JPH09271652A - 混合ガス供給装置 - Google Patents
混合ガス供給装置Info
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- JPH09271652A JPH09271652A JP8081516A JP8151696A JPH09271652A JP H09271652 A JPH09271652 A JP H09271652A JP 8081516 A JP8081516 A JP 8081516A JP 8151696 A JP8151696 A JP 8151696A JP H09271652 A JPH09271652 A JP H09271652A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 間欠的に混合ガスを製造する際にも、常に所
定濃度の混合ガスを製造・供給することができる混合ガ
ス供給装置を提供する。 【解決手段】 複数の原料ガス供給系１，２からの原料
ガスをガス合流部６で合流させてバッファータンク８に
蓄圧した後に使用先に供給するとともに、バッファータ
ンク内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂを開閉し、混合
ガスを間欠的にバッファータンクに蓄圧する混合ガス供
給装置において、複数の原料ガス供給系における各遮断
弁からガス合流部までの容積比率を、混合ガスにおける
各原料ガスの混合比率に対応させる。
定濃度の混合ガスを製造・供給することができる混合ガ
ス供給装置を提供する。 【解決手段】 複数の原料ガス供給系１，２からの原料
ガスをガス合流部６で合流させてバッファータンク８に
蓄圧した後に使用先に供給するとともに、バッファータ
ンク内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂを開閉し、混合
ガスを間欠的にバッファータンクに蓄圧する混合ガス供
給装置において、複数の原料ガス供給系における各遮断
弁からガス合流部までの容積比率を、混合ガスにおける
各原料ガスの混合比率に対応させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、混合ガス供給装置
に関し、詳しくは、複数の原料ガス供給系からそれぞれ
供給される複数の原料ガスを所定の混合比率で混合した
混合ガスを製造して供給する装置に関する。
に関し、詳しくは、複数の原料ガス供給系からそれぞれ
供給される複数の原料ガスを所定の混合比率で混合した
混合ガスを製造して供給する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】複数種類の単一成分ガスを所定の割合で
混合した混合ガスとして、例えば、酸素と窒素とを大気
と略同等の割合になるように混合した合成空気が病院で
用いられており、複数の特殊な成分を含む雰囲気ガス
が、溶接や浸炭等の金属処理に用いられている。
混合した混合ガスとして、例えば、酸素と窒素とを大気
と略同等の割合になるように混合した合成空気が病院で
用いられており、複数の特殊な成分を含む雰囲気ガス
が、溶接や浸炭等の金属処理に用いられている。
【０００３】図３は、特公昭４８−６０５３号公報に記
載された混合ガス供給方法を示すもので、第１原料ガス
供給系１及び第２原料ガス供給系２から供給される第１
成分ガスと第２成分ガスとを所定の混合比率で製造・供
給するものである。両供給系１，２には、圧力調整弁３
ａ，３ｂ、遮断弁４ａ，４ｂ、ニードル弁５ａ，５ｂが
それぞれ設けられており、両供給系１，２が合流するガ
ス合流部６から下流の混合ガス供給系７には、生成した
混合ガスを貯留蓄圧するバッファータンク８と、該バッ
ファータンク８内の混合ガスを使用先に供給する供給遮
断弁９とが設けられている。
載された混合ガス供給方法を示すもので、第１原料ガス
供給系１及び第２原料ガス供給系２から供給される第１
成分ガスと第２成分ガスとを所定の混合比率で製造・供
給するものである。両供給系１，２には、圧力調整弁３
ａ，３ｂ、遮断弁４ａ，４ｂ、ニードル弁５ａ，５ｂが
それぞれ設けられており、両供給系１，２が合流するガ
ス合流部６から下流の混合ガス供給系７には、生成した
混合ガスを貯留蓄圧するバッファータンク８と、該バッ
ファータンク８内の混合ガスを使用先に供給する供給遮
