JPH0544899A - プラントガス供給のバツクアツプ方法 - Google Patents
プラントガス供給のバツクアツプ方法Info
- Publication number
- JPH0544899A JPH0544899A JP3201036A JP20103691A JPH0544899A JP H0544899 A JPH0544899 A JP H0544899A JP 3201036 A JP3201036 A JP 3201036A JP 20103691 A JP20103691 A JP 20103691A JP H0544899 A JPH0544899 A JP H0544899A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- plant
- supply
- value
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Pipeline Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス製造プラントからのプラントガス供給の
バックアップ方法に関し、バックアップへの切り替えを
瞬時に且つ自動的に行い得るようにすることを目的とす
る。 【構成】 プラントガスの供給元であるガス製造プラン
ト１から供給先２へ至る主供給パイプ３の途中に、副供
給パイプ４を介してプラントガスを臨時に供給し得るバ
ックアップタンク５を接続し、主供給パイプ３の前記接
続点より上流にはガス製造プラント１側からの順序で圧
力センサー10と逆止め弁７を設けると共に、副供給パイ
プ４には圧力センサー10の検出値により開閉させる遠隔
操作弁11を設け、バックアップタンク５の供給ガス圧
を、ガス製造プラント１の正常時の供給ガス圧の最低値
より高く設定し、圧力センサー10の検出値が前記最低値
より低い所定値以下となった際に遠隔操作弁11を開き、
該検出値が該最低値以上となった際に遠隔操作弁11を閉
じるように構成する。
バックアップ方法に関し、バックアップへの切り替えを
瞬時に且つ自動的に行い得るようにすることを目的とす
る。 【構成】 プラントガスの供給元であるガス製造プラン
ト１から供給先２へ至る主供給パイプ３の途中に、副供
給パイプ４を介してプラントガスを臨時に供給し得るバ
ックアップタンク５を接続し、主供給パイプ３の前記接
続点より上流にはガス製造プラント１側からの順序で圧
力センサー10と逆止め弁７を設けると共に、副供給パイ
プ４には圧力センサー10の検出値により開閉させる遠隔
操作弁11を設け、バックアップタンク５の供給ガス圧
を、ガス製造プラント１の正常時の供給ガス圧の最低値
より高く設定し、圧力センサー10の検出値が前記最低値
より低い所定値以下となった際に遠隔操作弁11を開き、
該検出値が該最低値以上となった際に遠隔操作弁11を閉
じるように構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス製造プラントから
のプラントガス供給のバックアップ方法に関する。
のプラントガス供給のバックアップ方法に関する。
【０００２】半導体装置の製造現場では、上記プラント
ガスとして窒素ガスやクリーンドライエアーなどを用い
ており、このプラントガスの終始安定した供給が連続操
業条件の１つである。
ガスとして窒素ガスやクリーンドライエアーなどを用い
ており、このプラントガスの終始安定した供給が連続操
業条件の１つである。
【０００３】本発明は、ガス製造プラントにプラントガ
ス供給を不安定にさせるトラブルが生じても、供給先に
対するプラントガス供給の安定を確保させるバックアッ
プ方法を提供しようとするものである。
ス供給を不安定にさせるトラブルが生じても、供給先に
対するプラントガス供給の安定を確保させるバックアッ
プ方法を提供しようとするものである。
【０００４】
【従来の技術】図３は上記バックアップ方法の従来例を
説明するための構成図である。同図を参照して、この従
来例は、プラントガスの供給元であるガス製造プラント
１から供給先２へ至る主供給パイプ３の途中に、副供給
パイプ４を介してプラントガスを臨時に供給し得るバッ
クアップタンク５を接続し、主供給パイプ３の上記接続
点より上流には手操作弁６と逆止め弁７を設けると共
に、副供給パイプ４には手操作弁８と逆止め弁９を設け
てある。
説明するための構成図である。同図を参照して、この従
来例は、プラントガスの供給元であるガス製造プラント
