KR970011585B1 - 반도체 시험장치의 파형 정형기 - Google Patents

Abstract

없음

Description

반도체 시험장치의 파형 정형기

종래의 파형 정형기의 개략적인 구성을 제 1 도의 블록도를 참조하여 설명한다.

파형 정형기(100)는 그 내부에 파형 모우드 레지스터(105)를 1개 구비하고, 이에 미리 파형 모우드를 설정하여 놓는다.

파형 모우드 레지스터(105)는 8비트의 비트폭을 갖고 있고, 이들 각 비트의 의미하는 바는 표 1에 기재되는 바와 같다.

[표 1] 파형 모우드 레지스터의 비트 마다의 의미

종래의 위상변경회로의 개략적인 구성을 제 2 도의 블록도 및 제 3 도의 타이밍 차아트를 참조하여 설명한다. 위상변경회로(101)는 제 1 도의 패턴 발생기(200)로부터 발생되는 패턴 데이터를, 타이밍 발생기(300)로 부터 발생되는 M 클록신호(패턴·데이터 사이클에 동기한 클록신호) MCK의 위상으로부터, 파형의 에지 타이밍을 결정하는 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK의 각각에 대응하는 위상으로 변경하는 것이다. 타이밍 발생기(300)는 각 클록신호 ACK, BCK, CCK의 클록펄스를 패턴 데이터의 각각의 사이클과 대응시켜 소정의 위상으로 발생시킨다.

위상변경회로(101)는 패턴 데이터의 고속처리 및 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK의 위상설정범위를 패턴 데이터 사이클 주기보다 넓게 취하는 것을 가능하도록 하기 위한 것이다. 이 위상변경회로(101)는 입력단자 Din로부터 입력되는 패턴 데이터를, M 클록신호 MCK의 위상으로부터 클록신호 ACK, BCK, CCK의 각 위상으로 변경하고 출력단자 DA, DB, DC로부터 출력한다.

즉 패턴 발생기(200)로부터 입력되는 패턴 데이터를 주지하는 바와 같이 4진 카운터 C0와 데코더 D0에 의하여 클록 MCK마다 4개의 NAND 게이트를 순차 순환하여 개방시키므로써 제 3 도 행 C, D, E, F에 가리키는 4분주 클록을 생성하고, 각각 플립플롭 F0 내지 F3에 부여함으로써, 제 3 도의 행 G, H, I, J에 가리키는 바와 같이 행 A의 패턴 데이터를 4개의 병렬 데이터로 변환함과 동시에 이들의 사이클 길이를 4배로 확대한다.

클록 ACK를 계수하는 4진 카운터 C1의 계수치가 부여되는 데코더 D1에 의하여 생성되는 데코더 D1의 출력단자 0, 1, 2 및 3의 출력신호(제 3 도 행 L, M, N, O)에 의하여 이들 4열의 데이터의 대응하는 사이클로부터 패턴 데이터를 순차적으로 추출하여 직렬 데이터로 변환함으로써 클록 ACK의 위상에 동기한 패턴 데이터가 단자 DA로부터 출력된다(행 P). 이로써, 클록신호 MCK와 ACK와의 사이에 위상차가 1사이클 이상 있더라도 고속처리하고 있는 데이터의 속도를 저하시키는 일없이 위상변경을 할 수 있다.

마찬가지로 A 클록신호 ACK의 클록 n+1와 같이 클록신호 MCK의 주기를 초과한 클록신호 ACK에 대하여도 4배로 확대된 데이터 사이클 범위내에 있으면 위상변경을 할 수 있다. 클록신호 BCK, CCK에 대하여도, ACK와 마찬가지로 동작한다.

이네이블 신호생성회로(103)는 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK의 위상으로 변경된 패턴 데이터와 파형 모우드 레지스터(5)의 파형 모우드에 의하여 A, B, C 클록신호를 제어하는 A SET, A RESET, B SET, B RESET, C SET, C RESET 신호를 생성한다.

이들 신호를, 이후, 일괄하여 이네이블 데이터라 칭하고 이들의 의미는 표 2에 기재된 바와 같다.

