KR20190042131A

KR20190042131A - 보호 필름 박리 장치 및 보호 필름 박리 방법

Info

Publication number: KR20190042131A
Application number: KR1020170133548A
Authority: KR
Inventors: 한경희; 류제길; 배윤경; 안주섭; 정성채; 한인애; 한규완
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2017-10-13
Filing date: 2017-10-13
Publication date: 2019-04-24
Also published as: US10843400B2; US20190111612A1; CN109664595B; US11235510B2; CN114476279B; CN114476279A; KR102424743B1; CN109664595A; US20210039304A1

Abstract

보호 필름 박리 장치는 제1 방향으로 연장하는 박리 테이프, 상기 박리 테이프의 일측의 하부에 배치된 테이프 지지부, 상기 박리 테이프의 상기 일측 상에 배치되고, 하부 방향으로 이동하여 상기 박리 테이프의 상기 일측을 상기 테이프 지지부에 가압하여 고정하는 제1 가압부, 상기 박리 테이프의 타측 상에 배치되고, 상기 박리 테이프의 상기 타측을 패널 상의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 제2 가압부, 및 상기 더미부 상에 배치된 그립부를 포함하고, 상기 지지부 및 상기 제1 가압부는 상부 방향으로 이동하여 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리시키고, 상기 그립부는 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리시킨다.

Description

보호 필름 박리 장치 및 보호 필름 박리 방법{PROTECTING FILM PEELING DEVICE AND PEELING METHOD FOR THE SAME}

본 발명은 보호 필름 박리 장치 및 보호 필름 박리 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는 모 패널의 보호 필름을 보다 더 용이하게 박리하기 위한 보호 필름 박리 장치 및 보호 필름 박리 방법에 관한 것이다.

사용자에게 영상을 제공하는 모니터, 아이 패드, 스마트 폰, 및 테블릿 PC 등과 같은 표시 장치는 영상을 표시하는 표시 패널을 포함한다. 표시 패널로서 액정 표시 패널(liquid crystal display panel), 유기 발광 표시 패널(organic light emitting display panel), 전기 습윤 표시 패널(electro Wetting display panel), 및 전기 영동 표시 패널(Electrophoretic Display panel) 등 다양한 표시 패널이 개발되고 있다.

최근 표시 장치의 기술 발달과 함께 접히거나 말릴 수 있는 플렉서블 표시 패널(flexible display panel) 및 적어도 한 방향으로 신축성을 갖는 신축성 표시 패널(stretchable display panel)을 갖는 표시 장치 등이 개발되고 있다. 이러한 표시 장치들은 미리 설정된 형태로 변형되거나, 사용자의 요구에 따라서, 다양한 형태로 변형될 수 있는 장점을 갖는다. 플렉서블 표시 패널을 포함하는 표시 장치는 표시 패널의 하부를 보호하기 위해 표시 패널의 하부에 배치된 보호 필름을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 목적은 모 패널의 보호 필름을 보다 더 용이하게 박리하기 위한 보호 필름 박리 장치 및 보호 필름 박리 방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 보호 필름 박리 장치는 제1 방향으로 연장하는 박리 테이프, 상기 박리 테이프의 일측의 하부에 배치된 테이프 지지부, 상기 박리 테이프의 상기 일측 상에 배치되고, 하부 방향으로 이동하여 상기 박리 테이프의 상기 일측을 상기 테이프 지지부에 가압하여 고정하는 제1 가압부, 상기 박리 테이프의 타측 상에 배치되고, 상기 박리 테이프의 상기 타측을 패널 상의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 제2 가압부, 및 상기 더미부 상에 배치된 그립부를 포함하고, 상기 지지부 및 상기 제1 가압부는 상부 방향으로 이동하여 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리시키고, 상기 그립부는 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리시킨다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 보호 필름 박리 방법은 제1 방향으로 연장하는 박리 테이프의 일측을 테이프 지지부 상에 배치하는 단계, 상기 박리 테이프의 상기 일측 상에 배치된 제1 가압부를 하부 방향으로 이동시켜 상기 박리 테이프의 상기 일측을 상기 테이프 지지부에 가압하여 고정하는 단계, 상기 박리 테이프의 타측 상에 배치된 제2 가압부를 상기 하부 방향으로 이동시켜 상기 박리 테이프의 상기 타측을 모 패널의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 단계, 상기 제2 가압부를 상부 방향으로 이동시키고, 상기 지지부 및 상기 제1 가압부를 상기 상부 방향으로 이동시켜 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리하는 단계, 및 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립부로 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리하는 단계를 포함한다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 보호 필름 박리 장치는 제1 방향으로 연장하는 박리 테이프를 공급하는 박리 테이프 공급부, 상기 박리 테이프 공급부의 하부에 배치된 제1 가이드부 및 제2 가이드부, 상기 제1 가이드부의 하부 및 상기 제2 가이드부의 하부에 각각 배치되고 상기 박리 테이프를 공급받아 제1 방향으로 이동시키는 제1 가이드 롤러 및 제2 가이드 롤러, 상기 제1 가이드부 및 상기 제2 가이드부 사이에 배치되고, 하부 방향으로 이동하여 상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러 사이의 박리 테이프를 패널 상의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 가압부, 및 상기 제1 및 제2 가이드부들에 인접하게 배치된 그립부를 포함하고, 상기 제1 및 제2 가이드 롤러들 및 상기 가압부는 상부 방향으로 이동하여 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리시키고, 상기 그립부는 상기 하부 방향으로 이동하여 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리시킨다.

