺、異丙胺、正丁胺、第二丁胺、異丁胺、第 二丁胺、戊胺、2-胺基戊烷、3_胺基戊烷、丨_胺基_2_甲 基丁烷、2-胺基_2_甲基丁烷、2_胺基_2_甲基丁烷、3•胺 基-2-甲基丁烷、4_胺基_2_曱基丁烷、己胺、5_胺基·2_甲 基戊烷、庚胺、辛胺、壬胺、癸胺、十一烷胺、十二烷 胺、十二烷胺、十四烷胺、十五烷胺、十六烷胺、十七 烷胺及十八烷胺；脂肪族第二烷基胺，例如二曱胺、二 乙胺、二丙胺、二異丙胺、二丁胺、二異丁胺、二-第二 丁胺、二-第三丁胺、二戊胺、二己胺、二庚胺、二辛 胺、二壬胺、二癸胺、甲基乙胺、甲基丙胺、甲基異丙 胺、曱基丁胺、甲基異丁胺、曱基第二丁胺、曱基第三 丁胺甲基戊胺、曱異戊胺、乙基丙胺、乙基異丙胺、 乙基丁胺、乙基異丁胺、乙基第二丁胺、乙基第三丁 胺、乙基異戊胺、丙基丁胺及丙基異丁胺；脂肪族第二 烷基胺，例如三甲胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、= 胺、二甲基乙胺、二曱基丙胺、甲基二乙胺及甲基二丙 133989.doc 200928619 胺；及其組合。 17::::15之剝除組成物’其中該烧醇胺包含選自由下 A乙醇群之一種脂肪族烷醇胺’包括乙醇胺、N甲 二胺、N-乙基乙醇胺、N_丙基乙醇胺、…丁基乙醇 乙酿：乙醇胺、三乙醇胺、基二乙醇胺、N_乙基二 、異丙醇胺、二異丙醇胺、三異丙醇胺、N-甲基 、丙醇胺、N•乙基異丙醇胺、N-丙基異丙醇胺、2_胺基 丙1醇、N-甲基_2_胺基丙小醇、N_乙基胺基丙小 醇K胺基丙-3-醇、N-甲基-1 —胺基丙_3_醇、N_乙基-卜 胺基丙、3·醇、卜胺基丁 ·2:醇、N-甲基-1-胺基丁 _2_醇、 N-乙基-1-胺基丁 _2_醇、2-·胺基丁小醇、N-甲基_2•胺基 醇 N-乙基-2-胺基丁-1-醇、3-胺基丁-卜醇、N_甲 基胺基丁-1_醇、N-乙基-3-胺基丁-1-醇、1_胺基丁 _4_ 醇、N-甲基小胺基丁冬醇、N_乙基胺基丁 ·4·醇、卜 胺基-2-曱基丙_2·醇、2·胺基_2_甲基丙_丨_醇、丨_胺基戊_ 4-醇、2-胺基·4_甲基戊醇、2_胺基己_卜醇、弘胺基 庚-4-醇、^胺基辛·2_醇、5_胺基辛_4_酵、丨_胺基丙·2,3· 一醇、2-胺基丙-I]·二醇、叁（氧甲基）胺基甲烷、丨，2-二 胺基丙-3-醇' 丨，3_二胺基丙·2·醇、2·(2_胺基乙氧基）乙 酵及其組合。 1 8·如請求項1 5之剝除組成物，其中該多胺包含選自由下列 組成之群之一種：乙二胺、丙二胺、丁二胺、三亞甲基 二胺、四亞甲基二胺、1>3_二胺基丁烷、2,3_二胺基丁 烧、戊亞曱基二胺、2,4-二胺基戊烷，六亞曱基二胺、七 133989.doc 200928619 亞甲基二胺、八亞甲基二胺、九亞甲基二胺、N -、、 Υ 基 胺、Ν，Ν-二甲基乙二胺、三甲基乙二胺、Ν_乙基 胺、Ν，Ν-二乙基乙二胺、三乙基乙二胺、丨，2,夂— 丙烧、畚（2-胺基乙基）胺、四（胺基甲基）甲烷、 脖、=7 〜 —乙四胺、四伸乙基戊胺、七伸乙基辛胺、九 基癸胺及其組合。 乙 乙 賤基 乙=： 伸乙 列 ❹

