KR950014433B1 - 액티브 매트릭스 기판 검사방법 - Google Patents

액티브 매트릭스 기판 검사방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

액티브 매트릭스 기판 검사방법
제1도는 본 발명의 보기 1에서 액티브 매트릭스 기판을 표시하는 블록도.
제2도는 본 발명의 보기 1에서 주사선 구동회로에서 주사선까지의 주사신호출력과 그리고 검사중 검사선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제3도는 본 발명의 보기 1의 제2도에 주사선의 파손이 발생할때 검사선에서의 출력신호를 설명하는 타입 챠트.
제4도는 본 발명의 보기 l의 제2도에서 고장이 발생할때 검사선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제5도는 데이터선 구동회로에서 아날로그 스위치까지의 신호출력, 검사신호입력에서 검사선까지 그리고 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제6도는 본 발명의 보기 1의 제5도에서 고장이 발생될때 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제7도는 본 발명의 보기 2에서 액티브 매트릭스 기판을 표시하는 블록도.
제8도는 본 발명의 보기 2에서 검사중, 데이터선 구동회로에시 아날로그 스위치까지의 신호출력과, 검사선까지의 검사신호 입력, 그리고 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제9도는 본 발명의 보기 2의 제8도에서 고장이 발생할때 비디오선에서의 출력신호를 섬명하는 타임챠트.
제10도는 본 발명의 보기 3에서 액티브 매트릭스 기판을 표시하는 블록도.
제11도는 본 발명의 보기 3에서, 데이터선 구동회로에서 아날로그 스위치까지의 신호출력, 검사선까지의 검사신호 입력에서 검사선까지, 그리고 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제12도는 본 발명의 보기 3의 제2도에서 고장이 발생할때 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제13도는 본 발명의 보기 4에서 액티브 매트릭스 기판을 표시하는 블록도.
제14도는 본 발명의 보기 4에서, 검사중, 데이터선 구동회로에서 아날로그 스위치까지의 신호출력, 검사선까지의 검사신호입력, 그리고 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제15도는 본 발명의 보기 4의 제14도에서 고정이 발생할때 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제16도는 본 발명의 보기 4의 제14도에서 다른 고장이 발생할때 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제17도는 본 발명의 보기 5에서 액티브 매트릭스 기판을 표시하는 불록도.
제18도는 본 발명의 보기 5에서 검사중, 데이터선 구동회로에서 아날로그 스위치까지의 신호출력, 검사선까지의 검사신호 입력, 그리고 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제19도는 본 발명의 보기 5의 제18도에서 고장이 발생할때 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제20도는 본 발명의 보기 5의 제18도에서 다른 고장이 발생할때 비디오선에서의 출력신호를 설명하는 타임챠트.
제21도는 종래의 액티브 매트릭스 기판을 표시하는 불록도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 화소보 2 : 데이터선 구동회로
2a : 비디오선 3 : 주사선 구동회로
본 발명은 액정표시장치등의 구동회로를 포함하는 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 방법에 관한 것이다.
근년에, 액정표시장치를 위한 액티브 매트릭스 기판은 높은 정확도로 크게 소형화로 구성되었다.
약간의 경우에는, 화소부분의 박막트랜지스터(TFTS), 주사선 구동회로, 그리고 데이터선 구동회로가 1기판상에 형성된다. 액티브 매트릭스 기판에서의 구동회로의 양식은 구동회로가 외부로 설치되는 경우의 이점이 있다.
이 이점은 저생산비를 실현되게 할 수 있고 최적의 피치(pich)에 일치되계 할 수 있고, 그리고 패널모듈사이즈(Panel module size)를 더욱 작게 만들 수 있다.
이러한 장점을 사용하여, 약 1인치(2 54cm)의 사이즈를 가지는 구동회로를 액티브 매트릭스 기판이 포함하는 액정표시장치가 파인더로 상업적으로 이용할 수 있게 되었다. 일반적으로, 액티브 매트릭스 기판에 포함되는 구동회로는 고속으로 동작하기를 요구한다.