본 발명의 일 실시 예에 따른 보호 필름 박리 방법은 제1 방향으로 연장하는 박리 테이프를 회전하는 제1 가이드 롤러 및 제2 가이드 롤러에 제공하는 단계, 상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러의 회전을 중지하고, 가압부를 하부 방향으로 이동시켜 상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러 사이의 박리 테이프를 패널 상의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 단계, 상기 제1 및 제2 가이드 롤러들 및 상기 가압부를 상부 방향으로 이동시켜 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리시키는 단계, 및 그립부를 하부 방향으로 이동시키고, 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 상기 그립부로 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리하는 단계를 포함한다.

본 발명의 실시 예에 따른 보호 필름 박리 장치 및 보호 필름 박리 방법은 모 패널에 부착된 보호 필름의 더미부에 박리 테이프를 부착하고, 박리 테이프를 이용하여 보다 용이하게 보호 필름의 더미부를 박리할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 보호 필름 박리 장치의 개략적인 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 어느 하나의 헤드부의 구성을 도시한 도면이다.
도 4는 도 1에 도시된 제2 서브 그립부의 일측면을 도시한 도면이다.
도 5는 도 1에 도시된 박리 테이프 공급부의 구성을 보여주는 도면이다.
도 6은 도 5에 도시된 박리 테이프들을 상부에서 바라본 도면이다.
도 7은 도 1에 도시된 모 패널의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 1에 도시된 모 패널의 단면 구성을 설명하기 위한 도면이다.
도 9는 제1 더미부, 제2 더미부, 및 박리 테이프의 폭을 비교하기 위한 도면이다.
도 10 및 도 11은 도 7에 도시된 고정부의 구성을 설명하기 위한 도면들이다.
도 11 및 도 12는 모 패널이 스테이지를 통해 박리 장치에 제공되기 전 모 패널의 상태를 설명하기 위한 도면이다.
도 13 내지 도 20은 도 1에 도시된 박리 장치를 이용한 보호 필름 박리 방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 21 및 도 22는 모 패널에서 분리된 단위 패널의 측면을 도시한 도면이다.
도 23은 제2 부분의 어느 한 화소의 등가 회로도이다.
도 24는 도 23에 도시된 화소의 단면 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 25 및 도 26은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 보호 필름 박리 장치의 헤드부의 구성을 도시한 도면이다.
도 27 내지 도 30은 도 25 및 도 26에 도시된 헤드부를 이용한 보호 필름 박리 방법을 설명하기 위한 도면들이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다. "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.

공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성 요소들과 다른 소자 또는 구성 요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작 시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.

본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 개략도인 평면도 및 단면도를 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함하는 것이다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이고, 발명의 범주를 제한하기 위한 것은 아니다.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 보호 필름 박리 장치의 개략적인 사시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 박리 장치(1000)는 박리부(100) 및 박리 테이프 공급부(200)를 포함한다. 박리부(100)는 메인 스테이지(MSTG), 2개의 레일부들(RA), 스테이지(STG), 2개의 제1 헤드 지지부들(HS1), 제2 헤드 지지부(HS2), 복수 개의 제3 헤드 지지부들(HS3), 및 복수 개의 해드부들(HP)을 포함한다.

레일부들(RA)은 메인 스테이지(MSTG) 상에 배치되고 제1 방향(DR1)으로 연장한다. 예시적으로 도 1에는 2개의 레일부들(RA)이 도시되었으나, 이에 한정되지 않고, 2개보다 많은 레일부들(RA)이 메인 스테이지(MSTG) 상에 배치될 수 있다.

