RU2008117406A - Способ получения тетрафторида кремния и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ получения тетрафторида кремния и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2008117406A
RU2008117406A RU2008117406/15A RU2008117406A RU2008117406A RU 2008117406 A RU2008117406 A RU 2008117406A RU 2008117406/15 A RU2008117406/15 A RU 2008117406/15A RU 2008117406 A RU2008117406 A RU 2008117406A RU 2008117406 A RU2008117406 A RU 2008117406A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sulfuric acid
silicon tetrafluoride
acid
stage
producing
Prior art date
Application number
RU2008117406/15A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2393113C2 (ru
Inventor
Мицугу НАГАНО (JP)
Мицугу НАГАНО
Такехико МОРИЯ (JP)
Такехико МОРИЯ
Масахиде ВАКИ (JP)
Масахиде ВАКИ
Казухиро МИЯМОТО (JP)
Казухиро МИЯМОТО
Original Assignee
Стелла Темифа Корпорейшн (Jp)
Стелла Темифа Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Стелла Темифа Корпорейшн (Jp), Стелла Темифа Корпорейшн filed Critical Стелла Темифа Корпорейшн (Jp)
Publication of RU2008117406A publication Critical patent/RU2008117406A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2393113C2 publication Critical patent/RU2393113C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/10Compounds containing silicon, fluorine, and other elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • C01B33/10705Tetrafluoride
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D3/00Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
    • B01D3/14Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column
    • B01D3/143Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column by two or more of a fractionation, separation or rectification step
    • B01D3/146Multiple effect distillation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D3/00Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
    • B01D3/14Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column
    • B01D3/143Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column by two or more of a fractionation, separation or rectification step
    • B01D3/148Fractional distillation or use of a fractionation or rectification column by two or more of a fractionation, separation or rectification step in combination with at least one evaporator
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

1. Способ получения тетрафторида кремния, который содержит следующие стадии: ! материал исходного сырья, содержащий диоксид кремния, вводят в реакцию со смешанным раствором, содержащим фтористоводородную кислоту и кремнефтористоводородную кислоту, до получения водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты; ! водный раствор высококремнистой фторкремниевой кислоты вводят в реакцию с серной кислотой до получения тетрафторида кремния; и ! фракцию серной кислоты, содержащую фтористый водород, который представляет собой побочный продукт на стадии получения тетрафторида кремния, подвергают отпарке до получения серной кислоты, ! полученную серную кислоту возвращают на стадию получения тетрафторида кремния для повторного использования. ! 2. Способ получения тетрафторида кремния по п.1, в котором на стадии получения серной кислоты ее обезвоживают до достижения специфической концентрации серной кислоты, которую можно использовать на стадии получения тетрафторида кремния. ! 3. Способ получения тетрафторида кремния по п.2, в котором используют кварцевый песок с уровнем содержания диоксида кремния в качестве материала исходного сырья 80 мас.% и более. ! 4. Способ получения тетрафторида кремния по п.1, в котором уровень содержания водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты, полученного на стадии получения высококремнистой фторкремниевой кислоты и присутствующего в продукте, составляет 42 мас.% и более. ! 5. Способ получения тетрафторида кремния по п.4, в котором концентрация серной кислоты, используемой на стадии получения тетрафторида кремния, составляет 85 мас.% и более. ! 6. Способ получения тетра

Claims (11)