예를 들면, 국립텔레비젼 시스템 위원회(NTSC)시스템에서는, 주사선 구동회로는 15.75kHz에 동닥하기를 요구하고, 그리고 약간의 메가헤르츠에 데이터선 구동회로를 요구한다. 그러므로, 비결절성 실리콘보다높은 이동도를 가지는 폴리실리콘 구동회로의 부분을 형성하는 TFT에 사용된다.
제21도는 폴리실리콘 TFT를 사용하는 종래의 액정표시장치를 표시하는 블록도이다.
액정표시장치는화소부(11), 데이터선구동회로(12), 주사선구동회로(13), 카운터전극(표시되지않음)에접속을 위한 공통선, 비디오선(12a), 아날로그 스위치(12b), 그리고 시프트 레지스터(12c)를 포함한다.
그러한 액티브 매트릭스 기판을 구성하는 본보기 방법을 아래에 설명한다.
약 1000Å(100cm)의 두께를 가지는 폴리실리콘 박막은 저압 화학증착법(CVD)에 의해 석영유리기판상에 우선 형성된다. 다음은 Si이온이 폴리실리콘 박막으로 주입되고, 그 폴리실리콘막은 비결정성이 되어 있다.
그 비결정성 폴리실리콘 박막은, 예를 들면 폴리실리콘 박막을 얻을 수 있게 약 100시간동안, 600℃의 온도에서 질소대기에서 열처리된다.
그 폴리실리콘 박막은 패턴되어 부가기억용량을 위한 TFT 채널층과 저전극을 형성한다.
저전극의 저항은 P이온을 주입하는 것에 의해 축소된다. 그후, 약 1000Å(100nm)의 두께를 가진 SiO2게이트 절연막은 약 850℃의 온도로 저압으로 형성된다.
SiO2게이트 절연막의 전 표면상에 약 500Å(500nm)의 두께의 폴리실리콘막이 저압 CVD에 의해 형성된다. 폴리실리콘막의 저항은 N+폴리실리콘이 약 850℃의 온도로 증착된후, 확산에 의해 축소된다. 그리고나서, 폴리실리콘막은 패턴되어, 부가의 기억용량과 거기의 배선을 위해 게이트전극, 주사선, 그리고 상부전극을 형성한다.
P이온 주입에 의해 N+ 소스와 드레인영역 형성후, SiO2층 절연막은 증착되어 대기압 CVD에 의해7000Å(700nm)의 두께를 가진다.
그리고나서, 콘택트홀이 형성되고, 그리고 A1이 스퍼터링에 의해 증착된다. 패터닝이 실행되어 데이터선을 형성한다.
다음은 SiO 절연막이 패턴이 프라스마 CVD에 의해 형성되었던 기판의 정상표면상에 완전히 증착된 후드레인에 의해 화소전극의 접촉을 위해 홀이 형성된다.
인듐주석산화물은 증착되어 스퍼터링에 의해 1000Å(100nm)의 두께를 가지고, 그리고나서, 패터닝이 실행되어 화소전극을 형성한다.
상기 공정에 있어서, 주사선 구동회로와 데이터선 구동회로와 같은 CMOS 주변회로는 동시에 형성된다. 액정표시장치는 그 사이에 삽입되는 액정층과 서로 대항하여 위치하는 카운터 기판과 이리하여 구성된 액티브 매트릭스 기판을 사용하는 것에 의해 조립된다. 액정표시장치가 조립되어 실제로 구동될 수 있는 후, 액티브 매트릭스 기판을 광학적으로 용이하게 검사될 수 있다. 그러나, 조립체인 액티브 매트릭스 기판이 고장인 것이 입증되면, 작은 사이즈의 패널에서 그 고장을 보정하는 것은 매우 어렵다.