   9如明长項1 5之剝除組成物，其中該經胺包含選自由下 組成之群之一種：羥胺、Ν-甲基羥胺、Ν_乙基羥胺、 Ν’Ν-二乙基羥胺及其組合。 2〇·如咕求項1 5之剝除組成物，其中該環胺包含選自由下列 組成之群之—種：°比洛、2-曱基啦略、3-甲基吨咯、2_ 乙基吡咯、3_乙基吡咯、2,3_二甲基吡咯、2,4-二甲基吡 咯、3’4·二甲基吡咯、2,3,4-三曱基吡咯、2,3,5·三甲基 各2~°比咯琳、3-吡咯琳、吼略咬、2-甲基吡咯啶、 3_甲基。比洛啶、吡唑、咪唑、1，2,3_三唑、1，2,3,4_四 坐、氫吡啶、2-甲基哌啶、3_甲基哌啶、4_甲基哌 咬、2 4--田《· ’ 一 Τ基哌啶、2,6-二甲基哌啶、3,5-二甲基哌 疋、氣。比嗪、2-甲基六氫吡嗪、2,5_二甲基六氫吡 -’6 一甲基六氫吡嗪、嗎啉及其組合。 21·如請求α 之剥除組成物’其中該無機鹽化合物包含選 下歹丨組成之群之一種：氫氧化鉀、醋酸鉀、苯曱酸 肖^ 碳酸鉀、焦碟酸鉀及其組合。 2 2 ·如請求jg 1 之剝除組成物’其中該剝除組成物進一步包 自· | 下列組成之群之一種：羥胺化合物、耐腐蝕試 133989.doc 200928619 劑、極性溶劑、水及其組合。 23. 如凊求項22之剝除組成物，其中該經胺化合物可溶於 水。 24. 如請求項23之剝除組成物，其中該羥胺化合物包含選自 由下列組成之群之一種：乙醇胺、甲醇胺、二乙醇胺、 "三乙醇胺及其組合。 • 25.如請求項24之剝除組成物，其中該羥胺化合物包含選自 由下列組成之群之一種：單乙醇胺、單甲醇胺、異丙醇 ® 胺、二甲醇胺、二乙醇胺、二丙醇胺、三甲酵胺、三乙 醇胺、四乙醇胺及其組合。 26. 如請求項22之剝除組成物，其中該耐腐蝕試劑包含選自 由下列組成之群之一種：糖類、糖醇、芳香羥基化合 物、乙炔醇、羧酸化合物及其酐’三唑化合物及其組 合。 27. 如請求項26之剝除組成物，其中該糖類包含選自由下列 ❹ 組成之群之一種：具有3至6個碳原子之單糖，包括甘油 醛、抗壞血酸、異抗壞血酸、蘇糖、阿拉伯糖、木糖、 核糖、核酮糖、木酮糖、葡萄糖、甘露糖、半乳糖、塔 • 格糖（tagatose)、阿羅糖（allose)、阿卓糖（altr〇se)、古洛 糖（gulose)、艾杜糖（idose)、塔羅糖（tal〇se)、山梨糖、 阿洛酮糖及果糖’包括海藻糖之二糖，及其組人。 28. 如請求項26之剝除組成物，其中該糖醇包含選自由下列 組成之群之一種：蘇糖醇、赤蘚醇、核糖醇、阿拉伯糖 醇、木糖醇、塔羅糖醇、山梨醇、甘露醇、艾杜糖醇、 133989.doc •10- 200928619 半乳糖醇、肌醇及其組合。 29. e 30. 31. Ο 32. 如請求項26之剝除組成物，其中該芳香羥基化合物包含 選自由下列組成之群之一種：苯酚、曱酚、二甲苯酚、 鄰苯二齡、間苯二酚、對苯二酚、連苯三酚、1，2,4-間 苯二盼、水揚酸醇、對-羥基苯曱醇、對-羥基苯乙醇、 對胺基笨盼、間胺基苯酚、二胺基苯酚、胺基間笨二 盼、對經基苯曱酸、鄰羥基苯曱酸、2,4_二羥基笨曱 酸、2,5-二羥基苯甲酸、3,4_二羥基苯甲酸、3,5•二羥基 苯甲酸、沒食子酸及其組合。 如請求項26之剝除組成物，其申該乙炔醇包含選自由下 列、、且成之群之一種：2-丁烯-1,4-二醇、3,5-二甲基-1-己 稀_3·醇、2_曱基丁烯-2-醇、3-曱基小戊烯-3-醇、 3’6 —甲基-4-辛烯_3,6_二醇、2 4 7 9·四甲基·5癸烯_ ，醇2,5_—曱基-3-己烯·2,5-二醇及其組合。 