KR940027043A - 혼합가스 공급장치 - Google Patents

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Abstract

제1MFC(10) 및 제2MFC(10A)는 각각 실란가스 또는 불활성 가스 따위의 반도체용 가스 또는 그밖의 다른 희석가스를 혼합실(13)로 이송하는 실란가스 이송관(5) 및 불활성 가스 또는 다른 희석가스 이송관(19)에 배치된다. 혼합실(13)에서 나온 혼합가스의 압력 에너지를 해제하고 다수의 반도체 제조유니트(4) 각각에 그 혼합가스를 각각 공급하는 버퍼탱크(21)가 제공된다. 제1MFC(10) 및 제2MFC(10A)는 버퍼탱크(21)내에 저장된 혼합가수의 압력값의 증가 또는 감소에 따라 개방되거나 폐쇄됨으로써 실란가스 및 불활성 가스 또는 희석가스의 이송을 중단시키거나 중단된 이송공정을 다시 시작하게 된다.

Description

혼합가스 공급장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 혼합가스 공급장치의 일실시예의 구성도, 제2도는 본 발명에 따른 혼합가스 공급장치내의 혼합기의 내부구조 예시도, 제3도는 제2도에 대응하는 본 발명에 따른 혼합가스 공급장치의 또다른 실시예의 개략도.

Claims (5)

  1. 다수의 가스가 각각 흐르는 다수의 가스관 수단과, 상기 가스를 상기 다수의 가스관 수단으로 각각 자동적으로 이송하는 다수의 유량제어수단과, 상기 다수의 가스관 수단에서 나온 복수의 가스를 혼합하여 혼합가수를 만드는 혼합수단과, 혼합수단에서 나온 혼합가스의 압력 에너지를 해제하고 다수의 소모수단에 상기 혼합가스를 공급하는 버퍼수단으로 구성되고, 상기 다수의 유량제어수단은 상기 버퍼수단내에 저장된 혼합가스의 압력값의 변화에 기초하여 개방되거나 폐쇄됨으로써, 복수의 가스의 다수의 소모수단으로의 이송을 중단하거나 다시 시작하는 것을 특징으로 하는 혼합가스 공급장치.
  2. 제1항에 있어서, 다수의 소모수단은 적어도 하나의 반도체 제조수단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 혼합가스 공급장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 가스의 유량을 측정하는 유량계가 상기 다수의 가스관 수단 각각에 배치되고, 상기 유량계와 유량제어수단의 검출값이 일치하지 않는 경우 또다른 혼합가스가 별도로 제공되어 다수의 상기 반도체 제조수단에 각각 공급되는 것을 특징으로 하는 혼합가스 공급장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 복수의 가스 중 적어도 하나는 불활성 가스 또는 수소가스이고, 이 불활성 가스 또는 수소가스는 증발수단에 의해 별도의 저장탱크내의 액화가스를 증발시키거나 고압의 가스의 압력을 감소시킴으로써 만들어지고, 증발수단 또는 압력감소수단으로부터 가스관 수단을 통해 혼합수단내로 흐르게 되는 것을 특징으로 하는 혼합가스 공급장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 복수의 가스 중 적어도 하나는 질소가스이고, 이 질소가스는 증발수단에 의해 별도의 저장탱크내의 액체질소를 증발시킴으로써 만들어지고, 증발수단으로부터 가스관 수단을 통해 혼합수단내로 흐르게 되는 것을 특징으로 하는 혼합가스 공급장치.
    ※ 참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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