더욱, 카운터기판과 액티브 매토릭스 기판의 조립과정은 무위하게 된다. 그래서, TFT등이 형성된 후 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 것이 요구된다. 이 욕구를 충족하기 위해, 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 종래의 방법에서는, 바늘과 같은 탐침이 신호선과 직접 접촉되어 그리고 신호선사이의 도전상태가 첵크된다. 양자택일적으로, 비접촉검사방법 또는 검사회로가 기판상에 제공되는 검사방법이 있어왔다.
그러한 종래의 검사방법의 보기들은 일본 특허공개 57-38498호와 60-2989에 발표되었다.
그러나, 바늘과 같은 탐침이 직접 접촉되는 검사방법에 의해서는, 작은 사이즈와 높은 정확도로 형성되는 액티브 매트릭스 기판의 각 화소부와 사이즈에서 작기 때문에, 검사의 결과로서 화소가 손상되거나 또는 선의 또다른 파손이 발생한다는 문제가 발생하였다.
비접촉 검사방법에 의해서는, 검사되는 부분이 많을 수록 사이즈가 작으므로, 고속으로 모든 부분을 확실하게 검사하는 것은 항상 용이하지 않다는 문제가 발생하였다. 검사회로가 기판상에 제공되는 검사방법에 의해서는, 검사회로 그 자체가 접속의 고장트렌지스터등에 기인하는 고장이 있으므로, 검사는 확실하게 실행될 수 없는 문제가 발생하였다.
본 발명에 의한 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 방법에 있어, 액티브 매트릭스 기판은 매트릭스로 배열되는 복수의 화소, 그 화소부를 구동하는 복수의 주사선과 데이터선, 그리고 하나이상의 비디오선을 가지는구동회로를 가지는 화소부를 포함하는 타입의 것이고, 복수의 데이터선의 각 1단부는 비디오선중의 하나에 접속되고, 그 방법은 1이상의 검사선을 제공하고, 복수의 데이터선의 각 다른 단부는 검사선중의 하나에 접속되고, 동작중에 구동회로와 각 검사선에 검사신호를 적용하고, 그리고 검사신호에 의한 각 비디오선 또는 신호출력중의 적어도 하나에 의거하여, 복수의 데이터선과 구동회로를 검사하는 스텝을 포함한다. 본 발명의 또다른 실시예에서는, 매트릭스로 배열되는 복수의 화소를 가지는 화소부를 포함하는 타이프의 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 방법, 그리고 복수의 주사선의 각 1단부는 구동회로에 접속되어, 화소부를 구동하는 복수의 주사선과 데이터선은, 1이상의 검사선을 제공하고, 복수의 주사선의 각 다른 탄부는 검사선중 하나에 접속되고, 구동회로를 동작하여 복수의 주사선의 각각에 주사펄스를 적용하고, 그리고 주사펄스에 의한 각 검사선 또는 거기에서 출력되는 적어도 하나의 신호에 의거하여 복수의 주사선과 구동회로를 검사하는 스텝을 포함한다.
이리하여 여기에서 설명되는 본 발명은 액터브 매트릭스 기판이 용이하고 확실하게 검사될 수 있는 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 방법을 제공하는 이점을 가능하게 한다. 본 발명의 이러한 이점은 첨부도면을 참조하여 다음의 상세한 설명을 읽고 이해하는 기술에 익숙한 사람에게는 명백하게 된다.
[실시예]
(보기1)
제1도는 보기 1에서 검사될 액티브 매트릭스 기판을 표시한다.
액티브 매트릭스 기판은 화소부(l), 기판상에 형성되는 데이터선 구동회로(2) 그리고 주사선 구동회로(3)을 포함한다. 화소부(1)에서는, 액티브 매트릭스 기판에서 화소(la)의 복수의 화소전극과, 각 화소전극에 전압의 인가를 제어하는 복수의 TFT1b가 있다.
