KR101269254B1

KR101269254B1 - 사불화규소의 제조 방법 및 그것에 이용하는 제조 장치

Info

Publication number: KR101269254B1
Application number: KR1020087010760A
Authority: KR
Inventors: 미츠구 나가노; 다케히코 모리야; 마사히데 와키; 가즈히로 미야모토
Original assignee: 스텔라 케미파 가부시키가이샤
Priority date: 2005-10-03
Filing date: 2008-05-02
Publication date: 2013-05-29
Also published as: JP2007099550A; RU2008117406A; KR20080070813A; EP1947057A1; JP4576312B2; CN101291875B; US20090274606A1; EP1947057A4; CN101291875A; GEP20104907B; AU2006298109B2; RU2393113C2; AU2006298109A1; WO2007040185A1; ZA200803616B

Abstract

본 발명은 사불화규소를 제조할 때의 제조 비용의 감소 및 폐기물량의 감소가 가능한 사불화규소의 제조 방법 및 그것에 이용하는 제조 장치를 제공한다. 이산화규소를 포함하는 원료 (1)과, 불화수소산 및 규불화수소산을 포함하는 혼합액을 반응시킴으로써 고실리카플루오로규산 수용액을 생성하는 고실리카플루오로규산 생성 공정 (a)와, 상기 고실리카플루오로규산 수용액과 황산을 반응시킴으로써 사불화규소를 생성하는 사불화규소 생성 공정 (c)와, 상기 사불화규소 생성 공정 (c)에서 부생되는 불화수소 함유 황산을 수증기 증류함으로써 황산을 생성하는 황산 생성 공정 (d)를 갖고, 상기 사불화규소 생성 공정 (c)에서는 상기 황산 생성 공정 (d)에서 생성되는 상기 황산을 재이용하는 것을 특징으로 한다.

사불화규소, 불화수소산, 규불화수소산, 고실리카플루오로규산, 황산의 재이용, 탈수농축

Description

사불화규소의 제조 방법 및 그것에 이용하는 제조 장치{PROCESS FOR PRODUCTION OF SILICON TETRAFLUORIDE, AND APPARATUS FOR THE PROCESS}

본 발명은 예를 들면 광섬유용 원료, 반도체용 원료, 또는 태양 전지용 원료 등에 이용되는 사불화규소(SiF₄)의 제조 방법 및 그것에 이용하는 제조 장치에 관한 것이다.

종래의 사불화규소의 제조 방법에서는 이하의 각종 방법이 알려져 있다. (i) 하기 반응식 1로 표시된 바와 같이 규소와 불소의 반응에 의해 제조하는 방법, 하기 반응식 2로 표시된 바와 같이 이산화규소와 불화수소의 반응에 의해 제조하는 방법.

(ii) 하기 반응식 3으로 표시된 바와 같이 금속규불화물의 열분해에 의해 제조하는 방법.

단, 상기 M은 바륨(Ba) 등의 금속 원소를 나타낸다.

(iii) 하기 반응식 4로 표시된 바와 같이 형석 등의 불화물, 이산화규소 및 황산의 반응에 의해 제조하는 방법.

(iv) 인산 제조시의 부산물로서도 사불화규소를 얻는 방법.

반응식 1에 의한 제조 방법에서는 대량의 불소를 염가로 얻는 것이 곤란하다. 이 때문에, 사불화규소의 대량 생산에는 도움이 되지 않는다. 반응식 2에 의한 제조 방법에서는 하기 반응식 5로 표시된 바와 같이, 부생되는 물이 사불화규소를 가수분해하여, 규불화수소산과 이산화규소를 생성한다고 알려져 있다.

따라서, 반응식 2로 표시되는 반응에 의해 사불화규소를 제조하는 경우, 부생되는 물을 제거하기 위해서 황산 등의 탈수제가 사용된다. 구체적으로는 이산화규소를 현탁시킨 황산 내에 불화수소를 도입하여 사불화규소를 발생시키는 방법이나, 하기 반응식 6 및 반응식 7과 같이 이산화규소와 불화수소산을 반응시켜 규불화수소산을 합성한 후, 농황산을 첨가하여 사불화규소를 발생시키는 방법(하기 특 허 문헌 1)이 있다.

이들 방법의 경우, 사불화규소의 불순물인 헥사플루오로디실록산의 발생과 사불화규소의 황산에 대한 용해를 억제하기 위해서, 황산을 고농도로 유지할 필요가 있다. 또한, 사불화규소를 대량으로 제조하는 경우에는 불화수소를 포함하는 고농도황산 수용액(이하, 폐황산)이 폐액으로서 대량으로 발생하기 때문에, 그 배수 처리 방법이나 비용이 문제가 된다.

또한, 상기 반응식 4에 의한 방법에서는 원료로서 사용하는 황산으로 발생시킨 사불화규소를 세정함으로써 수반되는 수분의 제거가 가능하다. 그러나, 부생되는 물에 기인한 장치의 부식이 심해져서, 안전한 연속 운전이 곤란하다.

특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 제2005-119956호 공보

<발명의 개시>

<발명이 해결하고자 하는 과제>

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적은 사불화규소를 제조할 때의 제조 비용의 감소 및 폐기물량의 감소가 가능한 사불화규소의 제조 방법 및 그것에 이용하는 제조 장치를 제공하는 데에 있다.

<과제를 해결하기 위한 수단>

본원 발명자 등은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위해, 사불화규소의 제조 방법 및 그것에 이용하는 제조 장치에 관해서 예의 검토하였다. 그 결과, 하기 구성을 채용함으로써 상기 목적을 달성할 수 있는 것을 발견하여 본 발명을 완성시키기에 이르렀다.

즉, 본 발명에 따른 사불화규소의 제조 방법은 상기 과제를 해결하기 위하여 이산화규소를 포함하는 원료와 불화수소산 및 규불화수소산을 포함하는 혼합액을 반응시킴으로써 고실리카플루오로규산 수용액을 생성하는 고실리카플루오로규산 생성 공정과, 상기 고실리카플루오로규산 수용액과 황산을 반응시킴으로써 사불화규소를 생성하는 사불화규소 생성 공정과, 상기 사불화규소 생성 공정에서 부생되는 불화수소 함유 황산을 수증기 증류함으로써 황산을 생성하는 황산 생성 공정을 갖고, 상기 사불화규소 생성 공정에서는 상기 황산 생성 공정에서 생성되는 상기 황산을 재이용하는 것을 특징으로 한다.