１から供給先２へ至る主供給パイプ３の途中に、副供給
パイプ４を介してプラントガスを臨時に供給し得るバッ
クアップタンク５を接続し、主供給パイプ３の上記接続
点より上流には手操作弁６と逆止め弁７を設けると共
に、副供給パイプ４には手操作弁８と逆止め弁９を設け
てある。
【０００５】常時は、ガス製造プラント１からプラント
ガスを供給するので、手操作弁６を開き手操作弁８を閉
じた状態にしておく。そして、ガス製造プラント１にト
ラブルが生じてガス製造プラント１からのプラントガス
供給が停止または不安定になった際には、手操作弁８を
開きバックアップタンク５からプラントガスを臨時に供
給するように切り替えて、プラントガス供給のバックア
ップを行う。また、このバックアップを行っている間
に、手操作弁６を閉じてガス製造プラント１の修復を行
う。この後、ガス製造プラント１が修復されたところ
で、手操作弁６を開き手操作弁８を閉じて正常の状態に
復帰させる。
ガスを供給するので、手操作弁６を開き手操作弁８を閉
じた状態にしておく。そして、ガス製造プラント１にト
ラブルが生じてガス製造プラント１からのプラントガス
供給が停止または不安定になった際には、手操作弁８を
開きバックアップタンク５からプラントガスを臨時に供
給するように切り替えて、プラントガス供給のバックア
ップを行う。また、このバックアップを行っている間
に、手操作弁６を閉じてガス製造プラント１の修復を行
う。この後、ガス製造プラント１が修復されたところ
で、手操作弁６を開き手操作弁８を閉じて正常の状態に
復帰させる。
【０００６】ところで、プラントガスが窒素である場合
には、バックアップタンク５は、窒素を液体窒素の状態
で貯蔵し、バックアップ時に蒸発器により気化させて供
給する仕組みをなし、ブロー弁と加圧弁を設けて、常時
は液体窒素の自然気化による内圧上昇をブロー弁からの
ブローにより防止し、バックアップ開始時にブロー弁を
閉じ加圧弁を開いて供給ガス圧を確保する操作が必要で
ある。なお、この窒素供給のバックアップタンク５は、
ガス製造プラント１からのプラントガスがクリーンドラ
イエアーの場合にも用いられることがある。
には、バックアップタンク５は、窒素を液体窒素の状態
で貯蔵し、バックアップ時に蒸発器により気化させて供
給する仕組みをなし、ブロー弁と加圧弁を設けて、常時
は液体窒素の自然気化による内圧上昇をブロー弁からの
ブローにより防止し、バックアップ開始時にブロー弁を
閉じ加圧弁を開いて供給ガス圧を確保する操作が必要で
ある。なお、この窒素供給のバックアップタンク５は、
ガス製造プラント１からのプラントガスがクリーンドラ
イエアーの場合にも用いられることがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述のことから従来例
では、バックアップへの切り替えは、作業者がガス製造
プラント１の異常を認めてから手操作弁８のところへ行
って弁を開くために時間を要して、その間はプラントガ
スの供給が不安定となる。然もバックアップタンク５か
らのプラントガスが窒素の場合にはその期間が長くなら
ざるを得ない。更に切り替えが手操作であるため人為的
なミスも起こりかねない。このことは、供給先２の半導
体製造装置を作動異常にさせて製品障害を起こさせる。
では、バックアップへの切り替えは、作業者がガス製造
プラント１の異常を認めてから手操作弁８のところへ行
って弁を開くために時間を要して、その間はプラントガ
スの供給が不安定となる。然もバックアップタンク５か
らのプラントガスが窒素の場合にはその期間が長くなら
ざるを得ない。更に切り替えが手操作であるため人為的
なミスも起こりかねない。このことは、供給先２の半導
体製造装置を作動異常にさせて製品障害を起こさせる。
【０００８】そこで本発明は、ガス製造プラントからの
プラントガス供給のバックアップ方法に関し、バックア
ップへの切り替えを瞬時に且つ自動的に行い得るように
することを目的とする。
プラントガス供給のバックアップ方法に関し、バックア
ップへの切り替えを瞬時に且つ自動的に行い得るように
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理説明
図である。同図を参照して、上記目的を達成するため
に、本発明によるプラントガス供給のバックアップ方法
は、プラントガスを供給する系において、プラントガス
の供給元であるガス製造プラント１から供給先２へ至る
主供給パイプ３の途中に、副供給パイプ４を介してプラ