매트릭스로 배열되는 복수의 TFT1b는 복수의 데이터선 Xj(j=1,2,3,…) 그리고 복수의 주사선 Yi(i=1,2,3,…)의 교차점에 접속된다.
공통선(1d)은 카운터 전극(표시되지 않음)에 접속하기 위해 제공되고 그리고 1c는 부가기억용량이다. 데이터선 구동회로(2)는 소정타이밍에 따라 비디오선(2a)에 화소부(1)에서의 데이터선 Xj의 적어도 하나의전기접속을 제어하는 회로이다.
특히, 각 데이터선 Xj는 대응하는 아날로그 스위치(2b)를 경유하여 비디오선(2a)에 접속된다. 아날로그스위치(2b)는 순차적으로 턴온되고, 시프트 레지스터(2c)의 출력신호에 의거하여, 대응하는 데이터선 Xj는비디오선(2a)에 순차, 전기적으로 접속된다. 비디오선(2a)의 한단부에, 비디오 신호입력 터미널(Q)가 제공된다. 주사선 구동회로(3)는 각 주사선 Yi에 주사신호를 출력하는 회로이다.
특히, 시프트 레지스터에 의해 구성되는 주사선 구동회로(3)의 출력터미널은 각 주사선 Yi에 접속된다. 이것은 주사신호가 대응하는 주사선 Yi에 순차적으로 출력되는 것을 뜻한다.
주사신호가 주사선 Yi중의 하나에 출력될때, 화소부의 주사선 Yi에 접속되는 모든 TFT1b는 턴온이 된다.
결과로서, 온상태 TFT1b에 접속되는 화소(1a)의 화소전극은 각각 온상태 TFT1b에 접속되는 대응하는 데이터선 Xj에 전기적으로 접속된다. 주사선 Yi중 하나는 주사선 구동회로(3)에 의해 순차척으로 선택되고, 그리고 그 데이터선 구동회로(2)는 비디오신호를 비디오선(2a)를 통하여 선택된 주사선 Yi에 대응하는각 데이터선 Xi에 보내고, 그것에 의해 액정표시장치의 액티브 표시동작을 실행한다.
다른 단부가 데이터선 구동회로(2)에 접속되는 데이터선Xj의 한단부에, 2개의 데이터신호 검사선(4a와4b)이 형성된다. 데이터선 Xj는 데이터신호 검사선(4a와 4b)에 선택적으로 접속된다. 데이터신호 검사선(4a와 4b)의 단부에, 검사신호 입력터미널(S1과 S2)가 각각 제공된다.
다른 단부가 주사구동회로(3)에 접속되는 주사선 Yj의 한단부에, 2개의 주사신호 검사선(5a와 5b)가 형성된다. 주사선 Yj은 주사신호 검사선(5a와 5b)에 선택적으로 접속된다. 주사신호 검사선(5a와 5b)의 단부에, 검사신호 출력터미널(G1와 G2)가 각각 제공된다. 주사신호를 검사할때, 검사신호 출력터미널(G1과G2)에서의 출력은 주사선 구동회로(3)가 동작하고 있는 상태하에서 감시된다.
제2도는 주사선 Yj에 순차적으로 출력되는 주사신호의 파형과 검사신호 출력터미널(G1과 G2)에서의 신호출력의 파형을 표시된다.
주사선 구동회로(3)가 적당하게 주사신호를 출력하고 그리고 파괴 또는 누전이 주사선 Yj에 발생하지 않는 경우에는, 펄스와 같은 검사신호가 제2도에 표시된 것과 같이, 검사신호 출력터미널(G1과 G2)에서 번갈아 출력된다. 그러한 경우에는, 검사신호 출력터미널(G1과 G2)에서 출력되는 전압은 매우 작다.
그러나 전압은 검출하기 위해서는 충분한, 예를 들면 주사선 구동회로(3)에서의 주사신호 전압은 15V되게 추정되고, 검사신호 출력 터미널(G1과 G2)에서 출력되는 전압은 약 50mV이다. (480주사선이 제공되는경우).
