JP2005262079A - 混合ガス供給装置の運転制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 ガス使用量に応じた供給量の切替えが可能で、短時間での大流量供給が可能な混合ガス供給装置の運転制御方法を提供
【解決手段】 通常運転用と予備運転用の複数の混合ガス供給ラインと、この供給ラインからの混合ガスを蓄圧するバッファータンクと、このバッファータンク内の圧力を検出する圧力計とを備え、圧力計で検出した圧力に応じて複数の混合ガス供給ラインの開閉制御を行う混合ガス供給装置の運転制御方法であって、バッファータンク内の圧力が、下限設定値以下になると通常運転用混合ガス供給ラインを開放（Ｓ１０１）させ、バッファータンク内の圧力が、緊急下限設定値以下になると通常運転用及び予備運転用混合ガス供給ラインを開放（Ｓ１０３）させ、バッファータンク内の圧力が、上限設定値以上になるとこれらの混合ガス供給ラインを閉止（Ｓ１０２）させ、これらの設定値の圧力が、緊急下限設定値＜下限設定値＜上限設定値の関係にある。
【選択図】 図２

Description

本発明は、混合ガス供給装置の運転制御方法に関するものであり、特に、複数の混合ガス供給ラインを備えた混合ガス供給装置の運転制御方法に関するものである。

従来より、複数種類の単一成分ガスを所定の割合で混合した混合ガスとして、例えば、酸素と窒素とを大気と略同等の割合になるように混合した合成空気が、病院で用いられており、複数の特殊な成分を含む雰囲気ガスが、溶接や浸炭等の金属処理に用いられている。

このような混合ガスを供給する装置として、混合ガスの組成に異常が発生した時は、直ちに混合ガスの製造を中止できるとともに、バッファータンク内の混合ガスをそのまま継続して使用できるようにした混合ガス供給装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

この混合ガス供給装置を含め、実際に現場で使用する混合ガス供給装置にあっては、通常使用する通常運転用混合ガス供給ラインと、この通常運転用混合ガス供給ラインが故障した際に切替えて使用する予備運転用混合ガス供給ラインとを備えているのが、一般的である。

そして、この一般的な混合ガス供給装置にあっては、制御の簡易さとメンテナンスの観点から、通常運転用混合ガス供給ラインと予備運転用混合ガス供給ラインとを、各々単独にいずれか一方のラインを運転させるのが常である。
特開平９−２７１６５７号公報

しかしながら、上述したようないずれか一方のラインの単独運転では、短時間で大流量の供給を必要とする際、例えば、病院内にて大流量の混合ガスを消費する設備（具体例として、高気圧酸素治療室）において合成空気を使用する際には、いずれか一方のラインのみからの供給では流量が追いつかず、ボンベ供給ラインに切替えて使用しなければならないという問題があった。

また、このいずれか一方のラインの単独運転のまま大流量供給を行おうとすれば、各混合ガス供給ラインの供給可能流量を増やさなければならず、コスト増大の問題があった。

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み、ガス使用量に応じた供給量の切替えが可能で、短時間での大流量供給が可能な混合ガス供給装置の運転制御方法を提供することを目的とする。

かかる課題を解決するため、
請求項１にかかる発明は、通常運転用と予備運転用の複数の混合ガス供給ラインと、この供給ラインからの混合ガスを蓄圧するバッファータンクと、このバッファータンク内の圧力を検出する圧力計とを備え、該圧力計で検出した圧力に応じて前記複数の混合ガス供給ラインの開閉制御を行う混合ガス供給装置の運転制御方法であって、前記バッファータンク内の圧力が、下限設定値以下になると通常運転用混合ガス供給ラインを開放（通常運転）させ、前記バッファータンク内の圧力が、緊急下限設定値以下になると前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインを開放（追従運転）させ、前記バッファータンク内の圧力が、上限設定値以上になるとこれらの混合ガス供給ラインを閉止させ、かつこれらの設定値の圧力が、緊急下限設定値＜下限設定値＜上限設定値の関係にあることを特徴とする混合ガス供給装置の運転制御方法である。

請求項２にかかる発明は、前記複数の混合ガス供給ラインと、前記バッファータンクとの間に、混合ガスの組成を分析する分析計を備え、該分析計で検出した混合ガスの組成に応じて前記複数の混合ガス供給ラインの開閉制御を行う前記混合ガス供給装置の運転制御方法であって、前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインの追従運転中、この混合ガスの組成が設定値を外れると、前記予備運転用混合ガス供給ラインを閉止させ、前記通常運転用混合ガス供給ラインで通常運転を行うことを特徴とする請求項１に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法である。