ントガスを臨時に供給し得るバックアップタンク５を接
続し、主供給パイプ３の前記接続点より上流にはガス製
造プラント１側からの順序で圧力センサー10と逆止め弁
７を設けると共に、副供給パイプ４には圧力センサー10
の検出値により開閉させる遠隔操作弁11を設け、バック
アップタンク５の供給ガス圧を、ガス製造プラント１の
正常時の供給ガス圧の最低値より高く設定し、圧力セン
サー10の検出値が前記最低値より低い所定値以下となっ
た際に遠隔操作弁11を開き、該検出値が該最低値以上と
なった際に遠隔操作弁11を閉じるようにしたことを特徴
としている。
図である。同図を参照して、上記目的を達成するため
に、本発明によるプラントガス供給のバックアップ方法
は、プラントガスを供給する系において、プラントガス
の供給元であるガス製造プラント１から供給先２へ至る
主供給パイプ３の途中に、副供給パイプ４を介してプラ
ントガスを臨時に供給し得るバックアップタンク５を接
続し、主供給パイプ３の前記接続点より上流にはガス製
造プラント１側からの順序で圧力センサー10と逆止め弁
７を設けると共に、副供給パイプ４には圧力センサー10
の検出値により開閉させる遠隔操作弁11を設け、バック
アップタンク５の供給ガス圧を、ガス製造プラント１の
正常時の供給ガス圧の最低値より高く設定し、圧力セン
サー10の検出値が前記最低値より低い所定値以下となっ
た際に遠隔操作弁11を開き、該検出値が該最低値以上と
なった際に遠隔操作弁11を閉じるようにしたことを特徴
としている。
【００１０】そして、バックアップタンク５の供給ガス
圧設定は、ガス製造プラント１の正常時の供給ガス圧の
最高値以下にすることが望ましく、また、前記最低値よ
り低い所定値は、供給先２が必要とするガス圧より高い
値にすることが望ましい。
圧設定は、ガス製造プラント１の正常時の供給ガス圧の
最高値以下にすることが望ましく、また、前記最低値よ
り低い所定値は、供給先２が必要とするガス圧より高い
値にすることが望ましい。
【００１１】
【作用】一般に、ガス製造プラント１の正常時の供給ガ
ス圧の最低値は、供給先２が必要とするガス圧に対して
高い方に余裕をとってある。
ス圧の最低値は、供給先２が必要とするガス圧に対して
高い方に余裕をとってある。
【００１２】そして本発明では、圧力センサー10は、ガ
ス製造プラント１の供給ガス圧を常時監視しており、そ
のガス圧が正常時の最低値より低い所定値以下となった
際に、バックアップタンク５からプラントガスを供給さ
せる遠隔操作弁11を開かせる。従って、バックアップへ
の切り替えが瞬時に且つ自動的に行われるようになる。
然も、バックアップタンク５からのプラントガスは、逆
止め弁７によりガス製造プラント１への逆流が阻止され
て、供給先２へ有効に供給される。
ス製造プラント１の供給ガス圧を常時監視しており、そ
のガス圧が正常時の最低値より低い所定値以下となった
際に、バックアップタンク５からプラントガスを供給さ
せる遠隔操作弁11を開かせる。従って、バックアップへ
の切り替えが瞬時に且つ自動的に行われるようになる。
然も、バックアップタンク５からのプラントガスは、逆
止め弁７によりガス製造プラント１への逆流が阻止され
て、供給先２へ有効に供給される。
【００１３】その際、圧力センサー10が検出する上記所
定値を供給先２が必要とするガス圧より高い値にすれ
ば、切り替え時におけるプラントガス供給の不安定化が
確実に防止される。しかしながら、この所定値を供給先
２が必要とするガス圧より多少低い値にしても、切り替
えが瞬時に行われるので上記不安定化が甚だしくなるこ
とはない。
定値を供給先２が必要とするガス圧より高い値にすれ
ば、切り替え時におけるプラントガス供給の不安定化が
確実に防止される。しかしながら、この所定値を供給先
２が必要とするガス圧より多少低い値にしても、切り替
えが瞬時に行われるので上記不安定化が甚だしくなるこ
とはない。
【００１４】また、バックアップタンク５の供給ガス圧
設定をガス製造プラント１の正常時の供給ガス圧の最高
値以下にすれば、バックアップ時のガス圧が正常時のガ
ス圧の範囲に収まり、バックアップ時のガス圧が適正と
なる。しかしながら、この設定を上記最高値より多少高
くしても供給先２で特別な不都合を起こすことはない。
それは、供給先２の例えば半導体製造装置が減圧弁を通
してプラントガスを使用するからである。
設定をガス製造プラント１の正常時の供給ガス圧の最高
値以下にすれば、バックアップ時のガス圧が正常時のガ