断弁９とが設けられている。
【０００４】第１原料ガス供給系１からの第１成分ガス
と、第２原料ガス供給系２からの第２成分ガスとは、圧
力調整弁３ａ，３ｂで二次側の圧力が略同等になるよう
にそれぞれ調整された後、ニードル弁５ａ，５ｂでそれ
ぞれの流量が所定の混合比率に相当する流量になるよう
に調整され、ガス合流部６で合流して所定の混合ガスと
なる。この混合ガスは、混合ガス供給系７のバッファー
タンク８に蓄圧された後、供給遮断弁９を介して混合ガ
ス供給系７ａから使用先に供給される。
と、第２原料ガス供給系２からの第２成分ガスとは、圧
力調整弁３ａ，３ｂで二次側の圧力が略同等になるよう
にそれぞれ調整された後、ニードル弁５ａ，５ｂでそれ
ぞれの流量が所定の混合比率に相当する流量になるよう
に調整され、ガス合流部６で合流して所定の混合ガスと
なる。この混合ガスは、混合ガス供給系７のバッファー
タンク８に蓄圧された後、供給遮断弁９を介して混合ガ
ス供給系７ａから使用先に供給される。
【０００５】また、前記バッファータンク８には、タン
ク内の圧力を検出する圧力計（Ｐ）１０が設けられてお
り、該圧力計１０の測定値があらかじめ設定されている
上限圧力を超えると、圧力計１０からの信号で前記遮断
弁４ａ，４ｂが閉じて混合ガスの製造が停止し、下限圧
力よりタンク内の圧力が低くなると、圧力計１０からの
信号で遮断弁４ａ，４ｂが開いて再び混合ガスの製造が
始まり、混合ガスをバッファータンク８内に蓄圧するよ
うに形成されている。
ク内の圧力を検出する圧力計（Ｐ）１０が設けられてお
り、該圧力計１０の測定値があらかじめ設定されている
上限圧力を超えると、圧力計１０からの信号で前記遮断
弁４ａ，４ｂが閉じて混合ガスの製造が停止し、下限圧
力よりタンク内の圧力が低くなると、圧力計１０からの
信号で遮断弁４ａ，４ｂが開いて再び混合ガスの製造が
始まり、混合ガスをバッファータンク８内に蓄圧するよ
うに形成されている。
【０００６】このように、通常の使用時には、バッファ
ータンク８内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂが自動的
に開閉し、所定の混合比率の混合ガスを所定圧力で供給
するように形成されているが、何らかの異常事態によ
り、例えば、圧力調整弁や遮断弁等の機器の経年劣化に
より、一方のガスの供給量が変化すると、混合ガスの組
成が所定の管理範囲から外れてしまうおそれがある。
ータンク８内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂが自動的
に開閉し、所定の混合比率の混合ガスを所定圧力で供給
するように形成されているが、何らかの異常事態によ
り、例えば、圧力調整弁や遮断弁等の機器の経年劣化に
より、一方のガスの供給量が変化すると、混合ガスの組
成が所定の管理範囲から外れてしまうおそれがある。
【０００７】このため、従来の混合ガス供給装置では、
バッファータンク８から使用先に供給する混合ガスの組
成を分析計（Ａ）１１で測定し、組成が管理範囲から外
れたときには、該分析計１１からの信号で供給遮断弁９
を閉じ、使用先に不良な混合ガスが供給されないように
している。
バッファータンク８から使用先に供給する混合ガスの組
成を分析計（Ａ）１１で測定し、組成が管理範囲から外
れたときには、該分析計１１からの信号で供給遮断弁９
を閉じ、使用先に不良な混合ガスが供給されないように
している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来装置
では、圧力計１０からの信号によって遮断弁４ａ，４ｂ
が閉じている状態でバッファータンク８内の混合ガスが
消費され、バッファータンク８内の圧力が低下すると、
これに伴って混合ガス供給系７の圧力も低下し、遮断弁
４ａ，４ｂとガス合流部６との間に残留している両供給
系１，２のガスがガス合流部６を経て混合ガス供給系７
内に流入してくる。このとき、ガスの混合比率や配管の
容積等によっては、混合ガスの組成が管理範囲から外れ
ることがあり、バッファータンク８を介して使用先に供
給する混合ガスの組成に影響を与えることがあった。
では、圧力計１０からの信号によって遮断弁４ａ，４ｂ
が閉じている状態でバッファータンク８内の混合ガスが
消費され、バッファータンク８内の圧力が低下すると、
これに伴って混合ガス供給系７の圧力も低下し、遮断弁
