CN105388713A - 一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液 - Google Patents

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Abstract

本发明公布了一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，包括以下重量百分比的组合物：氢氧化钾溶液10％～16％；三乙醇胺溶液12％～20％；邻氟苯甲酸1.2％～2.8％；乙稀基正丁醚5％～15％；异丙基正丙硫醚2.5％～6.9％；纯硫酸0.2％～0.6％；其余为去离子水。本发明提供的铝膜水系光阻剥离液，能够提高薄膜液晶面板产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。

Description

一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液
技术领域
本发明涉及一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液。
背景技术
目前，低温水系正胶剥离液，透明易挥发性液体，易燃，密度(25℃)约为1.0g/ml。铝膜水系光阻剥离液主要用于薄膜液晶显示器面板生产的光阻剥离，其使用工艺温度为80℃左右；目前正胶剥离液主要由乙醇胺(MEA)、二甲基亚砜(DMSO)和超纯水组成，该产品主要存在以下几点缺点：
1)用该低温水系正胶剥离液进行光阻剥离时容易对光阻保护的金属层产生攻击，导致产品良率降低；
2)该低温水系正胶剥离液的使用工艺温度要求较高，需加热到80℃左右，能耗较大；
3)乙醇胺(MEA)和二甲基亚砜(DMSO)对环境污染大且对人体健康有较大伤害。
因此有必要提供一种改良的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法，提高薄膜液晶显示器制造工艺中的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液。
本发明为实现上述目的，采用如下技术方案：一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，包括以下重量百分比的组合物：
进一步的，所述剥离液包括以下重量百分比的组合物：
进一步的，所述剥离液包括以下重量百分比的组合物：
进一步的，所述剥离液包括以下重量百分比的组合物：
进一步的，所述氢氧化钾溶液的浓度为82～89％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为85～95％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为90～98％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为85～95％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为76～88％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为98.8～99.9％(重量百分比)。
进一步的，所述氢氧化钾溶液的浓度为82％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为85％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为90％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为85％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为76％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为98.8％(重量百分比)。
进一步的，所述氢氧化钾溶液的浓度为86％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为90％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为94％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为90％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为82％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为99.5％(重量百分比)。
进一步的，所述氢氧化钾溶液的浓度为89％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为95％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为98％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为95％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为88％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为99.9％(重量百分比)。
本发明的有益效果：本发明提供的薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，能够提高液晶显示器产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害。
具体实施方式
下面通过实施例进一步描述本发明，但不限于所举的实施例。
实施例1、称取10kg的氢氧化钾溶液，然后通过自动上料系统缓慢的加入到盛装有适当去离子水的反应釜中，并充分搅拌，搅拌温度为40度，搅拌气压为1.2Mpa，搅拌时间为10分钟，搅拌的速度为45转/分；
然后称取12kg的三乙醇胺溶液、1.2kg的邻氟苯甲酸、5kg的乙稀基正丁醚、2.5kg的异丙基正硫醚、0.2kg的纯硫酸和适当去离子水，并充分搅拌，搅拌温度为30度，搅拌气压为2.2Mpa，搅拌时间为15分钟，搅拌的速度为55转/分；
最后开动隔膜泵，将制得的混合物先经过0.2um过滤器循环过滤2小时，再经0.12μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子，即得铝膜水系光阻剥离液。
其中，所述氢氧化钾溶液的浓度为82％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为85％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为90％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为85％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为76％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为98.8％(重量百分比)。
实施例2、称取13kg的氢氧化钾溶液，然后通过自动上料系统缓慢的加入到盛装有适当去离子水的反应釜中，并充分搅拌，搅拌温度为50度，搅拌气压为1.7Mpa，搅拌时间为12分钟，搅拌的速度为45转/分；
然后称取17kg的三乙醇胺溶液、2.2kg的邻氟苯甲酸、10kg的乙稀基正丁醚、4.5kg的异丙基正硫醚、0.4kg的纯硫酸和适当去离子水，并充分搅拌，搅拌温度为35度，搅拌气压为2.9Mpa，搅拌时间为20分钟，搅拌的速度为65转/分；
最后开动隔膜泵，将制得的混合物先经过0.2um过滤器循环过滤2.5小时，再经0.12μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子，即得铝膜水系光阻剥离液。
其中，所述氢氧化钾溶液的浓度为86％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为90％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为94％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为90％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为82％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为99.5％(重量百分比)。
实施例3、称取16kg的氢氧化钾溶液，然后通过自动上料系统缓慢的加入到盛装有适当去离子水的反应釜中，并充分搅拌，搅拌温度为60度，搅拌气压为2.3Mpa，搅拌时间为15分钟，搅拌的速度为45转/分；
然后称取20kg的三乙醇胺溶液、2.8kg的邻氟苯甲酸、15kg的乙稀基正丁醚、6.9kg的异丙基正硫醚、0.6kg的纯硫酸和适当去离子水，并充分搅拌，搅拌温度为40度，搅拌气压为3.3Mpa，搅拌时间为25分钟，搅拌的速度为75转/分；
最后开动隔膜泵，将制得的混合物先经过0.2um过滤器循环过滤3小时，再经0.12μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子，即得铝膜水系光阻剥离液。
其中，所述氢氧化钾溶液的浓度为89％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为95％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为98％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为95％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为88％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为99.9％(重量百分比)。