상기 제조 방법은 고실리카플루오로규산 수용액에 대하여 황산을 탈수제로서 이용하여 사불화규소를 제조하는 공정이다. 상기 방법에 있어서의 사불화규소 생성 공정에서는, 고실리카플루오로규산 생성 공정에서 얻어진 고실리카플루오로규산 수용액(H₂Si₂F₁₀)과 황산을 반응시켜 사불화규소를 생성할 때에 불화수소를 포함하는 황산(폐황산)도 부생한다. 이 폐황산을 상기 황산 생성 공정에 있어서 수증기 증류함으로써 폐황산으로부터 불화수소를 분리 제거하여 황산을 생성한다. 또한, 이 황산을 상기 사불화규소 생성 공정에서 재이용한다. 즉, 상기 방법에 따르면, 황산에 필요한 비용 및 폐기물량의 감소를 도모하면서 사불화규소를 대량으로 생산할 수 있다.

상기 황산 생성 공정은 생성되는 상기 황산을 상기 사불화규소 생성 공정에서 사용 가능한 소정 농도가 될 때까지 탈수농축하는 공정을 포함하는 것이 바람직하다.

상기 원료로서 이산화규소의 함유량이 80 중량％ 이상인 규사를 사용하는 것이 바람직하다.

상기 고실리카플루오로규산 생성 공정에서 생성되는 상기 고실리카플루오로규산 수용액은 생성물 중 차지하는 고실리카플루오로규산의 함유량이 42 중량％ 이상인 것이 바람직하다.

상기 사불화규소 생성 공정에서 사용되는 상기 황산의 농도가 85 중량％ 이상인 것이 바람직하다. 사불화규소를 생성시킨 후의 황산 농도에는 하한치가 존재하지만, 상기한 바와 같이 황산 농도를 85 중량％ 이상으로 함으로써 사불화규소의 생성에 사용하는 황산의 사용량이 증대하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 장치 크기의 증대나 황산 재생에 필요한 에너지를 억제하여, 생산 비용의 감소를 도모할 수 있다.

상기 사불화규소 생성 공정에서 사용되는 상기 황산의 사용 온도는 60℃ 이하인 것이 바람직하다. 상기 공정에서의 고실리카플루오로규산 수용액의 분해 반응에 의해서 사불화규소가 발생하는데, 황산의 사용 온도를 60℃ 이하로 함으로써 상기 사불화규소에 수반하는 불화수소 및 물을 감소시킬 수 있다.

상기 사불화규소 생성 공정에서 생성하는 불화수소 함유 황산에서의 황산 농도는 불화수소를 제외하고 황산 및 물에만 기초하여 산출한 경우에 80 중량％ 이상으로 유지되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 불순물인 헥사플루오로디실록산의 발생을 억제함와 동시에, 발생한 사불화규소의 폐황산 내로의 재용해를 막을 수 있어 충분하고 또한 양호한 사불화규소의 생성이 가능하게 된다.

상기 황산 생성 공정에서 생성되는 황산 내에 포함되는 불화수소의 함유량이 1 ppmw 이하인 것이 바람직하다.

또한, 본 발명에 따른 사불화규소의 제조 장치는 상기 과제를 해결하기 위하여 이산화규소를 포함하는 원료와 불화수소산 및 규불화수소산을 포함하는 혼합액을 반응시켜 고실리카플루오로규산 수용액을 생성시키는 반응조와, 상기 고실리카플루오로규산 수용액과 황산을 반응시켜 사불화규소를 생성시키는 충전탑과, 상기 충전탑에서 부생되는 불화수소 함유 황산을 수증기 증류하여 불화수소를 제거하고 황산을 생성시키는 수증기 증류탑과, 상기 수증기 증류탑에서 생성된 상기 황산을 농축하는 농축관을 갖고, 상기 농축관에서 농축된 상기 황산을 상기 충전탑에 공급하는 것을 특징으로 한다.

상기 구성에서의 충전탑에서는 반응조에서 생성된 고실리카플루오로규산 수용액(H₂Si₂F₁₀)과 황산을 반응시켜 사불화규소를 생성시킨다. 이 사불화규소와 함께 생성되는 폐황산은 수증기 증류탑에서 불화수소가 분리 제거되어 황산이 생성된다. 또한 황산은 농축관에서 농축되어 충전탑에 공급된다. 즉, 상기 구성이면 황산에 필요한 비용 및 폐기물량의 감소를 도모하면서, 사불화규소를 대량으로 생산할 수 있다.

상기 농축관은 상기 수증기 증류탑에서 생성된 상기 황산을 상기 충전탑에서 사용 가능한 소정 농도가 될 때까지 탈수농축시키는 것인 것이 바람직하다.

상기 농축관은 금속 또는 유리 라이닝을 포함하는 것이 바람직하다. 상기 농축관에는 불소 수지나 내식 합금 등의 고급 재료도 물론 사용할 수 있지만, 금속 또는 유리 라이닝을 포함하는 것이 비용면에서 바람직하다. 수증기 증류탑에 있어서 불화수소가 분리 제거되어 있기 때문에, 황산을 농축하는 농축관으로서는 고급 재료를 사용하지 않고서도 금속 또는 유리 라이닝 등의 염가의 일반 공업 재료를 사용할 수 있다.

<발명의 효과>

본 발명은 상기에 설명한 수단에 의해 이하에 기술하는 바와 같은 효과를 발휘한다.

즉, 본 발명에 따르면, 고실리카플루오로규산 수용액에 대하여 황산을 탈수제로서 이용하고, 사불화규소를 제조할 때에 종래에는 폐기하였던 폐황산으로부터 불화수소를 제거하고 얻어진 황산을 순환 사용한다. 그 결과, 황산에 필요한 비용 및 폐기물량의 감소를 도모하면서 사불화규소를 대량으로 생산할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시의 일 형태에 관한 사불화규소의 제조 방법 및 제조 장치를 설명하기 위한 순서도이다.

