JP2006523948A - 半導体ウェハ製造システムにおいてスキャナシステムのタイミング変動を補償するための方法及びシステム - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 少なくともトラックシステム及びスキャナシステムを備えた半導体ウェハ製造システムにおいて、スキャナシステムの公称クロック周期からの偏差について前記製造システムを補償する方法が、
(a)スキャナシステムクロックからの信号に応答して前記スキャナシステムを動作するステップと、
(b)トラックシステムクロックからの信号に応答して前記トラックシステムを動作するステップと、
(c)前記半導体ウェハ製造システムのリソースに対する競合を回避するために必要に応じて待機状態を予め決定して挿入するステップと、
(d)前記スキャナクロックの公称タイミングからの偏差を決定し、そしてこのような偏差を補償するように前記半導体ウェハ製造システムにおいて必要に応じてタイミング遅延を動的に挿入するステップと、
を備えた方法。 - 前記スキャナクロックは、前記半導体ウェハ製造システムに対する少なくとも90ウェハ/時のスループットに等しい繰り返しレートで動作する、請求項1に記載の方法。
- 前記スキャナクロックは、前記半導体ウェハ製造システムに対する少なくとも160ウェハ/時のスループットに等しい繰り返しレートで動作する、請求項1に記載の方法。
- 前記ステップ(c)における各々の前記時間待機の位置及び長さは、前記半導体ウェハ製造システムを少なくとも部分的に制御するコンピュータシステムによって決定される、請求項1に記載の方法。
- 前記半導体ウェハ製造システムは少なくとも2つのロボットステーションを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記半導体ウェハ製造システムは少なくとも3つのロボットステーションを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記半導体ウェハ製造システムは少なくとも4つのロボットステーションを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ステップ(c)及び前記ステップ(d)は、コンピュータシステムにより実行される、請求項1に記載の方法。
- 前記トラックシステムは、前記トラックシステムクロックからの信号に応答して動作し、そして前記スキャナシステムは、前記スキャナシステムクロックからの信号に応答して動作する、請求項1に記載の方法。
- 半導体ウェハ製造システムにおいて、
スキャナシステムクロックからの信号に応答して動作するスキャナシステムと、
トラックシステムクロックからの信号に応答して動作するトラックシステムと、
前記半導体ウェハ製造システム内で少なくとも1つのウェハを移動する手段と、
前記単一クロックの半導体ウェハ製造システムに予め計画された待機状態を挿入して、前記半導体ウェハ製造システムのリソースに対する競合を減少する手段と、
前記スキャナクロックの周期性の乱れを補償するように前記半導体ウェハ製造システムに必要に応じて時間遅延を動的に挿入する手段と、
を備えた半導体ウェハ製造システム。 - 前記スキャナクロックは、前記半導体ウェハ製造システムに対する少なくとも90ウェハ/時のスループットに等しい繰り返しレートで動作する、請求項10に記載の半導体ウェハ製造システム。
- 前記スキャナクロックは、前記半導体ウェハ製造システムに対する少なくとも160ウェハ/時のスループットに等しい繰り返しレートで動作する、請求項10に記載の半導体ウェハ製造システム。
- 前記半導体ウェハ製造システムを少なくとも部分的に制御するコンピュータシステムを更に備えた、請求項10に記載の半導体ウェハ製造システム。
- 時間遅延を動的に挿入する前記手段はコンピュータシステムを含む、請求項10に記載の半導体ウェハ製造システム。
- 前記コンピュータシステムは、少なくとも前記スキャナシステムクロックを発生する、請求項14に記載の半導体ウェハ製造システム。
- 前記移動手段は、少なくとも2つのロボットステーションを含む、請求項10に記載の半導体ウェハ製造システム。
- 前記移動手段は、少なくとも2つのロボットステーションを含む、請求項10に記載の半導体ウェハ製造システム。
- 少なくとも、スキャナシステムクロックからの信号に応答して動作するスキャナシステムと、トラックシステムクロックからの信号に応答して動作するトラックシステムとを備えた半導体ウェハ製造システムを動作するのに使用するため、実行時に、次のステップ、即ち
(a)前記スキャナシステムクロックの公称周期性からの偏差を決定するステップと、
(b)前記偏差を補償するように前記半導体ウェハ製造システムに必要に応じて時間遅延を計算して動的に挿入するステップと、
の少なくとも1つを実行するコンピュータプログラムを記憶するコンピュータ読み取り可能な媒体。 - 前記プログラムは、実行時に、前記半導体ウェハ製造システム内のリソース競合を最小にするために予め計画された待機状態を静的に決定する、請求項18に記載のコンピュータ読み取り可能な媒体。
- 前記プログラムは、実行時に、前記スキャナシステムクロックの公称周期性からの偏差を動的に決定し、そして前記偏差を補償するのに必要な時間遅延を計算する、請求項18に記載のコンピュータ読み取り可能な媒体。
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