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Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Mischen von Gasen mit einer Mehrzahl von Zuleitungen, die in eine gemeinsame Sammelkammer münden und mit einer der Sammelkammer entspringenden Ableitung zur gemeinsamen Ableitung der durch die Zuleitungen in die Sammelkammer eingespeisten Gasflüsse.
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Die
DE 102 12 923 A1 beschreibt eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Beschichten eines Substrates. Die Vorrichtung besitzt zwei Verdampfer, mit denen durch Aufheizen eines festen oder flüssigen Ausgangsstoffs ein Prozessgas erzeugt wird, welches mit einem Trägergas in eine Sammelkammer geleitet wird. Zwei voneinander verschiedene Prozessgase, die jeweils in einem Verdampfer erzeugt werden, werden in der Sammelkammer gemischt und treten als Gasmischung in die Prozesskammer eines Reaktors ein. In den Zuleitungen zur Sammelkammer befinden sich jeweils Wegeventile, mit denen der Gasfluss entweder in die Sammelkammer oder vorbei an der Sammelkammer über eine Vent-Leitung direkt in eine Gasentsorgung geschaltet werden können. Eine Vorrichtung zum Abscheiden dotierter Schichten für fotovoltaische Bauelemente, aber auch OLEDs mit einer Mehrzahl von Gasquellen beschreibt die
DE 10 2007 030 499 A1 . Jede Gasquelle ist über eine Gaszuleitung, in der sich eine Modifikationskammer befindet, mit dem Gaseinlassorgan einer Prozesskammer verbunden.
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Die
DE 35 37 544 beschreibt ein Gaseinlasssystem für einen Reaktor, bei dem eine Mehrzahl von Vier-Wege-Ventile hintereinander angeordnet sind, die von einem Spülgas durchspült werden können. Mit der Ventilanordnung lassen sich Reaktionsgase entweder in eine Gasableitung schalten oder in eine Vent-Leitung.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gasmischsystem für einen schnellen Gaswechsel sowie einen Reaktor mit einem derartigen Gasmischsystem zu schaffen, in dem bei erhöhten Temperaturen ein Gaswechsel umgeschaltet werden kann zum Abscheiden von OLEDs.
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Gelöst wird die Aufgabe durch die in den Ansprüchen angegebene Erfindung.
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Zunächst und im Wesentlichen wird vorgeschlagen, dass eine Öffnung, mit der die Ableitung mit der Sammelkammer verbunden ist, durch einen Abschnitt eines Verschlussteiles verschließbar ist. Im geöffneten Zustand des durch das Verschlussteil und die damit verschließbare Öffnung gebildeten Ventils können die durch die Zuleitungen in die Sammelkammer eingespeisten Gasflüsse gemeinsam die Sammelkammer durch die Ableitung verlassen, um beispielsweise in die Prozesskammer eines Reaktors einzutreten. In einer Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Ventilanordnung eine Wegeventilanordnung ist. Es ist eine Vent-Leitung vorgesehen, die die Funktion einer zweiten Ableitung hat. Die Vent-Leitung ist mit einer Öffnung mit der Sammelkammer verbunden, die von einem Abschnitt eines Verschlussteiles verschließbar ist. Ist die Vent-Leitung offen, so ist die Ableitung zur Prozesskammer, die eine Run-Leitung ausbildet, verschlossen. Ist die Vent-Leitung verschlossen, so ist die Öffnung der Ableitung zur Prozesskammer geöffnet. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung erfüllt ein einziges Verschlussteil sowohl die Funktion, die Öffnung der Vent-Leitung zu verschließen als auch die Funktion, die Öffnung der Ableitung zu verschließen. Dies kann mit einem Stellantrieb erfolgen. Der Stellantrieb ist in der Lage, das gemeinsame Verschlussteil zwischen zwei Betriebsstellungen hin und her zu schalten. In einer ersten Betriebsstellung ist die Öffnung der Vent-Leitung offen und ist die Öffnung der Ableitung verschlossen. In einer zweiten Betriebsstellung ist die Öffnung der Vent-Leitung geschlossen und die Öffnung der Ableitung (Run-Leitung) offen. Die Vorrichtung ist also durch ledigliches Umschalten eines Verschlusskörpers von einer Vent-Stellung in eine Run-Stellung