KR970077124A - 기판처리시스템 및 기판처리방법 - Google Patents

기판처리시스템 및 기판처리방법 Download PDF

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processing system
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쥰이치 기타노
히로시 신야
다카유키 가타노
히데타미 야에가시
야스노리 가와카미
후미히코 가와노
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히가시 데쓰로
동경엘렉트론 가부시키가이샤
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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속하는 기술분야
기판처리시스템 및 기판처리방법.
2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제
시스템내로의 청정공기의 공급량 증대시키지 않고, 시스템내로의 파티클의 침입을 유효하게 방지할 수 있는 기판처리시스템을 제공함.
3. 발명의 해결방법의 요지
본 발명은 공기조절된 환경하에서 복수의 기판(W) 을 차례로 처리하는 기판처리시스템으로, 카세트(CR),(C)가 출입되는 카세트 반입출구(100b), (304)를 가지는 외장케이스(100a),(302)와, 이 외장케이스(100a),(302)로 둘러싸인 내부공간에 설치되고, 카세트가 얹어놓이는 카세트 얹어놓는 대(20),(303)를 가지며, 상기 카세트 반입출구 통해서 카세트가 반입되고, 상기 카세트 얹어놓는 대에 카세트가 얹어놓이는 카세트부(10),(351)와, 이 카세트부의 카세트로부터 기판을 1매씩 반출하여 이송하는 서브아암기구(22),(311)와, 카세트부에 인접해서 설치되고, 기판(W)을 처리하기 위한 복수의 처리유니트를 가지는 프로세스부(12),(352)와, 이 프로세스부내에 설치되고, 상기 카세트부의 서브아암기구로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을 각각 처리유니트에 차례로 반입하는 한편, 처리된 기판(W)을 각 처리유니트로부터 차례로 반출하는 주아암기구(24),(312),(313)와, 외장케이스(100a),(302)로 둘러싸인 내부공간에 다운플로우의 청정공기를 공급하는 에어공급기구(10a),(10b),(12a),(14a),(16a)∼(16e),(30),(31),(32),(33a)∼(33f),(34),(36),(37a)∼(37e),(38),(39),(48),(306),(306a),(306b)와, 이 에어공급기구에 의해서 형성되는 에어의 다운플로우에 간섭하지 않도록 외장케이스(100a),(302)로 둘러싸인 내부공간 칸막이하고, 또, 칸막이된 한쪽의 공간으로부터 다른쪽 공간으로 기판(W)을 반송하기 위한 기판반송구(11a),(11b),(29a),(51a),(61a),(308)를 가지는 칸막이판 (11),(11A),(29),(51),(61),(305)을 구비한다.
4. 발명의 중요한 용도
반도체 웨이퍼나 LCD용 기판과 같은 기판에 레지스트를 도포하고, 현상 처리하는 기판처리시스템 및 기판처리방법에 이용됨.

Description

기판처리시스템 및 기판처리방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 실시형태에 관한 기판처리시스템의 전체구성을 나타낸 평면투시도.

Claims (26)

  1. 공기조절된 환경하에서 복수의 기판을 차례로 처리하는 기판(W)처리 시스템으로서, 카세트(CR,C)가 출입되는 카세트 반입구(100b,304)를 가지는 외장케이스(100a,302), (100a,302)와, 이 외장케이스(100a,302)로 둘러싸인 내부공간에 설치되고, 카세트가 얹어놓이는 카세트 얹어놓는 대(20,303)를 가지며, 상기 카세트 반입출구를 통해서 카세트가 반입되고, 상기 카세트 얹어놓는 대에 카세트가 얹어놓이는 카세트부(10,351)와, 이 카세트부(10,351)의 카세트(CR,C)로부터 기판(W)을 1매씩 반출하여 이송하는 서브아암기구(22,352)와, 상기 카세트부(10,352)에 인접해서 설치되고, 기판(W) 을 처리하기 위한 복수의 처리유니트를 가지는 프로세스부(12,352)와, 이 프로세스부(12,352)내에 설치되고, 상기 카세트부의 서브아암기구(22,311)로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을 각 처리유니트에 차례로 반입하는 한편, 처리된 기판(W)을 각 처리유니트로부터 차례로 반출하는 주아암기구(24,312,313)와, 상기 외장케이스(100a,302)로 둘러싸인 내부공간에 다운플로우의 청정공기를 공급하는 에어공급기구(10a,10b,12a,14a,16a∼16e,30,31,32,33a∼33f,34,36,37a∼37e,38,39,48,306,306a,306b)와, 