請求項３にかかる発明は、前記通常運転用混合ガス供給ラインと前記予備運転用混合ガス供給ラインとに、それぞれの圧力を検出する圧力計を備え、該圧力計で検出した圧力に応じて前記混合ガス供給ラインの開閉制御を行う前記混合ガス供給装置の運転制御方法であって、前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインの追従運転中、いずれかの混合ガス供給ラインの圧力が設定値を外れると、圧力設定値外となった混合ガス供給ラインを閉止させ、残余の混合ガス供給ラインで通常運転を継続することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法である。

請求項４にかかる発明は、請求項２又は請求項３に記載の残余の混合ガス供給ライン又は前記通常運転用混合ガス供給ラインによる通常運転中、この残余の混合ガス供給ライン若しくは前記通常運転用混合ガス供給ラインの圧力又は混合ガス組成が設定値を外れると、これを閉止させて前記混合ガス供給装置を停止させ、第３供給ラインに切替えて運転を行うことを特徴とする混合ガス供給装置の運転制御方法である。

請求項５にかかる発明は、前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインの追従運転中、前記バッファータンク内の圧力が、緊急下限設定値以下のまま設定時間を超えると、これらを閉止させて前記混合ガス供給装置を停止させ、前記第３供給ラインに切替えて運転を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法である。

請求項６にかかる発明は、前記複数の混合ガス供給ラインが、圧力調整弁、遮断弁及び流量調整弁をそれぞれ設けた複数の原料ガス供給系と、各原料ガス供給系から供給される複数の原料ガスを合流させて混合ガスとするガス合流部とを備えた混合ガス供給装置であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法である。

本発明の混合ガス供給装置の運転制御方法によれば、通常運転と追従運転の切替えを行うことにより、ガス使用量に応じて供給量を切替えることができる。

また、本発明の混合ガス供給装置の運転制御方法によれば、必要に応じて通常運転用混合ガス供給ラインと予備運転用混合ガス供給ラインとを同時に運転できるため、各混合ガス供給ラインの供給可能流量を増やさなくとも、短時間での大流量供給が可能となる。

以下、本発明の実施の形態に係る混合ガス供給装置の系統図の例を図面に示し、詳細に説明する。

［第１の実施形態］
図１は、本発明の混合ガス供給装置を合成空気供給用として使用した第１の実施形態に係る混合ガス供給装置の系統図である。この混合ガス供給装置（合成空気供給装置）１００は、通常運転用混合ガス供給ライン１０と、予備運転用混合ガス供給ライン２０と、分析計６と、圧力計７と、バッファータンク８と、三方弁Ｖ−１０とから概略構成されている。

この通常運転用混合ガス供給ライン１０は、圧力調整弁Ｒ−１と遮断弁Ｖ−１と流量調整弁であるニードル弁ＮＶ−１とを設けた第１原料ガス（酸素）供給系１と、圧力調整弁Ｒ−２と遮断弁Ｖ−２と流量調整弁であるオリフィスＯ−１とを設けた第２原料ガス（窒素）供給系２と、両供給系１，２の２種類のガス（酸素と窒素）が合流するガス合流部５とから構成されている。

また、予備運転用混合ガス供給ライン２０は、通常運転用混合ガス供給ライン１０と全く同様に、圧力調整弁Ｒ−３と遮断弁Ｖ−３と流量調整弁であるニードル弁ＮＶ−２とを設けた第１原料ガス（酸素）供給系３と、圧力調整弁Ｒ−４と遮断弁Ｖ−４と流量調整弁であるオリフィスＯ−２とを設けた第２原料ガス（窒素）供給系４と、両供給系３，４の２種類のガス（酸素と窒素）が合流するガス合流部５とから構成されている。
この予備運転用混合ガス供給ライン２０は、その構成部品、原料ガスの種類、原料ガスの供給量等について、通常運転用混合ガス供給ライン１０と同等の機能を有するように作られている。したがって、通常運転用混合ガス供給ライン１０と予備運転用混合ガス供給ライン２０を逆に設けても問題ない。また、この通常運転用混合ガス供給ライン１０及び予備運転用混合ガス供給ライン２０には、ガス合流部５後段に、別途遮断弁（図示せず）を設けてもよい。