레일부들(RA) 상에는 스테이지(STG)가 배치되고, 스테이지(STG) 상에는 모 패널(M_P)이 배치된다. 모 패널(M_P)은 스테이지(STG) 상에 안착되고, 스테이지(STG)는 레일부들(RA)을 따라 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 제1 방향(DR1)은 양방향으로서 좌측 방향 및 우측 방향을 포함할 수 있고, 예시적으로 스테이지(STG)는 제1 방향(DR1)의 우측 방향으로 이동할 수 있다.

제1 헤드 지지부들(HS1)은 제1 방향(DR1)과 교차하는 제2 방향(DR2)으로 배열되며, 레일부들(RA)을 사이에 두고 메인 스테이지(MSTG)의 양측들에 각각 배치될 수 있다. 제1 헤드 지지부들(HS1)은 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)에 평행한 평면과 교차하는 제3 방향(DR3)으로 연장한다. 제2 방향(DR2) 및 제3 방향(DR3)은 각각 양방향일 수 있다. 제3 방향(DR3)은 상부 방향 및 하부 방향을 포함할 수 있다.

제2 헤드 지지부(HS2)는 제1 헤드 지지부들(HS1)의 상단에 연결되고, 제2 방향(DR2)으로 연장한다. 제2 방향(DR2)으로 제2 헤드 지지부(HS2)는 메인 스테이지(MSTG)보다 길게 연장한다. 따라서, 제2 헤드 지지부(HS2)의 일측은 메인 스테이지(MSTG)보다 외측에 배치될 수 있다.

제2 헤드 지지부(HS2)에는 제3 방향(DR3)으로 연장하는 제3 헤드 지지부들(HS3)이 배치되고, 제3 헤드 지지부들(HS3)의 하부에는 헤드부들(HP)이 배치된다. 예시적으로 3개의 제3 헤드 지지부들(HS3) 및 3개의 헤드부들(HP)이 도 1에 도시되었으나, 제3 헤드 지지부들(HS3) 및 헤드부들(HP)의 개수는 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 1개의 헤드부(HP) 및 1개의 제3 헤드 지지부(HS3)가 박리부(100)에 구비되거나, 2개 또는 4개보다 많은 헤드부들(HP) 및 제3 헤드 지지부들(HS3)이 박리부(100)에 구비될 수 있다.

제3 헤드 지지부들(HS3)은 제2 헤드 지지부(HS2)를 따라 제2 방향(DR2)으로 왕복 이동할 수 있다. 제3 헤드 지지부들(HS3)에 연결된 헤드부들(HP)도 제2 방향(DR2)으로 왕복 이동할 수 있다.

제3 헤드 지지부들(HS3)은 메인 스테이지(MSTG)를 벗어나도록 제2 방향(DR2)으로 이동하여 헤드부들(HP)을 박리 테이프 공급부(200)에 인접하도록 이동시킨다. 헤드부들(HP)은 박리 테이프 공급부(200)로부터 박리 테이프들을 공급받는다. 박리 테이프 공급부(200) 및 박리 테이프들에 대한 구체적인 구성은 이하 상세히 설명될 것이다.

헤드부들(HP)이 박리 테이프들을 공급받은 후, 제3 헤드 지지부들(HS3)은 제2 방향(DR2)으로 이동하여 헤드부들(HP)을 메인 스테이지(MSTG) 상으로 이동시킨다. 헤드부들(HP)은 박리 테이프들을 이용하여 모 패널(M_P)의 보호 필름의 더미부들을 박리시킬 수 있다. 이러한 구성 및 동작은 이하 상세히 설명될 것이다. 도시하지 않았으나, 헤드부들(HP) 각각에는 스테이지(STG) 상에 배치된 모 패널(M_P)의 위치를 확인하기 위한 촬상부가 배치될 수 있다.

도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 어느 하나의 헤드부의 구성을 도시한 도면이다. 도 2는 헤드부(HP)를 제2 방향(DR2)에서 바라본 도면이고, 도 3은 헤드부(HP)를 제1 방향(DR1)에서 바라본 도면이다. 예시적으로, 도 2 및 도 3에는 하나의 헤드부(HP)의 구성이 도시되었으나, 다른 헤드부들(HP)도 도 2 및 도 3에 도시된 헤드부(HP)와 동일한 구성을 갖는다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 헤드부(HP)는 제1 및 제2 메인 지지부들(MSP1,MSP2), 제1 및 제2 서브 지지부들(SSP1,SSP2), 테이프 지지부(TSP), 그립 지지부(GSP), 제1 및 제2 메인 구동부들(MDV1,MDV2), 제1, 제2, 및 제3 구동부들(DV1,DV2,DV3), 석션부(ST)(suction portion), 및 그립부(GP)(grip portion)를 포함한다.