bringbar. Der Verschlusskörper kann zwischen seinen Betriebsstellungen durch eine Linearbewegung hin und her verlagert werden. Es erweist sich als vorteilhaft, wenn die beiden Öffnungen, also die Öffnung der Vent-Leitung und die Öffnung der Ableitung gegenüberliegend angeordnet sind. Die Öffnungen können die Stirnenden von Rohren sein, die die Vent-Leitung beziehungsweise die Ableitung bilden. Die Rohröffnungen liegen sich dann gegenüber. Die Achsen der Rohre verlaufen dann bevorzugt koaxial. Das Verschlussteil kann eine Verschlussplatte sein, die in Richtung der Rohrachsen verlagert werden kann, so dass in der ersten Betriebsstellung eine Plattenseite die Öffnung der Vent-Leitung und in der zweiten Betriebsstellung die davon weg weisende Seite der Platte die Öffnung der Ableitung verschließt. In einer Variante der Erfindung kann das Verschlussteil durch eine Drehung von einer Offenstellung in eine Verschlussstellung gebracht werden. Auch hier kann die Vent-Leitung und die Ableitung von Rohren ausgebildet sein. Es handelt sich bevorzugt um Rohre mit einem kreiszylindrischen Querschnitt. Das Verschlussteil kann eine Hülse sein, die auf einem Endabschnitt des jeweiligen Rohres sitzt. Die Mantelwand des Rohres kann Schlitzöffnungen aufweisen. Das Verschlussteil kann ebenfalls Schlitzöffnungen aufweisen. In der Offenstellung liegen die Schlitzöffnungen des Rohres, also die Schlitzöffnungen der Vent-Leitung oder Ableitung, mit den Schlitzöffnungen der Verschlusshülse übereinander. In der Geschlossenstellung werden die Schlitzöffnungen der Rohre von den Schlitzzwischenräumen der Verschlusshülse verschlossen. Auch bei dieser Variante kann ein gemeinsames Verschlussstück in Form einer Hülse vorgesehen sein, die zwei voneinander getrennte Axialabschnitte aufweist, in die jeweils ein Endabschnitt eines von der Ableitung beziehungsweise von der Vent-Leitung gebildeten Rohres hineinragt. Das Verschlussteil kann einstückig sein. Es kann aber auch mehrere Bestandteile aufweisen, die jeweils eine Verschlussfunktion ausüben. Die Hülsenanordnung kann auch linear in ihrer Achsrichtung verlagerbar sein. Die Hülsenanordnung ist lediglich ein Beispiel für eine Schieberanordnung. Das Verschlussteil kann auch von einem Linearschieber ausgebildet sein, der Durchtrittsöffnungen beziehungsweise Verschlussflächen aufweist. Es ist auch möglich, zwei voneinander getrennte Verschlussteile zu verwenden, mit denen wechselweise entweder die Vent-Leitung oder die Run-Leitung verschlossen werden kann, wobei die jeweils andere Leitung dann offen ist. In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung hat die Sammelkammer, die die Funktion einer Gasmischkammer ausübt, eine ringförmige Gestalt. Die Einspeisung der voneinander verschiedenen Prozessgase erfolgt durch radial angeordnete Einspeiseöffnungen in die Ringkammer, die um die zentrale Ableitung angeordnet ist. Bei der Ableitung kann es sich um ein Rohr handeln, dessen Achse in der Figurenachse der Ringkammer liegt. Es wird als besonders vorteilhaft angesehen, dass mit einer eine oder mehrere der zuvor genannten Eigenschaften aufweisenden Ventilanordnung bei hohen Temperaturen (ca. 400°C) Prozessgase zwischen einer Run-Leitung und einer Vent-Leitung hin und her geschaltet werden können, so dass sich die Ventilanordnung insbesondere an einem Reaktor verwenden lässt, mit dem OLEDs abgeschieden werden können.
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Die Erfindung betrifft darüber hinaus auch eine Vorrichtung zum Abscheiden insbesondere organischer Schichten auf einem Substrat, mit einem eine Prozesskammer aufweisenden Reaktor und mit mindestens zwei Verdampfern zur Erzeugung jeweils eines Prozessgases, wobei die Verdampfer mit Zuleitungen mit einer Mischvorrichtung verbunden sind, welche Mischvorrichtung über eine Ableitung mit der Prozesskammer verbunden ist. Die Zuleitungen sind beheizt, so dass keine Kondensation an den Wänden der Zuleitung auftreten kann. Die Ventilanordnung ist ebenfalls beheizt und kann auf einer Temperatur von ca. 400°C gehalten werden.