한편, 주사선 Y3의 파손이 발생할때, 예를 들면, 제3도에 표시되는 이상 파형을 가지는 검사신호는 검사신호 출력 터미널(G1)에서 출력된다.
주사선 구동회로(3)의 고장이 High레벨에 항상 주사선 Y3을 있게하는 또다른 경우에 있어 검사 신호출력 터미널 G1에서 출력되는 검사신호는 제4도에 표시되고 이상으로 입증되는 것과 같이, 항상 High레벨이 된다.
상기와 같이 검사신호 출력 터미널 G1과 G2에서의 검사신호를 감시함으로서 주사선 Yj와 주사선 구동회로 3의 고장은 검출될 수가 있다.
제5도는 시프트레지스터 2C의 각 터미널 XXj에서 출력되는 신호의 파형, 검사신호 입력 터미널 S1와S2에 입력되는 검사신호의 파형, 그리고 비디오 신호 입력 터미널 Q에서 출력되는 신호의 파형을 표시한다.
데이터 신호를 검사할때, 검사신호는 검사신호 입력 터미널 S1과 S2에 입력되고 그리고 비디오 신호 입력터미널 Q의 출력은 데이터선 구동회로 2가 동작하고 있는 상태하에서 감시된다.
제5도에 표시된 것과 같이 펄스 신호는 시프트레지스터 2C의 각 터미널 XXj에서 순차적으로 출력되고, 그리고 데이터선 Xj는 비디오선 2a에 순차적으로 접속된다. 펄스와 같은 검사신호는 검사신호 입력터미널S1과 S2에 번갈아 입럭된다.
데이터선 구동회로가 적당하게 동작하고 그리고 파손 또는 누전이 데이터선 Xj에 발생하지 않는 경우에, 펄스와 같은 신호가 제5도에 표시된 것과 같이, 비디오 신호 입력 터미널 Q에서 출력된다.
한편, 예를 들면 신호가 시프트레지스터 2C의 제3터미널 XX3에서 적당하게 출력되지 않는 경우에서는신호에 의해 제어되는 아날로그 스위치 2b는 턴온되지 않는다. 결과로서, 비디오 신호 입력터미널 Q에서의 출력신호는 제6도에 표시된 것과 같이 이상파형을 가진다.
상기와 같이 비디오 신호 입력터미널 Q에서의 출력을 강시함으로서, 데이터선 Xj와 데이터 라인 구동회로 2의 고장은 검출될 수 있다.
상기와 같이 액티브 메트릭스 기판에서의 고장은 용이하게 검출될 수 있다.
고장이 액티브 매트릭스 기판의 검사에서 발견될때, 그 고장은 가능하면 레이저 등을 사용하여 보정된다.
검사 결과로서 좋은것이라고 인증되는 액티브 매트릭스 기판을 참작하여, 액티브 매트릭스 기판은 조립 공정에 보내어 진다.
조립 공정에 있어서, 액정표시장치는 액티브 매트릭스 기판이 그곳 사이에 삽입되는 액정층과 카운터 전극에 대향하는 그러한 방법으로 조립된다.
그리고 나서 캇틴공정에서 데이터 신호 검사선 4a와 4b는 데이터 라인 Xj에서 캇트되어, 데이터 신호검사선 4a와 4b는 제거된다.
또한 주사신호 검사선 5a와 5b는 주사선 Yj에서 캇트되어 주사신호 검사선 5a와 5b는 제거된다.
(보기2)
본 발명의 보기 2는 제7도에서 제9도까지를 참조하여 설명된다.
이 보기에서 2개의 비디오선 2a1과 2a2가 제7도에 표시된것 것과 같이 액티브 매트릭스 기판상에 제공된다.