ス圧の範囲に収まり、バックアップ時のガス圧が適正と
なる。しかしながら、この設定を上記最高値より多少高
くしても供給先２で特別な不都合を起こすことはない。
それは、供給先２の例えば半導体製造装置が減圧弁を通
してプラントガスを使用するからである。
【００１５】
【実施例】以下本発明の実施例について図２の構成図を
用いて説明する。全図を通し同一符号は同一対象物を示
す。
用いて説明する。全図を通し同一符号は同一対象物を示
す。
【００１６】図２において、この実施例は、先に述べた
従来例に、圧力センサー10、遠隔制御弁11、遠隔制御器
12、手操作弁13を付加している。圧力センサー10は、主
供給パイプ３の逆止め弁７より上流に設けてガス製造プ
ラント１の供給ガス圧を常時監視させる。
従来例に、圧力センサー10、遠隔制御弁11、遠隔制御器
12、手操作弁13を付加している。圧力センサー10は、主
供給パイプ３の逆止め弁７より上流に設けてガス製造プ
ラント１の供給ガス圧を常時監視させる。
【００１７】遠隔操作弁11は、副供給パイプ４のバック
アップタンク５側から並ぶ手操作弁８と逆止め弁９との
間に設けて、遠隔制御器12の制御を介し圧力センサー10
の検出値により開閉させ、バックアップ時にバックアッ
プタンク５のプラントガスを主供給パイプ３に供給す
る。
アップタンク５側から並ぶ手操作弁８と逆止め弁９との
間に設けて、遠隔制御器12の制御を介し圧力センサー10
の検出値により開閉させ、バックアップ時にバックアッ
プタンク５のプラントガスを主供給パイプ３に供給す
る。
【００１８】手操作弁13は、手操作弁８と遠隔操作弁11
に対してバイパスするように設ける。そして、供給先２
が必要とするガス圧即ち供給先２の半導体製造装置が減
圧弁を通して使用するガス圧が8.0 Kg/cm2の場合、ガス
製造プラント１の供給ガス圧は最低値が8.5 Kg/cm2、最
高値が9.0 Kg/cm2であり、バックアップタンク５の供給
ガス圧を上記最高値に合わせて9.0 Kg/cm2に設定する。
このガス圧の設定は、上記最高値 (9.0 Kg/cm2) 以下で
上記最低値 (8.5 Kg/cm2) より高くするのが良く、止む
を得ぬ場合は上記最高値を多少越えてもかまわない。
に対してバイパスするように設ける。そして、供給先２
が必要とするガス圧即ち供給先２の半導体製造装置が減
圧弁を通して使用するガス圧が8.0 Kg/cm2の場合、ガス
製造プラント１の供給ガス圧は最低値が8.5 Kg/cm2、最
高値が9.0 Kg/cm2であり、バックアップタンク５の供給
ガス圧を上記最高値に合わせて9.0 Kg/cm2に設定する。
このガス圧の設定は、上記最高値 (9.0 Kg/cm2) 以下で
上記最低値 (8.5 Kg/cm2) より高くするのが良く、止む
を得ぬ場合は上記最高値を多少越えてもかまわない。
【００１９】また、遠隔制御器12の条件設定は、圧力セ
ンサー10の検出値が上記最低値より低い値の8.3 Kg/cm2
(先に述べた所定値) 以下となった際に遠隔操作弁11を
開き、その検出値が上記最低値 (8.5 Kg/cm2) 以上とな
った際に遠隔操作弁11を閉じるようにする。上記所定値
は、供給先２が必要とするガス圧より高い値にするのが
良く、止むを得ぬ場合はそのガス圧を多少下回る値にし
てもかまわない。
ンサー10の検出値が上記最低値より低い値の8.3 Kg/cm2
(先に述べた所定値) 以下となった際に遠隔操作弁11を
開き、その検出値が上記最低値 (8.5 Kg/cm2) 以上とな
った際に遠隔操作弁11を閉じるようにする。上記所定値
は、供給先２が必要とするガス圧より高い値にするのが
良く、止むを得ぬ場合はそのガス圧を多少下回る値にし
てもかまわない。
【００２０】このようにする圧力センサー10, 遠隔操作
弁11及び遠隔制御器12には、ここでは、それぞれ山武ハ
ネウェル社の電子式圧力発信器（ＪＴＧ２４０），トッ
プガイド形単座調節弁（ＨＴＳ形）及び単機能形調節計
（ＫＡＳ１００型）を用いている。
弁11及び遠隔制御器12には、ここでは、それぞれ山武ハ
ネウェル社の電子式圧力発信器（ＪＴＧ２４０），トッ
プガイド形単座調節弁（ＨＴＳ形）及び単機能形調節計
（ＫＡＳ１００型）を用いている。
【００２１】更に、バックアップ用のプラントガスが窒
素であってバックアップタンク５にブロー弁と加圧弁を
設ける場合は、それらの弁を遠隔操作弁11に準じて所要
の開閉を行う遠隔操作型の弁にする。
素であってバックアップタンク５にブロー弁と加圧弁を