<부호의 설명>

1 : 원료

2 : 제1 원료로

3 : 반응조

4 : 가스로

5 : 제1 흡수탑

6 : 냉각기

7 : 고액 분리기

8 : 조고실리카플루오로규산 수용액로

9 : 고형 불순물로

10 : 제1 증류탑

11 : 응축기

12 : 기액 분리조

13 : 제1 재열기

14 : 고액 분리기

15 : 규불화수소산로

16 : 고형 불순물로

17 : 사불화규소로

18 : 정제 고실리카플루오로규산 수용액로

19 : 가스 발생탑(충전탑)

20 : 제1 농황산로

21 : 사불화규소로

22 : 폐황산로

23 : 가스 세정탑

24 : 제2 농황산로

25 : 농황산

26 : 조사불화규소로

27 : 수증기

28 : 수증기 증류탑

29 : 황산로

30 : 불화수소산로

32 : 농축관

33 : 과열기

34 : 제거수

35 : 제4 농황산로

36 : 세정탑

37 : 발연 황산

38 : 건조기

39 : 제1 증기로

40 : 반응기

41 : 가스로

42 : 황산염

43 : 제2 증기로

44 : 무수 불산

45 : 제2 흡수탑

46 : 가스로

47 : 제2 원료로

48 : 가스

49 : 흡착탑

50 : 열교환기

51 : 제2 증류탑

52 : 제2 재열기

53 : 응축기

54 : 정제 사불화규소

<발명을 실시하기 위한 최선의 형태>

본 발명의 실시 형태에 관해서 도 1을 참조하면서 이하에 설명한다. 도 1은 본 실시 형태에 관한 사불화규소의 제조 방법 및 제조 장치를 설명하기 위한 순서도이다. 단, 설명에 불필요한 부분은 생략하고, 또한 설명을 쉽게 하기 위하여 확 대 또는 축소 등을 하여 도시한 부분이 있다.

본 실시 형태에 관한 사불화규소의 제조 방법은 주로, 고실리카플루오로규산 수용액을 생성하는 고실리카플루오로규산 생성 공정 (a)와, 상기 고실리카플루오로규산 수용액을 정제하는 공정 (b)와, 사불화규소를 생성하는 사불화규소 생성 공정 (c)와, 황산을 생성하는 황산 생성 공정 (d)와, 불화수소 및 사불화규소를 회수하는 공정 (e)와, 상기 공정 (a)에서 고실리카플루오로규산 수용액의 생성에 사용하는 산을 조정하는 공정 (f)와, 사불화규소로부터 공기 성분을 제거하는 공정 (g)를 갖고 있다. 이하, 처리 공정순으로 상세히 설명한다.

상기 고실리카플루오로규산 생성 공정 (a)는 이산화규소를 포함하는 원료 (1)과, 불화수소산 및 규불화수소산을 포함하는 혼합액(이하, 원료 산수용액)을 반응조 (3)에서 반응시킴으로써, 고실리카플루오로규산 수용액을 생성하는 공정이다(하기 반응식 8 참조). 반응조 (3)에는 원료 산수용액을 공급하기 위한 제1 원료로 (2)가 접속되어 있다. 원료 산수용액은 후술하는 제2 흡수탑 (45)로부터 한번 제1 흡수탑 (5)에 공급된 후, 제1 흡수탑 (5)로부터 반응조 (3)에 공급된다.

상기 반응식 8로 표시되는 이산화규소와 불화수소의 반응 및 원료 (1)에 포함되는 이산화규소 이외의 불순물과 불화수소의 반응은 발열 반응이다. 반응열은 반응액을 비점까지 가열하고, 또한 잉여의 열은 반응액으로부터 사불화규소, 불화 수소 및 물을 증발시킨다. 이 결과로서, 반응액 내의 고실리카플루오로규산 농도의 저하가 발생된다. 이 농도 저하를 회피하기 위하여, 상기 혼합 가스를 가스로 (4)를 통해 제1 흡수탑 (5)에 공급하고, 제1 흡수탑 내를 순환하는 원료 산수용액에 흡수시킴으로써 회수한다. 상기 혼합 가스를 흡수한 원료 산수용액을 반응조 (3)에 공급함으로써, 반응액 내의 고실리카플루오로규산을 고농도로 유지할 수 있다. 상기 혼합 가스를 원료 산수용액에 흡수시킬 때에도 발열이 있는데, 이 열은 냉각기 (6)으로 제거한다. 따라서, 냉각기 (6)의 전열 면적이나 사용하는 냉매의 온도 및 양 등은 반응열로부터 반응액의 비점까지의 가열에 필요한 열량을 뺀 열량을 제거하기에 충분한 것인 것이 바람직하다. 원료 (1)과 원료 산수용액과의 반응 시에, 반응조 (3)을 외부로부터 또는 내부로부터 냉각하면서 행하는 방법도 고려되지만, 반응액 온도가 낮은 경우에는 반응이 충분히 진행되지 않는 경우가 있다. 또한, 반응조 (3)의 접액부에는 불소 수지 등의 내식성 수지 재료를 이용할 필요가 있는데, 대체로 수지 재료의 열전도도는 낮고 또한 후술하는 바와 같이, 상기 반응조 (3)에는 교반 장치를 설치되지 않았기 때문에 반응액의 간접 냉각은 유효하지 않다.

또한, 반응조 (3)에는 상기 반응조 (3)으로부터 얻어지는 반응액 내에 포함되는 불순물로서의 불화물 및 규불화물을 제거하기 위한 고액 분리기 (7)이 설치된다. 고액 분리기 (7)에는 고실리카플루오로규산 수용액을 배출하는 조고실리카플루오로규산 수용액로 (8)과, 불화물 및 규불화물을 배출하는 고형 불순물로 (9)가 접속되어 있다.

