JPH09271657A - 混合ガス供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 混合ガスの組成に異常が発生したときには、
直ちに混合ガスの製造を中止できるとともに、バッファ
ータンク内の混合ガスはそのまま継続して使用すること
ができる混合ガス供給装置を提供する。 【解決手段】 複数の原料ガス供給系１，２からの原料
ガスをガス合流部６で合流させてバッファータンク８に
蓄圧した後に使用先に供給するとともに、バッファータ
ンク内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂを開閉し、混合
ガスを間欠的にバッファータンクに蓄圧する混合ガス供
給装置において、前記ガス合流部６とバッファータンク
８との間に分析計２０を設け、混合ガスの組成に異常が
あるときは、分析計からの信号で遮断弁を閉塞する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、混合ガス供給装置
に関し、詳しくは、複数の原料ガス供給系からそれぞれ
供給される複数の原料ガスを所定の混合比率で混合した
混合ガスを製造して供給する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】複数種類の単一成分ガスを所定の割合で
混合した混合ガスとして、例えば、酸素と窒素とを大気
と略同等の割合になるように混合した合成空気が病院で
用いられており、複数の特殊な成分を含む雰囲気ガス
が、溶接や浸炭等の金属処理に用いられている。

【０００３】図８は、特公昭４８−６０５３号公報に記
載された混合ガス供給方法を合成空気供給装置に適用し
た一例を示すもので、酸素を供給する第１原料ガス供給
系１と、窒素を供給する第２原料ガス供給系２とを備え
ている。両供給系１，２には、圧力調整弁３ａ，３ｂ、
遮断弁４ａ，４ｂ、ニードル弁５ａ，５ｂがそれぞれ設
けられており、両供給系１，２が合流するガス合流部６
から下流の混合ガス供給系７には、生成した合成空気を
貯留蓄圧するバッファータンク８と、該バッファータン
ク８内のガス（合成空気）を使用先に供給する供給遮断
弁９とが設けられている。

【０００４】第１原料ガス供給系１からの酸素と、第２
原料ガス供給系２からの窒素とは、圧力調整弁３ａ，３
ｂで二次側の圧力が略同等になるようにそれぞれ調整さ
れた後、ニードル弁５ａ，５ｂでそれぞれの流量が所定
の混合比率、例えば酸素２２％、窒素７８％の割合にな
るように調整され、ガス合流部６で合流して合成空気と
なる。この合成空気は、混合ガス供給系７のバッファー
タンク８に蓄圧された後、供給遮断弁９を介して混合ガ
ス供給系７ａから使用先に供給される。

【０００５】また、前記バッファータンク８には、タン
ク内の圧力を検出する圧力計（Ｐ）１０が設けられてお
り、該圧力計１０の測定値があらかじめ設定されている
上限圧力を超えると、圧力計１０からの信号で前記遮断
弁４ａ，４ｂが閉じて合成空気の製造が停止し、下限圧
力よりタンク内の圧力が低くなると、圧力計１０からの
信号で遮断弁４ａ，４ｂが開いて再び合成空気の製造が
始まり、合成空気をバッファータンク８内に蓄圧するよ
うに形成されている。

【０００６】このように、通常の使用時には、バッファ
ータンク８内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂが自動的
に開閉し、所定の混合比率の合成空気を所定圧力で供給
するように形成されているが、何らかの異常事態によ
り、例えば、圧力調整弁や遮断弁等の機器の経年劣化に
より、一方のガスの供給量が変化すると、合成空気の酸
素濃度が所定の管理範囲から外れてしまうおそれがあ
る。

【０００７】このため、従来の合成空気供給装置では、
バッファータンク８から使用先に供給する合成空気の酸
素濃度を分析計（Ａ）１１で測定し、酸素濃度が管理範
囲から外れたときには、該分析計１１からの信号で供給
遮断弁９を閉じ、使用先に不良な合成空気が供給されな
いようにしている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来装置
では、バッファータンク８より下流側の合成空気の酸素
濃度を測定しているため、酸素濃度に異常があったとき
には、バッファータンク８内の合成空気全体が既に不良
品になっており、これを合成空気として使用することが
できなくなっている。このため、バッファータンク８の
下流側に供給遮断弁９を設ける必要があるだけでなく、
酸素濃度に異常が発生した場合には、バッファータンク
８内のガス（合成空気不良品）を全てブロー弁１２から
外部に放出しなければならず、相当量の酸素や窒素が無
駄に廃棄されることになる。