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Bei einer derartigen Vorrichtung wird eine Gasmischkammer verwendet, die die zuvor beschriebenen Eigenschaften aufweist.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand beigefügter Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
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1 ein erstes Ausführungsbeispiel in einer Schnittdarstellung gemäß der Linie I-I in 2 einer Gasmischvorrichtung,
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2 den Schnitt gemäß der Linie II-II in 1,
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3 eine Darstellung gemäß 1, jedoch in einer zweiten Betriebsstellung,
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4 eine Darstellung gemäß 1 eines zweiten Ausführungsbeispiels,
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5 den Schnitt gemäß der Linie V-V in 4,
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6 den Schnitt gemäß der Linie VI-VI in 4 und
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7 schematisch eine Vorrichtung zum Abscheiden organischer Schichten auf einem Substrat mit einer Gasmischvorrichtung 30, wie sie in den 1 bis 6 dargestellt ist.
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Die
7 zeigt die wesentlichen Elemente einer Vorrichtung zum Abscheiden von organischen Schichten auf einem Substrat. Mit der Vorrichtung können insbesondere OLED-Schichten auf flachen Substraten, beispielsweise aus Glas, abgeschieden werden, wie es in der
DE 10 2007 030 499 A1 oder der
DE 1012 923 A1 beschrieben wird.
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Eine derartige Vorrichtung besitzt einen ersten Verdampfer 31, mit dem durch Verdampfen eines flüssigen oder eines festen Ausgangsstoffes ein erstes Prozessgas erzeugt wird. Das erste Prozessgas wird durch eine Zuleitung 2 gegebenenfalls mit Hilfe eines Trägergases zu einer Gasmischvorrichtung 30 transportiert.
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Es ist ein zweiter Verdampfer 32 vorgesehen, der durch Verdampfen eines anderen organischen Ausgangsstoffes in flüssiger oder fester Form ein zweites Prozessgas erzeugt, das ebenfalls mit einem Trägergas durch eine Zuleitung 3 in die Mischkammer 30 gefördert wird. Die Mischkammer 30 und die Zuleitung 2, 3 werden dabei mit nicht dargestellten, jedoch mit einem gestrichelt dargestellten Rahmen symbolisierten Heizeinrichtung auf einer Temperatur gehalten, bei der die verdampften Ausgangsstoffe nicht kondensieren.
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Eine Mischkammer 30 kann einen Aufbau besitzen, wie er unten unter Bezugnahme auf die 1 bis 6 erläutert wird.
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In der Mischkammer 30 befindet sich eine Ventilanordnung, mit der die durch die Zuleitungen 2, 3 eingespeisten Prozessgase wahlweise in eine Ableitung 6 oder in einer Vent-Leitung 10 geleitet werden können. Die Vent-Leitung 10 fördert die Prozessgase in ein nicht dargestelltes Gasentsorgungssystem. Die Ableitung 6 fördert die Prozessgase in die Prozesskammer 34 eines Reaktors 33, der eine Gasableitung 35 besitzt, der die nicht verbrauchten Prozessgase oder Reaktionsprodukte in das Gasentsorgungssystem fördert.
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Innerhalb des Reaktors 33 befindet sich ein Gaseinlassorgan, mit dem die in der Mischkammer 30 gemischten Prozessgase in die Prozesskammer 34 eingeleitet werden können. Die Prozesskammer besitzt einen Suszeptor, auf dem das zu beschichtende Substrat liegt.
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Mit der oben erwähnten Ventilanordnung lässt sich die Ableitung 6 öffnen und verschließen. Im verschlossenen Zustand der Ableitung 6 ist die Vent-Leitung 10 geöffnet, so dass die von den Verdampfern 31, 32 bereitgestellten Prozessgase durch die Vent-Leitung 10 strömen können. Der Beschichtungsprozess wird dadurch in Gang gesetzt, dass die Ventilanordnung von dieser ersten Betriebsstellung in eine zweite Betriebsstellung gebracht wird, in der die Vent-Leitung 10 verschlossen ist und die Ableitung 6 geöffnet ist, so dass die von den Verdampfern 31, 32 bereitgestellten Prozessgase durch die Ableitung 6 in den Reaktor 33 und in die dortige Prozesskammer 34 strömen können, so dass auf dem Substrat eine organische Schicht abgeschieden wird.
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Die 1 bis 3 zeigen ein erstes Ausführungsbeispiel einer Mischvorrichtung, wie sie in der 7 mit der Bezugsziffer 30 bezeichnet ist.