원료 (1)로서는, 예를 들면 이산화규소를 포함하는 규사를 들 수 있고 보다 상세하게는, 샌드 블러스트(sand blast)용 연삭재, 주형사, 시멘트 모르타르(mortar)용 골재 등에 이용되는 염가의 규사를 사용할 수 있다. 원료 (1)에 포함되는 이산화규소의 함유량으로서는 80 중량％ 이상인 것이 바람직하고, 95 중량％ 이상인 것이 보다 바람직하다. 이산화규소의 함유량이 80 중량％ 미만이면, 공정 (e)에서 소비되는 황산 및 발연 황산량이 많아짐과 동시에 배출되는 폐기물의 양이 많아져 비용이 증가하는 경우가 있다. 예를 들면, 화력 발전소로부터 배출되는 석탄재에는 이산화규소가 약 50 중량％ 내지 70 중량％ 정도 포함되어 있다. 석탄재의 일부는 콘크리트 혼화재, 플라스틱·고무 등의 충전재, 인공 제올라이트, 식재 토양 개량재 등으로서 유효 이용되고 있지만, 대부분은 매립 처분되고 있다. 석탄재의 유효 이용의 일환으로서, 본계의 Si원으로 사용하는 것도 고려되나, 대량의 불화물 및 규불화물 오니가 발생한다. 이 오니를 후술하는 공정 (e)에서 농황산과 반응시키고, 사불화규소 및 불화수소의 유가 성분을 회수했을 때에 발생하는 황산염은 원료가 되는 석탄재량을 초과하는 경우가 있고, 결과적으로 매립 처분하는 폐기물량이 증가되기 때문에 유효 이용이라고 하기 어렵다. 또한, 이산화규소의 함유량이 100 중량％이면, 폐기물은 전혀 나오지 않고 또한, 공정 (b) 및 공정 (e)는 불필요해져서 가장 이상적이다. 그러나, 함유량이 약 100 중량％인 것은 인공적으로 정제된 것만 존재하기 때문에, 대량 또한 염가로 입수하는 것은 곤란하다. 따라서, 사불화규소를 대량 또한 염가로 제조한다는 본 발명의 목적에서는 염가로 입수 가능한 천연 규사로서, 이산화규소의 함유량이 가능한 한 많은 것이 바 람직하다. 또한, 사용되는 규사의 입경에는 특별히 한정은 없지만 0.01 ㎜ 내지 10 ㎜이면 좋다.

원료 (1)과 원료 산수용액과의 반응은 복수대의 반응조 (3)의 전환 운전에 의한 배치 운전으로 하는 것이 바람직하다. 원료 (1)을 반응조 (3)에 연속 공급하는 연속 공급 장치가 불필요해져서, 사불화규소 및 불화수소 가스가 외부에 누설되는 것을 회피할 수 있기 때문이다. 또한, 배치 운전의 경우, 반응조 (3)에 원료 (1)을 투입한 후, 반응조 (3)의 기저부로부터 원료 산수용액을 공급함으로써 반응조 (3)에 교반 장치를 설치하지 않고 고-액(solid-liquid) 반응을 충분히 진행시킬 수 있다. 또한, 불화수소에 대하여 이산화규소가 과다해지는 조건은 고실리카플루오로규산 수용액의 합성에 유리하다. 또한, 교반 장치를 이용하지 않기 때문에 반응조나 교반 날개의 내식 수지 라이닝의 마모를 회피할 수 있다. 그 결과, 장치의 장수명화나 유지 보수 횟수의 감소가 가능하게 된다.

본 공정에서 생성되는 고실리카플루오로규산 수용액은 생성물 중 차지하는 함유량이 42 중량％ 이상인 것이 바람직하고, 48 중량％ 이상 54 중량％ 이하인 것이 보다 바람직하다. 42 중량％ 미만이면, 고실리카플루오로규산을 H₂SiF₆·nSiF₄(n: 0 내지 1)로 나타낸 경우에, n의 값이 1로부터 0에 근접한다. 이에 따라, 공정 (b)에서 발생하는 사불화규소량이 감소한다. 또한, 공정 (c)에 있어서 소정량의 사불화규소를 발생시키기 위하여 필요한 정제 고실리카플루오로규산을 얻기 위하여 공정 (b)의 제1 증류탑 (10)(후술함)에서의 유출액량을 증가시켜야만 하므 로, 제1 증류탑 (10)에 투입하는 에너지가 증가한다. 또한, 공정 (c)에서 소정량의 사불화규소를 얻기 위하여 이용하는 황산의 사용량이 증가한다. 이에 따라, 공정 (d)에서의 황산 농축에 필요한 에너지가 증가하여, 생산 비용이 증대하는 경우가 있다.

상기 원료 산수용액은 불화수소산, 규불화수소산 및 물을 포함하는 조성을 갖는다. 불화수소산은 규사에 포함되는 이산화규소 및 규소 이외의 원소의 산화물과 반응함으로써, 각각 사불화규소와 불화물 또는 규불화물을 생성시킨다. 규불화수소산은 생성된 사불화규소를 흡수하거나 또는 반응함으로써, 고실리카플루오로규산 수용액을 생성시킨다. 물은 생성된 고실리카플루오로규산 수용액을 안정적으로 존재시킨다.

상기 공정 (b)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 공정 (a)에서 얻어진 불순물(불화물 및 규불화물)을 포함하는 고실리카플루오로규산 수용액으로부터 상기 불순물을 제거하여 정제함과 동시에, 사불화규소의 발생 및 고실리카플루오로규산 수용액의 농축을 행하는 공정이다. 고실리카플루오로규산 수용액의 정제는 제1 증류탑 (10)에서 행해지고, 불순물이 농축된 규불화수소산이 분리된다. 제1 증류탑 (10)에는, 제1 재열기 (13)이 설치된다. 불순물이 농축된 규불화수소산은 고액 분리기 (14)에 의해 규불화수소산과 불화물 및 규불화물로 분리된다. 이 규불화수소산은 규불화수소산로 (15)를 통해 후술되는 제2 흡수탑 (45)에 공급된다. 불순물로서의 불화물 및 규불화물은 고형 불순물로 (16)을 통해 후술되는 건조기 (38)에 공급된다. 또한, 제1 증류탑 (10)의 탑정상으로부터 추출되는 사불화규소, 불화수 소 및 물은 응축기 (11)에서 응축·냉각된 후, 기액 분리조 (12)에 공급된다. 상기 기액 분리조 (12)에서는 고실리카플루오로규산 수용액은 제1 증류탑 (10)에 공급되는 농도 이상으로 농축되고, 다 흡수되지 못한 사불화규소는 분리된다 (이하, 불순물이 분리된 고실리카플루오로규산 수용액을 정제 고실리카플루오로규산 수용액이라고 함). 사불화규소는 사불화규소로 (17)을 통해 정제 고실리카플루오로규산 수용액은 정제 고실리카플루오로규산 수용액로 (18)을 통해 각각 후술되는 가스 발생탑 (19)에 공급된다. 또한, 사불화규소는 하기 반응식 9로 표시되는 반응에 의해 생성된다.

