KR950029889A - 기판 처리장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
반송로보트는 기설정순서로 기판을 보지하면서 복수의 기판처리부에서 순환으로써 기판의 순환반송을 행한다. 콘토롤러는 제1 및 제2기판간의 간섭이 금지되는 조건하에서 제1기판의 최초순환에서 제2기판의 최초순환까지의 시간동안 순환반송의 회수에 상응하는 최소대기사이클을 산출한다. 최소대기사이클이 제1기판의 처리를 위한 순환반송의 회수에 상응하는 표준대기사이클보다 짧을 때 제2기판의 순환반송의 개시가 상기 표준대기 사이클에 대하여 최소대기사이클의 범위 내에서 지연된다. 따라서 제2기판처리가 제1기판의 처리완료동안 대기시키지 않고 개시될 수 있으며 그 결과 슬로우프트가 개선된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 발명의 바람직한 제1실시예에 의한 기판처리장치의 사시도.
Claims (14)
- 제1 및 제2기판을 처리하기 위한 기판처리장치에 있어서, 적어도 상기 제1 및 제2기판의 하나를 각각이 처리하는 복수의 처리부와, 상기 제1 및 제2기판을 보지하면서 상기 처리부 사이를 순환하기 위한 반송수단과, 상기 제1 및 제2처리간의 간섭이 금지되는 조건하에서, 상기 제1기판의 반송 개시후 상기 제1처리가 완료되기전 상기 제2기판의 반송이 개시되도록, 상기 반송수단으로 서로 상이한 제1 및 제2순서로 상기 처리부 사이에서 상기 제1 및 제2기판을 방송하여 제1 및 제2처리에 의해 상기 제1 및 제2기판을 각각 처리하기 위한 반송제어수단과를 구비한 기판처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1기판은 상기 제1처리를 받게 되는 복수의 기판으로 형성되는 선행로트에서 최종으로 처리되고, 상기 제2기판은 상기 제2처리를 받게 되는 복수의 기판으로 형성되는 후행로트내에서 최초로 처리되게 한 기판처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1기판은 상기 인터럽트 당한 로트의 상기 제1처리가 일시적으로 중단되어서 인터럽트한 러트의 상기 제2처리가 수행되는 인터럽트처리전에 최종으로 처리됨과 동시에 인터럽트 당한 로트내의 기판이며, 상기 인터럽트 당한 로트는 상기 제1처리에 의해 처리되는 복수의 기판으로 형성되고, 상기 인터럽트한 로트는 상기 제2처리로 처리되는 복수의 기판으로 형성되며, 상기 제2기판은 인터럽트한 로트의 기판임과 동시에 상기 인터럽트한 로트중 최초로 처리되는 기판인 기판처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1기판은 인터럽트한 로트의 기판임과 동시에 상기 인터럽트 당한 로트의 상기 제2처리가 일시중지되어 인터럽트한 로트의 상기 제1처리가 수행되는 인터럽트처리를 해제하기 전에 최후로 처리되는 기판이며, 상기 인터럽트한 로트는 상기 제1처리를 받은 복수의 기판으로 형성되는 반면에 상기 인터럽트 당한 로트는 상기 제2처리를 받는 복수의 기판으로 형성되며, 상기 제2기판은 상기 인터럽트 당한 로트의 기판임과 동시에 상기 인터럽트처리의 해제후 최초로 처리되는 기판인 기판처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2기판을 포함하는 복수기판이 하나씩 순차적으로 처리되는 기판처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 반송제어수단은, 상기 선행로트 및 상기 후행로트 간의 간섭이 금지되는 조건하에서, 상기 제1기판을 포함하는 기판의 최초순환에서 상기 제2기판을 포함하는 기판의 최초순환까지의 시간동안의 순환반송의 수에 상응하는 최소대기사이클을 산출하기 위한 연산수단과, 상기 선행로트의 상기 제1처리를 수행하기 위한 순환반송의 수에 상응하는 표준대기사이클보다 최소대기사이클이 더 짧은 경우에 상기 표준대기 사이클에 대하여 상기 최소사이클의 범위내로 상기 제2기판을 포함하는 기판의 상기 반송수단에 의한 순환반송의 개시를 지연시키기 위한 제어수단을 포함하는 기판처리장치.