제1 메인 지지부(MSP1)는 제3 방향(DR3)으로 연장하고, 제1 메인 지지부(MSP1)의 상부에 제1 메인 구동부(MDV1)가 연결된다. 제1 메인 구동부(MDV1)는 제1 메인 지지부(MSP1)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 상하 방향은 제3 방향(DR3)의 상부 방향 및 하부 방향일 수 있다.

제2 메인 지지부(MSP2)는 제1 방향(DR1)으로 연장하고, 제1 메인 지지부(MSP1)의 소정의 부분에 연결될 수 있다. 제1 메인 지지부(MSP1)에 인접한 제2 메인 지지부(MSP2)의 일측의 하부에 제2 메인 구동부(MOV2)가 연결되고, 제2 메인 구동부(MOV2)의 좌측에 이동부(MP)가 연결된다. 제2 메인 구동부(MOV2)는 이동부(MP)를 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동시킬 수 있다.

이동부(MP)의 하부에 제1 서브 지지부(SSP1)가 연결되며, 제1 서브 지지부(SSP1)는 제1 방향(DR1)으로 연장한다. 제1 서브 지지부(SSP1)의 양측들 중 제1 메인 지지부(MSP1)에 더 가까운 제1 서브 지지부(SSP1)의 일측의 하부에 제3 방향(DR3)으로 연장하는 제2 서브 지지부(SSP2)가 연결된다.

제1 서브 지지부(SSP1)의 하부에 제1 구동부(DV1), 석션부(ST), 및 제2 구동부(DV2)가 연결된다. 제1 구동부(DV1)는 제2 서브 지지부(SSP2)에 인접하게 배치되고, 제2 구동부(DV2)는 제1 구동부(DV1)보다 좌측에 배치되어, 제1 서브 지지부(SSP1)의 일측의 반대측인 제1 서브 지지부(SSP1)의 타측의 하부에 연결된다. 석션부(ST)는 제1 구동부(DV1) 및 제2 구동부(DV2) 사이에 배치된다.

제2 서브 지지부(SSP2)의 하부에 테이프 지지부(TSP)가 연결되고, 테이프 지지부(TSP)는 제1 방향(DR1)으로 연장한다. 제1 구동부(DV1)의 하부에 제1 가압부(PS1)가 연결되고, 제1 구동부(DV1)는 제1 가압부(PS1)를 상하로 이동시킨다. 제2 구동부(DV2)의 하부에 제2 가압부(PS2)가 연결되고, 제2 구동부(DV2)는 제2 가압부(PS2)를 상하로 이동시킨다.

테이프 지지부(TSP)는 제1 가압부(PS1)와 이격되어 제1 가압부(PS1)의 하부에 배치된다. 제2 방향(DR2)에서 바라봤을 때, 제2 구동부(DV2) 및 제2 가압부(PS2)는 제1 구동부(DV1) 및 제1 가압부(PS2)보다 좌측에 배치된다.

제2 메인 지지부(MSP2)의 일측의 반대측인 제2 메인 지지부(MSP2)의 타측의 하부에 제3 구동부(DV3)가 연결된다. 제3 구동부(DV3)의 하부에 그립 지지부(GSP)가 연결되고, 그립 지지부(GSP)의 하부에 그립부(GP)가 연결된다. 제3 구동부(DV3)는 그립 지지부(GSP)를 상하로 이동시킴으로써, 그립부(GP)를 상하로 이동시킬 수 있다. 그립 지지부(GSP) 및 그립부(GP)는 제2 가압부(PS2)와 이격되어 배치된다. 제2 방향(DR2)에서 바라봤을 때 그립부(GP)는 "L"자 형상을 가질 수 있다.

그립부(GP)는 서로 이격되어 배치된 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)를 포함한다. 제2 가압부(PS2)는 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2) 사이를 경유하여 하부 방향 및 상부 방향으로 이동할 수 있다. 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2) 각각은 제2 방향(DR2)에서 바라봤을 때 "L"자 형상을 가질 수 있다. 제1 그립부(GP1)의 상단 및 제2 그립부(GP2)의 상단은 그립 지지부(GSP)의 내부에 연결되고 서로 인접하게 배치된다.

