KR910001930A - 자기정렬된 저도핑된 접합형성방법 - Google Patents
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- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 공정에 따른 단면도.
Claims (1)
- 반도체의 접합형성 제조방법에 있어서, 필드산화막이 형성된 기판상에 게이트산화층, 폴리-Ⅰ 및 LTO증착패터닝하고 LTO증착 및 측벽엣치하고 폴리-Ⅱ증착 및 이온주입하고 폴리-Ⅱ정의 및 기판에 확산시키는 방법으로 얻어지는 것을 특징으로 하는 자기정렬 저도핑된 접합형성방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019890009234A KR0140996B1 (ko) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 자기정렬된 저도핑된 접합형성방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019890009234A KR0140996B1 (ko) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 자기정렬된 저도핑된 접합형성방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR910001930A true KR910001930A (ko) | 1991-01-31 |
| KR0140996B1 KR0140996B1 (ko) | 1998-07-15 |
Family
ID=19287676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019890009234A KR0140996B1 (ko) | 1989-06-30 | 1989-06-30 | 자기정렬된 저도핑된 접합형성방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0140996B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190081081A (ko) | 2017-12-29 | 2019-07-09 | (주)에스엠테크 | 디아민 화합물과 알루미네이트계 화합물을 포함하는 광물 미분쇄용 분쇄조제 조성물 및 이를 사용한 광물의 미분쇄방법 |
-
1989
- 1989-06-30 KR KR1019890009234A patent/KR0140996B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190081081A (ko) | 2017-12-29 | 2019-07-09 | (주)에스엠테크 | 디아민 화합물과 알루미네이트계 화합물을 포함하는 광물 미분쇄용 분쇄조제 조성물 및 이를 사용한 광물의 미분쇄방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0140996B1 (ko) | 1998-07-15 |
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