これらの混合ガス供給ライン１０，２０の後段には、混合ガスの組成を分析する分析計６が設けられている。本実施形態では、分析計６として、合成空気中の酸素の濃度を分析する酸素センサーが挙げられる。
そして、この分析計６には、混合ガスの組成に異常が生じ、例えば酸素濃度が設定値を外れると、遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２又はＶ−３，Ｖ−４を開閉する制御機構が組み込まれている。

また、バッファータンク８には、バッファータンク８内の圧力を検出する圧力計７が設けられている。この圧力計７には、検出した圧力に応じて混合ガス供給ライン１０，２０の遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２又はＶ−３，Ｖ−４を開閉する制御機構が組み込まれている。
これら混合ガスの組成による制御及びバッファータンク内の圧力による制御は、電気信号を制御盤に入力させ、まとめて制御を行ってもよい。

このバッファータンク８の後段には、三方弁Ｖ−１０が設けられている。この三方弁Ｖ−１０は、通常はバッファータンク８からユースポイントへ混合ガスが流れるように配置されている。しかし、混合ガスライン１０，２０に異常が発生した場合には、これらを閉止させて、第３供給ラインであるボンベからの供給に切替えられるようになっている。

次に、混合ガスのユースポイントへの供給方法について説明する。第１原料ガス（酸素）供給系１，３からの第１原料ガス（酸素）と、第２原料ガス（窒素）供給系２，４からの第２原料ガス（窒素）とは、それぞれ圧力調整弁Ｒ−１，Ｒ−２，Ｒ−３，Ｒ−４で二次側の圧力が略同等になるように調整され、ニードル弁ＮＶ−１，ＮＶ−２又はオリフィスＯ−１，Ｏ−２で所定の混合比率が得られる流量に調整された後、ガス合流部５，５で合流して所定の酸素濃度、例えば酸素２２％、窒素７８％の合成空気となる。
生成した合成空気は、分析計６により酸素濃度を測定された後、バッファータンク８に蓄圧され、ユースポイントに供給される。

図２に、本発明に係る混合ガス供給装置の運転制御方法のフローチャートを示す。あらかじめバッファータンク８内の圧力には、上限設定値、下限設定値、緊急下限設定値が設定されている。これらは、緊急下限設定値＜下限設定値＜上限設定値の関係にあり、圧力計７で検出される。合成空気の場合、例えば、上限設定値が０．５４ＭＰａ、下限設定値が０．５０ＭＰａ、緊急下限設定値が０．４９ＭＰａである。
また、混合ガスの組成は、合成空気の場合、酸素濃度を分析計で検出し、その設定値は、２２＋１％と定められている。
図１の系統図と図２のフローチャートを参考に、本発明の運転制御方法の一例を説明する。

〈通常運転〉
混合ガスが使用され、バッファータンク８の圧力が下限設定値０．５０ＭＰａ以下になったことを圧力計７が検出すると、通常運転開始（Ｓ１０１）の決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０の遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２が開放され、混合ガス（合成空気）が製造される。

次いで、バッファータンク８の圧力が上限設定値０．５４ＭＰａに達したことを圧力計７が検出すると、運転停止（Ｓ１０２）の決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０の遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２が閉止される。

通常運転開始（Ｓ１０１）の決定がなされ、遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２が開放されている通常運転中に、不具合により、圧力異常等が発生した場合には、通常ライン圧力異常（Ｓ１０４）の決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０の遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２あるいはガス合流部５の後段に設けた新たな遮断弁（図示せず）を閉止させるという通常ライン運転停止（Ｓ１０５）の決定がなされる。

次いで、予備ラインで通常運転を行う（Ｓ１０６）決定がなされ、予備運転用混合ガス供給ライン２０に切替えて混合ガス供給装置１００の運転が継続して行われる。その後、バッファータンク８の圧力が緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下になったとしても、通常運転用混合ガス供給ライン１０は閉止したままで使用しない。

〈追従運転〉
バッファータンク８の圧力が緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下になったことを圧力計７が検出すると、追従運転開始（Ｓ１０３）の決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０と予備通運転用混合ガス供給ライン２０の遮断弁Ｖ−１〜Ｖ−４が開放されて、混合ガスが製造される。