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Es handelt sich dabei um eine Ventilanordnung mit insgesamt vier Zuleitungen 2, 3, 4, 5, die sternförmig in eine Sammelkammer 1 münden. Die Sammelkammer 1 hat einen im Wesentlichen kreisrunden Grundriss und besitzt in ihrer Symmetrieachse ein sich in Achsrichtung erstreckendes Rohr, welches die Ableitung 6 ausbildet. Innerhalb des die Ableitung 6 ausbildenden Rohres befinden sich Gasumlenkbleche 12, die zu einer Wirbelbildung beitragen, so dass sich die in die Sammelkammer 1 durch die Zuleitungen 2 bis 5 eingespeisten Prozessgase auch in der Ableitung 6 vermischen können. Die Zuleitungen 2, 3, 4, 5 erstrecken sich zumindest im Bereich ihrer Mündungsöffnungen in einer Ebene, zu der die Achse der Ableitung 6 senkrecht verläuft.
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Die Sammelkammer 1 hat einen im Wesentlichen ebenen Boden 14, der in einer Ebene liegt, in der auch die Zuleitungen 2 bis 5 in die Sammelkammer 1 münden. Die Sammelkammer 1 besitzt eine zylinderförmige Wand 13, die koaxial zu der Wandung des Rohres 6 verläuft. Die Sammelkammer 1 wird durch eine parallel zum Boden 14 verlaufende Decke 15 verschlossen.
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Das Ableitungsrohr 6 mündet frei in die Sammelkammer 1 und bildet mit seinem Stirnende 7 eine Öffnung. Der kreisförmige Rand der Öffnung 7 ist in der in 1 dargestellten ersten Betriebsstellung von einem tellerförmigen Verschlussteil 8 verschlossen.
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Die Decke 15 der Sammelkammer 1 besitzt eine kreisringförmige Öffnung 9, an die sich ein Rohr 6 anschließt, welches eine Vent-Leitung ausbildet. Die Öffnung 9 der Vent-Leitung 10 liegt der Öffnung 7 der Ableitung 6 gegenüber. Ein Rohransatz der Vent-Leitung 10 verläuft fluchtend zum die Ableitung 6 ausbildenden Rohr.
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Es ist ein Stellantrieb 11 in Form eines Schubstabes vorgesehen, mit dem der Verschlusskörper 8 von der in 1 dargestellten ersten Betriebsstellung in die in der 3 dargestellte zweite Betriebsstellung gebracht werden kann. In der ersten, in der 1 dargestellten Betriebsstellung verschließt der tellerförmige Verschlusskörper 8 mit dem Rand seiner unteren Breitseite 8'' die Öffnung 7 der Ableitung 6. In dieser Betriebsstellung ist die Öffnung 9 der Vent-Leitung 10 nicht verschlossen, so dass in die Sammelkammer 1 eingespeiste Prozesskammer 8 eingespeiste Prozessgase die Sammelkammer 1 durch die Vent-Leitung 10 verlassen können.
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Durch eine lineare Verlagerung der Verschlussplatte 8 verschließt der Rand ihrer anderen Breitseite 8' die Öffnung 9 der Vent-Leitung 10. Die Öffnung 7 der Ableitung 6 ist dann geöffnet, so dass die in die Sammelkammer 1 eingespeisten Prozessgase die Sammelkammer 1 durch die Ableitung 6 verlassen können. Die Prozessgase werden dann in die Prozesskammer 34 geleitet.
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Das in den 1 bis 3 dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt ein Verschlussteil 8, das zwei Verschlussabschnitte aufweist, nämlich die beiden Breitseiten der Verschlussplatte 8. Diese Verschlussabschnitte treten wechselweise in Wirkung.
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In einem nicht dargestellten Ausführungsbeispiel können die beiden Verschlussabschnitte, die jeweils entweder die Öffnung 9 oder die Öffnung 7 verschließen, auch zwei voneinander getrennten Verschlussteilen zugeordnet sein.
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Bei dem in den 4 bis 6 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel hat die Sammelkammer 1 ebenfalls eine ringförmige Gestalt. Sie ist ringförmig um die Ableitung 6 beziehungsweise die Vent-Leitung 10 angeordnet. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird das Verschlussteil 18 von einer Hülse ausgebildet. Die Vent-Leitung 10 und die Ableitung 6 werden jeweils von Rohren ausgebildet, die in koaxialer Anordnung mit einem Endabschnitt in die Sammelkammer 1 hineinragen. Die beiden Rohr-Endabschnitte der Vent-Leitung 10 beziehungsweise der Ableitung 6 sind durch eine Trennwand 16 voneinander getrennt.
