KR970077450A - 반도체 공정 관리 방법 - Google Patents
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Abstract
반도체 제조를 위한 반송, 설비 처리 및 제어 단위를 웨이퍼로 설정하여 웨이퍼 별로 공정 관리가 이루어지도록 개선시킨 반도체 공정 관리 방법에 관한 것이다.
본 발명은, 웨이퍼를 로딩하는 로딩부와 로딩되는 웨이퍼에 대하여 특정공정을 수행하는 공정부 및 동작제어용 설비컴퓨터를 구비하는 복수의 공정설비 및 각 공정설비의 설비컴퓨터와 인터페이스되어 명령 및 데이터의 양방향 전송이 이루어지는 호스트 컴퓨터를 구비한 시스템을 이용하여, 호스트 컴퓨터에 웨이퍼 단위별 서로 다른 순서적 공정을 위한 공정명령 프로그램이 내장됨으로써 설비컴퓨터는 호스트 컴퓨터의 고정명령 프로그램을 참조하여 각 부분에서의 로딩과 공정을 동일 캐리어에 포함된 웨이퍼 별로 다르게 수행시키고, 특정 웨이퍼별 공정에 대한 데이터가 호스트 컴퓨터로 전송관리되도록 이루어진다.
따라서, 본 발며에 의하면 운반단위의 수 증가없이 매 웨이퍼별로 서로 다른 공정이 수행되므로, 시스템의 운용이 효율화되어 제품을 생산함에 있어서 생산성을 극대화시킬 수 있는 효과가 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 반도체 공정 관리 방법의 실시예를 나타내는 블록도이다.
Claims (1)
- 외부로부터 이송된 웨이퍼를 로딩하는 로딩부와 로딩되는 웨이퍼에 대하여 특정 공정을 수행하는 공정부 및 상기 각 부분의 동작을 제어하는 설비컴퓨터를 구비하는 복수의 공정설비 및 상기 각 공정설비의 설비컴퓨터와 인터페이스되어 공정명령 및 공정데이터의 양방향 전송이 이루어지는 호스트 컴퓨터를 구비한 시스템을 이용한 반도체 공정관리 방법에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터에 웨이퍼 단위별 서로 다른 순서적 공정을 위한 공정명령 프로그램이 내장됨으로써 상기 설비 컴퓨터는 상기 호스트 컴퓨터의 공정명령 프로그램을 참조하여 상기 로딩부의 로딩과 상기 공정부의 공정을 동일 캐리어로 이송된 웨이퍼 별로 다르게 수행시키고, 상기 특정 웨이퍼별 공정에 대한 데이터가 상기 호스트 컴퓨터로 전송되어 관리됨을 특징으로 하는 반도체 공정 관리방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960016206A KR970077450A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 공정 관리 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960016206A KR970077450A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 공정 관리 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970077450A true KR970077450A (ko) | 1997-12-12 |
Family
ID=66219508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960016206A KR970077450A (ko) | 1996-05-15 | 1996-05-15 | 반도체 공정 관리 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970077450A (ko) |
-
1996
- 1996-05-15 KR KR1019960016206A patent/KR970077450A/ko not_active Application Discontinuation
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