KR950029888A - 기판처리장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

제1처리부 사이에서 선행로트의 기판이 반송되어 처리된다. 선행로트의 최초 기판의 순환반송을 시작한 후 선행로트의 최종 기판의 순환반송을 시작하기 전까지 선행로트의 순환반송이 일시정지된다. 이후, 제2처리부 사이에서 후행로트의 기판이 반송되어 처리된다. 그러므로, 선행 및 후행로트의 기판처리가 동시에 처리되어 스루풋을 향상시킨다.

Description

기판처리장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판처리장치의 사시도.

Claims (6)

  1. 복수의 기판으로 각각 형성된 선행 및 후행로트를 처리하기 위한 기판처리장치에 있어서, 상기 선행로트의 기판을 각각 처리하는 복수의 제1처리부와, 상기 후행로트의 기판을 각각 처리하는 복수의 제2처리부와, 상기 제1처리부 사이에서 상기 선행로트의 기판을 유지하면서 순환시켜 상기 선행로트의 기판을 제1처리로 처리하고, 상기 제2처리부 사이에서 상기 후행로트의 기판을 유지하면서 순환시켜 상기 후행로트의 기판을 제2처리로 처리하는 반송수단 및, 상기 선행로트의 최초기판의 순환반송을 시작한 후 상기 선행로트의 최종 기판의 순환반송을 시작하기 전까지 상기 선행로트의 순환반송이 일시 정지되고, 이때 후행로트의 순환반송이 적어도 1회 실행되는 이중 플로우 처리를 실행하기 위해 상기 반송수단을 제어하기 위한 이중 플로우 제어수단을 구비하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 선행로트의 최초 기판의 순환반송을 시작한 후 제1 및 제2처리 사이의 간섭이 금지 되는 조건하에서 제1처리가 종료하기 전까지 상기 선행로트의 순환반송이 시작되는 플렉스 플로우 처리를 실행하기 위해 상기 반송수단을 제어하기 위한 플레스 플로우 제어수단 및, 상기 이중 및 플렉스 플로우 처리중 하나의 플로우 처리를 선택하여 상기 선택된 플로우 처리가 상기기판이 반송되도록 한 선택수단을 더 구비하는 기판처리장치.
  3. 선행 및 후행로트의 기판처리방법에 있어서, 상기 선행로트의 기판을 각각 처리하는 복수의 제1처리부를 준비하는 스텝과, 상기 후행로트의 기판을 각각 처리하는 복수의 제2처리부를 준비하는 스텝과, 상기 제1처리부 사이에서 상기 선행로트의 기판을 반송하면서 상기 제1처리부에서 상기 선행로트의 기판을 처리하는 스텝 및 상기 제2처리부 사이에서 상기 후행로트의 기판을 반송하면서 상기 제2처리부에서 상기 후행로트의 기판을 처리하는 스텝을 구비하고, 상기 선행로트의 최초 기판의 순환반송을 시작한 후 상기 선행로트의 최종 기판의 순환반송을 시작하기 전까지 상기 선행로트의 순환반송이 일시 정지되고, 이때 상기 후행로트의 순환방송이 적어도 1회 실행되는 이중 플로우 처리로 상기 기판이 반송되는 기판처리방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 이중 플로우 처리와, 상기 선행로트의 기판의 순환반송을 시작한 후 제1 및 제2처리 사이의 간섭이 금지되는 조건하에서, 제1처리가 종료하기 전까지 상기 후행로트의 순환반송이 시작되는 플렉스 플로우 처리 중 하나의 플로우 처리를 선택하는 스텝을 더 구비하여, 상기 선택된 플로우 처리로 상기 기판이 반송되도록 한 기판처리방법.
  5. 선행 및 후행로트의 기판처리방법에 있어서, 상기 선행로트의 기판을 각각 처리하는 복수의 제1처리부를 준비하는 스텝과, 상기 후행로트의 기판을 각각 처리하는 복수의 제2처리부를준비하는 스텝과, 상기 제1처리부 사이에서 상기 선행로트의 기판을 처리하면서 상기 제1처리부에서 상기 선행로트의 기판을 처리하는 스텝과, 상기 제2처리부에서 상기 후행로트의 기판을 처리하는데 필요한 제1사이클 시간이 종료되었는가 아닌가를 판정하는 스텝 및, 제1사이클 시간이 종료된 것으로 판정될 때, 상기 선행로트의 기판반송을 일시 정지시키고,이때 상기 제2처리부 사이에서 상기 후행로트의 기판을 반송하면서 상기 제2처리부에서 상기 후행로트의 기판을 처리하는 스텝을 구비하는 기판처리방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제1처리부에서 상기 선행로트의 기판을 처리하는데 필요한 제2사이클 시간이 종료되었는가 아닌가를 판정하는 스텝 및 제2사이클 시간이 종료된 것을 판정될 때, 상기 후행로트의 기판반송을 일시 정지시키고, 이때 상기 제1처리부 사이에서 상기 선행로트의 기판을 반송하면서 상기 제1처리부에서 상기 선행로트의 기판을 처리하는 스텝을 더 구비하는 기판처리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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