４ａ，４ｂとガス合流部６との間に残留している両供給
系１，２のガスがガス合流部６を経て混合ガス供給系７
内に流入してくる。このとき、ガスの混合比率や配管の
容積等によっては、混合ガスの組成が管理範囲から外れ
ることがあり、バッファータンク８を介して使用先に供
給する混合ガスの組成に影響を与えることがあった。
【０００９】このことは、混合ガスの組成の管理幅が広
い場合や、混合比率が等量に近い場合にはそれほど問題
とはならないが、管理幅が極めて狭い混合ガスや、組成
に大きな偏りがある場合には大きな問題となる。
い場合や、混合比率が等量に近い場合にはそれほど問題
とはならないが、管理幅が極めて狭い混合ガスや、組成
に大きな偏りがある場合には大きな問題となる。
【００１０】また、分析計１１で組成に異常が発見され
たときには、バッファータンク８内の混合ガス全体が既
に不良品になっており、これを所定の混合ガスとして使
用することができなくなっているため、組成に異常が発
生した場合には、バッファータンク８内のガスを全てブ
ロー弁１２から外部に放出しなければならず、相当量の
原料ガスが無駄に廃棄されることになる。
たときには、バッファータンク８内の混合ガス全体が既
に不良品になっており、これを所定の混合ガスとして使
用することができなくなっているため、組成に異常が発
生した場合には、バッファータンク８内のガスを全てブ
ロー弁１２から外部に放出しなければならず、相当量の
原料ガスが無駄に廃棄されることになる。
【００１１】そこで本発明は、間欠的に混合ガスを製造
する際にも、常に所定濃度の混合ガスを製造・供給する
ことができる混合ガス供給装置を提供することを目的と
している。
する際にも、常に所定濃度の混合ガスを製造・供給する
ことができる混合ガス供給装置を提供することを目的と
している。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の混合ガス供給装置は、圧力調整弁，遮断弁
及び流量調整弁をそれぞれ有する複数の原料ガス供給系
からの複数の原料ガスをガス合流部で合流させて混合ガ
スとし、該混合ガスをバッファータンクに蓄圧した後に
使用先に供給するとともに、前記バッファータンク内の
圧力を圧力計で検出し、検出した圧力に応じて圧力計か
らの信号で前記遮断弁を開閉することにより、前記混合
ガスを間欠的にバッファータンクに蓄圧するように構成
した混合ガス供給装置において、前記複数の原料ガス供
給系における各遮断弁からガス合流部までの容積比率
を、混合ガスにおける各原料ガスの混合比率に対応させ
たことを特徴としている。
め、本発明の混合ガス供給装置は、圧力調整弁，遮断弁
及び流量調整弁をそれぞれ有する複数の原料ガス供給系
からの複数の原料ガスをガス合流部で合流させて混合ガ
スとし、該混合ガスをバッファータンクに蓄圧した後に
使用先に供給するとともに、前記バッファータンク内の
圧力を圧力計で検出し、検出した圧力に応じて圧力計か
らの信号で前記遮断弁を開閉することにより、前記混合
ガスを間欠的にバッファータンクに蓄圧するように構成
した混合ガス供給装置において、前記複数の原料ガス供
給系における各遮断弁からガス合流部までの容積比率
を、混合ガスにおける各原料ガスの混合比率に対応させ
たことを特徴としている。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面を参照して
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の混合ガス供給
装置の一例を示すもので、構成機器は、従来と同様のも
のとしている。すなわち、圧力調整弁３ａ，３ｂ、遮断
弁４ａ，４ｂ及び流量調整弁であるニードル弁５ａ，５
ｂをそれぞれ有する第１原料ガス供給系１及び第２原料
ガス供給系２と、両供給系１，２の２種類のガスが合流
するガス合流部６の下流の混合ガス供給系７に設けられ
たバッファータンク８及び供給遮断弁９と、バッファー
タンク８内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂを開閉する
圧力計１０と、混合ガスの組成が管理範囲から外れたと
きに供給遮断弁９を閉じる分析計１１と、バッファータ
ンク８内のガスを放出するブロー弁１２とを備えてい
る。
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の混合ガス供給