そして、同様に、バッファータンク８の圧力が上限設定値０．５４ＭＰａに達したことを圧力計７が検出すると、運転停止（Ｓ１０２）の決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０と予備通運転用混合ガス供給ライン２０の遮断弁Ｖ−１〜Ｖ−４は閉止され混合ガスの製造は一旦停止する。

〈追従運転中の混合ガスの組成異常〉
追従運転中、混合ガスの組成が変化し、酸素濃度が２２±１％から外れたことを分析計が検出すると、混合ガス組成異常（Ｓ１０９）の決定がなされ、予備運転用混合ガス供給ライン２０の遮断弁Ｖ−３,Ｖ−４あるいはガス合流部５の後段に設けた新たな遮断弁（図示せず）を閉止させるという予備ライン運転停止（Ｓ１１０）の決定がなされる。

次いで、通常ラインで通常運転を行う（Ｓ１１１）決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０のみで混合ガス供給装置１００の運転が継続して行われる。その後、バッファータンク８の圧力が緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下になったとしても、予備運転用混合ガス供給ライン２０は閉止したままで使用しない。

この混合ガス供給装置の運転制御方法によれば、通常運転と追従運転の切替えを行うことにより、ガス使用量に応じて供給量を切替えることができる。

また、本実施形態の混合ガス供給装置の運転制御方法によれば、追従運転中、混合ガスの組成が変化した場合、混合ガス供給装置を停止させて第３供給ラインであるボンベ供給に切替えなくとも予備運転用混合ガス供給ラインのみを閉止させ、通常運転用混合ガス供給ラインのみを使用することにより、運転を継続することができる。

［第２の実施形態］
図３は、本発明の混合ガス供給装置を合成空気供給用として使用した第２の実施形態に係る混合ガス供給装置の系統図である。本実施形態では、圧力調整弁と遮断弁との間に圧力計Ｐ１〜Ｐ４を各々設け、遮断弁Ｖ−１〜Ｖ−４の開閉を制御できるようにしたこと以外は第１の実施の形態と同様であるので、その説明は省略する。図３の系統図と図２のフローチャートを参考に、第１の実施の形態と異なる部分の運転制御方法の一例を説明する。

〈追従運転中の通常ラインの圧力異常〉
追従運転中、不具合により、通常運転用混合ガス供給ライン１０の圧力が設定値から外れたことを圧力計Ｐ１，Ｐ２が検出すると、通常ライン圧力異常（Ｓ１０４）の決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０の遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２あるいはガス合流部５の後段に設けた新たな遮断弁（図示せず）を閉止させるという通常ライン運転停止（Ｓ１０５）の決定がなされる。

次いで、予備ラインで通常運転を行う（Ｓ１０６）決定がなされ、予備運転用混合ガス供給ライン２０に切替えて混合ガス供給装置１００の運転が継続して行われる。その後、バッファータンク８の圧力が緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下になったとしても、通常運転用混合ガス供給ライン１０は閉止したままで使用しない。

その後、この予備運転用混合ガス供給ライン２０に圧力又は混合ガスの組成の異常が発生し、設定値から外れたことを分析計６又は圧力計７が検出した場合には、予備ライン異常（Ｓ１０７）の決定がなされ、装置停止（Ｓ１１４）となり、予備運転用混合ガス供給ライン２０の遮断弁Ｖ−３,Ｖ−４あるいはガス合流部５の後段に設けた新たな遮断弁（図示せず）を閉止させて混合ガス供給装置１００を停止させる。

次いで、ボンベ供給切替（Ｓ１１５）の決定により、自動的に三方弁Ｖ−１０を第３供給ラインであるボンベ供給ライン側に切替えて、運転を継続して行う。

〈追従運転中の予備ラインの圧力異常〉
追従運転中、不具合により、予備運転用混合ガス供給ライン２０の圧力が設定値から外れたことを圧力計Ｐ３，Ｐ４が検出すると、予備ライン圧力異常（Ｓ１０８）の決定がなされ、予備運転用混合ガス供給ライン２０の遮断弁Ｖ−３,Ｖ−４あるいはガス合流部５の後段に設けた新たな遮断弁（図示せず）を閉止させるという予備ライン運転停止（Ｓ１１０）の決定がなされる。

次いで、通常ラインで通常運転を行う（Ｓ１１１）決定がなされ、通常運転用混合ガス供給ライン１０に切替えて混合ガス供給装置１００の運転が継続して行われる。その後、バッファータンク８の圧力が緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下になったとしても、予備運転用混合ガス供給ライン２０は閉止したままで使用しない。