設ける場合は、それらの弁を遠隔操作弁11に準じて所要
の開閉を行う遠隔操作型の弁にする。
【００２２】常時は、手操作弁６及び８を開き手操作弁
13を閉じた状態にして、ガス製造プラント１からプラン
トガスを供給する。その際は、ガス製造プラント１の上
記最低値 (8.5 Kg/cm2) 以上となる供給ガス圧を圧力セ
ンサー10が検出して遠隔操作弁11が閉じている。
13を閉じた状態にして、ガス製造プラント１からプラン
トガスを供給する。その際は、ガス製造プラント１の上
記最低値 (8.5 Kg/cm2) 以上となる供給ガス圧を圧力セ
ンサー10が検出して遠隔操作弁11が閉じている。
【００２３】そして、ガス製造プラント１にトラブルが
生じてガス製造プラント１からのプラントガス供給が停
止または不安定になった際には、ガス製造プラント１の
供給ガス圧が上記所定値 (8.3 Kg/cm2) 以下に低下する
のを圧力センサー10が検出して遠隔操作弁11が開くの
で、またバックアップタンク５からのプラントガスが窒
素の場合には上記ブロー弁や加圧弁も同時に所要の開閉
を行うので、バックアップタンク５からプラントガスを
臨時に供給するバックアップへの切り替えが瞬時に且つ
自動的に行われる。然も、バックアップタンク５からの
プラントガスは、逆止め弁７によりガス製造プラント１
への逆流が阻止されて、供給先２へ有効に供給される。
生じてガス製造プラント１からのプラントガス供給が停
止または不安定になった際には、ガス製造プラント１の
供給ガス圧が上記所定値 (8.3 Kg/cm2) 以下に低下する
のを圧力センサー10が検出して遠隔操作弁11が開くの
で、またバックアップタンク５からのプラントガスが窒
素の場合には上記ブロー弁や加圧弁も同時に所要の開閉
を行うので、バックアップタンク５からプラントガスを
臨時に供給するバックアップへの切り替えが瞬時に且つ
自動的に行われる。然も、バックアップタンク５からの
プラントガスは、逆止め弁７によりガス製造プラント１
への逆流が阻止されて、供給先２へ有効に供給される。
【００２４】また、このパックアップを行っている間
に、手操作弁６を閉じてガス製造プラント１の修復を行
い、その修復が終わったところで手操作弁６を開けば、
ガス製造プラント１の供給ガス圧が上記最低値 (8.5 Kg
/cm2) 以上になるのを圧力センサー10が検出して遠隔操
作弁11が閉じるので、またバックアップタンク５からの
プラントガスが窒素の場合には上記ブロー弁や加圧弁も
同時に所要の開閉を行うので、正常状態への復帰も自動
的に行われる。
に、手操作弁６を閉じてガス製造プラント１の修復を行
い、その修復が終わったところで手操作弁６を開けば、
ガス製造プラント１の供給ガス圧が上記最低値 (8.5 Kg
/cm2) 以上になるのを圧力センサー10が検出して遠隔操
作弁11が閉じるので、またバックアップタンク５からの
プラントガスが窒素の場合には上記ブロー弁や加圧弁も
同時に所要の開閉を行うので、正常状態への復帰も自動
的に行われる。
【００２５】なお、手操作弁８はバックアップタンク５
の保守保全などの際に閉じるものであり、逆止め弁９は
バックアップタンク５への逆流を阻止するものであり、
手操作弁13は遠隔操作弁11の作動に開かずの異常が生じ
た際の緊急措置として開くものである。
の保守保全などの際に閉じるものであり、逆止め弁９は
バックアップタンク５への逆流を阻止するものであり、
手操作弁13は遠隔操作弁11の作動に開かずの異常が生じ
た際の緊急措置として開くものである。
【００２６】上述した正常とバックアップの切り替えに
おいて、圧力センサー10の数を適宜に増やしてまた増や
す圧力センサー10の配設位置を適宜に変えて、複数の圧
力センサー10の信号をフェイルセーフとなるように組み
合わせることにより、切り替えの信頼度をより一層高め
ることも可能である。
おいて、圧力センサー10の数を適宜に増やしてまた増や
す圧力センサー10の配設位置を適宜に変えて、複数の圧
力センサー10の信号をフェイルセーフとなるように組み
合わせることにより、切り替えの信頼度をより一層高め
ることも可能である。
【００２７】ところで本発明では、バックアップ切り替
えのトリガーとしてガス製造プラント１の供給ガス圧を
検出しているが、それは供給先２の半導体装製造装置の
都合でガスの使用量が経時的に変化しても対応できるよ
うにしたためであり、若し供給先２のガス使用量が経時
的に一定であるならば、上記トリガーとしてガス製造プ
ラント１の供給ガス流量を検出するようにしても良いこ