[표 2] 이네이블 데이터의 내용

각 신호 모두 신호가 "0"일때 사용금지, "1"일때 사용을 의미한다.

파형생성회로(106)는 이네이블 신호생성회로(103)로부터 출력하는 이네이블 데이터와 타이밍 발생기(300)로부터 발생되는 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK에 의하여 SET 신호 및 RESET 신호를 생성하고 이들을 R-S 플립플롭의 SET, RESET 단자에 전압을 가하고 드라이버 출력파형을 정형한다.

파형 정형기(100)는 예컨대 파형 모우드 레지스터(105)에 설정되는 고정의 파형 모우드와 패턴 발생기(200)로부터 발생되는 패턴 데이터에 의하여 타이밍 발생기(300)로부터 발생되는 A, B, C 클록신호를 SET 신호 또는 RESET 신호로서 선택하고, 드라이버 출력파형을 정형하는 것이다.

종래 기술에 있어서 드라이버 출력파형을 리얼 타임으로 변화시키는 방식으로서 다음 2방식이 있다.

(방식 1)

타이밍 발생기(300)로부터 발생되는 A, B, C 클록신호의 소망의 클록을 소망의 사이클로 타이밍 발생기(300)에서 금지함으로써 파형생성회로(106)의 파형 정형에 사용한 SET 신호 또는 RESET 신호를 금지하며, 드라이버 출력파형을 소망의 파형으로 리얼 타임으로 전환한다.

(방식 2)

클록의 셀렉트 레지스터(107)에 A, B, C 클록신호의 안에 금지하고 싶은 클록신호를 미리 설정하여 둔다. 셀렉트 레지스터(107)에 설정된 클록신호를 금지회로(104)에서 패턴 발생기(200)가 발생하는 패턴 데이터에 동기한 리얼 타임으로 변화하는 금지데이터(A, B, C 클록신호의 금지 사이클을 나타내는 신호)에 의하여 금지한다.

이와 같이 하여 파형생성회로(106)에서 파형정형에 사용하는 SET 신호 또는 RESET 신호를 금지하고, 드라이버 출력파형의 전환을 리얼 타임으로 행한다.

방식 1은 A, B, C 클록신호의 일부를 특정의 사이클만 타이밍 발생기(300)에서 금지하므로, M 클록의 수와 A, B, C 클록의 입력수가 패턴 데이터의 위상변경회로(101)에서 일치하지 않게되며 출력하는 패턴 데이터의 사이클이 어긋나게 된다(n+1의 클록을 금지한 제 4 도에 도시된 타이밍 차아트 참조).

이로써 파형생성회로(106)에서 이네이블 신호생성회로(103)로부터 입력하는 A, B, C 클록신호를 SET 신호, RESET 신호로서 선택하는 이네이블 데이터와 A, B, C 클록신호의 사이클이 어긋나므로 드라이버 출력파형의 전환을 바르게 행할 수 없다.

또, 제 2 도와 같이 위상변경회로(101)를 사용하지 않으면, 패턴 데이터의 사이클 어긋남은 일어나지 않으므로, A, B, C 클록펄스를 제어함으로써 드라이버 출력파형의 전환을 행할 수 있다. 그러나 M 클록신호와 A, B, C 클록신호의 위상차의 분량만큼 패턴 데이터의 주기를 넓히지 않으면 패턴 데이터를 A, B, C 클록신호의 위상으로 취급할 수 없다. 따라서 고속처리를 할 수 없게 되고 M 클록신호의 주기를 초과한 A, B, C 클록신호의 설정도 할 수 없게 된다.

이상의 사실로부터 방식 1은 고속동작중에 패턴 발생기(200)로부터 발생하는 패턴 데이터에 의존하는 파형 모우드(XOR, NRZ 파형)로부터의 파형전환은 행할 수 없다.

방식 2는 파형생성회로(106)에 입력하는 A, B, C 클록신호의 일부를 금지회로(104)에 의하여 금지하기 때문에 NRZ 파형으로부터 RZ 파형으로의 전환과 같이 파형생성회로(106)에서 SET 신호 또는 RESET 신호를 추가할 필요가 있는 파형전환은 행할 수 없다. 또 제 5 도에 도시되는 바와 같이 XOR 파형(행 H)으로 부터 RZ 파형(행 I)으로 파형전환을 행하는 경우에는 행 B에 나타내는 패턴 데이터의 "0"에 대하여는 A, B, C 클록신호를 모두 금지하여 행 F, G의 SET 신호 및 RESET 신호의 발생을 금지하지만, 데이터 "1"에 대하여는 A 클록만 금지해야 한다.