본 공정에서 생성되는 정제 고실리카플루오로규산 수용액의 생성량은 상기 정제 고실리카플루오로규산 수용액에 포함되는 물의 함유량이, 규사와 불화수소의 반응에 의해 발생되는 물과, 후술되는 공정 (d)에서 황산 내에 포함되는 불화수소를 제거하기 위하여 공급하는 수증기 중 불화수소와 함께 회수되는 물과의 합계량과 동일해지도록 설정되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 계 내의 물 평형을 유지할 수 있다.

상기 사불화규소 생성 공정 (c)는 하기 반응식 10으로 표시된 바와 같이, 정제 고실리카플루오로규산 수용액과 황산을 가스 발생탑 (19)에서 반응시킴으로써 사불화규소를 생성하는 공정이다.

가스 발생탑 (19)에는 제1 농황산로 (20)을 통해 농황산이 공급된다. 상기 가스 발생탑 (19)로서는 예를 들면 방산탑을 예시할 수 있다. 생성된 사불화규소는 사불화규소로 (21)을 통해 가스 세정탑 (23)에 공급된다. 그 한편, 반응에 사용한 농황산은 불화수소를 흡수하여 폐황산으로서 부생한다. 폐황산 내에서 일부의 불화수소와 황산은 하기 반응식 11로 표시된 바와 같이 불황산(HSO₃F)을 생성한다. 폐황산은 폐황산로 (22)로부터 배출된다.

가스 세정탑 (23)에 공급된 사불화규소는 상기 가스 세정탑 (23) 내를 순환하는 농황산에 의해 탈수 세정된다. 상기 농황산은 주로 제2 농황산로 (24)를 통해 공급되는데, 공정 (e)에서 소비되는 양을 보충하기 위해서 새롭게 농황산 (25)가 또한 공급된다. 탈수 세정 후의 공기 성분을 포함하는 사불화규소(이하, 조사불화규소라고 함)는 조사불화규소로 (26)을 통해 후술되는 제2 증류탑 (51)에 공급된다. 그 한편, 탈수 세정에 사용한 농황산은 제1 농황산로 (20)을 통해 가스 발생탑 (19)에 공급된다.

본 공정의 가스 발생탑 (19) 및 가스 세정탑 (23)에서 사용되는 황산의 농도는 모두 85 중량％ 이상인 것이 바람직하고, 90 중량％ 이상인 것이 보다 바람직하 고, 95 중량％ 이상 98 중량％ 이하인 것이 특히 바람직하다. 황산 농도가 85 중량％ 미만이라면, 황산의 탈수 능력이 저하되기 때문에 가스 발생탑 (19)에 공급되는 황산량을 증가시켜야만 한다. 그것에 따라, 장치 크기의 증대나 황산 재생에 필요한 에너지가 증가하여 비용 상승의 요인이 되는 경우가 있다. 또한, 가스 발생탑 (19) 및 가스 세정탑 (23)에서 사용되는 황산의 사용 온도는 10℃ 이상 60℃ 이하인 것이 바람직하다. 이에 따라, 사불화규소에 물 및 불화수소가 수반되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 상기 폐황산에서의 황산 농도는 불화수소를 제외하고 황산 및 물에만 기초하여 산출한 경우에, 80 중량％ 이상으로 유지되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 사불화규소 내에 포함되는 불순물로서의 헥사플루오로디실록산의 발생을 억제할 수 있음과 동시에 생성된 사불화규소의 황산에 대한 용해를 억제할 수 있다.

폐황산 즉, 불화수소를 포함하는 황산을 사용할 수 있는 설비, 예를 들면 불화수소 제조 장치나 인산 제조 장치 등이 인접하고 있는 경우에는, 상기 설비에서 폐황산의 소비가 가능하지만, 이러한 소비 설비가 없는 경우나 본 사불화규소 제조 설비로부터 배출되는 폐황산량이 상기 소비 설비에서의 소비량을 훨씬 상회하는 경우에는, 비용면 및 환경면에서 폐황산은 폐기 처분하지 않고서 사불화규소 제조 설비 내에서 재이용되어야 한다. 폐황산을 수증기 증류하여 불화수소를 제거한 후의 황산 수용액 내에 포함되는 불화수소의 함유량은 1 ppmw 이하인 것이 바람직하다. 이에 따라, 황산의 농축을 행하는 농축관 (32) 등에 금속 또는 유리 라이닝 등의 염가의 일반 공업 재료를 사용할 수 있다. 또한, 수증기 증류탑 또는 수증기 증류 탑의 상류에 설치한 조 등에 고순도의 이산화규소를 첨가하여 폐황산 내에 포함되는 불화수소와 반응시켜 사불화규소로 하고, 수증기 증류에 있어서의 부하를 감소시키는 것도 가능하다. 또한, 농축관 (32)에 고순도의 이산화규소를 첨가해도 상관없다. 이에 의해 농축관 (32)의 부식을 억제할수 있음과 동시에, 운전 조건에 따라 수증기 증류탑을 나온 황산수용액 내의 불산 농도가 1 ppmw를 초과한 경우에도 장치의 부식을 경감할 수 있다.

상기 황산 생성 공정 (d)는 사불화규소 생성 공정에서 재이용하기 위한 황산을 생성하는 공정이다. 본 공정은 수증기 증류탑 (28) 내에서 폐황산로 (22)로부터 공급되는 폐황산에 수증기 (27)을 불어 넣고, 이에 따라 폐황산 내에 일부 포함되는 불황산을 불화수소와 황산으로 가수분해함과 동시에, 수증기 증류탑 내의 불화수소의 분압을 낮추어서 상기 불화수소의 제거를 효율적으로 행한다. 또한, 수증기 증류탑의 탑정상으로부터 나오는 증기를 응축하면 불화수소산이 되기 때문에 불화수소의 회수가 용이하다. 수증기 (27)을 사용하는 것은 폐황산만의 가열, 또는 수증기 대신에 질소나 산소 등의 가스를 불어넣으면서의 가열, 또는 폐황산에 물을 가한 후의 가열에서는 폐황산으로부터의 충분한 불화수소의 제거가 곤란하기 때문이다.