제1 그립부(GP1)의 상단에 제1 회전부(RP1)가 연결되고 제2 그립부(GP2)의 상단에 제2 회전부(RP2)가 연결된다. 제1 회전부(RP1) 및 제2 회전부(RP2)는 제1 그립부(GP1)의 상단 및 제2 그립부(GP2)의 상단을 각각 회전시킬 수 있다. 제1 그립부(GP1)의 상단 및 제2 그립부(GP2)의 상단이 제1 회전부(RP1) 및 제2 회전부(RP2)에 의해 각각 회전됨으로써, 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)는 서로 인접하도록 이동될 수 있다.

제1 그립부(GP1)는 그립 지지부(GSP)의 제1 회전부(RP1)에 연결된 제1 서브 그립부(GP1_1) 및 제1 서브 그립부(GP1_1)의 하부에 연결되고 제2 방향(DR2)에서 바라봤을 때 "L"자 형상을 갖는 제2 서브 그립부(GP1_2)를 포함한다. 제2 그립부(GP2)는 그립 지지부(GSP)의 제2 회전부(RP2)에 연결된 제3 서브 그립부(GP2_1) 및 제3 서브 그립부(GP2_1)의 하부에 연결되고 제2 방향(DR2)에서 바라봤을 때 "L"자 형상을 갖는 제4 서브 그립부(GP2_2)를 포함한다.

제1 서브 그립부(GP1_1)의 상단 및 제3 서브 그립부(GP2_1)의 상단이 제1 회전부(RP1) 및 제2 회전부(RP2)에 의해 회전함으로써, 제1 및 제3 서브 그립부들(GP1_1,GP2_1)에 연결된 제2 및 제4 서브 그립부들(GP1_2,GP2_2)은 서로 인접하도록 이동될 수 있다. 서로 마주보는 제2 서브 그립부(GP1_2)의 일측면 및 제4 서브 그립부(GP2_2)의 일측면 상에는 각각 접착 방지 코팅층(CT)이 배치된다. 접착 방지 코팅층(CT)은 불소 코팅층일 수 있다.

제1 메인 구동부(MOV1)는 제1 메인 지지부(MSP1)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있으므로, 테이프 지지부(TSP), 제1 및 제2 가압부들(PS1,PS2), 석션부(ST), 및 그립부(GP)가 제1 메인 구동부(MOV1)에 의해 상하 방향으로 함께 이동될 수 있다. 또한, 제2 메인 구동부(MOV2)가 제1 서브 지지부(SSP1)를 제1 방향(DR1)으로 왕복 이동시킬 수 있으므로, 제1 및 제2 가압부들(PS1,PS2) 및 테이프 지지부(TSP)가 제2 메인 구동부(MOV2)에 의해 제1 방향(DR1)으로 함께 왕복 이동될 수 있다.

도 4는 도 1에 도시된 제2 서브 그립부의 일측면을 도시한 도면이다. 도 4에 도시되지 않았으나, 제4 서브 그립부(GP2_2)의 일측면도 제2 서브 그립부(GP1_2)의 일측면과 같은 구성을 갖는다.

도 4를 참조하면, 제2 서브 그립부(GP1_2)의 일측면에는 복수 개의 에어 분출홀들(AH)이 배치된다. 에어 분출홀들(AH)을 통해 외부로 에어가 분출될 수 있다. 제2 서브 그립부(GP1_2)의 일측면은 요철 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 제2 서브 그립부(GP1_2)의 일측면은 복수 개의 돌출부들(PT)을 포함할 수 있다. 제4 서브 그립부(GP2_2)의 일측면에도 에어 분출홀들(AH)이 배치되고, 제4 서브 그립부(GP2_2)의 일측면은 요철 구조를 가질 수 있다.

도 5는 도 1에 도시된 박리 테이프 공급부의 구성을 보여주는 도면이다. 도 6은 도 5에 도시된 박리 테이프들을 상부에서 바라본 도면이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 박리 테이프 공급부(200)는 제1 및 제2 빅 롤러들(BRO1,BRO2), 제1 내지 제5 스몰 롤러들(SRO1~SRO5), 롤링 필름(RF), 및 복수 개의 박리 테이프들(PTP)을 포함한다.

