KR970065780A - 화학 기상 증착장비 - Google Patents

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
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Abstract

본 발명은 두께에 따라서 균일한 농도비를 가지는 막 형성 및 다른 웨이퍼간에 형성되는 막의 농도비를 동일하게 형성할 수 있도록, 반도체 웨이퍼상에 막을 형성하는 반응로와, 반응로에 연결되어 복수개의 소오스 액체를 혼합한 후, 기화시켜 반응로로 전달하는 혼합소오스 공급수단과, 혼합소오스 공급수단에 연결되어 소오스 액체를 공급하는 복수개의 소오스 공급수단과, 혼합소오스 공급수단에 연결되어 혼합소오스 가스의 운반을 촉진하는 운반가스를 공급하는 운반가스 공급수단을 포함하여 이루어지는 화학 기상 증착장비이다.

Description

화학 기상 증착장비
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (9)

  1. 복수개의 소오스가 혼합된 혼합소오스 가스가 유입되어 반도체 웨이퍼상에 막을 형성하는 반응로와, 상기 반응로에 연결되어 복수개의 소오스 액체를 혼합한 후, 기화시켜 반응로로 전달하는 혼합소오스 공급수단과, 상기 혼합소오스 공급수단에 연결되어 소오스 액체를 공급하는 복수개의 소오스 공급수단과, 상기 혼합소오스 공급수단에 연결되어 상기 혼합소오스 가스의 운반을 촉진하는 운반가스를 공급하는 운반가스 공급수단을 포함하여 이루어지는 화학 기상 증착장비.
  2. 제1항에 있어서, 상기 혼합소오스 공급수단은, 각 소오스 액체를 저장 혼합하는 혼합탱크와, 상기 혼합탱크의 주변에 설치되어 기화열을 공급하는 히터와, 상기 혼합탱크와 상기 반응로를 연결하는 반응로 유입관을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
  3. 제2항에 있어서, 상기 혼합소오스 공급수단의 상기 반응로 유입관에 가스 공급유무를 결정하는 혼합소오스 개폐수단을 가지는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
  4. 제1항에 있어서, 상기 소오스 공급수단은, 상기 소오스 액체를 저장하는 소오스 저장탱크와, 상기 소오스 저장탱크와 상기 혼합소오스 공급수단을 연결하는 소오스 이송관과, 상기 소오스 이송관에 설치되어 상기 소오스 액체의 이동량을 조절하는 유량조절기를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
  5. 제4항에 있어서, 상기 소오스 저장탱크에 저장된 상기 소오스 액체의 흐름을 촉진하도록 설치한 가압가스 공급수단을 부가한 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
  6. 제4항에 있어서, 상기 소오스 이송관에 소오스 액체 공급유무를 결정하는 개폐수단과, 소오스 액체의 역류를 방지하는 체크밸브를 부가설치한 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
  7. 제2항에 있어서, 상기 반응로 유입관에 상온상태에서 기체상태를 유지하는 소오스를 공급하는 기체소오스 공급수단이 연결되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
  8. 제7항에 있어서, 상기 기체소오스 공급수단은 기체소오스 저장탱크와, 상기 기체소오스 저장탱크와 상기 반응로 유입관을 연결하는 기체소오스 이송관과, 상기 기체소오스 이송관에 설치되어 상기 기체소오스의 이송량을 조절하는 기체량 조절기를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
  9. 제8항에 있어서, 상기 기체소오스 이송관에 기체소오스의 이송유무를 결정하는 개폐수단과, 상기 기체소오스의 역류를 방지하는 체크밸브를 부가설치한 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착장비.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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