수증기 (27)의 공급량은 폐황산을 수증기 증류탑의 운전 온도에서 비점이 되는 황산 농도가 될 때까지 희석하는 데 필요한 양과, 공정 (a)에서 사용되는 원료 산수용액의 조성의 제조에 필요한 수분량과의 합계로서 설정되는 것이 바람직하다. 이에 따라, 계 내의 물 평형을 유지할 수 있다.

분리된 불화수소는 불화수소산으로서 불화수소산로 (30)을 통해 후술되는 제2 흡수탑 (45)에 공급된다. 그 한편, 생성된 황산은 황산로 (29)를 통해 농축관 (32)에 공급되고, 상기 농축관 (32)에서 농축된다. 농축에 의해 생성된 제거수 (34)는 농축관 (32)로부터 배출되고, 그 후 폐기된다. 농축관 (32)에는 과열기 (33)이 설치되어 있다. 생성된 농황산은 제2 농황산로 (24)를 통해, 공정 (c)에 있어서의 가스 세정탑 (23)에 공급되고, 사불화규소의 세정에 사용된 후, 제1 농황산로 (20)을 통해 가스 발생탑 (19)에 공급되고 사불화규소 발생을 위해 재이용된다. 또한, 제4 농황산로 (35)를 통해 후속 공정 (e)의 세정탑 (36)에 공급된다.

본 발명의 농축관 (32)에는 금속 또는 유리 라이닝 등의 염가의 일반 공업 재료를 사용할 수 있다. 이것은 황산로 (29)로부터 공급되는 황산에 불화수소가 포함되어 있지 않기 때문에 농축관 (32)의 부식을 억제할 수 있는 것에 의한다.

또한, 본 발명은 공정 (c)에서 사용하는 고실리카플루오로규산 수용액 내에 불순물이 포함되지 않도록 공정 (b)에 있어서 불순물로서의 불화물 및 규불화물의 제거를 행하고 있다. 이 때문에, 불순물이 공정 (c)에서 생성되는 폐황산 내에 혼입되는 것을 방지할 수 있다. 그 결과, 본 공정 (d)에서 폐황산으로부터 불화수소 및 수분을 제거할 때에 상기 불화수소의 제거를 쉽게 한다. 또한, 황산의 농축 중에 불순물이 고형분으로서 석출하는 것을 억제하여 안정적인 연속 운전을 가능하게 하고 있다.

상기 공정 (e)는 불화수소 및 사불화규소를 회수하는 공정이다. 공정 (a)에서 배출되는 규소 이외의 원소를 포함하는 불화물 및 규불화물, 및 공정 (b)에서 배출되는 불화물 및 규불화물은 건조기 (38)에서 건조된다. 이 건조에 의해 생성되는 불화수소, 사불화규소 및 물은 제1 증기로 (39)를 통해 후속 공정 (f)의 제2 흡수탑 (45)에 공급된다. 건조 후의 고형분은 반응기 (40)에 공급되고, 세정탑 (36)으로부터 공급되는 황산에 발연 황산 (37)을 가하여 농도 조정된 농황산과 반응시킨다. 상기 반응기 (40)으로서는 로터리 킬른을 예시할 수 있다. 발연 황산 (37)은 흡수탑 (36)으로부터 배출되는 황산의 농도를 98중량% 이상으로 높이기 위해서 가해진다. 이에 따라, 불화수소 및 사불화규소와 황산염 (42)가 생성된다(하기 반응식 12 및 13 참조). 불화수소 및 사불화규소는 가스로 (41)을 통해 세정탑 (36)에 공급된다. 세정탑 (36)에서는 불화수소 및 사불화규소가 농황산에 의해 탈수 세정된다. 탈수 세정 후의 불화수소 및 사불화규소는 제2 증기로 (43)을 통해 후속 공정 (f)의 제2 흡수탑 (45)에 공급된다.

단, 상기 M은 칼슘(Ca),마그네슘(Mg) 등의 금속 원소를 나타낸다.

상기 공정 (f)는 상기 공정 (a)에서 사용되는 고실리카플루오로규산 수용액의 생성에 사용되는 산을 조정하는 공정이다. 즉, 공정 (b)에서 배출되는 규불화수소산에, 공정 (d)에서 배출되는 불화수소산, 공정 (e)에서 배출되는 불화수소, 사불화규소 및 물, 공정 (g)에서 배출되는 사불화규소 및 무수 불산 (44)를 흡수시 킴으로써 불화수소산 및 규불화수소산의 혼합액(원료 산수용액)을 생성한다. 상기 각 공정으로부터 회수된 액, 증기 및 가스에 수반하는 공기 성분 등의 가스 (48)은 폐기된다. 공정 (b)에서 배출되는 규불화수소산은 규불화수소산로 (15)로부터 공급된다. 공정 (d)에서 배출되는 불화수소산은 불화수소산로 (30)으로부터 공급된다. 공정 (e)에서 배출되는 불화수소, 사불화규소 및 물은 제1 증기로 (39)로부터 공급된다. 공정 (g)에서 배출되는 사불화규소는 가스로 (46)으로부터 공급된다. 본 공정에서 생성된 원료 산수용액은 제2 원료로 (47)을 통해 공정 (a)에 공급된다.

상기 공정 (g)는 조사불화규소로부터 공기 성분을 제거하는 공정이다. 공정 (c)에서 생성된 조사불화규소를 조사불화규소로 (26)을 통해 흡착탑 (49)에 공급한다. 흡착탑 (49)는 분자체(molecular sieve), 제올라이트, 활성탄, 활성 알루미나 등을 충전한 것으로서, 사불화규소 내의 이산화탄소 등의 고비점 성분의 제거를 행한다. 고비점 성분이 제거된 사불화규소는 열교환기 (50)에 공급된다. 상기 열교환기 (50)에 의해 냉각·액화된 조사불화규소는 증류에 의해 공기 성분이 제거된다. 제거된 공기 성분은 가스로 (46)을 통해 흡착탑 (49)에 공급된다. 공기 성분은 흡착탑 (49) 내의 충전물로부터 이산화탄소 등의 고비점 성분을 탈착하고, 탈착된 고비점 성분과 함께 공정 (f)의 제2 흡수탑 (45)에 공급된다. 공기 성분을 제거한 사불화규소는 제2 증류탑(51)의 기저부로부터 배출되어, 열교환기 (50)을 통해 가열·증발되어 정제 사불화규소 (54)로서 배출된다.