如明求項26之剝除組成物’其中該羧酸化合物及其酐包 含選自由下列組成之群之—種：甲酸、醋酸、丙酸、丁 酸、異丁酸、苴舱 π * 早酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、馬來 田馬酸苯甲酸、鄰苯二甲酸、ι,2,3-苯三甲酸、 醇酸—乙醇酸、乳酸、蘋果酸、檸樣酸、乙酸針、 鄰苯二曱酸酐、黾办 馬來酸酐、琥珀酸酐、水揚酸及其組 合。 如請求項26之剝除 由下列組成之群之 曱基本并三〇坐、間 組成物，其中該三唑化合物包含選自 一種：曱基笨并三唑、笨并三唑、鄰 甲基苯并三唑、對甲基笨并三唑、羧 133989.doc •11 - 200928619 基苯并三唾、1_羥基苯并= m〜 4开硝基本弁二唑、二羥丙 基本并二嗤及其組合。 33·如請求項26之剝除組成物，其中該耐靠試劑包含選自 由下列組成之群之—種：包括鄰苯二盼之兒茶紛、山製 醇、木糖醇、沒食子酸、2_ 丁稀_M_二醇、鄰苯二甲 酸、鄰苯二甲酸酐、水楊酸、抗壞血酸、f基笨并三唑 及苯并三嗤及其組合。

   34.如請求項22之剝除組成物，其中該極性溶劑係硫化合物 或炫基吼p各η定酮。 35. 如請求項34之剝除組成物，其中該硫化合物包含選自由 下列組成之群之-種：二甲基㈣、二乙基㈣、二丙 基亞颯、sulforan及其混合物。 36. 如請求項34之剝除組成物，其中該烷基吡咯啶酮包含選 自由下列組成之群之:吡咯啶鲷、正甲基吡咯啶 酮、正乙基料咬酮、正丙基吼㈣網、正辛基_。定 酮、正環己基対㈣、正十二烧基。比略㈣、2_〇比洛 啶酮、1-羥乙基-2-吡咯啶_、丨_羥丙基_2_吡咯啶酮及其 組合。 37·如請求項22之剝除組成物，其中該剝除組成物進一步包 a 0.5-10 wt/〇之說胺化合物、〇 〇15 wt%之耐腐餘試劑 及剩餘量水；該羥胺化合物係四甲基氫氧化銨；該伸烷 基二醇烷基醚化合物係乙二醇曱醚或二乙二醇甲醚；該 炫醇胺化合物包含選自由下列組成之群之一種：單乙醇 胺、一乙醇胺、二乙醇胺及其組合；該無機鹽化合物係 -12· J33989.doc 200928619 包含選自由下列組 、乙炔醇、苯并三 醋酸鉀或氫氧化鉀；且該耐腐蝕試劑 成之群之一種：苯并三唑、兒茶盼 唑、三唑及其組合。 3 8. —種剝除方法，該方法包含： 在基板上形成含有有機材料之薄膜；及 使用包括約0.5'約45 wt%之氫氧化物化合物、約1〇'約 89 wt〇/。之伸院基二醇烧基謎化合物、約5_約45㈣之燒

   醇胺化合物及約0.01_約5 wt%之無機鹽化合物之剝除組 成物剝除該基板上之該薄臈。 39.如請求項38之剝除方法，其進一步包含： 檢查該薄膜之缺陷；及 在剝除該薄骐之前，當檢測到缺陷時確定該薄膜之缺 陷性。 40.如請求項38之制除方法，其中該薄膜係彩色滤光片。 41 ·如清求項38之泰J除方法，其中該薄膜係有機絕緣薄膜。 42. 如明求項41之剝除方法，其中該有機絕緣薄膜係負型。 43. 如請求項38之剝除方法，其中該基板包含裝置層壓板且 该薄膜係在該等裴置層壓板上形成。 44·如凊求項43之制除方法，其中該等裝置層壓板包含薄膜 電晶體。 45.如請求項44之剝除方法，其中該薄膜電晶體包含由包括 A1之金屬形成之電極。 133989.doc 13