이와 같이 패턴 데이터에 의하여 금지하는 클록신호를 변경할 필요가 있지만, 패턴 데이터의 발생중에 셀렉트 레지스터(107)의 선택 클록의 설정을 변경할 수는 없으므로 이와 같은 파형전환은 행할 수 없다.

본 발명의 목적은 상술한 바의 문제를 해소한 반도체 시험장치의 파형 정형기를 제공하는 것이다.

발명의 개시

본 발명에 의한 반도체 시험장치의 파형 성형기는 드라이버 출력파형의 에지타이밍을 결정하는 복수의 클록신호를 발생하는 타이밍 발생기와, 각 파형 모우드가 드라이버 출력파형을 정하도록 하는 데이터를 가진 복수의 파형 모우드를 격납하는 파형 모우드 기억장치와, 패턴 데이터와, 그 패턴 데이터에 동기하여 파형 모우드 기억수단에 격납된 파형 모우드중 하나를 리얼 타임으로 선택하는 컨트롤 데이터를 발생하는 패턴 발생기와, 상기 파형 모우드 기억장치와 상기 패턴 발생기에 접속되어, 상기 복수의 클록신호가 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 타이밍 신호로 사용하는가 아닌가를 컨트롤 데이터에 따라 선택된 복수의 파형모드와 패턴 데이터중 하나에 기하여 결정하는 이네이블 데이터를 생성하는 이네이블 데이터 생성회로와, 상기 이네이블 데이터의 위상을, 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 클록신호의 위상으로 변경하고, 그 위상변경된 이네이블 데이터를 출력하는 위상변경수단과, 상기 클록신호와 위상변경된 이네이블 데이터에 가하여 드라이버 출력파형을 생성하는 파형생성회로를 포함하고, 상기 패턴 발생기로부터의 상기 컨트롤 데이터에 의하여 파형 모우드를 리얼 타임으로 전환하여 드라이버 출력파형의 전환을 가능하게 한다.

발명을 실시하기 위한 최량의 형태

본 발명의 실시예를 제 6 도를 참조하여 설명한다.

본 실시예에서는 제 6 도에 도시되는 바와 같이 2개의 파형 모우드 레지스터(105A, 105B)를 구비함으로써, 2종류의 파형 모우드 A 및 B를 기억하도록 하였다.

파형 모우드 레지스터(105A 및 105B)에 미리 기억시켜둔 파형 모우드 A와 B를 패턴 발생기(200)에서 발생하는 패턴 데이터에 동기하여 리얼 타임으로 변화하는 컨트롤 데이터에 따라 멀티플렉서 MUX에 의하여 전환하여 선택, 출력한다. 물론 파형 모우드 레지스터의 수를 더욱 증가시켜 선택할 수 있는 파형 모우드의 수를 늘려도 좋다.

선택된 파형 모우드와 패턴 발생기(200)로부터의 패턴 데이터에 의하여 이네이블 신호생성회로(103)에서 타이밍 발생기(300)로부터 발생되는 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK를 SET 신호 또는 RESET 신호로서 사용하는가 아닌가를 결정하는 이네이블 데이터를 생성한다.

위상변경회로(41~43 및 41'~43')는 이네이블 데이터의 위상을 M 클록신호의 위상에서 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK의 위상으로 변경한다.

이들 위상변경회로는 모두 같은 구성이고, 그 하나의 블록도를 제 7 도에 도시한다.

그 동작 및 기능에 대하여는 제 2 도에 도시된 종래의 위상변경회로와 동일하다.

파형생성회로(106)에서 위상변경회로(41~43 및 41'~43')로부터 출력한 세트 이네이블 데이터 및 리세트 이네이블 데이터와 대응하는 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK와는 각각 AND 게이트(61~63 및 61'~63')에 의하여 논리적이 취해지고, 이네이블된 A, B, C 클록신호가 SET 신호 및 RESET 신호로서 생성된다.