이상의 방법으로 얻어지는 사불화규소는 예를 들면 실리콘형 태양 전지의 제 조용, 반도체 디바이스에 있어서의 저유전율 재료로서의 SiOF(불소 도핑 산화막) 제조용, 광섬유용 가스로서 사용할 수 있다.

이하에, 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 자세히 설명한다. 단, 이 실시예에 기재되어 있는 재료나 배합량 등은 특별히 한정적인 기재가 없는 한, 본 발명의 범위를 이들에만 한정하는 취지의 것이 아니며, 단순한 설명예에 불과하다.

(실시예 1)

본 실시예에 있어서는, 도 1에 도시하는 사불화규소의 제조 장치를 이용하여 행하였다. 우선, 이산화규소 95.3 중량％를 포함하는 규사 454.5 g과, 불화수소 35.1 중량％ 및 규불화수소 22.5 중량％를 포함하는 원료 산수용액 2334.1 g을 도 1에 도시하는 공정 (a)의 반응조 (3)에서 반응시켰다. 얻어진 반응액을 고액 분리기 (7)에 공급하여, 고형물(불화물 및 규불화물)을 제거하였다. 본 조작을 4 배치(batch)로 행하고 모든 배치의 반응액을 혼합하여, 조성이 고실리카플루오로규산 48.6 중량％ 및 유리불화수소 5.7 중량％를 포함하는 고실리카플루오로규산 수용액 10684.4 g을 얻었다.

다음으로, 도 1에 도시하는 공정 (b) 및 공정 (c)의 장치를 이용하여 상기 조고실리카플루오로규산 수용액의 증류 정제 및 황산 탈수에 의한 가스 발생을 행하였다. 가스 세정탑 (23)에 95 중량％의 황산을 투입하고 펌프로 순환 운전을 행하였다. 상기 조고실리카플루오로규산 수용액을, 도 1에 도시하는 공정 (b)의 제1 증류탑 (10)에 펌프로 공급하고 증류를 개시하였다. 제1 증류탑 (10)의 탑기저액 수위가 일정해지도록 관출액, 즉 규불화수소산을 별도 준비한 저장 탱크(도시하지 않음)에 추출하였다. 기액 분리조 (12) 상부로부터 배출되는 사불화규소는 가스 발생탑 (19)를 경유하여, 가스 세정탑 (23)에 보내어진다. 유출액, 즉 정제 고실리카플루오로규산 수용액이 기액 분리조 (12)의 소정액 수위까지 도달한 후, 상기 정제 고실리카플루오로규산 수용액을 펌프로 가스 발생탑 (19)에 공급하였다. 정제 고실리카플루오로규산 수용액의 가스 발생탑 (19)에 대한 공급과 동시에, 95 중량％의 황산을 외부 공급원으로부터 가스 세정탑 (23)에 공급하였다. 또한, 동시에 가스 세정탑 (23)으로부터 가스 발생탑 (19)로의 95 중량％ 황산의 공급도 개시하여, 가스 발생탑 (19)에 있어서 사불화규소의 발생을 개시하였다. 가스 발생탑 (19)에서 발생시킨 사불화규소는 가스 세정탑 (23)을 경유한 후, 묽은 불화수소산을 냉각 순환시킨 스크러버로 흡수·회수하였다. 또한, 가스 세정탑 (23)을 나온 사불화규소의 일부를 간헐적으로 샘플링하고, 그 속에 포함되는 공기 성분 농도를 가스 크로마토그래피에 의해 분석하였다. 또한, 가스 발생탑 (19)에서 부생되는 폐황산은 가스 발생탑 (19)의 탑기저로부터 별도 준비한 수조(도시하지 않음)에 추출하였다. 또한, 본 실시예에서 사용된 95 중량％ 황산은 미리 탈기 처리를 행한 것이다. 또한, 황산의 사용 온도는 45℃로 하였다.

상기 조고실리카플루오로규산 수용액의 증류 및 사불화규소 발생 조작을 4.5시간 행하였다. 그 결과, 제1 증류탑 (10)에 공급된 조고실리카플루오로규산 수용액의 총량은 4273.8 g이고, 제1 증류탑 (10)의 기저부로부터 회수한 규불화수소산량은 2236.7 g이었다. 또한, 상기 규불화수소산의 조성은 규불화수소 33.6 중량 ％, 유리불화수소 9.4 중량％였다. 기액 분리조 (12)에는 정제 고실리카플루오로규산 수용액 344.3 g이 잔존하고, 그 조성은 고실리카플루오로규산 수용액 52.4 중량％, 유리 불화수소 2.2 중량％였다. 정제 고실리카플루오로규산 수용액의 송액에 이용한 펌프의 유량·운전시간 및 상기 정제 고실리카플루오로규산 수용액의 비중에 기초하여 산출한 결과, 운전중에 기액 분리조 (12)로부터 가스 발생탑 (19)에 보내어진 고실리카플루오로규산 수용액의 액량은 1149.2 g이었다. 또한, 운전 개시 전에 스크러버에는, 20.0 중량％의 불화수소산을 3004.1 g 투입해 두었다. 가스 발생 종료 후, 스크러버 내의 액은 4024.9 g이 되어 있었고, 그 조성이 규불화수소 36.1 중량％, 불화수소 농도 5.0 중량％이기 때문에, 스크러버에서 흡수된 사불화규소의 총량은 1020.8 g이었다. 가스 세정탑 (23)을 경유하여 가스 발생탑 (19)에 공급한 95 중량％ 황산의 총량은 3665.9 g이고, 가스 발생탑 (19)의 탑기저로부터 배출된 폐황산은 4502.9 g이고, 그 조성은 황산 77.3 중량％, 불화수소 3.5 중량％였다.

조고실리카플루오로규산 수용액, 정제 고실리카플루오로규산 수용액 및 스크러버로 회수한 규불화수소산 내의 금속 불순물 분석에 의해 정제 고실리카플루오로규산 수용액이 정제되어 있는 것, 및 발생된 사불화규소에는 불순물이 포함되어 있지 않은 것을 확인하였다. 상기 금속 불순물 분석은 ICP-AES(유도 결합 플라즈마 발광 분광 분석) 장치를 이용하여 행하였다. 그 결과를 표 1에 나타내었다.