이 에어공급기구에 의해서 형성되는 에어의 다운플로우에 간섭하지 않도록 상기 외장케이스(100a,302)로 둘러싸인 내부공간을 칸막이하고, 또 칸막이된 한쪽 공간으로부터 다른쪽 공간으로 기판을 반송하기 위한 기판반송구(11a,11b,29,51a,61a,308)를 가지는 칸막이판(11,11A,29,51,61,305)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 칸막이판(11,11A,29,51,51,305), 상기 외장케이스로 둘러싸인 내부공간에 형성되는 에어의 다운플로우를 어지럽히지 않도록 실질적으로 수직으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 칸막이판(11,29,51,61)의 기판반송구(11a,29a,51a,61a)의 개구면적은, 1개의 카세트(CR,C)를 칸막이판(11,29,51,61)에 투영하였을 때의 투영면적보다 크고, 2개의 카세트(CR,C)를 칸막이판(11,29,51,61)에 투영하였을 때의 투영면적보다 작은 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  4. 제1항에 있어서, 또, 상기 카세트부(10,351)의 카세트(CR,C)를 수직방향으로 이동시키는 카세트 승강기구(35)를 구비하며, 상기 칸막이판(11A,51,61,305)의 기판반송구(11b,51a,61a,308)의 개구면적인, 1매의 기판(W)의 횡단면적보다 크고, 또 1개의 카세트(CR,C)를 칸막이판(11A,51,61,305)에 투영하였을 때의 투영면적보다 작고, 상기 서브아암기구(22,311)에 의해서 카세트로부터 기판을 반출하고, 이어서 상기 카세트 승강기구(35)에 의해서 카세트 수직방향으로 이동시키고, 카세트내의 다음 기판을 서브아암기구에 대하여 위치맞춤한 후에, 다음 기판을 서브아암기구(22,311)에 의해서 카세트로부터 반출하는 것을 특징으로 하는 기판처리 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 칸막이판(51,305)은 상기 프로세스부(12,352)와 상기 카세트부(11,351)와의 사이에 설치되고, 상기 프로세스부(12,352)를 상기 카세트부(10,351)로부터 칸막이하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 칸막이판(11,11A)은, 상기 카세트 얹어놓는 대(20,303)와 상기 서브아암기구(22,311)와의 사이에 설치되고, 상기 카세트부(10,351) 중에서 상기 카세트 얹어놓는 대(20,303)를 상기 서브아암기구(22,311)로부터 칸막이하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  7. 제1항에 있어서, 다른 시스템(99)와 연결가능하게 설치되고, 또 상기 프로세스부에 인접하는 인터페이스부(14)와, 이 인터페이스부(14)내에서 기판을 일시 수납하기 위한 카세트(CR,C)가 얹어놓이는 제2카세트 얹어놓는 대(90)와, 상기 프로세스부의 주아암기구(24)로부터 기판을 수취하고, 기판을 제2카세트상의 카세트에 반입하고, 이 카세트로부터 기판을 반출하고, 상기 다른 시스템(99)에 기판을 받아넘기는 제2서브아암기구(26)와, 상기 인터페이스부내에 다운플로우의 청정공기를 공급하는 제2에어공급기구(14a,16e,34)를 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 칸막이판(61)은, 상기 인터페이스부(14)와 상기 프로세스부(12)와의 사이에 설치되고, 상기 프로세스부(12)를 상기 인터페이스부(14)로부터 칸막이하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  9. 제7항에 있어서, 상기 칸막이판(29)은, 상기 제2카세트 얹어놓는 대(90)와 상기 제2서브아암기구(26)와의 사이에 설치되고, 상기 인터페이스부(14)중에서 상기 제2카세트 얹어놓는 대(90)를 상기 제2서브아암기구(26)로부터 칸막이하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  10. 제7항에 있어서, 상기 인터페이스부(14)와 상기 다른 시스템(99)과의 사이에 설치되고, 상기 인터페이스부(14)를 상기 다른 시스템(99)으로부터 칸막이하는 제2칸막이판(31)을 더욱 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 제2칸막이판(31)에는, 상기 인터페이스부(14)로부터 상기 다른 시스템(31)에 기판(W)을 반송하기 위한 제2기판반송구(31a)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 프로세스부(12)는, 기판(W)을 열처리하기 위해서 한쪽에 상하다단으로 쌓인 열처리계의 처리유니트(G3,G4,G5)와 기판(W)을 액처리하기 위해서 다른쪽에 상하단으로 쌓인 액처리계의 처리유니트(G1,G2)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  13. 