その後、この通常運転用混合ガス供給ライン１０に圧力又は混合ガスの組成の異常が発生し、設定値から外れたことを分析計６又は圧力計７が検出した場合には、通常ライン異常（Ｓ１１２）の決定がなされ、先ほどと同様に装置停止（Ｓ１１４）となり、通常運転用混合ガス供給ライン１０の遮断弁Ｖ−１,Ｖ−２あるいはガス合流部５の後段に設けた新たな遮断弁（図示せず）を閉止させて混合ガス供給装置１００を停止させる。

次いで、ボンベ供給切替（Ｓ１１５）の決定がなされて、自動的に三方弁Ｖ−１０を第３供給ラインであるボンベ供給ライン側に切替えて、運転を継続して行う。

〈追従運転中の圧力低下〉
バッファータンク８の圧力が緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下になったことを圧力計７が検出し、追従運転が開始（Ｓ１０３）されたが、圧力が緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下のまま設定時間（例えば、６０秒間）を越えると、原料ガスの圧力不足等の異常状態であると判断し、圧力低下継続（Ｓ１１３）の決定と、それに続く装置停止（Ｓ１１４）の決定がなされ、混合ガス供給装置１００を停止する。

次いで、ボンベ供給切替（Ｓ１１５）の決定がなされて、自動的に三方弁Ｖ−１０を第３供給ラインであるボンベ供給ライン側に切替えて、運転を継続して行う。

このように、本実施形態の混合ガス供給装置の運転制御方法によれば、通常運転用及び予備運転用混合ガス供給ラインの各々に圧力計Ｐ１〜Ｐ４を設け、その圧力に応じてラインの開閉制御を行うことにより、通常運転用混合ガス供給ラインと予備運転用混合ガス供給ラインとを同時に使用している追従運転中に、いずれかの混合ガス供給ラインの圧力が設定値から外れても、残余の混合ガス供給ラインに切替えて運転を継続することができる。

また、この残余の混合ガス供給ラインに、さらに異常が発生した場合であっても、混合ガス供給装置全体を停止させ、第３供給ラインであるボンベ供給に切替えることにより、運転を継続することができる。

以下、実施例により、本発明をさらに詳しく説明する。本発明は、下記実施例に何ら制限されるものではない。

［実施例１］
図３に示す混合ガス供給装置により酸素と窒素とを混合して、酸素２２％、窒素７８％の合成空気を製造した。この混合ガス供給ラインの各々の供給可能量は、２５Ｎｍ^３／ｈとした。また、バッファータンクの圧力設定値は、上限設定値を０．５４ＭＰａ、下限設定値を０．５０ＭＰａ、緊急下限設定値を０．４９ＭＰａにした。

バッファータンクの圧力が下限設定値０．５０ＭＰａ以下になると、通常運転が開始され、通常運転用混合ガス供給ラインから合成空気が２５Ｎｍ^３／ｈ供給された。

その後、バッファータンクの圧力が、上限設定値０．５４ＭＰａを超えると、通常運転用混合ガス供給ラインからの合成空気の供給は遮断された。

また、バッファータンクの圧力が、緊急下限設定値０．４９ＭＰａ以下になると、通常運転用混合ガス供給ラインに続いて予備運転用混合ガス供給ラインも開放され、追従運転が開始されて、合成空気が２５Ｎｍ^３／ｈづつ通常及び予備運転用混合ガス供給ラインから供給され、合計５０Ｎｍ^３／ｈの合成空気が得られた。

この追従運転中、故意に通常運転用混合ガス供給ラインの流量調整弁を絞り、通常運転用混合ガス供給ラインの圧力異常状態を発生させた。
その後、通常運転用混合ガス供給ラインからの合成空気の供給が直ちに遮断され、予備運転用混合ガス供給ラインから合成空気が２５Ｎｍ^３／ｈ供給された。

以上の結果から、本発明の混合ガス供給装置の運転制御方法によれば、各混合ガス供給ラインの供給可能流量を増やさなくとも、短時間での大流量供給が可能であることが確認された。

第１の実施形態に係る混合ガス供給装置の系統図である。 本発明に係る混合ガス供給装置の運転制御方法を示すフローチャートである。 第２の実施形態に係る混合ガス供給装置の系統図である。

