KR910006777A - 포지티브-작용성 감조사성 혼합물 및 이로부터 제조된 감조사성 복사물질 - Google Patents

포지티브-작용성 감조사성 혼합물 및 이로부터 제조된 감조사성 복사물질 Download PDF

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메렘 한스-요아킴
링나우 위르겐
담멜 랄프
뢰쉐르트 호르스트
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칼-헤르만 마이어-둘호이어; 요켄 노이바우어
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Abstract

내용 없음

Description

포지티브-작용성 감조사성 혼합물 및 이로부터 제조된 감조사성 복사물질
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (15)

  1. a) 조사시키면 산을 생성하는 다음 일반식(I)의 α-카보닐-α-설포닐디아조메탄 화합물, b) 산에 의해 분해될수 있는 하나 이상의 C-O-C 또는 C-O-Si-결합을 갖는 화합물 및 c) 알칼리성 수용액 속에서 가용성이거나 적어도 팽윤성인 수불용성 결합체를 필수적으로 함유하는 포지티브-작용성 감조사성 혼합물;
    상기식에서, R1및 R2는 각각 독립적으로 알킬, 사이클로알킬, 아릴- 또는 헤테로아릴 라디칼이다.
  2. 제1항에 있어서, 일반식(I) 화합물의 라디칼 R1과 R2가 임의로 치환된 알킬 또는 사이클로알킬 라디칼, 임의로 치환된 아릴 라디칼 또는 헤테로아릴 라디칼인 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 일반식(I)화합물의 라디칼 R1및 R2중의 하나 이상의 탄소수 1 내지 6의 임의로 치환된 알킬 라디칼 또는 임의로 치환된 아릴 라디칼인 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한항에 있어서, 일반식(I) 화합물의 라디칼 R1및 R2중의 하나 이상이 임의로 치환된 아릴 라디칼인 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  5. 제1항 내지 제4항중의 어느 한 항에 있어서, 방향족 라디칼의 R1및 R2의 치환체가 알킬, 알콕시, 알콕시알킬, 시아노 라디칼 또는 할로겐원자중에서 선택되는 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  6. 제1항 내지 제5항중의 어느 한 항에 있어서, 파장이 190 내지 450nm인 UV광이 방사선으로서 사용되는 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  7. 제1항 내지 제6항중의 어느 한 항에 있어서, 파장이 200 내지 400nm인 UV광을 방사선으로서 사용되는 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  8. 제1항 내지 제7항중의 어느 한 항에 있어서, 일반식(I)의 산-형성 화합물의 농도가 0.5 내지 25중량%인 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  9. 제1항 내지 제8항중의 어느 한 항에 있어서, 조사 파장 범위에서 결합제의 흡수성이 0.5㎛-1미만인 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  10. 제1항 내지 제9항중의 어느 한 항에 있어서, 결합제로 노볼락 축합 수지를 30중량%이하, 특히 20중량%로 이하로 함유하는 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 결합제가 페놀계하이드록실 그룹을 함유하는 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  12. 제9항 내지 제11항중 어느 한 항에 있어서, 방사선-감수성 혼합물중에 결합제가 60 내지 96중량%, 특히 70 내지 94중량%의 농도로 함유된 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  13. 제9항 내지 제12항중 어느 한 항에 있어서, 240nm이상에서 결합재의 흡수성이 0.3㎛(미만인 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  14. 제1항에 있어서, 일반식(I)의 화합물이 148nm에서 모든 내식막 성분의 최대몰 흡수성을 갖는 포지티브-작용성 감조사성 혼합물.
  15. 지지체 및 제1항 내지 제14항중의 어느 한항에서 청구된 조사 경화성 혼합물로 구성되는 감조사성 층을 필수적으로 함유하는 포지티브-작용성 감조사성 복사물질.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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