- 제6항에 있어서, 상기 연산수단은, 상기 제1처리를 하기 위한 처리부의 수로부터 상기제2처리를 하기 위한 처리부의 수를 감하여 포지션차를 결정하기 위한 포지션차 연산수단과, 선행로트의 순환반송동안의 각처리부의 처리순위와 상기 후행로트의 순환반송동안의 각 처리부의 처리순위에서 상기 후행로트의 순환반송동안의 각 처리부의 처리순위를 감함으로써 상기 선행 및 후행로트 양자를 처리하기 위해 사용되는 각 처리부의 처리순위차를 산출하기 위한 처리순위차 연산수단과, 상기 처리순위차 중에서 최대값을 얻고 상기 포지션차와 상기 최대값에 근거하여 최소대기사이클을 구하기 위한 최대값 연산수단을 포함하는 기판처리장치.
- 제3항에 있어서, 상기 반송제어수단은, 상기 인터럽트 당한 로트와 인터럽트한 로트간의 간섭이 금지되는 조건하에서 상기 제1기판을 포함하는 기판의 최초순환으로부터 상기 제2기판을 포함하는 기판의 최초순환까지의 시간동안 순환반송의 수에 상응하는 최소대기사이클을 산출하기 위한 연산수단과, 인터럽트 당한 로트의 상기 제1처리를 수행하기 위한 순환반송의수에 상응하는 표준대기사이클보다 상기 최소대기사이클이 작은 경우에, 상기 표준대기사이클에 대하여 상기 최소대기사이클의 범위내에서 상기반송수단에 의한 상기 제2기판을 포함하는 기판의 순환반송의 개시를 지연시키기 위한 제어수단을 구비한 기판처리장치.
- 제8항에 있어서, 상기 제1처리를 위한 처리부의 수로부터 상기 제2처리를 위한 처리부의 수를 감하여 포지션차를 구하기 위한 포지션차 연산수단과, 상기 인터럽트 당한 로트의 순환반송동안의각 처리부의 처리순위로부터 상기 인터럽트한 로트의 순환반송동안의 각 처리부의 처리순위를 감하여 상기인터럽트 당한 로트 및 상기 인터럽트한 로트 양자를 처리하기 위하여 사용되는 각 처리부의 처리순위차를 연산하기 위한 처리순위차 연산수단과, 상기 처리순위차 중에서 최대값을 구하고 상기 포지션차 및 상기 최대값을 근거하여 최소대기사이클을 구하기 위한 최대값 연산수단을 구비하는 기판처리장치.
- 제4항에 있어서, 상기 제어수단은, 인터럽트한 로트와 인터럽트 당한 로드 사이의 간섭이 금지되는 조건하에서, 상기 제1기판을 포함하는 기판의 최초순환으로부터 제2기판을 포함하는 기판의 최초순환까지의 시간동안의 순환반송의 수에 상응하는 최소대기사이클을 산출하기 위한 연산수단과, 상기 인터럽트한 로트의 상기 제1처리를 수행하기 위한 순환반송의 수에 상응하는 표준대기사이클보다 상기 최소대기사이클이 더 작은 경우에, 상기 표준대기사이클에 대하여 최소대기사이클의 범위에서 상기 반송수단에 의한 상기 제2기판을 포함하는 기판의 순환반송의 개시를 지연시키기 위한 제어수단을 포함한 기판처리장치.
