KR950014015A - 피처리물의 산화방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고농도의 오존을 생성함으로써 처리스피드가 빠른 피처리물의 산화방법에 관한 것으로서, 크세논가스를 봉입한 유전체 배리어 방전램프(100)로부터 방사되는 진공자외광을 산소를 함유한 유체에 조사함으로서 광하학 반응에 의해 오존과 활성산화성 분해물을 생성시키고, 이 오존과 활성산화성 분해물을 피처리물(9)의 표면에 접촉시킴으로서 피처리물(9)의 표면을 산화시키는 것을 특징으로 한다.
원자외광 광원을 병용함으로서 이러한 방사광에 의해서도 활성산화성 분해물을 생성시키고, 또 그 활성도를 높임으로서 처리속도를 보다 더 높임으로서 처리속도를 보다 더 높일 수 있는 것이다.

Description

피처리물의 산화방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (11)

  1. 크세논가스를 봉입한 유전체 배리어 방전램프로 부터 방사되는 진공자외광을 산소를 함유한 유체에 조사시켜서 광화학반응에 의해 오존 및 활성산화성 분해물을 생성시키고, 이 오존 및 활성산화성 분해물을 피처리물에 접촉시켜서 산화시키는 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  2. 크세논가스를 봉입한 유전체 배리어 방전램프로 부터 방사되는 진공자외광을 산소를 함유한 유체에 조사시켜서 광화학반응에 의해 오존 및 활성산화성 분해물을 생성시키고, 이 오존 및 활성산화성 분해물을 피처리물에 접촉시켜서 산화시킴과 동시에, 상기 진공자외광을 상기 피처리물에도 조사시키고, 이들 협동작용에 의해 상기 피처리물을 산화시키는 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  3. 크세논가스를 봉입한 유전체 배리어 방전램프로 부터 방사되는 진공자외광을 산소를 함유한 유체에 조사시켜서 광화학반응에 의해 오존 및 활성산화성 분해물을 생성시키고, 이 오존 및 활성산화성 분배물에 원자외광을 조사시켜서 활성도를 높이고, 상기 활성도가 높아진 오존 및 활성산화성 분해물을 피처리물에 접촉시켜서 산화시키는 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  4. 크세논가스를 봉입한 유전체 배리어 방전램프로 부터 방사되는 진공자외광과, 원자외광 광원으로 부터 방사되는 원자외광을 산소를 함유한 유체에 동시에 조삿시키고, 광화학반응에 의해 오존 및 활성 산화성 분해물을 생성시키고, 이 오존 및 활성산화성 분해물을 피처리물에 접촉시켜서 산화시키는 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 피처리물을 산화시킬때 상기 피처리물이 진공자외광 혹은 원자외광의 적어도 한쪽의 조사를 받는 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  6. 제3항 내지 제5항의 어느 한항에 있어서, 원자외광 광원은 고압수은램프, 저압수은램프, 클립톤 불소 엑시머 램프 혹은 클립톤 불소 엑시머 레이저인 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  7. 제2항에 있어서, 유전체 배리어 방전램프와 피처리물 사이에 산소를 함유하는 유테를 존재시키고, 상기 램프로 부터 방사되는 진공 자외광의 상기 유체에 대한 투과최단거리 d(cm)으로 하고, 또 상기 유체의 산소분압을 p(기압)으로 했을때 dXp가 0.6보다 작게 규정된것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  8. 제1항 내지 제7항의 어느 한항에 있어서, 피처리물을 산화시킬 때 피처리물의 표층 또는 상기 피처리물의 산화물이 기체로서 상기 피처리물로 부터 제거되도록 산화시키는 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  9. 제1항 내지 제8항의 어느 한항에 있어서, 유전체 배리어 방전램의 형상이 이중원통형 혹은 평면형인 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  10. 제9항에 있어서 유전체 배리어 방전램프이 진공자외광의 취출부는 합성석영유리, 사파이어, 알카리금속 할라이드 혹은 알카리토류금속 할라이드 중에서 선택된 1종의 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
  11. 크세논가스를 봉입한 유전체 배리어 방전램프로 부터 방사되는 진공자외광과, 원자외광 광원으로부터 방사되는 원자외광을 산소를 함유한 유체에 조사하여 광화학반응에 의해 오존 및 활성산화성 분해물을 생성시키고, 이 오존 및 활성산화성 분해물을 피처리물에 접촉시킴과 동시에 상기 양 자외광을 상기 피처리물에도 조사시키고, 이들의 협동작용에 의해 상기 피처리물을 산화시킬 때, 상기 피처리물 의 표면에 있어서의 원자외광 광원과의 사이에 광흡수가 없을때의 원자외광의 방사조도를 1(mW/cm2)로 하고, 유전체 배리어 방전 램프와 상기 피처리물 사이에 존재하는 산소를 함유한 유체에 대해 상기 램프로 부터 방사되는 진공자외광의 투과최단거리를 d(cm), 산소분압을 p(기압)라 했을때, (pXd)/(1+I1/2)의 값을 0.33보다 작게 규정하여 이루어진 것을 특징으로 하는 피처리물의 산화방법.
    ※참고사항:최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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