롤링 필름(RF)에는 박리 테이프들(PTP)이 부착되고, 롤링 필름(RF)은 제1 빅 롤러(BRO1)에 감겨져 있다. 롤링 필름(RF)은 제2 방향(DR2)으로 연장하고, 박리 테이프들(PTP)은 제1 방향(DR1)으로 연장된다. 박리 테이프들(PTP)의 일측들은 헤드부들(HP)에 제공되고, 박리 테이프들(PTP)의 타측들은 롤링 필름(RF)에 부착된다. 박리 테이프들(PTP)의 타측들 각각에는 박리 접착제(PAD)가 배치된다. 박리 접착제(PAD)는 박리 테이프들(PTP)의 타측들 각각의 하부에 부착될 수 있다.

제1 및 제2 빅 롤러들(BRO1,BRO2)은 제1 내지 제5 스몰 롤러들(SRO1~SRO5)보다 큰 직경을 갖는다. 제1 및 제2 빅 롤러들(BRO1,BRO2) 및 제1 내지 제5 스몰 롤러들(SRO1~SRO5)이 회전하면서 롤링 필름(RF)을 이동시킨다. 예를 들어, 제1 빅 롤러(BRO1), 제2 빅 롤러(BRO2), 및 제3 스몰 롤러(SRO3)는 반 시계 방향으로 회전하고, 제1, 제2, 제4, 및 제5 스몰 롤러들(SRO1,SRO2,SRO4,SRO5)은 시계 방향으로 회전한다.

제1 빅 롤러(BRO1)에 감겨진 롤링 필름(RF)은 제1 스몰 롤러(SRO1)에 제공되고, 제1 스몰 롤러(SRP1)를 경유하여 제2 스몰 롤러(SRO2)로 제공된다. 제1 및 제2 스몰 롤러들(SRO1,SRO2)은 회전하면서 롤링 필름(RF)을 이동시키고, 롤링 필름(RF)는 제1 및 제2 스몰 롤러들(SRO1,SRO2)의 외주면들에 접촉하여 이동한다.

제1 스몰 롤러(SRO1) 및 제2 스몰 롤러(SRO2) 사이에 배치된 박리 테이프들(PTP)은 롤링 필름(RF)으로부터 분리되어 헤드부들(HP)에 각각 제공된다. 박리 테이프들(PTP)이 롤링 필름(RF)으로부터 분리되어 헤드부들(HP)에 제공될 때, 제1 스몰 롤러(SRO1) 및 제2 스몰 롤러(SRO2)의 회전 동작은 중지된다. 제1 스몰 롤러(SRO1) 및 제2 스몰 롤러(SRO2) 사이에는 헤드부들(HP)의 개수와 같은 개수의 박리 테이프들(PTP)이 배치되어, 헤드부들(HP)에 각각 제공된다.

박리 테이프들(PTP)이 롤링 필름(RF)으로부터 분리될 때, 롤링 필름(RF)의 흔들림을 방지하기 위해 제1 스몰 롤러(SRO1) 및 제2 스몰 롤러(SRO2) 사이의 롤링 필름(RF)의 상부 및 하부에 복수 개의 롤링 필름 지지부재들(RFSP)이 배치될 수 있다. 롤링 필름(RF)의 상부에 배치된 롤링 필름 지지부재들(RFSP) 및 롤링 필름(RF)의 하부에 배치된 롤링 필름 지지부재들(RFSP)은 서로 오버랩한다.

박리 테이프들(PTP)이 롤링 필름(RF)으로부터 분리될 때, 롤링 필름(RF)의 상부에 배치된 롤링 필름 지지부재들(RFSP) 및 롤링 필름(RF)의 하부에 배치된 롤링 필름 지지부재들(RFSP)은 롤링 필름(RF)을 향해 이동하여 접촉함으로써, 롤링 필름(RF)이 딸려 가지 않도록 롤링 필름(RF)을 지지한다.

헤드부들(HP)에 박리 테이프들(PTP)이 제공되고, 롤링 필름(RF)은 회전하는 제3, 제4, 및 제5 롤러들(SRO3,SRO4,SRO5)을 경유하여 제2 빅 롤러(BRO2)로 회수되어 제2 빅 롤러(BRO2)에 감겨진다. 롤링 필름(RF)은 제3, 제4, 및 제5 롤러들(SRO3,SRO4,SRO5)의 외주면들에 접촉하여 이동할 수 있다.

도 7은 도 1에 도시된 모 패널의 구조를 설명하기 위한 도면이다. 도 8은 도 1에 도시된 모 패널의 단면 구성을 설명하기 위한 도면이다. 도 9는 제1 더미부, 제2 더미부, 및 박리 테이프의 폭을 비교하기 위한 도면이다. 도 10 및 도 11은 도 7에 도시된 고정부의 구성을 설명하기 위한 도면들이다.