【０００９】また、通常、この種の装置には、濃度異常
等の異常事態発生に備えるため、前記供給遮断弁９以降
の混合ガス供給系７ａに、略同じ構成を有する予備系統
（図示せず）を、上記本系統とは別に設けてはいるが、
本系統に異常が発生したときには、本系統からの合成空
気の供給が瞬時に止まってしまうため、予備系統に極短
時間で切換えなければならなかった。

【００１０】さらに、機器の修理等が完了した場合も、
バッファータンク８内のガスが全て放出されているた
め、タンク内への蓄圧を内圧ゼロから始めなければなら
ず、通常運転の状態まで回復するのに長時間を要してい
た。

【００１１】そこで本発明は、混合ガスの組成に異常が
発生したときには、直ちに混合ガスの製造を中止できる
とともに、バッファータンク内の混合ガスはそのまま継
続して使用することができる混合ガス供給装置を提供す
ることを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の混合ガス供給装置は、圧力調整弁，遮断弁
及び流量調整弁をそれぞれ有する複数の原料ガス供給系
からの複数の原料ガスをガス合流部で合流させて混合ガ
スとし、該混合ガスをバッファータンクに蓄圧した後に
使用先に供給するとともに、前記バッファータンク内の
圧力を圧力計で検出し、検出した圧力に応じて圧力計か
らの信号で前記遮断弁を開閉することにより、前記混合
ガスを間欠的にバッファータンクに蓄圧するように構成
した混合ガス供給装置において、前記ガス合流部とバッ
ファータンクとの間に、混合ガスの組成を分析する分析
計を設け、該分析計からの信号によって前記複数の原料
ガス供給系の各遮断弁を閉塞可能に構成したことを特徴
としている。

【００１３】さらに、本発明の混合ガス供給装置は、前
記遮断弁が前記圧力計からの信号によって閉じていると
きに、前記分析計による遮断弁の閉塞作動を切離す切換
手段を備えていることを特徴とし、また、前記ガス合流
部と前記分析計との間に、混合ガスを一時的に貯留可能
な補助タンクを設けたことを特徴としている。さらに、
前記複数の原料ガス供給系における各遮断弁からガス合
流部までの容積比率を、混合ガスにおける各原料ガスの
混合比率に対応させたことを特徴としている。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面を参照して
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の混合ガス供給
装置の第１形態例を示すもので、前記従来例と同様の合
成空気供給装置に本発明を適用した例を示している。な
お、以下の説明において、前記従来例と同一要素のもの
には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。

【００１５】この合成空気供給装置は、従来と同様の、
圧力調整弁３ａ，３ｂ、遮断弁４ａ，４ｂ及び流量調整
弁であるニードル弁５ａ，５ｂをそれぞれ有する第１原
料ガス（酸素）供給系１及び第２原料ガス（窒素）供給
系２と、両供給系１，２の２種類のガス（酸素と窒素）
が合流するガス合流部６の下流の混合ガス供給系７に設
けられたバッファータンク８とを有するとともに、バッ
ファータンク８内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂを開
閉する圧力計１０と、バッファータンク８に流入する前
の混合ガス（合成空気）の組成を分析して組成に異常が
生じた際に遮断弁４ａ，４ｂを閉じる分析計（酸素濃度
計）２０とを備えている。

【００１６】すなわち、本形態例においても、第１原料
ガス供給系１からの酸素と、第２原料ガス供給系２から
の窒素とは、それぞれ圧力調整弁３ａ，３ｂで二次側の
圧力が略同等になるように調整され、ニードル弁５ａ，
５ｂで所定の混合比率が得られる流量に調整された後、
ガス合流部６で合流して所定の酸素濃度、例えば酸素２
２％、窒素７８％の合成空気となる。生成した合成空気
は、混合ガス供給系７の途中で分析計２０により酸素濃
度を測定された後、バッファータンク８に蓄圧され、所
要量が混合ガス供給系７ａから使用先に供給される。な
お、ブロー弁１２は、機器のメンテナンス等の際に必要
に応じてガスを放出するために用いられる。

【００１７】通常の使用時には、前記同様に、圧力計１
０で測定したバッファータンク８内の圧力変化に応じて
遮断弁４ａ，４ｂが自動的に開閉し、合成空気の製造が
間欠的に行われる。