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Die Verschlusshülse 18 erstreckt sich über beide Endabschnitte. Die Wandung der in die Sammelkammer 1 hineinragenden Rohr-Endabschnitte der Vent-Leitung 10 besitzt Axialschlitze 19. Der Endabschnitt der Ableitung 6 besitzt Axialschlitze 17.
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Die Verschlusshülse 18 besitzt zu den Axialschlitzen 17 korrespondierende Axialschlitze 20 und zu den Axialschlitzen 19 korrespondierende Axialschlitze 21.
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In einer ersten Betriebsstellung, wie sie in den 4 bis 6 dargestellt ist, liegen die Axialschlitze 21 in Überdecklage zu den Axialschlitzen 19 des Endabschnittes der Vent-Leitung 10. Die Axialschlitze 17 des Endabschnittes der Ableitung 6 werden hingegen von den Schlitz-Zwischenräumen zwischen den Schlitzen 20 der Verschlusshülse 18 verschlossen. Die durch die Zuleitungen 2 bis 5 eingespeisten Prozessgase gelangen in die Sammelkammer 1 und strömen durch die Schlitze 19, 21 in die Vent-Leitung 10.
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Der zweite Betriebszustand wird durch eine Verdrehung der Verschlusshülse 18 in eine nicht dargestellte Betriebsstellung erreicht, in der die Schlitze 19 des Endabschnittes der Vent-Leitung 10 von den Schlitz-Zwischenräumen zwischen den Schlitzen 18 verschlossen sind und in der die Schlitze 17 des Endabschnitts der Ableitung 6 unter den Schlitzen 20 der Verschlusshülse 18 liegen, so dass die Prozessgase jetzt durch die Schlitze 17, 20 in die Ableitung 6 strömen können. Die Schlitze 19 der Vent-Leitung 10 sind verschlossen.
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Auch bei diesem Ausführungsbeispiel bildet das Verschlussteil 18 zwei Verschlussabschnitte aus, nämlich einen mit den Schlitzen 21 der Vent-Leitung zusammenwirkenden Verschlussabschnitt und einen mit den Schlitzen 20 der Ableitung 6 zusammenwirkenden Verschlussabschnitt. Auch hier können die beiden Verschlussabschnitte zwei voneinander getrennten Verschlussteilen zugeordnet sein, die bevorzugt synchron angetrieben werden, damit die oben genannte Umschaltwirkung erzielt werden kann.
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Zwei voneinander getrennte Verschlussabschnitte haben den Vorteil, dass sie durch einen Stellantrieb derart geschaltet werden können, dass die Vent-Leitung 10 und die Ableitung 6 nie gleichzeitig offen sind.
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Es wird als besonders vorteilhaft angesehen, dass die Ventilanordnung innerhalb der Mischkammer 30 als Wegeventil ausgebildet ist, so dass die Prozessgase entweder in die Prozesskammer hinein oder zum Einstellen eines stationären Prozessgasflusses an der Prozesskammer vorbei in die Vent-Leitung 10 geleitet werden können. Der erfindungsgemäße Lösungsweg ist kostengünstig, da nur eine einzige Ventileinheit benötigt wird, um eine Vielzahl, mindestens zwei Prozessgase entweder in eine Prozesskammer 34 oder eine Vent-Leitung 10 einzuspeisen.
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Die Wandungen 13, 14, 15 der Mischkammer können aus Metall, insbesondere Edelstahl, bestehen. Aus Edelstahl können auch die Vent-Leitung 10 und die Ableitung 6 bestehen. Es handelt sich dabei jeweils um Edelstahlrohre. Auch der Verschlusskörper 8, 18 kann aus Edelstahl bestehen. Dies hat zur Folge, dass die gesamte Ventilanordnung auf einer Temperatur gehalten werden kann, bei der die Prozessgase nicht kondensieren können. Diese Temperatur liegt im Bereich zwischen 300 und 500°C und insbesondere bei etwa 400°C.
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In den Ausführungsbeispielen bilden eine Breitseite des Verschlussteils 8 einen ersten Verschlussabschnitt 8' und die gegenüberliegende Breitseite einen zweiten Verschlussabschnitt 8''. Bei dem in den 4 bis 6 dargestellten Ausführungsbeispiel bildet der obere Abschnitt 18' und der untere Abschnitt 18'' des Verschlussteiles 18 jeweils Verschlussabschnitte.