综上所述，本发明提供的铝膜水系光阻剥离液，不改变客户使用效果的前提下，通过配方的改变，提高产品的光阻剥离性能，降低工艺条件温度，并且避免了原来使用的正胶剥离液造成的对人体和环境造成的损害，本方法能适用于大规模生产。具体优点如下：1)本发明的铝膜水系光阻剥离液在进行光阻剥离时不会攻击金属层；2)本发明的低温型水系正胶剥离液工艺温度条件为60℃，低于原来的工艺温度80℃，能耗降低；3)本发明的铝膜水系光阻剥离液中的组份对人体健康危害和环境污染小；4)采用微乳技术：采用微乳化技术，加入特殊添加剂，产品在乳化后形成了各向同性和较好的分散性，使产品在使用过程中能够有效去除光阻。以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
其余为去离子水。
2.如权利要求1所述的一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
其余为去离子水。
3.如权利要求1所述的一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
其余为去离子水。
4.如权利要求1所述的一种薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
其余为去离子水。
5.如权利要求1所述的薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，所述氢氧化钾溶液的浓度为82～89％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为85～95％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为90～98％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为85～95％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为76～88％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为98.8～99.9％(重量百分比)。
6.如权利要求5所述的薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，所述氢氧化钾溶液的浓度为82％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为85％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为90％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为85％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为76％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为98.8％(重量百分比)。
7.如权利要求5所述的薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，所述氢氧化钾溶液的浓度为86％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为90％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为94％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为90％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为82％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为99.5％(重量百分比)。
8.如权利要求5所述的薄膜液晶显示器中的铝膜水系光阻剥离液，其特征在于，所述氢氧化钾溶液的浓度为89％(重量百分比)；所述三乙醇胺溶液的浓度为95％(重量百分比)；所述邻氟苯甲酸的浓度为98％(重量百分比)；所述乙稀基正丁醚的浓度为95％(重量百分比)；所述异丙基正丙硫醚的浓度为88％(重量百分比)；所述纯硫酸的浓度为99.9％(重量百分比)。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107502019A (zh) * 2017-07-31 2017-12-22 合肥泓定科技有限公司 一种新型防水材料及其制备方法
CN107885049A (zh) * 2017-11-24 2018-04-06 无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司 一种液晶显示器中的铜膜剥离液的制备方法
CN107966887A (zh) * 2017-11-24 2018-04-27 无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司 一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液
CN113293000A (zh) * 2021-05-21 2021-08-24 深圳市星源材质科技股份有限公司 剥离试剂、二次电池隔膜涂层的剥离方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1577112A (zh) * 2003-07-10 2005-02-09 东进瑟弥侃株式会社 去除tft－lcd制造工艺中彩色抗蚀剂的剥离组合物
CN1677248A (zh) * 2004-03-31 2005-10-05 东友Fine-Chem株式会社 光致抗蚀剂剥离剂组合物
WO2008157345A2 (en) * 2007-06-13 2008-12-24 Advanced Technology Materials, Inc. Wafer reclamation compositions and methods
CN101398639A (zh) * 2007-09-28 2009-04-01 三星电子株式会社 用于剥离的组合物以及剥离方法
US20090192065A1 (en) * 2005-06-16 2009-07-30 Advanced Technology Materials, Inc. Dense fluid compositions for removal of hardened photoresist, post-etch residue and/or bottom anti-reflective coating
CN102163011A (zh) * 2011-04-29 2011-08-24 西安东旺精细化学有限公司 一种光致抗蚀剂的剥离液组合物
CN103713476A (zh) * 2012-10-08 2014-04-09 气体产品与化学公司 用于除去厚膜抗蚀剂的剥离和清除组合物
CN103809395A (zh) * 2012-11-13 2014-05-21 孙庆东 一种去除残留光刻胶的方法
CN104932211A (zh) * 2015-06-02 2015-09-23 江阴江化微电子材料股份有限公司 液晶面板制造工艺中的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1577112A (zh) * 2003-07-10 2005-02-09 东进瑟弥侃株式会社 去除tft－lcd制造工艺中彩色抗蚀剂的剥离组合物
CN1677248A (zh) * 2004-03-31 2005-10-05 东友Fine-Chem株式会社 光致抗蚀剂剥离剂组合物
US20090192065A1 (en) * 2005-06-16 2009-07-30 Advanced Technology Materials, Inc. Dense fluid compositions for removal of hardened photoresist, post-etch residue and/or bottom anti-reflective coating
WO2008157345A2 (en) * 2007-06-13 2008-12-24 Advanced Technology Materials, Inc. Wafer reclamation compositions and methods
CN101398639A (zh) * 2007-09-28 2009-04-01 三星电子株式会社 用于剥离的组合物以及剥离方法
CN102163011A (zh) * 2011-04-29 2011-08-24 西安东旺精细化学有限公司 一种光致抗蚀剂的剥离液组合物
CN103713476A (zh) * 2012-10-08 2014-04-09 气体产品与化学公司 用于除去厚膜抗蚀剂的剥离和清除组合物
CN103809395A (zh) * 2012-11-13 2014-05-21 孙庆东 一种去除残留光刻胶的方法
CN104932211A (zh) * 2015-06-02 2015-09-23 江阴江化微电子材料股份有限公司 液晶面板制造工艺中的铝膜水系光阻剥离液及其制备方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107502019A (zh) * 2017-07-31 2017-12-22 合肥泓定科技有限公司 一种新型防水材料及其制备方法
CN107885049A (zh) * 2017-11-24 2018-04-06 无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司 一种液晶显示器中的铜膜剥离液的制备方法
CN107966887A (zh) * 2017-11-24 2018-04-27 无锡南理工新能源电动车科技发展有限公司 一种晶体管液晶触摸屏中的钼铝光阻剥离液
CN113293000A (zh) * 2021-05-21 2021-08-24 深圳市星源材质科技股份有限公司 剥离试剂、二次电池隔膜涂层的剥离方法
CN113293000B (zh) * 2021-05-21 2022-06-17 深圳市星源材质科技股份有限公司 剥离试剂、二次电池隔膜涂层的剥离方法

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