- 제10항에 있어서, 상기 연산수단은, 상기 제1처리를 위한 처리부의 수로부터 상기 제2처리를 위한 처리부를 감하여 포지션차를 구하기 위한 포지션차 연산수단과, 상기 인터럽트한 로트의 순환반송동안의 각 처리부의 처리순위로부터 상기 인터럽트 당한 로트의 순환반송동안의 각 처리부의 처리순위를 감하여 상기 인터럽트 당한 로트와 상기 인터럽트한 로트 양자를 처리하기 위해 사용되는 각 처리부의 처리순위를 산출하기 위한 처리순위차 연산수단과, 상기 처리순위차중 최대값을 구하여서 상기 포지션차와 최대값에 근거하여 최소대기 사이클을 구하기 위한 최대값 연산수단을 포함한 기판처리장치.
- 각각 다른 처리에 의해 처리되는 선행 및 후행기판을 처리하기 위한 기판처리장치에 있어서, 상기 선행 및 후행기판을 처리하기 위한 복수위 처리부와, 상기 선행 및 후행의 기판을 보지하면서 상기 처리부 사이를 순환하기 위한 반송수단과, 상기 반송수단에 의해 상이한 순서로 상기 처리부 사이로 상기 선행 및 후행기판을 반송하여, 상기 선행 및 후행 기판을 각각 상이하게 처리하기 위한 반송제어수단을 구비하고, 상기 반송제어수단은, 상기 선행 및 후행기판간의 간섭이 금지되는 조건하에서, 상기 선행기판내에서 최후로 처리되는 기판의 최초순환으로부터 상기 후행기판내에서 최초로 처리되는 기판의 최초순환까지의 시간동안의 순환반송의 수에 상응하는 최소대기사이클을 산출하기 위한 연산수단과, 상기 선행기판내에서 최후로 처리되는 상기 기판의 반송의 개시후에 상기 후행기판내에서 최초로 처리되어지는 상기 기판의 순환반송의 개시를 지연시켜서 최소대기 사이클을 경과하도록 한 제어수단을 포함한 기판처리장치.
- 제12항에 있어서, 상기 연산수단은, 상기 선행기판의 처리를 위한 기판처리부의 수로부터 상기 후행기판의 처리를 위한 기판처리부의 수를 감하여 각 선행기판에 대한 포지션차를 구하기 위한 포지션차 연산수단과, 상기 선행기판의 순환반송동안의 각 처리부의 처리 순위와 상기 후행기판의 순환 반송 동안의 각 처리부의 처리 순위의 차로서 정의되고 상기선행 및 후행기판 양자를 처리하기 위해 사용되는 각처리부의 처리순위차를 산출하기 위한 처리순위차 연산수단과, 포지션차 및 상기 처리순위차의 최대값에 근거하여 각 선행기판에 대한 상대대기사이클을 구하기 위한 최대값 연산수단과, 순환되어진 상기 선행기판의 순환반송의 수를 상기 상대대기사이클에서 감하여 최소대기사이클을 구하기 위한 상대교정수단과를 구비한 기판처리장치.
- 제1 및 제2기판을 처리하는 방법에 있어서 각각에서 상기 제1 및 제2기판중 적어도 하나를 처리하는 복수의 처리부를 준비하는 스텝과, 상기 제1기판을 수용하는 상기 기판처리부에 의해 상기 제1기판을 처리하는 동안 제1순서로 상기 기판처리부중으로 상기 제1기판을 반송함으로써 제1처리로 상기 제1기판을 처리하는 스텝과, 상기 제2기판을 수용하는 상기 기판 처리부에 의해 상기 제2기판을 처리하는 동안 제2순서로 상기 처리부중으로 상기 제2기판을 반송함으로써 제2처리로 상기 제2기판을 처리하는 스텝을 구비하고, 상기 제1처리와 제2처리간의 간섭이 금지되는 조건하에서, 상기 제1기판의 반송개시후 상기 제1처리의 완료전에 상기 제2기판의 방송이 개시되고 상기 제2순서는 상기 제1순서와 서로 다르게 한 기판처리방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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