발생된 사불화규소 중의 공기 성분의 분석을 가스 크로마토그래피로 행하였다. 사불화규소 내에 포함되는 공기 성분 농도는 가스 발생 개시 뒤부터 시간에 따라 감소하여 운전 개시로부터 120분 이후 거의 일정해지고, 산소 농도가 평균치로 382 ppmv, 질소 농도가 평균치로 710 ppmv였다. 또한, 그 밖의 성분은 검출되지 않았다.

다음으로, 도 1에 도시하는 공정 (d)의 수증기 증류탑 (28)에 폐황산과 수증기를 공급하였다. 또한, 소규모 실험으로 고압 증기를 소량으로 정량 공급할 수 없었기 때문에, 펌프로 정량 공급한 순수한 물을 가열 매체로 간접 가열하여 증기로서 공급하였다. 증기의 온도가 낮고 포화 상태에서의 공급이기 때문에, 수증기 증류탑 (28)의 탑기저에는 열량을 보충하기 위해서 가열 매체에 의한 외부로부터의 가열을 행하였다. 상기 수증기 증류탑 (28) 내에는 외경 6 ㎜의 테플론 라시히링(Raschig ring)을 충전높이 2000 ㎜가 되도록 설치하였다. 또한, 수증기 증류탑 (28)의 탑기저 운전 온도는 155℃로 하였다. 그 결과, 수증기 증류탑 (28)의 탑기저로부터 회수된 황산 농도는 65.6 중량％이고, 함유되는 불화수소 농도는 0.9 ppm였다. 또한, 수증기 증류탑 (28)의 탑정상으로부터 38.3 중량％의 불화수소산을 회수하였다.

다음으로, 도 1에 도시하는 공정 (d)의 농축관 (32)에 수증기 증류탑 (28)에서 얻어진 65.6 중량％ 황산을 공급하고, 32 Torr, 189℃로 탈수농축을 행한 바, 황산 농도가 95.3 중량％까지 농축되어있는 것을 확인하였다.

다음으로, 도 1에 도시하는 공정 (e)의 반응기 (40)에서 불화물 및 규불화물을 포함하는 건조 고체 58.8 g과, 98 중량％의 황산 74.5 g을 반응시켰다. 이에 따라, 14.5 g의 불화수소와 8.2 g의 사불화규소를 회수하였다.

상기와 동일 조작으로 사불화규소를 발생시키고, 발생시킨 가스는 스크러버에서 흡수하지 않고서 봄베(bombe)에 회수하였다. 봄베에 회수한 사불화규소를 압축기에서 승압하고 냉각·액화하고, 도 1의 공정 (g)에 나타내는 제2 증류탑 (51)에 공급하여 증류를 행하였다. 증류 전후의 사불화규소 내의 공기 성분의 농도 분석은 가스 크로마토그래피에 의해 행하였다. 증류 전의 사불화규소 내의 산소 농도는 405 ppmv, 질소 농도는 752 ppmv였다. 증류 후의 사불화규소 내의 산소 농도는 0.5 ppmv 이하, 질소 농도는 1 ppmv 이하였다.

Claims

이산화규소를 포함하는 원료와 불화수소산 및 규불화수소산을 포함하는 혼합액을 반응시킴으로써 고실리카플루오로규산 수용액을 생성하는 고실리카플루오로규산 생성 공정과,

상기 고실리카플루오로규산 수용액과 황산을 반응시킴으로써 사불화규소를 생성하는 사불화규소 생성 공정과,

상기 사불화규소 생성 공정에서 부생되는 불화수소 함유 황산을 수증기 증류함으로써 황산을 생성하는 황산 생성 공정을 갖고,

상기 사불화규소 생성 공정에서는 상기 황산 생성 공정에서 생성되는 상기 황산을 재이용하는 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 황산 생성 공정이, 생성되는 상기 황산을 상기 사불화규소 생성 공정에서 사용 가능한 소정 농도가 될 때까지 탈수농축하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
제2항에 있어서, 상기 원료로서 이산화규소의 함유량이 80 중량％ 이상인 규사를 사용하는 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
제3항에 있어서, 상기 고실리카플루오로규산 생성 공정에서 생성되는 상기 고실리카플루오로규산 수용액은, 생성물 중 차지하는 고실리카플루오로규산의 함유량이 42 중량％ 이상인 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
제4항에 있어서, 상기 사불화규소 생성 공정에서 사용되는 상기 황산의 농도가 85 중량％ 이상인 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
제5항에 있어서, 상기 사불화규소 생성 공정에서 사용되는 상기 황산의 사용 온도가 60℃ 이하인 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
제6항에 있어서, 상기 사불화규소 생성 공정에서 생성되는 불화수소 함유 황산에서의 황산 농도가, 불화수소를 제외하고 황산 및 물에만 기초하여 산출된 경우에 80 중량％ 이상으로 유지되는 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
제7항에 있어서, 상기 황산 생성 공정에서 생성되는 황산 내에 포함되는 불화수소의 함유량이 1 ppmw 이하인 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 방법.
이산화규소를 포함하는 원료와 불화수소산 및 규불화수소산을 포함하는 혼합액을 반응시켜 고실리카플루오로규산 수용액을 생성시키는 반응조와,

상기 고실리카플루오로규산 수용액과 황산을 반응시켜 사불화규소를 생성시키는 충전탑과,

상기 충전탑에서 부생되는 불화수소 함유 황산을 수증기 증류하여 불화수소를 제거하고 황산을 생성시키는 수증기 증류탑과,

상기 수증기 증류탑에서 생성된 상기 황산을 농축하는 농축관을 갖고,

상기 농축관에서 농축된 상기 황산을 상기 충전탑에 공급하는 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 장치.
제9항에 있어서, 상기 농축관이 상기 수증기 증류탑에서 생성된 상기 황산을 상기 충전탑에서 사용 가능한 소정 농도가 될 때까지 탈수농축시키는 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 장치.
제10항에 있어서, 상기 농축관이 금속 또는 유리 라이닝을 포함하는 것을 특징으로 하는 사불화규소의 제조 장치.