도 7, 도 8, 및 도 9를 참조하면, 제1 및 제2 방향들(DR1,DR2)이 이루는 평면 상에서 봤을 때, 모 패널(M_P)은 행들과 열들로 배열된 복수 개의 단위 패널들(U_P)을 포함할 수 있다. 행들은 제2 방향(DR2)에 대응하고, 열들은 제1 방향(DR1)에 대응한다. 단위 패널들(U_P) 각각은 제1 방향(DR1)으로 단변들을 갖고, 제2 방향(DR2)으로 장변들을 갖는 직사각형의 형상을 가질 수 있다.

단위 패널들(U_P) 각각은 구동 칩(IC) 및 구동 칩(IC)에 의해 구동되는 복수 개의 화소들(미 도시됨)을 포함한다. 구동 칩(IC)은 단위 패널(U_P)의 단변들 중 한 단변에 인접하게 배치된다. 단위 패널들(U_P) 각각은 제1 방향(DR1)으로 연장하는 벤딩부(BA)를 포함하고, 구동 칩(IC)은 벤딩부(BA)와 단위 패널(U_P)의 상기 한 단변 사이에 배치된다.

모 패널(M_P)은 패널(PN), 제1 보호 필름(PF1), 제2 보호 필름(PF2), 제1 접착 부재(AD1), 및 제2 접착 부재(AD2)를 포함한다. 제1 보호 필름(PF1)은 패널(PN)의 일면 상에 배치되고, 제2 보호 필름(PF2)은 패널(PN)의 일면의 반대면인 패널(PN)의 타면 상에 배치된다. 스테이지(STG)에 모 패널(M_P)이 안착될 때, 스테이지(STG) 상에는 제2 보호 필름(PF2)이 배치되고, 제1 보호 필름(PF1)은 제2 보호 필름(PF2)보다 상부에 배치된다.

제1 접착 부재(AD1)는 패널(PN)과 제1 보호 필름(PF1) 사이에 배치되어 제1 보호 필름(PF1)을 패널(PN)의 일면에 부착한다. 제2 접착 부재(AD2)는 패널(PN)과 제2 보호 필름(PF2) 사이에 배치되어 제2 보호 필름(PF2)을 패널(PN)의 타면에 부착한다.

도 8에 도시하지 않았으나, 패널(PN)에 구동 칩들(IC) 및 화소들이 배치되며, 평면상에서 봤을 때, 패널(PN)도 단위 패널들(U_P)을 포함할 수 있다.

제1 보호 필름(PF1)은 제1 방향(DR1)으로 연장하고 제2 방향(DR2)으로 배열된 복수 개의 더미부들(DUM)을 포함한다. 더미부들(DUM)은 제1 방향(DR1)으로 배열된 단위 패널들(U_P)의 벤딩부들(BA)을 경유하여 연장된다. 단위 패널들(U_P)에서 더미부들(DUM)은 벤딩부들(BA)에 오버랩한다.

더미부들(DUM) 각각은 제1 보호 필름(PF1)의 일측의 소정의 부분에 배치된 제1 더미부(DUM1) 및 제1 더미부(DUM1)로부터 제1 방향(DR1)으로 연장하는 제2 더미부(DUM2)를 포함한다. 제1 더미부들(DUM1)은 더미부들(DUM)의 일측들을 정의하며, 제2 더미부들(DUM2)은 제1 방향(DR1)으로 배열된 단위 패널들(U_P)의 벤딩부들(BA)에 오버랩하도록 연장된다.

제2 방향(DR2)으로 제1 더미부(DUM1)의 폭은 제2 더미부(DUM2)의 폭보다 크다. 또한, 제2 방향(DR2)으로 박리 테이프(PTP)의 폭은 제1 더미부(DUM1)의 폭보다 작고, 제2 더미부(DUM2)의 폭보다 클 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 박리 테이프(PTP)의 폭은 제1 더미부(DUM1)의 폭과 같을 수 있다. 박리 테이프(PTP)의 타측은 박리 접착제(PAD)에 의해 제1 더미부(DUM1) 상에 부착될 수 있다.

예시적으로 3개의 열들로 배열된 단위 패널들(U_P)이 도시되었으나, 이에 한정되지 않고, 1개의 열, 2개의 열, 또는 3개보다 많은 열들로 배열된 단위 패널들(U_P)이 모 패널(M_P)에 배치될 수 있다. 또한, 하나의 단위 패널(U_P)이 모 패널(M_P)에 배치될 수도 있다.