【００１８】そして、分析計２０で測定した合成空気の
酸素濃度に異常が発生した場合は、該分析計２０からの
信号により両供給系１，２の遮断弁４ａ，４ｂが遮断さ
れ、合成空気の製造が中止される。

【００１９】このように、バッファータンク８に流入す
る前の混合ガス供給系７に分析計２０を設けることによ
り、機器の不具合等で合成空気の酸素濃度に異常が発生
したときには、合成空気の製造を直ちに中止することが
でき、異常濃度の合成空気がバッファータンク８内に流
入して蓄圧されることを防止できる。

【００２０】したがって、バッファータンク８内の合成
空気は、異常発生前に蓄圧された所定濃度の合成空気で
あるから、そのまま問題なく有効に利用することがで
き、従来のように廃棄する必要がない。これにより、バ
ッファータンク８の下流の遮断弁が不要になるだけでな
く、予備の系統への切換えも余裕をもって行うことがで
きる。

【００２１】さらに、機器の修理等が完了して運転を再
開した際に、バッファータンク８内に合成空気が残留し
ていれば、バッファータンク８への蓄圧も、内圧ゼロか
ら開始するのに比べて短時間で行うことができ、通常運
転に復帰するまでの時間を短縮することができる。

【００２２】なお、分析計２０による遮断弁４ａ，４ｂ
の遮断は、自動的に行ってもよいが、濃度異常の際に分
析計２０から警報を発生させ、これによって手動で遮断
弁４ａ，４ｂを閉じるようにしてもよい。

【００２３】ここで、本形態例においては、圧力計１０
からの信号によって遮断弁４ａ，４ｂが閉じている状態
でバッファータンク８内の合成空気が消費され、バッフ
ァータンク８内の圧力が低下すると、これに伴って混合
ガス供給系７の圧力も低下し、遮断弁４ａ，４ｂとガス
合流部６との間の配管に残留している両供給系１，２の
酸素と窒素とがガス合流部６を経て混合ガス供給系７内
に流入してくる。このとき、配管の容積等によっては、
分析計２０のガス採取位置における酸素濃度が変化し、
分析計２０から濃度異常信号が出力されることが考えら
れる。このように分析計２０から遮断弁４ａ，４ｂを閉
じる信号が出力されると、圧力計１０から遮断弁４ａ，
４ｂを開く信号が出ても遮断弁４ａ，４ｂが分析計２０
からの信号で閉じられたままの状態になってしまうとい
う問題がある。

【００２４】図２は、上述の問題を解決する手段を備え
た本発明の第２形態例を示すもので、前記圧力計１０か
ら遮断弁４ａ，４ｂを閉じる信号が出ているときには、
前記分析計２０から遮断弁４ａ，４ｂに至る信号経路を
切離すための切換手段であるスイッチ２１を設けた例を
示している。

【００２５】これにより、圧力計１０からの信号で遮断
弁４ａ，４ｂが閉じている際には、スイッチ２１が開い
ているため、分析計２０から異常信号が出力されても遮
断弁４ａ，４ｂに伝達されず、圧力計１０から遮断弁４
ａ，４ｂを開く信号が出力されたときには、分析計２０
の信号の種類にかかわらず、遮断弁４ａ，４ｂを開いて
合成空気の製造運転を再開することができる。そして、
運転再開後にも酸素濃度の異常を分析計２０が検出した
場合は、分析計２０からの信号で遮断弁４ａ，４ｂが遮
断され、この場合は、分析計２０の信号が優先して圧力
計１０から遮断弁４ａ，４ｂを開く信号が出力されても
遮断弁４ａ，４ｂを閉じ状態に保持するように形成され
ている。

【００２６】図３は、前述の問題を解決する他の手段を
備えた本発明の第３形態例を示すもので、ガス合流部６
と分析計２０のガス採取位置との間に、補助タンク２２
を設けた例を示している。

【００２７】これにより、ガス合流部６で所定の混合比
率と異なった比率で酸素と窒素とが混合した場合でも、
補助タンク２２でその濃度変化を緩和することができ、
補助タンク２２の容積を適当に設定することにより、分
析計２０のガス採取位置に流れる合成空気の酸素濃度変
化をある程度の範囲内に抑えることができ、分析計２０
から濃度異常信号が出ることを防止できる。

