KR970072413A - 커패시터 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 커패시터 제조방법에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 커패시터 제조방법은 스토리지 노드를 한정하는 포토레지스트 패턴을 특정한 형태로 형성하기 위해 특정한 형태의 마스크를 사용한다.
따라서 종래와 동일한 방법으로 커패시터를 형성하더라도 스토리지 노드의 둘레의 표면적을 증가시킬 수 있으므로 종래보다 커패시터의 커패시턴스를 증가시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 본 발명의 제1마스크의 평면도이다. 제5도는 제4도의 제1마스크를 이용한 포토레지스트 패턴의 평면도이다. 제6도는 본 발명의 제1마스크를 이용한 커패시터의 스토리지 노드 패턴의 사시도이다.
Claims (4)
- 트랜지스터를 포함하는 절연막상에 상기 트랜지스터의 드레인에 접속되는 도전층을 형성하는 단계; 상기 도전층을 한정하는 포토레지스트 패턴을 특정한 형태로 형성하는 단계; 및 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 하여 상기 도전층을 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 커패시터 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 포토레지스트 패턴을 특정한 형태로 형성하기 위하여 특정한 형태의 제1 및 제2마스크를 사용하는 것을 특징으로 하는 커패시터 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제1마스크로는 둘레에 톱니형 요철을 구비하는 사각형 형태의 마스크를 사용하는 것을 특징으로 하는 커패시터 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 제2마스크로는 규칙적으로 형성된 복수개의 홀을 구비하는 사각형 형태의 마스크를 사용하는 것을 특징으로 하는 커패시터 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960012526A KR970072413A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 커패시터 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960012526A KR970072413A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 커패시터 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970072413A true KR970072413A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66217261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960012526A KR970072413A (ko) | 1996-04-24 | 1996-04-24 | 커패시터 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970072413A (ko) |
-
1996
- 1996-04-24 KR KR1019960012526A patent/KR970072413A/ko not_active Application Discontinuation
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