이들 A, B, C 클록신호의 타이밍의 SET신호 및 RESET 신호를 OR 게이트(67) 및 OR 게이트(68)를 각각 사이에 두고 출력하고 R-S 플립플롭(69)의 SET 단자에 SET 신호, RESET 단자에 RESET 신호로서 부여함으로써 드라이버 출력파형을 생성한다.

예를들면, XOR 파형과 RZBC 파형을 전환하여 사용하는 경우에 대하여 설명한다.

이 경우, 파형 모우드 레지스터(105A)에 XOR 모우드를 파형 모우드 레지스터(105B)에 RZBC 모우드를 설정한다.

파형 모우드 레지스터(105A, 105B)의 내용은 표 3에 표시된 바와 같다.

[표 3] 파형 모우드 레지스터(105A, 105B)의 내용

표 3의 파형 모우드의 설정으로 제 8 도의 행 C에 도시하는 패턴 데이터와, 이를 행 B에 표시하는 파형 모우드로 출력하기 위한 행 A에 표시하는 컨트롤 데이터와 패턴 발생기(200)에서 발생한 경우의 동작 타임 차아트를 행 D~V에 표시한다.

제 6 도 및 제 8 도에서, 패턴 발생기(200)의 발생하는 컨트롤 데이터 CD를 멀티플렉서 MUX에 공급하면 파형 모우드(M)가 선택된다.

이 파형 모우드(M)와 패턴 발생기(200)의 발생하는 패턴 데이터 PD를 이네이블 신호생성회로(103)에 입력하면 이네이블 신호생성회로(103)로부터는 A, B, C 클록신호(행 K, L, M)를 SET 신호 또는 RESET 신호로서 사용하는가 아닌가를 결정하는 이네이블 데이터 A SET, A RESET, B SET, B RESET, C SET 및 C RESET가 출력된다(행 D~I).

이들 이네이블 데이터를 각각의 위상변경회로(41~43 및 41'~43')에 의하여 M 클록(행 J)의 위상에서 대응하는 A, B, C 클록신호 ACK, BCK, CCK의 위상으로 변경한다. 위상변경회로(41~43 및 41'~43')의 출력, 즉 위상변경 이네이블 데이터 출력은 행 N, O, P 및 N', O', P'로 표시하도록 된다.

이들 위상변경 이네이블 데이터 출력과 타이밍 발생기(300)에서 발생되는 A, B, C 클록신호는 파형생성회로(106)의 각 AND게이트(61~63 및 61'~63')에 각각 보내지고 이들 게이트에 있어서 이네이블된 A, B, C 클록신호가 SET 신호 및 RESET 신호로서 제 8 도 행 Q, R, S 및 Q', R', S'에 각각 표시된 바와 같이 생성된다.

이들의 SET 신호 및 RESET 신호는 각각의 OR 게이트(67 및 68)에 통하게 되어 R-S 플립플롭(69)에 부여되는 SET 신호(행 T)RESET 신호(행 U)로 된다.

이들 SET 신호 및 RESET 신호를 R-S 플립플롭의 SET 단자, RESET 단자에 입력함으로써 제 8 도의 행(V)에 표시되는 드라이버 출력파형을 생성할 수 있다.

이와 같이 하여 패턴 발생기(200)에서 발생하는 컨트롤 데이터(CD)에 의하여 선택한 파형 모우드(M)가 드라이버 출력파형에 나타나므로 XOR 파형과 RZBC 파형의 전환이 가능하게 된다.

상술한 바와 같이 파형 모우드를 기억하는 레지스터 또는 메모리를 3개 이상 구비함으로써 3종류 이상의 파형 모우드 전환을 동일하게 실시할 수 있다.

제 6 도의 실시예에 있어서는 복수의 파형 모우드 레지스터(105A, 105B)로부터 파형 모우드를 멀티플렉서 MUX에 의하여 선택하는 경우를 예시하였으나 하나의 파형 모우드 기억장치의 상이한 어드레스 위치에 각각 파형 모우드를 기입하여 두고 컨트롤 데이터를 어드레스로서 부여하여 소망이 파형 모우드를 읽어내도록 하여도 좋다.