【００２８】なお、両形態例では、圧力計１０からの信
号で遮断弁４ａ，４ｂが閉じたときに酸素濃度が異なる
合成空気が生成することになるが、その量は極僅かであ
り、バッファータンク８で通常運転時に蓄圧した所定濃
度の大量の合成空気と混合されるので、使用先に供給す
る合成空気の酸素濃度に悪影響を与えることはほとんど
ない。

【００２９】図４及び図５は、前述の問題に対して、遮
断弁４ａ，４ｂが閉じているときでも、ガス合流部６で
の酸素と窒素との混合比率を所定の混合比率にできるよ
うに形成した例を示している。すなわち、図４に示す第
４形態例では、両供給系１，２における遮断弁４ａ，４
ｂからガス合流部６に至る配管１ａ，２ａの長さを変え
たり、径を変えたりして、両配管１ａ，２ａの容積比率
を、合成空気における酸素と窒素との混合比率に対応さ
せるようにしている。

【００３０】例えば、前述のように酸素２２％、窒素７
８％の合成空気を製造する場合は、配管１ａと配管２ａ
との容積比を２２：７８にすることにより、遮断弁４
ａ，４ｂが閉じているときに配管１ａと配管２ａとから
酸素と窒素とがそれぞれガス合流部６を介して混合ガス
供給系７に流入しても、酸素及び窒素は、配管１ａと配
管２ａとの容積比に応じて流れてくるので、混合ガス供
給系７における酸素濃度を略２２％に保つことができ
る。

【００３１】すなわち、配管１ａと配管２ａとの容積比
が１：１の場合は、ガス合流部６で合流したときの酸素
濃度は約５０％になるが、配管１ａと配管２ａとの容積
比を２２：７８に設定することにより、合流後のガスの
酸素濃度を約２２％にすることができる。

【００３２】また、図５に示す第５形態例では、混合比
率が高い方の配管、この場合は窒素側の配管２ａに適当
な容積の補助タンク２３を設けることにより、遮断弁４
ａ，４ｂとガス合流部６との間の両配管１ａ，２ａの容
積比率を酸素と窒素との混合比率に対応させるようにし
たものである。

【００３３】なお、３種類以上、ｎ種類のガスを混合し
て所定の混合比率の混合ガスを製造する場合、混合ガス
におけるｎ種類のガスの組成割合が「Ｃ１：Ｃ２：…
…：Ｃｎ」のときには、各ガスの供給系における遮断弁
とガス合流部との間のそれぞれの容積Ｑ１，Ｑ２，…
…，Ｑｎの関係を、Ｑ１：Ｑ２：……：Ｑｎ＝Ｃ１：Ｃ
２：……：Ｃｎとなるように設定すればよい。

【００３４】また、各配管に設ける補助タンク２３の容
積を変更可能にすることにより、例えば補助タンク２３
をシリンダーで形成してピストン位置を変えることによ
り、各配管の容積比率を任意の混合比率に対応させるこ
とが可能となる。

【００３５】なお、本発明において、各種機器は、その
目的に応じて任意の構造のものを使用することが可能で
あり、例えば、前記圧力調整弁には、二次側圧力を一定
に保持できるものであれば、自力式，他力式等の任意の
圧力制御手段を用いることができる。また、遮断弁とし
ても、流路を急速に開放・閉塞できるものであれば任意
の形式の弁を用いることができ、一つの原料ガス供給系
の任意の位置に２個の遮断弁を設け、圧力計の信号でそ
の一方の弁を開閉し、分析計の信号で他方の弁又は両方
の弁を閉じるようにしてもよい。さらに、流量調整弁に
は、上記ニードル弁以外のものも使用でき、流量調整弁
は、流体に所定の抵抗を与える抵抗体の一種であるか
ら、圧力や混合比率が決まっている場合には、オリフィ
スや細管等を用いることもできる。また、ガス合流部の
下流側に、合流したガスを確実に混合させるための混合
器を設けてもよい。

【００３６】さらに、図６の第６形態例に示すように、
前記遮断弁を各原料ガス供給系１，２にそれぞれ設ける
のに代えて、ガス合流部６より下流の混合ガス供給系７
に１個だけ遮断弁４を設けるようにしてもよい。