装置の一例を示すもので、構成機器は、従来と同様のも
のとしている。すなわち、圧力調整弁３ａ，３ｂ、遮断
弁４ａ，４ｂ及び流量調整弁であるニードル弁５ａ，５
ｂをそれぞれ有する第１原料ガス供給系１及び第２原料
ガス供給系２と、両供給系１，２の２種類のガスが合流
するガス合流部６の下流の混合ガス供給系７に設けられ
たバッファータンク８及び供給遮断弁９と、バッファー
タンク８内の圧力に応じて遮断弁４ａ，４ｂを開閉する
圧力計１０と、混合ガスの組成が管理範囲から外れたと
きに供給遮断弁９を閉じる分析計１１と、バッファータ
ンク８内のガスを放出するブロー弁１２とを備えてい
る。
【００１４】そして、本形態例の混合ガス供給装置で
は、両供給系１，２における遮断弁４ａ，４ｂからガス
合流部６に至る間の配管１ａ，２ａの長さを変えたり、
径を変えたりして、各遮断弁４ａ，４ｂからガス合流部
６に至るまでの配管１ａ，２ａの容積（ニードル弁５
ａ，５ｂの容積も含む）比率を、製造する混合ガスにお
ける各原料ガスの混合比率に対応させている。
は、両供給系１，２における遮断弁４ａ，４ｂからガス
合流部６に至る間の配管１ａ，２ａの長さを変えたり、
径を変えたりして、各遮断弁４ａ，４ｂからガス合流部
６に至るまでの配管１ａ，２ａの容積（ニードル弁５
ａ，５ｂの容積も含む）比率を、製造する混合ガスにお
ける各原料ガスの混合比率に対応させている。
【００１５】例えば、混合ガスとして、酸素２２％、窒
素７８％の合成空気を製造する場合、酸素を供給する第
１原料ガス供給系１の配管１ａの容積Ｑ１と、窒素を供
給する第２原料ガス供給系２の配管２ａの容積Ｑ２との
比率が、Ｑ１：Ｑ２＝２２：７８になるようにする。
素７８％の合成空気を製造する場合、酸素を供給する第
１原料ガス供給系１の配管１ａの容積Ｑ１と、窒素を供
給する第２原料ガス供給系２の配管２ａの容積Ｑ２との
比率が、Ｑ１：Ｑ２＝２２：７８になるようにする。
【００１６】同様にして、３種類の原料ガスをＣ１％，
Ｃ２％，Ｃ３％の混合比率で混合する場合は、３系統の
原料ガス供給系における各遮断弁からガス合流部に至る
までの配管の容積Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３を、Ｑ１：Ｑ２：Ｑ
３＝Ｃ１：Ｃ２：Ｃ３の比になるようにする。以下、同
様に、ｎ種類のガスを混合して所定の混合比率の混合ガ
スを製造する場合、混合ガスにおけるｎ種類のガスの組
成割合が「Ｃ１：Ｃ２：……：Ｃｎ」のときには、各ガ
スの供給系における遮断弁とガス合流部との間のそれぞ
れの容積Ｑ１，Ｑ２，……，Ｑｎの関係を、Ｑ１：Ｑ
２：……：Ｑｎ＝Ｃ１：Ｃ２：……：Ｃｎとなるように
設定すればよい。
Ｃ２％，Ｃ３％の混合比率で混合する場合は、３系統の
原料ガス供給系における各遮断弁からガス合流部に至る
までの配管の容積Ｑ１，Ｑ２，Ｑ３を、Ｑ１：Ｑ２：Ｑ
３＝Ｃ１：Ｃ２：Ｃ３の比になるようにする。以下、同
様に、ｎ種類のガスを混合して所定の混合比率の混合ガ
スを製造する場合、混合ガスにおけるｎ種類のガスの組
成割合が「Ｃ１：Ｃ２：……：Ｃｎ」のときには、各ガ
スの供給系における遮断弁とガス合流部との間のそれぞ
れの容積Ｑ１，Ｑ２，……，Ｑｎの関係を、Ｑ１：Ｑ
２：……：Ｑｎ＝Ｃ１：Ｃ２：……：Ｃｎとなるように
設定すればよい。
【００１７】図２は、配管１ａ，２ａの長さを変えた
り、径を変えたりすることに代えて、配管１ａ，２ａの
適当な位置に補助タンク１３を設け、該補助タンク１３
の容積を適当に設定することにより、両配管１ａ，２ａ
の容積比率を、上記のように製造する混合ガスにおける
各原料ガスの混合比率に対応させるようにしたものであ
る。
り、径を変えたりすることに代えて、配管１ａ，２ａの
適当な位置に補助タンク１３を設け、該補助タンク１３
の容積を適当に設定することにより、両配管１ａ，２ａ
の容積比率を、上記のように製造する混合ガスにおける
各原料ガスの混合比率に対応させるようにしたものであ
る。
【００１８】この場合、各配管に設ける補助タンク１３
の容積を変更可能にすることにより、例えば補助タンク
１３をシリンダーで形成してピストン位置を変えること
により、各配管の容積比率を任意の混合比率に対応させ
ることが可能となる。
の容積を変更可能にすることにより、例えば補助タンク
１３をシリンダーで形成してピストン位置を変えること