데이터선 Xj는 공통으로 데이터 신호 검사선 4에 접속된다. 데이터선 구동회로 2가 동작하고 있는 상태하에서 검사신호는 검사신호 입력 터미널 S에 입력되어, 그리고나서 비디오 선 2a1과 2a2의 비디오신호 입력더미널 Q1과 Q2에서 출력한다. 제8도에 표시된 것과 같이 펄스신호는 시프트레지스터 2C의 각 터미널XXj에서 순차적으로 출력되고 그리고 펄스 같은 검사신호가 검사신호 입력 터미널 S에 입력된다. 데이터라인 구동회로 2가 적당하게 동작하고 그리고 파손 또는 누전이 데이터선 Xj에 발생되지 않는 경우에는 펄스 신호는 제8도에 표시된 것과 같이 비디오 신호 입력터미널 Q1과 Q2에서 출력된다.
한편, 예를 들면 신호가 시프트레지스터 2C의 제3터미널 XX3에서 적당하게 출력되지 않고 대응하는 아날로그 스위치 2b가 턴온이 되지 않고 또는 데이터선 X3의 파손이 발생하는 경우에서는 비디오 신호 입력터미널 Q1의 출력신호는 제9도에 표시되는 것과 같이 이상 파형을 가진다.
이 보기에 있어서 2개의 비디오신호선 2a1과 2a2가 제어되어 인접 데이터선 Xj는 단일 데이터신호 검사선 4에 의해 확실하게 따로따로 검사될 수 있다.
보기 2와 상기 보기에 있어, 주사신호의 검사는 보기 1에서와 같은 방법으로 실행될 수 있다.
(보기3)
본 발명은 보기 3은 제10∼제12도를 참조하여 설명한다. 2개의 비디오선 2a1과 2a2가 액티브 매트릭스기판상에 제공된다. 보기 1에서와 같이 데이터 Xj는 2개의 데이터 신호 검사선 4a와 4b에 번갈아 접속된다.
제11도에 표시된 것과 같이 데이터선 구동회로 2가 동작하고 있는 상태하에서 검사펄스 신호는 2개의 검시신호 입력터미널 S1와 S2에 각각 입력된다. 데이터선 구동회로 2가 적당하게 동작하고 그리고 파손과 누전이 데이더선 시에서 발생되지 않는 경우에는 바람직한 파형을 가지는 펄스 신호는 제11도에 표시된 것과같이 비디오 신호 입력 터미널 Q1과 Q2에서 출력된다.
예를 들면 신호가 시프트레지스터 2C의 터미널 XX3에서 적당하게 출력되지 않고, 대응하는 아날로그 스위치 2b가 턴온되지 않고 또는 데이터선 X3의 파손이 발생하는 또다른 경우에는 비디오 신호 입력터미널Q1에서 출력되는 신호는 제12도에 표시된 것과 같이 이상 파형을 가진다.
따라서 이 보기에서는 인접 데이터선 Xj는 확실하게 분리되어 검출될 수 있다.
(보기4)
본 발명의 보기 4는 제13도∼제16도를 참조하여 설명한다. 이 보기에는 제13도에 표시된 것과 같이 3개 비디오선 2a1,2a2,2a3이 액티브 매트릭스 기판상에 제공된다.
보기 2에서와 같이 데이터라인 Xj는 공통으로 데이터신호 검사선 4에 접속된다.
제14도에 표시된 것과 같이 데이터선 구동회로 2는 동작하고 있는 상태하에서 검사 펄스 신호는 검사신호입력 터미널 S에 입력된다. 데이터선 구동회로 2가 적당하게 동작하고 그리고 파손 또는 누전이 데이터선Xj에서 발생하지 않는 경우에는 제14도에 표시된 것과 같이 3개 비디오 신호 입력터미널 Q1,Q2,Q3에서 각각 출력된다.