1. Способ получения тетрафторида кремния, который содержит следующие стадии:
материал исходного сырья, содержащий диоксид кремния, вводят в реакцию со смешанным раствором, содержащим фтористоводородную кислоту и кремнефтористоводородную кислоту, до получения водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты;
водный раствор высококремнистой фторкремниевой кислоты вводят в реакцию с серной кислотой до получения тетрафторида кремния; и
фракцию серной кислоты, содержащую фтористый водород, который представляет собой побочный продукт на стадии получения тетрафторида кремния, подвергают отпарке до получения серной кислоты,
полученную серную кислоту возвращают на стадию получения тетрафторида кремния для повторного использования.
2. Способ получения тетрафторида кремния по п.1, в котором на стадии получения серной кислоты ее обезвоживают до достижения специфической концентрации серной кислоты, которую можно использовать на стадии получения тетрафторида кремния.
3. Способ получения тетрафторида кремния по п.2, в котором используют кварцевый песок с уровнем содержания диоксида кремния в качестве материала исходного сырья 80 мас.% и более.
4. Способ получения тетрафторида кремния по п.1, в котором уровень содержания водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты, полученного на стадии получения высококремнистой фторкремниевой кислоты и присутствующего в продукте, составляет 42 мас.% и более.
5. Способ получения тетрафторида кремния по п.4, в котором концентрация серной кислоты, используемой на стадии получения тетрафторида кремния, составляет 85 мас.% и более.
6. Способ получения тетрафторида кремния по п.5, в котором температура серной кислоты на стадии получения тетрафторида кремния составляет 60°С и менее.
7. Способ получения тетрафторида кремния по п.6, в котором концентрацию серной кислоты, содержащей фтористый водород, образовавшийся на стадии получения тетрафторида кремния, выдерживают равной 80 мас.% и более, исходя из количеств только серной кислоты и воды при исключении фтористого водорода.
8. Способ получения тетрафторида кремния по п.7, в котором уровень содержания фтористого водорода, присутствующего в серной кислоте на стадии получения серной кислоты, составляет 1 ч./млн./масс. и менее.
9. Устройство для получения тетрафторида кремния, которое содержит
реакционную емкость, в которой материал исходного сырья, содержащий диоксид кремния, вводят в реакцию со смешанным раствором, содержащим фтористоводородную кислоту и кремнефтористоводородную кислоту, до получения водного раствора высококремнистой фторкремниевой кислоты;
насадочную колонну, в которой водный раствор высококремнистой фторкремниевой кислоты реагирует с серной кислотой до получения тетрафторида кремния;
отпарную колонну, в которой серную кислоту, содержащую фтористый водород, который является побочным продуктом в насадочной колонне, подвергают отпарке для удаления фтористого водорода до получения серной кислоты; и
испаритель, в котором концентрируют серную кислоту, полученную в отпарной колонне,
и затем подают в насадочную колонну.
10. Устройство по п.9, в котором испаритель обеспечивает обезвоживание и концентрирование серной кислоты, полученной в отпарной колонне, вплоть до достижения специфической концентрации серной кислоты, которую можно использовать в насадочной колонне.
11. Устройство по п.10, в котором испаритель изготавливают из металла или с использованием стеклянной футеровки.
RU2008117406/15A 2005-10-03 2006-09-29 Способ получения тетрафторида кремния и устройство для его осуществления RU2393113C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-289836 2005-10-03
JP2005289836A JP4576312B2 (ja) 2005-10-03 2005-10-03 四フッ化ケイ素の製造方法、及びそれに用いる製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008117406A true RU2008117406A (ru) 2009-11-10
RU2393113C2 RU2393113C2 (ru) 2010-06-27

Family

ID=37906226

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008117406/15A RU2393113C2 (ru) 2005-10-03 2006-09-29 Способ получения тетрафторида кремния и устройство для его осуществления

Country Status (10)

Country Link
US (1) US20090274606A1 (ru)
EP (1) EP1947057A4 (ru)
JP (1) JP4576312B2 (ru)
KR (1) KR101269254B1 (ru)
CN (1) CN101291875B (ru)
AU (1) AU2006298109B2 (ru)
GE (1) GEP20104907B (ru)
RU (1) RU2393113C2 (ru)
WO (1) WO2007040185A1 (ru)
ZA (1) ZA200803616B (ru)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5341425B2 (ja) * 2008-08-08 2013-11-13 ステラケミファ株式会社 フッ化物ガスの製造方法
KR101168942B1 (ko) * 2010-04-27 2012-08-02 주식회사 케이씨씨 결정성 규사를 사용한 사불화규소의 제조방법
US20110305621A1 (en) * 2010-06-11 2011-12-15 Kyung Hoon Kang Method Of Continuously Producing Tetrafluorosilane By Using Various Fluorinated Materials, Amorphous Silica And Sulfuric Acid
KR101215490B1 (ko) * 2010-06-11 2012-12-26 주식회사 케이씨씨 다양한 플루오라이드 원료들과 비정질 실리카 및 황산을 이용한 사불화규소의 연속 제조방법
CN101863478B (zh) * 2010-06-22 2012-07-18 佛山市华特气体有限公司 高纯四氟化硅的制备方法
CN102134078A (zh) * 2011-01-14 2011-07-27 浙江中宁硅业有限公司 一种硫酸石英砂闭环生产四氟化硅的方法
KR20130015596A (ko) * 2011-08-04 2013-02-14 주식회사 케이씨씨 실리카와 불화수소를 이용한 사불화규소의 연속제조방법
DE102011111316B4 (de) * 2011-08-26 2017-10-19 Plinke Gmbh Verfahren zur Reinigung und Konzentrierung HF-haltiger Schwefelsäure
CN102351198A (zh) * 2011-09-20 2012-02-15 六九硅业有限公司 四氟化硅的制备方法
JP6370684B2 (ja) 2014-11-14 2018-08-08 エドワーズ株式会社 除害装置
CN108658081B (zh) * 2018-08-02 2023-08-22 浙江中宁硅业有限公司 利用氟硅酸钠作为原料生产四氟化硅的方法及其生产设备
MA56293A1 (fr) 2022-04-12 2023-10-31 Univ Mohammed Vi Polytechnique Silice purifiee a partir de sous-produit industriel et son utilisation comme composant d’anode pour batteries lithium-ion
US11891344B2 (en) 2022-04-20 2024-02-06 Chtem Limited Methods for graded utilization of fluorine and silicon resources in phosphate ores