공기조절된 크린룸(CR)내에 설치되고 복수의 기판(W)을 차례로 처리하는 기판(W)처리 시스템으로서, 카세트(CR,C)가 출입되는 카세트 반입출구(100b,304)를 가지는 외장케이스(100a,302)와, 이 외장케이스(100a,302)로 둘러싸인 내부공간에 설치되고, 카세트가 얹어놓이는 카세트 얹어놓는 대를 가지며, 상기 카세트 반입출구를 통해서 카세트가 반입되고, 상기 카세트 얹어놓는 대에 카세트가 얹어놓이는 카세트부와, 이 카세트부의 카세트(CR,C)로부터 기판(W)을 1매씩 반출하여 이송하는 서브아암기구(22,311)와, 상기 카세트부(12,351)에 인접해서 설치되고, 기판(W)을 처리하기 위한 복수의 처리유니트를 가지는 프로세스부(12,352)와, 이 프로세스부(12,352)내에 설치되고, 상기 카세트부의 서브아암기구(22,311)부터 기판을 수취하고, 수취한 기판을 각 처리유니트에 차례로 반입하는 한편, 처리된 기판을 각 처리유니트로부터 차례로 반출하는 주아암기구(24,312,313)와, 상기 카세트부 및 상기 프로세스부의 각각에 다운플로우의 청정공기를 공급하는 복수의 에어공급기구(10a,10b,12a,14a,16a∼16e,30,31,32,33a∼33f,34,36,37a∼37e,38,39,48,306,306a,306b)와, 외부환경을 형성하는 상기 크린룸(CR1), 상기 카세트부(10,351), 상기 프로세스부(12,352)중 적어도 2부분에서의 청정공기의 기류상태를 검출하는 기류검출수단(33a∼33f,37a∼37e)과, 이 기류검출수단으로부터의 검출결과에 의거하여 각 에어공급기구를 각각 제어하여 상기 카세트부 및 상기 프로세스부 중 적어도 한쪽으로의 청정공기의 공급량을 제어하는 제어수단(39)을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 처리시스템.
  14. 제13항에 있어서, 상기 기류검출수단은, 상기 크린룸(CR1), 상기 카세트부(10,351), 상기 프로세스부(12,352) 중 정어도 2부분 사이에서의 압력차를 검출하는 차압계(33a∼33f)인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  15. 제13항에 있어서, 상기 기류검출수단은, 상기 크린룸(CR1), 상기 카세트부(10,351), 상기 프로세스부(12,352)중 적어도 2부분 사이에서의 기류의 방향을 검출하는 풍향계(37a∼37e)인 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  16. 제13항에 있어서, 상기 제어수단(39)은, 상기 기류검출수단(33a∼33f, 37a∼37e)으로부터 검출결과에 의거하여, 상기 카세트부(10,351)와 상기 프로세스부(12,352)와의 사이에 실질적으로 기류를 일으키지 않고, 또, 상기 카세트 반입출구(100b,304)를 통해서 상기 카세트부(10,351)쪽으로부터 상기 크린룸(CR1)쪽을 향하는 기류를 일으키도록, 상기 에어공급기구(10a,10b,12a,14a,16a∼16e,30,31,32,33a∼33f,34,36,37a∼37e,38,39,48,306,306a,306b)의 각각을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  17. 제13항에 있어서, 상기 프로세스부(12)는 기판(W)을 열처리하기 위하여 한쪽에 상하다단으로 쌓인 열처리계의 처리유니트(G3,G4,G5)와, 기판(W)을 액처리하기 위해서 다른쪽에 상하다단으로 쌓인 액처리계의 처리유니트(G1,G2)를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  18. 크린룸(CR1)에 연이어 통하는 개구(100b,304)를 구비한 외장케이스(100a,302)에 의해서 둘러싸인 프로세스부(12,352)내에서 복수의 기판(W)을 차례로 처리하는 기판(W)처리방법으로서, ⓐ 기판반송구(11a,11b,51a,308)를 구비한 칸막이판(11,11A,51,305)에 의해서 상기 프로세스부(12,352)가 존재하는 제2공간을 카세트부(10,351)가 존재하는 제1공간으로부터 칸막이하고, ⓑ 상기 제1 및 제2공간 각각에 청정공기를 공급하고, 청정공기의 다운플로우를 제1 및 제2공간 각각에 형성하고, ⓒ 기판(W)이 수납된 카세트(CR,C)를 상기 외장케이스의 개구(100a,302)를 통해서 카세트부(10,351)에 반입하고, ⓓ 카세트부(10,351)내의 카세트(CR,C)로부터 기판(W)을 반출하고, ⓔ 반출한 기판(W)을 상기 칸막이판(11,11A,51,305)의 기판반송구(11a,11b,51a,308)를 통해서 반송할 때에, 상기 제2공간의 내압을 상기 제1공간의 내압보다도 높게 설치하고, ⓕ 기판(W)을 상기 제2공간에 반입하고, 상기 프로세스부(12,352)에서 기판(W)을 처리하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 공정(e)에서는 크린품(CR1)의 내압, 제1공간의 내압, 제2공간의 내압을 각각 검출하고, 이들 검출결과에 의거하여 상기 공정(b)에서는 제1 및 제2공간으로의 청정공기의 공급동작을 각각 제어하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  20. 