により、各配管の容積比率を任意の混合比率に対応させ
ることが可能となる。
【００１９】なお、本発明において、各種機器は、その
目的に応じて任意の構造のものを使用することが可能で
あり、例えば、前記圧力調整弁には、二次側圧力を一定
に保持できるものであれば、自力式，他力式等の任意の
圧力制御手段を用いることができる。また、遮断弁とし
ても、流路を急速に開放・閉塞できるものであれば任意
の形式の弁を用いることができ、原料ガス供給系の任意
の位置に設けることが可能である。さらに、流量調整弁
には、上記ニードル弁以外のものも使用でき、流量調整
弁は、流体に所定の抵抗を与える抵抗体の一種であるか
ら、圧力や混合比率が決まっている場合には、オリフィ
スや細管等を用いることもできる。また、ガス合流部の
下流側に、合流したガスを確実に混合させるための混合
器を設けてもよい。
目的に応じて任意の構造のものを使用することが可能で
あり、例えば、前記圧力調整弁には、二次側圧力を一定
に保持できるものであれば、自力式，他力式等の任意の
圧力制御手段を用いることができる。また、遮断弁とし
ても、流路を急速に開放・閉塞できるものであれば任意
の形式の弁を用いることができ、原料ガス供給系の任意
の位置に設けることが可能である。さらに、流量調整弁
には、上記ニードル弁以外のものも使用でき、流量調整
弁は、流体に所定の抵抗を与える抵抗体の一種であるか
ら、圧力や混合比率が決まっている場合には、オリフィ
スや細管等を用いることもできる。また、ガス合流部の
下流側に、合流したガスを確実に混合させるための混合
器を設けてもよい。
【００２０】さらに、図２に想像線で示すように、合流
後の混合ガスの組成を分析する分析計１１ａを、ガス合
流部６とバッファータンク８との間の混合ガス供給系７
の途中に設け、この分析計１１ａで製造中の混合ガスの
組成に異常を発見したときに、該分析計１１ａからの異
常発生信号により、自動的あるいは手動で遮断弁４ａ，
４ｂを閉じるようにしてもよい。これにより、異常な組
成の混合ガスがバッファータンク８内に流入することを
防止でき、異常が発生したときにも、バッファータンク
８内の混合ガスを廃棄することなくそのまま使用するこ
とができる。
後の混合ガスの組成を分析する分析計１１ａを、ガス合
流部６とバッファータンク８との間の混合ガス供給系７
の途中に設け、この分析計１１ａで製造中の混合ガスの
組成に異常を発見したときに、該分析計１１ａからの異
常発生信号により、自動的あるいは手動で遮断弁４ａ，
４ｂを閉じるようにしてもよい。これにより、異常な組
成の混合ガスがバッファータンク８内に流入することを
防止でき、異常が発生したときにも、バッファータンク
８内の混合ガスを廃棄することなくそのまま使用するこ
とができる。
【００２１】
【実施例】以下、本発明の実施例及び比較例を説明す
る。 比較例１ 図１に示す構成の混合ガス供給装置により酸素と窒素と
を混合して酸素２２％、窒素７８％の合成空気を製造し
た。圧力等の諸条件は、次の通りである。
る。 比較例１ 図１に示す構成の混合ガス供給装置により酸素と窒素と
を混合して酸素２２％、窒素７８％の合成空気を製造し
た。圧力等の諸条件は、次の通りである。
【００２２】 圧力調整弁３ａ，３ｂの二次側圧力 ７．０ｋｇｆ／ｃｍ2 圧力計１０の設定上限値 ５．５ｋｇｆ／ｃｍ2 〃 下限値 ５．０ｋｇｆ／ｃｍ2 酸素濃度管理値 ２２．０±０．２％ 遮断弁４ａとガス合流部６との間の容積 ０．３リットル 遮断弁４ｂとガス合流部６との間の容積 ０．３リットル ガス合流部６と分析計１１との間の容積 ０．３リットル バッファータンク８の容量 ３０リットル 流量 ５ｍ3 ／ｈ
【００２３】第１原料ガス供給系１から酸素を、第２原
料ガス供給系２から窒素をそれぞれ供給し、バッファー
タンク８内の圧力が上限値を超えて圧力計１０の信号に
より両遮断弁４ａ，４ｂが閉じられると、混合ガス供給
系７内の合成空気の酸素濃度が上昇し、混合ガス供給系
７ａから使用先に供給する合成空気の酸素濃度が酸素濃
度管理値の上限を僅かに超えたため、分析計１１からの
信号で供給遮断弁９が自動的に遮断された。なお、酸素
濃度管理値を２２．０±１．０％に広げたときは、酸素
濃度が上限を超えることがなく、問題なく運転を継続で
きた。
料ガス供給系２から窒素をそれぞれ供給し、バッファー
タンク８内の圧力が上限値を超えて圧力計１０の信号に