【００３７】但し、この場合は、ガス合流部６を介して
原料ガス供給系１，２が連通した状態になるので、原料
ガス供給系１，２の原料ガス源の圧力（圧力調整弁３
ａ，３ｂの一次側圧力）が異なる場合、圧力調整弁３
ａ，３ｂに不具合が発生すると、遮断弁４が閉じている
ときに、一方の原料ガス供給系のガスが、ニードル弁５
ａ，５ｂ及びガス混合部６を経て他方の原料ガス供給系
に流入するおそれがある。

【００３８】例えば、原料ガス供給系１の原料ガス源の
圧力が１０ｋｇｆ／ｃｍ² で、原料ガス供給系２の原料
ガス源の圧力が５０ｋｇｆ／ｃｍ² であって、圧力調整
弁３ａ，３ｂの二次側設定圧力が７ｋｇｆ／ｃｍ² の場
合、原料ガス供給系２の圧力調整弁３ｂに不具合を生じ
て弁座の閉め切りが不十分になると、該圧力調整弁３ｂ
を通過して圧力５０ｋｇｆ／ｃｍ² ガスが弁二次側に流
れ、二次側圧力が次第に上昇する。そして、この状態が
長く続いて二次側圧力が１０ｋｇｆ／ｃｍ² を超える
と、圧力調整弁３ａを逆流して原料ガス供給系２のガ
ス、例えば窒素が原料ガス供給系１のガス、例えば酸素
の原料ガス源側に流入することになる。そして、原料ガ
ス供給系１から他の使用用途の配管１ｂが分岐している
場合は、この分岐するガスに他のガスが混入してしまう
こともある。

【００３９】したがって、本形態例は、各原料ガス源の
圧力が略同一の場合や、圧力調整弁３ａ，３ｂの信頼性
が極めて高い場合、あるいは原料ガス供給系に逆止弁を
有する場合に特に有効である。

【００４０】また、図７の第７形態例に示すように、ニ
ードル弁５の下流に遮断弁４を設けることもできる。こ
の場合、遮断弁４が閉じたときにニードル弁５の一次側
と二次側とが圧力調整弁３で設定した圧力になるため、
応答性が低下するおそれがある。

【００４１】すなわち、ニードル弁５の上流に遮断弁４
を設けた場合は、遮断弁４が閉じたときにニードル弁５
の一次側と二次側とがガス合流部６側の圧力と同一とな
り、遮断弁４が開いたときにニードル弁５の一次側が直
ちに圧力調整弁３で設定した圧力となって所定流量のガ
スの供給が円滑に行われるのに対し、本形態例のよう
に、ニードル弁５の一次側と二次側とが圧力調整弁３で
設定した圧力になっている場合は、遮断弁４が開いた
後、ニードル弁５の二次側がガス合流部６側の圧力に下
がるまでの間は、通常時よりも流量が少ない状態にな
り、混合状態が悪化することがある。

【００４２】但し、本形態例では、遮断弁４とガス合流
部６との間の容積を小さくできるので、前述の遮断弁４
が閉じたときの濃度異常ガスの発生量を少なくすること
ができる。

【００４３】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 実施例１ 図１に示す構成の合成空気供給装置において、 圧力調整弁３ａ，３ｂの二次側圧力 ７．０ｋｇｆ／ｃｍ² 圧力計１０の設定上限値 ５．５ｋｇｆ／ｃｍ² 〃 下限値 ５．０ｋｇｆ／ｃｍ² 酸素濃度管理値 ２２．０±１．０％ 遮断弁４ａとガス合流部６との間の容積 ０．１リットル 遮断弁４ｂとガス合流部６との間の容積 ０．１リットル ガス合流部６と分析計２０との間の容積 １．３リットル バッファータンク８の容量 ３ｍ³ 流量 ５０ｍ³ ／ｈ として、第１原料ガス供給系１から酸素を、第２原料ガ
ス供給系２から窒素をそれぞれ供給した。バッファータ
ンク８内の圧力が上限値又は下限値になると、圧力計１
０の信号により両遮断弁４ａ，４ｂが自動的に開閉作動
して所定濃度の合成空気が得られた。

【００４４】そして、一方のニードル弁５ａが故障した
と想定して酸素の流量を僅かに下げたところ、分析計２
０が酸素濃度の低下を検出して両遮断弁４ａ，４ｂを閉
じ、合成空気の製造は停止したが、バッファータンク８
内の合成空気の酸素濃度は管理範囲内であり、廃棄する
ことなくそのまま継続して使用することができた。