제18항에 있어서, 상기 공정(b)에서는, 제1 및 제2공간의 상호간에 기판(W)을 반송하지 않을 때는 칸막이판의 기판 반송구(11a,11b,51a,308)를 닫아두는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  21. 제18항에 있어서, 상기 공정(f)에서는, 프로세스부에서 기판(W)을 처리하고 있을 때는 칸막이판의 기판반송구(11a,11b,51a,308)를 닫아두는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  22. 공기조절된 크린룸(CR1,CR2)내에 설치되어 복수의 기판(W)을 차례로 처리하는 기판처리시스템은, 카세트(CR.C)가 출입되는 카세트 반입출구(100b,304)를 가지는 외장케이스(100a,302)와, 이 외장케이스(100a,302)로 둘러싸인 제1공간에 설치되고, 카세트가 얹어놓이는 카세트 얹어놓는 대(20,303)를 가지며, 상기 카세트 반입출구를 통해서 카세트가 반입되고, 상기 카세트 얹어놓는 대에 카세트가 얹어놓이는 카세트부(10,351)와, 상기 제1공간에 설치되고, 상기 카세트부의 카세트(CR,C)로부터 기판(W)을 1매씩 반출해서 이송하는 서브아암기구(22,311)와, 상기 카세트부(10,351)에 인접하도록 상기 외장케이스(100a,302)로 둘러싸인 제2공간에 설치되고, 기판(W)을 처리하기 위한 복수의 처리유니트를 가지는 프로세스부(12,352)와, 상기 제2공간에에 설치되고, 상기 카세트부의 서브아암기구(22,311)로부터 기판(W)을 수취하고, 수취한 기판(W)을 각 처리 유니트에 차례로 반입하는 한편, 처리된 기판(W)을 각 처리유니트로부터 차례로 반출하는 주아암기구(24,312,313)와, 상기 제1 및 제2공간의 내압이 상기 크린룸(CR1)의 내압보다도 높아지도록, 상기 제1 및 제2공간 각각에 다운플로우의 청정공기를 공급하는 복수의 에어공급기구(10a,10b,12a,14a16a∼16e,30,31,32,33a∼33f,34,36,37a∼37e,38,39,48,306,306a,306b)와, 상기 제1 및 제2공간 양쪽에 연이어 통하는 기판반송구 (11a,11b,51a,308)를 구비하며, 상기 제1공간으로부터 상기 제2공간을 칸막이하는 칸막이판(11A,51,61,305)과, 상기 카세트 반입출구(100b,304)를 개폐하는 제1셔터수단(S1)과, 상기 칸막이판의 기판반송구(11a,11b,51a,308)을 개폐하는 제2셔터수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  23. 제22항에 있어서, 상기 외장케이스(302)는 복수의 크린룸(CR1,CR2)에 걸쳐서 설치되고, 상기 카세트 반입출구(304)는 1개의 크린룸에만 개구하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  24. 제22항에 있어서, 상기 제2셔터수단(S2)은, 에어공급원(365) 과, 상기 칸막이판(305)의 내부에 형성되고, 상기 에어공급원(365)에 연이어 통하고, 상기 기판반송구(304)의 상부에서 개구하는 제1내부통로(364)와, 흡인기구(365)와, 상기 칸막이판(305)의 내부에 형성되고, 상기 흡입기구(365)에 연이어 통하고, 상기 기판반송구(304)의 하부에서 개구하는 제2내부통로(363)를 구비하며, 상기 제1내부통로(364)에 에어를 공급함과 동시에, 상기 제2내부통로(363)를 통해서 에어를 흡인함으로써, 상기 기판반송구(304)에 에어커텐을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  25. 제22항에 있어서, 상기 외장케이스(100a,302)의 바닥부에 형성되고, 적어도 상기 제1공간 및 상기 제2공간 중 어느 한쪽에 연이어 통하는 통기구(70a,72a,74a,80a,82a,331,335,341a,341c)와, 이 통기구의 개루량을 조정하는 배기조정기구(71,73,75,331c,341b,341e)를 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
  26. 제22항에 있어서, 상기 외장케이스(100a,302)이 측부에 형성되고, 적어도 상기 제1공간 및 상기 제2공간중 어느 한쪽에 연이어 통하는 통기구(333)와, 이 통기구의 개구량을 조정하는 배기조정기구(333c)를 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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