符号の説明

１，３ 第１原料ガス供給系
２，４ 第２原料ガス供給系
５ ガス合流部
６ 分析計
７，Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４ 圧力計
８ バッファータンク
１０ 通常運転用混合ガス供給ライン
２０ 予備運転用混合ガス供給ライン
１００ 混合ガス供給装置
Ｒ−１，Ｒ−２，Ｒ−３，Ｒ−４ 圧力調整弁
Ｖ−１，Ｖ−２，Ｖ−３，Ｖ−４ 遮断弁
ＮＶ−１，ＮＶ−２ 流量調整弁（ニードル弁）
Ｓ１０１ 通常運転開始
Ｓ１０２ 運転停止
Ｓ１０３ 追従運転開始
Ｓ１０４ 通常ライン圧力異常
Ｓ１０５ 通常ライン運転停止
Ｓ１０６ 予備ラインで通常運転
Ｓ１０７ 予備ライン異常
Ｓ１０８ 予備ライン圧力異常
Ｓ１０９ 混合ガス組成異常
Ｓ１１０ 予備ライン運転停止
Ｓ１１１ 通常ラインで通常運転
Ｓ１１２ 通常ライン異常
Ｓ１１３ 圧力低下継続
Ｓ１１４ 装置停止
Ｓ１１５ ボンベ供給（第３供給ライン）切替

Claims (6)

1. 通常運転用と予備運転用の複数の混合ガス供給ラインと、
   この供給ラインからの混合ガスを蓄圧するバッファータンクと、
   このバッファータンク内の圧力を検出する圧力計とを備え、
   該圧力計で検出した圧力に応じて前記複数の混合ガス供給ラインの開閉制御を行う混合ガス供給装置の運転制御方法であって、
   前記バッファータンク内の圧力が、下限設定値以下になると通常運転用混合ガス供給ラインを開放（通常運転）させ、
   前記バッファータンク内の圧力が、緊急下限設定値以下になると前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインを開放（追従運転）させ、
   前記バッファータンク内の圧力が、上限設定値以上になるとこれらの混合ガス供給ラインを閉止させ、かつ
   これらの設定値の圧力が、緊急下限設定値＜下限設定値＜上限設定値の関係にあることを特徴とする混合ガス供給装置の運転制御方法。
2. 前記複数の混合ガス供給ラインと、前記バッファータンクとの間に、混合ガスの組成を分析する分析計を備え、
   該分析計で検出した混合ガスの組成に応じて前記複数の混合ガス供給ラインの開閉制御を行う前記混合ガス供給装置の運転制御方法であって、
   前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインの追従運転中、
   この混合ガスの組成が設定値を外れると、前記予備運転用混合ガス供給ラインを閉止させ、
   前記通常運転用混合ガス供給ラインで通常運転を行うことを特徴とする請求項１に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法。
3. 前記通常運転用混合ガス供給ラインと前記予備運転用混合ガス供給ラインとに、それぞれの圧力を検出する圧力計を備え、
   該圧力計で検出した圧力に応じて前記混合ガス供給ラインの開閉制御を行う前記混合ガス供給装置の運転制御方法であって、
   前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインの追従運転中、
   いずれかの混合ガス供給ラインの圧力が設定値を外れると、
   圧力設定値外となった混合ガス供給ラインを閉止させ、
   残余の混合ガス供給ラインで通常運転を継続することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法。
4. 請求項２又は請求項３に記載の残余の混合ガス供給ライン又は前記通常運転用混合ガス供給ラインによる通常運転中、
   この残余の混合ガス供給ライン若しくは前記通常運転用混合ガス供給ラインの圧力又は混合ガス組成が設定値を外れると、
   これを閉止させて前記混合ガス供給装置を停止させ、第３供給ラインに切替えて運転を行うことを特徴とする混合ガス供給装置の運転制御方法。
5. 前記通常運転用及び前記予備運転用混合ガス供給ラインの追従運転中、
   前記バッファータンク内の圧力が、緊急下限設定値以下のまま設定時間を超えると、
   これらを閉止させて前記混合ガス供給装置を停止させ、前記第３供給ラインに切替えて運転を行うことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法。
6. 前記複数の混合ガス供給ラインが、圧力調整弁、遮断弁及び流量調整弁をそれぞれ設けた複数の原料ガス供給系と、
   各原料ガス供給系から供給される複数の原料ガスを合流させて混合ガスとするガス合流部とを備えた混合ガス供給装置であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の混合ガス供給装置の運転制御方法。
   
   
   

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