예를 들면, 신호가 시프트레지스터 2C의 제4터미널 XX4에서 적당하게 출력되지 않고, 대응하는 아날로그 스위치 2b는 턴온되지 않고, 또는 데이터선 X4의 파손이 발생하는 또다른 경우에는 비디오 신호 입력터미널 Q1에서 출력되는 신호는 제15도에 표시된 것과 같이 이상 파형을 가진다. 시프트레지스터 2C의 제4X터미널 XX4에 출력되는 신호가 항상 High레벨에 있을 때 또는 제4아날로그 스위치 2b가 항상 온 상태에있을때, 비디오 신호 입력 터미널 Q1의 출력신호의 파형은 제16도에 표시되고, 이상인 것을 입증되는 것과같이 검사 신호 입력터미널 S에 입력되는 검사신호의 것과 같다. 따라서, 이 보기에서는 인접 데이터선 Xj는 확실하게 따로따로 검사될 수 있다.
(보기5)
본 발명의 보기 5는 제17도∼제20도를 참조하여 설명한다. 이 보기에서는 3개 비디오선 2a1,2a2,2a3이 제17도에 표시된 것과 같이 액티브 매트릭스 기판상에 제공된다.
보기 1에서와 같이 데이터선 Xj는 2개 데이터신호 검사선 4a와 4b에 번갈아 접속된다.
제18도에 표시된 것과 같이 데이터선 구동회로 2가 동작하고 있는 상태하에서 바람직한 파형을 가지는 검사펄스 신호는 2개 검사신호 입력 터미널 S1과 S2에 입력된다.
데이터선 구동회로 2가 적당하게 동작하고 그러고 파손 또 누전이 데이더선 Xj에 발생하지 않는 경우에는 펄스 신호는 제18도에 표시된 것과 같이 3개 비디오 신호 입력 터미널 Q1,Q2,Q3에서 출력된다.
예를 들면, 신호가 시프트레지스터 2C의 제4터미널 XX4에서 적당하게 출력되지 않고, 대응하는 아날로그 스위치 2b가 턴온이 되지않고 또는 데이터선 X4의 파손이 발생하는 다른 경우에는 비디오 신호 입력 터미널 Q1의 출력신호는 제19도에 표시된 것과 같이 이상파형을 가진다.
시프트레지스터 2C의 제4더미닐 XX4에서의 신호 출력은 항상 High레벨에 있을때 또는 제4아날로그 스위치 2b가 항상 온상태에 있을때 비디오 신호입력 터미널 Q1의 출력신호의 파형은 제20도에 표시되고, 이상인 것이 인증되는 것과 같이 검사신호 입력 터미널 S1에 입력되는 검사신호의 것과 같다.
따라서, 이 보기에서 인접데이터선 Xj는 확실하고 따로 따로 검사될 수 있다.
상기 보기에 있어, 데이터신호와 주사신호 검사선은 데이터선 또는 주사선의 형성과 같은 방법으로 폴리실리콘막 또는 A1막은 패터닝하는 것에 의해 형성될 수 있다. 데이터신호 검사중, 데이터선 구동회로는 동작하기 위해 만들어진다. 검사신호는 검사선에 보내어지고 그리고 데이터선 구동회로와 데이터선은 비디오선에서 출력되는 신호에 의거하여 검사된다.
특히, 데이터선 구동회로는 각 데이터선이 비디오선에 순차적으로 접속되도록 소정 타이밍에 의해 아날로그 스위치를 턴온·오프한다.
결과로서, 입력검사 신호에 의거하는 신호는 비디오선에서 출력된다. 데이터선 구동회로가 적당히 아날로그 스위치를 턴온·오프할 수 없거나 또는 어떤 데이터라인에 파손 또는 누전이 발생하면, 비디오선에서 출력되는 신호는 이상파형을 가진다. 그러므로, 액티브 매트릭스 기판의 고장이 발견될 수 있다. 데이터선의근접한 것을 통하여 복수의 비디오선이 데이터선에 빈갈아 접속되거나 또는 2개 데이터 신호 검사선이 데이터선에 번갈아 접속되기 때문에, 다른 검사신호가 공급된다.