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Die vorstehenden Ausführungen dienen der Erläuterung der von der Anmeldung insgesamt erfassten Erfindungen, die den Stand der Technik zumindest durch die folgenden Merkmalskombinationen jeweils eigenständig weiterbilden, nämlich:
Eine Vorrichtung, die gekennzeichnet durch einen ersten Verschlussabschnitt 8'', 18'', mit dem eine Öffnung 7, 17 der Ableitung 6 zur Sammelkammer 1 verschließbar ist.
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Eine Vorrichtung, die gekennzeichnet durch eine Vent-Leitung 10 mit einer Öffnung 9, 19, die von einem zweiten Verschlussabschnitt 8', 18' verschließbar ist, wobei die Öffnung 7, 17 der Ableitung 6 offen ist, wenn die Öffnung 9, 19 der Vent-Leitung 10 verschlossen ist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die beiden Verschlussabschnitte 8', 18'; 8'', 18'' von einem einzigen Verschlussteil 8, 18 ausgebildet sind, das von einem Stellantrieb 11 zwischen zwei Betriebsstellungen hin und her schaltbar ist, wobei in der ersten Betriebsstellung die Öffnung 9, 19 der Vent-Leitung 10 offen ist und die Öffnung 7, 17 der Ableitung 6 geschlossen ist, und in einer zweiten Betriebsstellung die Öffnung 9, 19 der Vent-Leitung 10 geschlossen ist und die Öffnung 7, 17 der Ableitung 6 geöffnet ist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Verschlussteil 8 zwischen seinen beiden Betriebsstellungen linear verlagerbar ist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Öffnung 9 der Vent-Leitung 10 der Öffnung 7 der Ableitung 6 gegenüberliegt und das Verschlussteil 8 eine Verschlussplatte ist, die linear zwischen den Öffnungen 7, 9 verlagerbar ist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Verschlussteil 18 durch eine Drehung zwischen den beiden Betriebsstellungen hin und her schaltbar ist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass das Verschlussteil 18 eine Hülse mit Schlitzen 20, 21 ist und die Öffnungen 17, 19 von Schlitzen ausgebildet sind, die von Schlitz-Zwischenräumen der Schlitze 20, 21 der Hülse verschließbar sind.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Sammelkammer 1 eine ringförmige Gestalt hat, wobei im Zentrum der Sammelkammer 1 die Ableitung 6 beziehungsweise die Vent-Leitung 10 angeordnet ist.
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Eine Vorrichtung, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Gasmischvorrichtung mit einer Heizung auf eine erhöhte Temperatur, insbesondere im Bereich zwischen 300 und 500°C, besonders bevorzugt im Bereich zwischen 350 und 450°C, insbesondere auf eine Temperatur von 400°C aufheizbar ist.
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Alle offenbarten Merkmale sind (für sich, aber auch in Kombination untereinander) erfindungswesentlich. In die Offenbarung der Anmeldung wird hiermit auch der Offenbarungsinhalt der zugehörigen/beigefügten Prioritätsunterlagen (Abschrift der Voranmeldung) vollinhaltlich mit einbezogen, auch zu dem Zweck, Merkmale dieser Unterlagen in Ansprüche vorliegender Anmeldung mit aufzunehmen. Die Unteransprüche charakterisieren mit ihren Merkmalen eigenständige erfinderische Weiterbildungen des Standes der Technik, insbesondere um auf Basis dieser Ansprüche Teilanmeldungen vorzunehmen.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Sammelkammer
- 2
- Zuleitung
- 3
- Zuleitung
- 4
- Zuleitung
- 5
- Zuleitung
- 6
- Ableitung
- 7
- Öffnung
- 8
- Verschlussplatte
- 8'
- Verschlussabschnitt
- 8''
- Verschlussabschnitt
- 9
- Öffnung
- 10
- Vent-Leitung
- 11
- Stellantrieb
- 12
- Gasumlenkblech
- 13
- Wand
- 14
- Boden
- 15
- Decke
- 16
- Trennwand
- 17
- Schlitz
- 18
- Verschlussteil
- 18'
- Abschnitt
- 18''
- Abschnitt
- 19
- Axialschlitz
- 20
- Schlitz
- 21
- Axialschlitz
- 30
- Gasmischvorrichtung, Mischkammer
- 31
- Verdampfer
- 32
- Verdampfer
- 33
- Reaktor
- 34
- Prozesskammer
- 35
- Gasableitung
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
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Zitierte Patentliteratur
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- DE 10212923 A1 [0002]
- DE 102007030499 A1 [0002, 0017]
- DE 3537544 [0003]
- DE 1012923 A1 [0017]