とは改めて説明するまでもない。
えのトリガーとしてガス製造プラント１の供給ガス圧を
検出しているが、それは供給先２の半導体装製造装置の
都合でガスの使用量が経時的に変化しても対応できるよ
うにしたためであり、若し供給先２のガス使用量が経時
的に一定であるならば、上記トリガーとしてガス製造プ
ラント１の供給ガス流量を検出するようにしても良いこ
とは改めて説明するまでもない。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
ス製造プラントからのプラントガス供給のバックアップ
方法に関し、バックアップへの切り替えが瞬時に且つ自
動的に行い得るようにすることができて、切り替え時に
おけるプラントガス供給の不安定化の防止、延いては切
り替えに起因した供給先における製品障害発生の防止を
可能にさせる効果がある。
ス製造プラントからのプラントガス供給のバックアップ
方法に関し、バックアップへの切り替えが瞬時に且つ自
動的に行い得るようにすることができて、切り替え時に
おけるプラントガス供給の不安定化の防止、延いては切
り替えに起因した供給先における製品障害発生の防止を
可能にさせる効果がある。
【図１】 本発明の原理説明図
【図２】 実施例を説明するための構成図
【図３】 従来例を説明するための構成図
１ ガス製造プラント ２ 供給先 ３ 主供給パイプ ４ 副供給パイプ ５ バックアップタンク ６，８，13 手操作弁 ７，９ 逆止め弁 10 圧力センサー 11 遠隔操作弁 12 遠隔制御器
Claims (3)
- 【請求項１】 プラントガスを供給する系において、 プラントガスの供給元であるガス製造プラント(1) から
供給先(2)へ至る主供給パイプ(3) の途中に、副供給パ
イプ(4) を介してプラントガスを臨時に供給し得るバッ
クアップタンク(5) を接続し、 主供給パイプ(3) の前記接続点より上流にはガス製造プ
ラント(1)側からの順序で圧力センサー(10)と逆止め弁
(7) を設けると共に、副供給パイプ(4) には該圧力セン
サー(10)の検出値により開閉させる遠隔操作弁(11)を設
け、 バックアップタンク(5) の供給ガス圧を、ガス製造プラ
ント(1) の正常時の供給ガス圧の最低値より高く設定
し、 前記圧力センサー(10)の検出値が前記最低値より低い所
定値以下となった際に前記遠隔操作弁(11)を開き、該検
出値が該最低値以上となった際に該遠隔操作弁(11)を閉
じるようにしたことを特徴とするプラントガス供給のバ
ックアップ方法。 - 【請求項２】 前記バックアップタンク(5) の供給ガス
圧設定は、前記ガス製造プラント(1) の正常時の供給ガ
ス圧の最高値以下にすることを特徴とする請求項１記載
のプラントガス供給のバックアップ方法。 - 【請求項３】 前記最低値より低い所定値は、前記供給
先(2) が必要とするガス圧より高い値にすることを特徴
とする請求項１記載のプラントガス供給のバックアップ
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201036A JPH0544899A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | プラントガス供給のバツクアツプ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3201036A JPH0544899A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | プラントガス供給のバツクアツプ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0544899A true JPH0544899A (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=16434372
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3201036A Withdrawn JPH0544899A (ja) | 1991-08-12 | 1991-08-12 | プラントガス供給のバツクアツプ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0544899A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110248856A1 (en) * | 2010-04-13 | 2011-10-13 | Obenchain Valerie A | Gas flow and pressure error alarm |