より両遮断弁４ａ，４ｂが閉じられると、混合ガス供給
系７内の合成空気の酸素濃度が上昇し、混合ガス供給系
７ａから使用先に供給する合成空気の酸素濃度が酸素濃
度管理値の上限を僅かに超えたため、分析計１１からの
信号で供給遮断弁９が自動的に遮断された。なお、酸素
濃度管理値を２２．０±１．０％に広げたときは、酸素
濃度が上限を超えることがなく、問題なく運転を継続で
きた。
【００２４】実施例１ 比較例１において、配管１ａ，２ａの長さを調節するこ
とにより、遮断弁４ａとガス合流部６との間の配管１ａ
の容積を０．２２リットル、遮断弁４ｂとガス合流部６
との間の配管２ａの容積を０．７８リットルとした以外
は比較例１と同様にして合成空気を製造したところ、圧
力計１０の信号で両遮断弁４ａ，４ｂが閉じてから再び
開くまでの間、混合ガス供給系７内の合成空気の酸素濃
度は、設定濃度の２２．０％からほとんど変動すること
はなかった。
とにより、遮断弁４ａとガス合流部６との間の配管１ａ
の容積を０．２２リットル、遮断弁４ｂとガス合流部６
との間の配管２ａの容積を０．７８リットルとした以外
は比較例１と同様にして合成空気を製造したところ、圧
力計１０の信号で両遮断弁４ａ，４ｂが閉じてから再び
開くまでの間、混合ガス供給系７内の合成空気の酸素濃
度は、設定濃度の２２．０％からほとんど変動すること
はなかった。
【００２５】比較例２ 供給する混合ガスの組成を酸素１％、アルゴン９９％と
し、酸素濃度管理値を１．０±０．１％とした以外は、
比較例１と同様にして実験を行った。その結果、両遮断
弁４ａ，４ｂが閉じると、混合ガス供給系７内の酸素濃
度が設定値から急激に上昇し、バッファータンク８から
混合ガス供給系７ａを介して使用先に供給する混合ガス
中の酸素濃度も大幅に上昇してしまった。
し、酸素濃度管理値を１．０±０．１％とした以外は、
比較例１と同様にして実験を行った。その結果、両遮断
弁４ａ，４ｂが閉じると、混合ガス供給系７内の酸素濃
度が設定値から急激に上昇し、バッファータンク８から
混合ガス供給系７ａを介して使用先に供給する混合ガス
中の酸素濃度も大幅に上昇してしまった。
【００２６】実施例２ 比較例２において、配管２ａの途中に補助タンクを設置
し、配管１ａの容積と配管２ａの容積との比率を、１：
９９にした以外は比較例２と同様にして混合ガスを製造
した。その結果、両遮断弁４ａ，４ｂが閉じてから再び
開くまでの間、混合ガス供給系７内の混合ガスの酸素濃
度は、設定濃度の１．０％からほとんど変動することは
なかった。
し、配管１ａの容積と配管２ａの容積との比率を、１：
９９にした以外は比較例２と同様にして混合ガスを製造
した。その結果、両遮断弁４ａ，４ｂが閉じてから再び
開くまでの間、混合ガス供給系７内の混合ガスの酸素濃
度は、設定濃度の１．０％からほとんど変動することは
なかった。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の混合ガス
供給装置によれば、運転の一時停止中でも所定濃度の混
合ガスを得ることができるので、組成の管理幅が狭い混
合ガスや微量成分の濃度管理が厳しい混合ガスを製造・
供給するのに最適である。
供給装置によれば、運転の一時停止中でも所定濃度の混
合ガスを得ることができるので、組成の管理幅が狭い混
合ガスや微量成分の濃度管理が厳しい混合ガスを製造・
供給するのに最適である。
【図１】 本発明の混合ガス供給装置の一例を示す系統
図である。
図である。
【図２】 同じく混合ガス供給装置の他の例を示す系統
図である。
図である。
【図３】 従来の混合ガス供給装置の一例を示す系統図
である。
である。
１…第１原料ガス供給系、２…第２原料ガス供給系、１
ａ，２ａ…遮断弁からガス合流部に至るまでの配管、３
ａ，３ｂ…圧力調整弁、４ａ，４ｂ…遮断弁、５ａ，５
ｂ…ニードル弁、６…ガス合流部、７…混合ガス供給
系、８…バッファータンク、１０…圧力計、１１…分析
計、１３…補助タンク
ａ，２ａ…遮断弁からガス合流部に至るまでの配管、３
ａ，３ｂ…圧力調整弁、４ａ，４ｂ…遮断弁、５ａ，５
ｂ…ニードル弁、６…ガス合流部、７…混合ガス供給
系、８…バッファータンク、１０…圧力計、１１…分析
計、１３…補助タンク
Claims (1)
- 【請求項１】 圧力調整弁，遮断弁及び流量調整弁をそ
れぞれ有する複数の原料ガス供給系からの複数の原料ガ
スをガス合流部で合流させて混合ガスとし、該混合ガス