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS451887Y1 (ru) * 1965-09-28 1970-01-27
JPS451887B1 (ru) * 1967-03-17 1970-01-22
US3615195A (en) * 1968-12-11 1971-10-26 Simplot Co J R Fluosilic acid recovery
US3969485A (en) * 1971-10-28 1976-07-13 Flemmert Goesta Lennart Process for converting silicon-and-fluorine-containing waste gases into silicon dioxide and hydrogen fluoride
US3856673A (en) * 1973-04-02 1974-12-24 Air Prod & Chem Purification of spent sulfuric acid
US4062930A (en) * 1973-05-31 1977-12-13 Bohdan Zawadzki Method of production of anhydrous hydrogen fluoride
US4163045A (en) * 1976-12-27 1979-07-31 Kemira Oy Process for producing hydrogen fluoride from an aqueous solution of hydrogen fluoride and sulfuric acid
JPS604127B2 (ja) * 1981-08-06 1985-02-01 セントラル硝子株式会社 四弗化珪素ガスの精製法
US4470959A (en) * 1983-06-20 1984-09-11 Allied Corporation Continuous production of silicon tetrafluoride gas in a vertical column
CN85102344A (zh) * 1985-04-01 1986-10-29 斯瓦罗夫斯基公司 生产四氟化硅的方法
IT1196983B (it) * 1986-07-23 1988-11-25 Enichem Agricoltura Spa Procedimento per la produzione di tetrafluoruro di silicio
JPH06293510A (ja) * 1993-04-08 1994-10-21 Nippon Sheet Glass Co Ltd ハイシリカケイフッ化水素酸の製造法
TW200512159A (en) * 2003-09-25 2005-04-01 Showa Denko Kk Method for producing tetrafluorosilane
JP4588396B2 (ja) * 2003-09-25 2010-12-01 昭和電工株式会社 テトラフルオロシランの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
GEP20104907B (en) 2010-02-25
JP2007099550A (ja) 2007-04-19
RU2393113C2 (ru) 2010-06-27
JP4576312B2 (ja) 2010-11-04
CN101291875B (zh) 2011-04-13
ZA200803616B (en) 2009-02-25
WO2007040185A1 (ja) 2007-04-12
US20090274606A1 (en) 2009-11-05
AU2006298109B2 (en) 2011-03-17
KR101269254B1 (ko) 2013-05-29
AU2006298109A1 (en) 2007-04-12
EP1947057A4 (en) 2011-11-09
KR20080070813A (ko) 2008-07-31
EP1947057A1 (en) 2008-07-23
CN101291875A (zh) 2008-10-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2008117406A (ru) Способ получения тетрафторида кремния и устройство для его осуществления
ATE512117T1 (de) Verfahren zur herstellung von si durch reduktion von sicl4 mit flüssigem zn
CN100577569C (zh) 一种生产氟化钾联产白炭黑的方法
WO2008096724A1 (ja) 五フッ化リン及び六フッ化リン酸塩の製造方法
JP2008542186A (ja) 硫酸ナトリウムを用いてシリカ、亜硫酸ナトリウム及び亜硫酸水素ナトリウムを製造する方法
CN110697735A (zh) 一种氟化钾的生产工艺
CN100577568C (zh) 一种生产氟化氢铵联产白炭黑的方法
CN103991882A (zh) 利用湿法磷酸液相中的氟制备氟化钾的方法
RU2006134260A (ru) Способ производства чистого меламина
CN102502502A (zh) 一种用98%硫酸制备氟化氢气体的方法
CN104030250A (zh) 一种使用氟硅酸生产氟化氢钠的工艺
CN101774588B (zh) 以氟化物和硅源粉末为原料制备的四氟化硅提纯方法
CN101134595A (zh) 氟化钙的生产方法
JPS5826022A (ja) 四弗化珪素ガスの精製法
EA201000036A1 (ru) Способ получения поликристаллического кремния из раствора кремнефтористо-водородной кислоты и установка для получения поликристаллического кремния
WO2009129458A3 (en) Silicon production process
CN107188129B (zh) 含氟化钙废料制备氟化氢和四氟化硅的方法
KR20080043404A (ko) 동위체 농축 방법
CN107934988A (zh) 一种氟化氢铵的制备方法
CN104591189B (zh) 一种提纯冰晶石废酸的回收利用方法
CN100542962C (zh) 生产氟化铝的方法
RU2007122706A (ru) Способ получения кремния
MXPA04000477A (es) Proceso para la condensacion de vapores de acido sulfurico para producir acido sulfurico.
CN104445305A (zh) 氟化镁的制备方法
TWI797542B (zh) 由廢緩衝氧化物蝕刻劑中回收氨且製備氟鹽晶體與二氧化矽固體的方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150930