따라서 데이터선의 인접하는 것은 용이한 방법으로 따로따로 검사될 수 있다. 주사신호 검사시, 주사선구동회로의 동작하기 위해 만들어진다. 주사선 구동회로는 각 주사선에 주사신호를 보낸다. 주사신호는 주사선에 번갈아 접속되는 2개 검사선에서 순차적으로 출력된다.
주사선 구동회로가 주사신호를 적당하게 생성하지 않거나 또는 파선 또는 누전이 어느 주사선에서 발생하면 검사선에서 출력되는 주사신호는 이상파형을 가진다. 그러므로 액티브 매트릭스 기판의 고장은 발견될수 있다. 주사선의 인접한 것을 통하여 공급되는 주사신호는 2개 틀린 검사선에서 출력된다.
따라서, 주사선의 인접한 것은 용이한 방법으로 따로따로 검사될 수 있다.
검사후, 데이터선과 주사선에 접속되는 검사선은 검사후 예를 들면 카운터 기판과 액티브 매트릭스 기판을 결합한 후 기계적인 캇틴 공정으로 제거된다.
그러므로, 검사에서 복수의 데이터선 또는 주사선은 1 또는 2개의 검사선에 의해 용이하게 검사될 수 있고, 검사후 검사선은 이러한 데이터선 또는 주사선에서 확실하게 분리된다.
상기와 같이 본 발명의 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 방법에 의해 복수 출력을 가지는 각 주사선 구동회로 또는 데이터선 구동회로의 고장복수의 데이터선 또는 주사선등에서의 고장은 1 또는 2개의 검사선을사용하여 용이하고 확실하게 검사될 수 있다.
각종 다른 변형은 이 발명의 범위와 정신에서 이탈함이 없이 기술에 익숙한 사람에게는 명백하고 그리고그들에 의해 즉시 만들어질 수 있다.
따라서, 여기에 첨부되는 청구범위의 범위는 상기 설명에 제한되는 것을 의도되지 않고 오히려 청구범위는 넓게 해석된다.

Claims (2)

  1. 매트릭스로 배열되는 복수의 화소를 가지는 화소부와, 상기 화소부를 구동하는 복수의 주사선과 데이터선, 그리고 하나 또는 그 이상의 비디오선을 가지는 구동회로와, 상기 비디오선 중 하나에 접속되는 상기복수의 데이터선의 각 한단부를 포함하는 형의 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 방법에 있어, 상기 방법은, 1 또는 그 이상의 검사선을 제공하고, 상기 복수의 데이터선의 각 다른 단부는 상기 검사선 중 하나에접속되고, 동작하는 상기 구동회로 각 상기 검사선에 검사 신호를 적용하고, 상기 검사신호에 의해 각 상기비디오선 또는 거기에서 출력되는 신호중 적어도 하나에 의거하여 상기 구동회로와 상기 복수의 데이터선을 검사하는 스텝을 가지는 액티브 매트릭스 기판는 검사하는 방법.
  2. 매트릭스로 배열되는 복수의 화소를 가지는 화소부와, 그리고 상기 화소부를 구동하는 복수의 주사선과 데이터선, 구동회로에 접속되는 상기 복수의 주사선의 각 한단부를 포함하는 형의 액티브 메트릭스 기판을 검사하는 방법에서, 상기 방법은, 1 또는 그 이상의 검사선을 제공하고, 상기 복수의 주사선의 각 다른단부는 상기 검사선 중 하나에 접속되고, 상기 구동회로를 동작하는 것에 의해 상기 복수의 주사선의 각각에 주사펄스를 적용하고, 상기 주사펄스에 의해 각 상기 검사선 또는 거기에서 출력되는 신호들 중 적어도하나에 의거하여, 상기 구동회로와 상기 복수의 주사선을 검사하는 스텝을 가지는 액티브 매트릭스 기판을 검사하는 방법.
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