KR970003392A - 기판처리용 유체공급방법 및 장치 - Google Patents

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다다시 사사키
아키히코 모리타
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이시다 아키라
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Abstract

기판표면을 처리하는 처리액을 저류하는 액류용기에 캐리어가스의 도입관을 접속한다. 기판에 처리유체를 공급하는 정류판과 액류용기를 이송관을 통하여 접속하고 캐리어 가스에 처리액을 기화혼합한 처리유체를 기판에 공급한다. 액류용기내에 열교환 코일을 설치하고 그 열교환코일에 클린룸내의 온도보다 낮은 소정온도의 향온수를 흐리게 한다. 이것에 의해 이송관내를 유동처리유체의 온도가 액류용기측보다 높아지도록 조절하여 기화한 처리액의 결로(結露)를 방지한다.

Description

기판처리용 유체공급방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관계되는 제1실시예의 기판처리용 유체공급장치를 이용한 기판표면처리장치를 나타내는 개략 종단면도.

Claims (18)

  1. 처리액에 가스를 혼입하고, 그 처리유체를 이송관을 통하여 기판에 공급하는 기판처리용 유체공급방법에있어서, 상기 이송관내를 유동하는 처리유체의 온도와 가스 혼입시의 처리유체의 온도에 기액(氣液) 분리를 방지하는 온도차를 부여하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급방법.
  2. 제1항에 있어서, 처리유체가 처리액을 저류하는 액류용기에 캐리어 가스를 도입하여 처리액을 캐리어 가스에 기화혼합하는 것으로하고, 상기 이송관내를 유동하는 처리유체의 온도가 상기 액류용기측보다 높아지도록 조절하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급방법.
  3. 제1항에 있어서, 처리유체가, 용해수단에 의해 세정액에 탄산가스를 용해하는 것으로하고, 상기 이송관내를 유동하는 세정액의 온도가 상기 용해수단측보다 낮아지도록 조절하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급방법.
  4. 제3항에 있어서, 세정액에 용해된 탄산가스를 기포화하여 기판에 공급하는 것을 특징으로 하는 기판처리용유체공급방법.
  5. 제4항에 있어서, 세정액에 용해하는 탄산가스의 농도는 높게하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급방법.
  6. 기판에 처리유체를 공급하는 유체공급부와, 처리액에 가스를 혼입하는 가스혼입부와, 상기 유체 공급부와상기 가스혼입부를 접속하는 이송관을 구비한 기판처리용 유체공급장치에 있어서, 상기 이송관내를 유동하는 처리유체의온도와 상기 가스 혼입부에서의 처리유체의 온도에 기액분리를 방지하는 온도차를 부여하는 온도조절수단을 설치한 것을특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 가스혼입부가, 처리액을 저류하는 액류용기와, 상기 액류용기에 접속되어 처리액을기화혼합하는 캐리어 가스를 도입하는 도입관으로 이루어지며, 상기 이송관내를 유동하는 처리유체의 온도가 상기 액류용기측 보다 높아지도록 조절하는 온도조절수단을 설치한 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 온도조절수단을 액류용기에 설치하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  9. 제6항에 있어서, 상기 처리액은 세정액이며, 가스혼입부가 세정액에 탄산가스를 용해하는 용해수단이고,상기 이송관내를 유동하는 세정액의 온도가 상기 용해수단측 보다 낮아지도록 조절하는 온도조절수단을 설치한 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  10. 제9항에 있어서, 세정액에 용해하는 탄산가스의 농도를 높게하는 고농도화 수단을 설치하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 고농도화 수단이 상기 용해수단에 접속된 세정액 공급관에 설치된 냉각수단인 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  12. 제9항에 있어서, 상기 온도조절수단을 용해수단에 설치하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  13. 제12항에 있어서, 세정액에 용해하는 탄산가스의 농도를 높게하는 고농도화 수단을 설치하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 고농도화 수단이 상기 용해수단에 접속된 세정액 공급수단에 설치된 냉각수단인것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  15. 세정액에 탄산가스를 용해하고, 그 기판처리용 유체를 세정액 공급부에 공급하여 상기 세정액 공급부에서용해탄산가스를 기포화해 기판에 공급하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급방법.
  16. 제15항에 있어서, 세정액에 용해하는 탄산가스의 농도를 높게하는 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급방법.
  17. 세정액에 탄산가스를 용해하여 기판처리용 유체를 얻는 용해수단과, 탄산가스의 용해농도를 높게하는 고농도화 수단과, 기판에 기판처리용 유체를 기포화하여 공급하는 세정액공급부와, 상기 용해수단 및 고농도화 수단을 상기세정액 공급부에 접속하는 이송관으로 구성한 것을 특징으로 하는 기판처리용 유체공급장치.
  18. 제17항에 있어서, 상기 세정액공급부가 고압으로 기판처리용 유체를 토출하는 노즐인 것을 특징으로 하는기판처리용 유체공급장치
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960022081A 1995-06-19 1996-06-18 기판처리용 유체공급방법 및 장치 KR100210965B1 (ko)

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