【００４５】実施例２ 実施例１において、遮断弁４ａ，４ｂとガス合流部６と
の間の容積を、それぞれ０．３リットルにしたところ、
圧力計１０の信号で両遮断弁４ａ，４ｂが閉じていると
き、分析計２０で測定した酸素濃度が３０％まで上昇
し、遮断弁４ａ，４ｂを遮断する信号が出力された。こ
のとき、図２に示すように、分析計２０からの信号をス
イッチ２１で切離すことにより、圧力計１０の信号で正
常に運転を継続することができ、バッファータンク８内
の合成空気の酸素濃度は、高酸素濃度のガスが流入した
にもかかわらず、管理範囲の上限を超えることはなかっ
た。

【００４６】実施例３ 実施例２において、図３に示すように、ガス合流部６と
分析計２０のガス採取位置との間に容積３９．０リット
ルの補助タンク２２を設けたところ、遮断弁４ａ，４ｂ
が閉じているときの酸素濃度は２２．４％までしか上昇
せず、スイッチ２１を必要とせずに運転を継続できた。

【００４７】実施例４ 実施例１において、遮断弁４ａとガス合流部６との間の
容積を０．２２リットル、遮断弁４ｂとガス合流部６と
の間の容積を０．７８リットルとしたところ、圧力計１
０の信号で両遮断弁４ａ，４ｂが閉じてから再び開くま
での間、分析計２０で測定した酸素濃度は２２．０％か
ら変動することはなかった。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の混合ガス
供給装置によれば、製造した混合ガスの組成に異常が発
生した場合に、直ちに混合ガスの製造を停止させること
ができるとともに、バッファータンクに蓄圧した混合ガ
スをそのまま使用できるので、原料ガスの無駄が無くな
る。また、異常発生時にも、バッファータンク内の混合
ガスを使用できるので、異常に対する対処も余裕をもっ
て行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の混合ガス供給装置の第１形態例を示
す系統図である。

【図２】 同じく第２形態例を示す系統図である。

【図３】 同じく第３形態例を示す要部の系統図であ
る。

【図４】 同じく第４形態例を示す要部の系統図であ
る。

【図５】 同じく第５形態例を示す要部の系統図であ
る。

【図６】 同じく第６形態例を示す要部の系統図であ
る。

【図７】 同じく第７形態例を示す要部の系統図であ
る。

【図８】 従来の混合ガス供給装置の一例を示す系統図
である。

【符号の説明】

１…第１原料ガス供給系、２…第２原料ガス供給系、３
ａ，３ｂ…圧力調整弁、４ａ，４ｂ…遮断弁、５ａ，５
ｂ…ニードル弁、６…ガス合流部、７…混合ガス供給
系、８…バッファータンク、１０…圧力計、２０…分析
計、２１…スイッチ、２２，２３…補助タンク

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧力調整弁，遮断弁及び流量調整弁をそ
   れぞれ有する複数の原料ガス供給系からの複数の原料ガ
   スをガス合流部で合流させて混合ガスとし、該混合ガス
   をバッファータンクに蓄圧した後に使用先に供給すると
   ともに、前記バッファータンク内の圧力を圧力計で検出
   し、検出した圧力に応じて圧力計からの信号で前記遮断
   弁を開閉することにより、前記混合ガスを間欠的にバッ
   ファータンクに蓄圧するように構成した混合ガス供給装
   置において、前記ガス合流部とバッファータンクとの間
   に、混合ガスの組成を分析する分析計を設け、該分析計
   からの信号によって前記複数の原料ガス供給系の各遮断
   弁を閉塞可能に構成したことを特徴とする混合ガス供給
   装置。
2. 【請求項２】 前記遮断弁が前記圧力計からの信号によ
   って閉じているときに、前記分析計による遮断弁の閉塞
   作動を切離す切換手段を備えていることを特徴とする請
   求項１記載の混合ガス供給装置。
3. 【請求項３】 前記ガス合流部と前記分析計との間に、
   混合ガスを一時的に貯留可能な補助タンクを設けたこと
   を特徴とする請求項１記載の混合ガス供給装置。
4. 【請求項４】 前記複数の原料ガス供給系における各遮
   断弁からガス合流部までの容積比率を、混合ガスにおけ
   る各原料ガスの混合比率に対応させたことを特徴とする
   請求項１記載の混合ガス供給装置。