더욱이 타이밍 발생기(300)에서 발생하는 A, B, C 클록신호의 위상을 M 클록신호의 대응하는 사이클내에 한정하여 설정하면, 제 6 도의 실시예에 있어서 위상변경회로(41~43 및 41'~43')를 생략하여도 좋다.

그 경우의 실시예를 제 9 도에 블록도로 도시한다.

제 9 도의 실시예에 있어서는 상술한 바와 같이 파형 모우드 기억장치(105)의 상이한 어드레스 위치에 복수의 파형 모우드가 미리 기입되어 있다.

이네이블 신호생성회로(103)는 제 6 도의 실시예에 있었던 것과 같고, 그 출력인 A, B, C 세트 이네이블 데이터 및 A, B, C -리세트 이네이블 데이터는 위상변경되지 않고 직접 파형생성회로(106)에 부여된다. 파형생성회로(106)의 구성은 제 6 도에 있는 것과 같고, 이들 A, B, C 세트 이네이블 데이터, A, B, C 리세트 이네이블 데이터와 대응하는 A, B, C 클록신호로부터 꼭같이 SET 신호와 RESET 신호를 생성하고 플립플롭의 세트, 리세트 단자에 부여됨으로써 소망의 파형 모우드로 패턴 데이터를, 피시험 반도체 디바이스에 대한 드라이브 파형으로서 출력할 수 있다.

즉 제 9 도의 구성에 의하더라도 출력파형의 전환을 행할 수 있다.

이상에서 설명한 것과 같이 패턴 발생기(200)로부터 송출되는 컨트롤 데이터에 의하여 파형 모우드를 리얼 타임으로 전환하므로써 드라이버 출력파형의 파형전환을 가능하게 하고 있다.

그리고, 위상변경회로(41~43 및 41'~43')를 사이에 둠으로써 데이터의 고속처리 및 A, B, C 클록신호의 위상설정범위를 M 클록신호의 주기(즉 패턴 데이터의 사이클주기)보다 넓게 취하는 것도 가능하게 된다.

또 본 발명에 의하면 A, B, C 클록신호를 금지하는 일없이 파형의 전환을 가능하게 하는 것이므로, 종래와 같이 위상변경회로에 있어서 사이클 어긋남이 생기지 않는다.

본 발명은 반도체 시험장치의 파형 정형기에 관한 것이며, 구체적으로 반도체 시험장치에 있어서 시험되어야할 반도체에 인가되는 드라이버 파형을 결정하는 파형 모우드를 리얼타임으로 전환하는 반도체 시험장치의 파형 정형기에 관한 것이다.

제 1 도는 파형 정형기의 종래예를 도시하는 도면.

제 2 도는 제 1 도에 있어서 위상변경회로의 종래예를 설명하기 위한 도면.

제 3 도는 위상변경회로의 종래예의 동작 타이밍 차아트.

제 4 도는 클록신호 ACK의 일부를 금지하였을 때의 동작 타이밍 차아트.

제 5 도는 XOR 모우드로부터 RZ 모우드로 파형을 전환하는 경우의 동작 타이밍 차아트.

제 6 도는 본 발명의 파형 정형기를 도시하는 도면.

제 7 도는 제 6 도에 있어서 위상변경회로의 구성을 도시하는 도면.

제 8 도는 제 6 도의 파형 정형기의 동작 타이밍 차아트.

제 9 도는 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 블록도.

Claims (4)