| CN105202368A (zh) * | 2015-11-02 | 2015-12-30 | 沈阳航天新光集团有限公司 | 一种供给缓冲系统 |
| US11511062B2 (en) | 2010-04-13 | 2022-11-29 | Advanced Interactive Response Systems LLC | Gas supply warning and communication system |
-
1991
- 1991-08-12 JP JP3201036A patent/JPH0544899A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110248856A1 (en) * | 2010-04-13 | 2011-10-13 | Obenchain Valerie A | Gas flow and pressure error alarm |
| US8653979B2 (en) * | 2010-04-13 | 2014-02-18 | Valerie A. Obenchain | Gas flow and pressure error alarm |
| US11511062B2 (en) | 2010-04-13 | 2022-11-29 | Advanced Interactive Response Systems LLC | Gas supply warning and communication system |
| CN105202368A (zh) * | 2015-11-02 | 2015-12-30 | 沈阳航天新光集团有限公司 | 一种供给缓冲系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4023587A (en) | Method and apparatus for mixing two gases in a predetermined proportion | |
| US4046490A (en) | Method and apparatus for antisurge protection of a dynamic compressor | |
| JPH0544899A (ja) | プラントガス供給のバツクアツプ方法 | |
| JP3777538B2 (ja) | トンネル自動弁装置 | |
| JPH08101718A (ja) | 流体減圧システム | |
| JPH09271657A (ja) | 混合ガス供給装置 | |
| USRE30329E (en) | Method and apparatus for antisurge protection of a dynamic compressor | |
| JPH04317668A (ja) | 消火設備 | |
| JPH05172A (ja) | 消火設備の自動点検装置 | |
| JPH0429197Y2 (ja) | ||
| JP2509612B2 (ja) | バイパス制御装置 | |
| JP2979253B2 (ja) | スプリンクラ消火設備 | |
| JPH05108167A (ja) | 制御装置 | |
| JP2946783B2 (ja) | 燃料電池設備 | |
| JPH0371592B2 (ja) | ||
| JP3172813B2 (ja) | スプリンクラ消火設備 | |
| JPH11200811A (ja) | タービン制御装置 | |
| JPH0244108A (ja) | ボイラの給水制御方法 | |
| JPH04253870A (ja) | スプリンクラ消火設備 | |
| JPH04266774A (ja) | 消火設備の給水圧力制御システム | |
| JPS589442B2 (ja) | 流体流量制御装置 | |
| JP3013107B2 (ja) | スプリンクラ消火設備 | |
| JPH0514095Y2 (ja) | ||
| JPS6349078B2 (ja) | ||
| JPH10121909A (ja) | 抽気蒸気タービンプラント |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981112 |