をバッファータンクに蓄圧した後に使用先に供給すると
ともに、前記バッファータンク内の圧力を圧力計で検出
し、検出した圧力に応じて圧力計からの信号で前記遮断
弁を開閉することにより、前記混合ガスを間欠的にバッ
ファータンクに蓄圧するように構成した混合ガス供給装
置において、前記複数の原料ガス供給系における各遮断
弁からガス合流部までの容積比率を、混合ガスにおける
各原料ガスの混合比率に対応させたことを特徴とする混
合ガス供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8081516A JPH09271652A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 混合ガス供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8081516A JPH09271652A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 混合ガス供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09271652A true JPH09271652A (ja) | 1997-10-21 |
Family
ID=13748520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8081516A Pending JPH09271652A (ja) | 1996-04-03 | 1996-04-03 | 混合ガス供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09271652A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004360073A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-24 | Fraunhofer Ges | 陰極スパッタ法 |
| WO2015166868A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置およびｅｕｖ光生成装置 |
| CN113377135A (zh) * | 2020-02-25 | 2021-09-10 | Kc股份有限公司 | 气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法 |
-
1996
- 1996-04-03 JP JP8081516A patent/JPH09271652A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004360073A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-24 | Fraunhofer Ges | 陰極スパッタ法 |
| JP4541762B2 (ja) * | 2003-05-30 | 2010-09-08 | フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ | 陰極スパッタ法 |
| WO2015166868A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | ギガフォトン株式会社 | ターゲット供給装置およびｅｕｖ光生成装置 |
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| CN113377135A (zh) * | 2020-02-25 | 2021-09-10 | Kc股份有限公司 | 气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法 |
| CN113377135B (zh) * | 2020-02-25 | 2024-05-24 | Kc股份有限公司 | 气体混合供应装置和供应系统及气体混合供应方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070612 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20071016 |