1. 각각의 피시험 반도체에 인가되는 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 복수의 클록신호를 발생시키는 타이밍 발생수단(300)과; 각 파형 모우드가 드라이버 출력파형을 정하는 데이터를 가진 복수의 파형 모우드를 격납하는 파형 모우드 기억수단(105)과; 패턴 데이터(PD)와, 상기 패턴 데이터에 동기하여 상기 파형 모우드 기억수단에 격납된 복수의 파형 모우드중 하나를 리얼 타임으로 선택하는 컨트롤 데이터(CD)를 발생시키는 패턴 발생수단(200)과; 상기 파형 모우드 기억수단 및 상기 패턴 발생수단에 접속되어, 상기 복수의 클록신호가 상기 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 타이밍 신호로 사용되는지 여부를, 상기 컨트롤 데이터에 따라 선택된 상기 복수의 파형 모우드와 상기 패턴 데이터중 하나의 데이터에 기하여 결정하는 이네이블 데이터를 생성하기 위한 이네이블 데이터 생성수단(103)과; 상기 이네이블 데이터 생성수단에 접속되어, 상기 이네이블 데이터 생성수단으로부터 출력된 이네이블 데이터의 위상을, 상기 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하여 대응하는 클록신호의 위상으로 변경하고, 그 위상 변경된 이네이블 데이터를 출력하는 위상변경수단(41~43 및 41'~43')과; 상기 위상변경수단 및 타이밍 발생수단에 접속되어, 상기 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 복수의 클록신호와 상기 위상변경된 이네이블 데이터에 기하여 드라이버 출력파형을 생성하는 파형생성수단(106)을 구비하고, 상기 패턴발생수단으로부터의 컨트롤 데이터에 의해 파형 모우드를 리얼 타임으로 전환하여 드라이버 출력파형의 전환을 기능하도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 시험장치의 파형 정형기.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 파형 모우드 기억수단은, 각각이 복수의 파형 모우드중 하나를 격납하는 복수의 레지스터 수단(105A, 105B)과, 상기 복수의 레지스터 수단으로부터 상기 컨트롤 데이터에 따라 상기 복수의 파형 모우드중 하나를 선택하여 그 선택된 파형 모우드를 상기 이네이블 데이터 생성수단에 부여하는 멀티플렉서 수단(MUX)을 포함한 것을 특징으로 하는 파형 정형기.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 파형 모우드 기억수단은 상기 복수의 파형 모우드를 상이한 어드레스 위치에 격납하는 메모리를 포함하고, 각 파형 모우드가, 상기 컨트롤 데이터에 의해 어드레스되었을때에, 상기 어드레스 위치의 대응하는 하나로부터 읽어내어져서 상기 이네이블 데이터 생성수단에 부여되는 것을 특징으로 하는 파형 정형기.
4. 각각이 피시험 반도체에 인가되는 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 복수의 클록신호를 발생시키는 타이밍 발생수단(300)과; 각 파형 모우드가 드라이버 출력파형을 정하는 데이터를 가진 복수의 파형 모우드를 격납하는 파형 모우드 기억수단(105)과; 패턴 데이터(PD)와 상기 패턴 데이터에 동기하여 상기 파형 모우드 기억수단에 격납된 복수의 파형 모우드중 하나를 리얼 타임으로 선택하는 컨트롤 데이터(CD)를 발생시키는 패턴 발생수단(200)과; 상기 파형 모우드 기억수단 및 상기 패턴 발생수단에 접속되어, 상기 복수의 클록신호가 상기 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 타이밍신호로 사용되는지 여부를, 상기 컨트롤 데이터에 따라 선택된 상기 복수의 파형 모우드와 상기 패턴 데이터중 하나의 데이터에 기하여 결정하는 이네이블 데이터를 생성하기 위한 이네이블 데이터 생성수단(103)과; 상기 이네이블 데이터 생성수단 및 상기 클록발생수단에 접속되어, 상기 드라이버 출력파형의 에지 타이밍을 결정하는 복수의 클록신호와 상기 이네이블 데이터에 기하여 드라이버 출력파형을 생성하는 파형생성수단(106)을 구비하고, 상기 파형 모우드 기억수단은 상기 복수의 파형 모우드를 상이한 어드레스 위치에 격납하는 메모리를 포함하고, 각 파형 모우드가, 상기 컨트롤 데이터에 의해 어드레스 되었을 때에, 상기 어드레스 위치의 대응하는 하나로부터 읽어내어져서 상기 이네이블 데이터 생성수단에 부여되도록 되어 있고, 상기 패턴 발생수단으로부터의 컨트롤 데이터에 의해 파형 모우드를 리얼 타임으로 전환하여 드라이버 출력파형의 전환을 가능하도록 하는 것을 특징으로 하는 반도체 시험장치의 파형 정형기.