헤드부들(HP)은 단위 패널들(U_P)이 배열된 열들에 대응하도록 배치될 수 있으며, 헤드부들(HP)은 모 패널(M_P)로부터 더미부들(DUM)을 각각 박리할 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고 헤드부(HP)가 하나만 구비되어 하나의 헤드부(HP)가 반복해서 더미부들(DUM)을 하나씩 박리할 수도 있다.

도 7 및 도 10을 참조하면, 복수 개의 고정부들(FP)은 더미부들(DUM)의 일측들을 정의하는 제1 더미부들(DUM1)에 인접한 스테이지(STG)의 일측에 배치된다. 고정부들(FP)은 고정부들(FP)의 하부들에 각각 배치되고 스테이지(STG)의 일측에 연결된 복수 개의 제4 구동부들(DV4)에 연결된다.

제4 구동부들(DV4)은 고정부들(FP)을 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 고정부들(FP)은 하부 방향으로 이동하여 제1 더미부들(DUM1)의 주변의 모 패널(M_P)을 가압함으로써 모 패널(M_P)을 고정할 수 있다. 실질적으로, 제1 더미부들(DUM1)은 제1 보호 필름(PF1)을 가압하여 모 패널(M_P)을 고정한다. 제1 더미부들(DUM1)이 박리될 때, 고정부들(FP)은 제1 더미부들(DUM1)에 인접한 모 패널(M_P)의 일측의 들뜸 현상을 방지할 수 있다.

도 11 및 도 12는 모 패널이 스테이지를 통해 박리 장치에 제공되기 전 모 패널의 상태를 설명하기 위한 도면이다. 설명의 편의를 위해 도 11 및 도 12에는 하나의 단위 패널(U_P)이 도시되었다.

도 11 및 도 12를 참조하면, 모 패널(M_P)의 더미부(DUM)에 자외선 레이저(UV)가 조사되고, 더미부(DUM)의 경계에 CO2 레이저(CO2)가 조사된다. 자외선 레이저(UV) 및 CO2 레이저(CO2)가 조사될 때, 도 8과 달리 모 패널(M_P)은 뒤집어 진다. 제2 보호 필름(PF2)보다 제1 보호 필름(PF1)이 하부에 배치되고, 모 패널(M_P)의 하부에서 자외선 레이저(UV) 및 CO2 레이저(CO2)가 제1 보호 필름(PF1)의 더미부(DUM)에 조사될 수 있다.

CO2 레이저(CO2)에 의해 더미부(DUM)의 경계가 컷팅되고, 자외선 레이저(UV)에 의해 더미부(DUM) 상의 제1 접착 부재(AD1)의 접착력이 떨어진다. 패널(PN)은 폴리 이미드로 형성된 베이스 기판 및 베이스 기판 상에 배치된 화소들을 포함할 수 있다. 베이스 기판에 자외선 레이저(UV)가 조사될 경우, 베이스 기판에서 수소가 발생하여 베이스 기판과 제1 접착 부재(AD1) 사이의 접착력이 감소될 수 있다.

자외선 레이저(UV)가 기준 시간 이상 조사될 경우, 제1 접착 부재(AD1)가 탄화될 수 있다. 자외선 레이저(UV)는 제1 더미부(DUM1)에 기준 시간 이상 조사되고, 제2 더미부(DUM2)에는 기준 시간보다 작은 시간 동안 조사될 수 있다. 따라서 제1 더미부(DUM1) 상의 제1 접착 부재(AD1)는 탄화될 수 있다.

자외선 레이저(UV) 및 CO2 레이저(CO2)가 조사되어 처리된 모 패널(M_P)은 스테이지(STG)에 안착된다. 모 패널(M_P)이 스테이지(STG)에 안착될 때, 제1 보호 필름(PF1)보다 제2 보호 필름(PF2)이 하부에 배치되어 제2 보호 필름(PF2)이 스테이지(STG) 상에 배치되고 제1 보호 필름(PF1)이 헤드부(HP)와 마주볼 수 있다.

도 13 내지 도 20은 도 1에 도시된 박리 장치를 이용한 보호 필름 박리 방법을 설명하기 위한 도면들이다. 헤드부들(HP)의 박리 동작은 동일하므로, 이하, 도 13 내지 도 20을 참조하여, 예시적으로 하나의 헤드부(HP)의 박리 동작이 설명될 것이다. 설명의 편의를 위해 도 14 내지 도 20에서 스테이지(STG)는 생략되었다.

도 13을 참조하면, 헤드부(HP)가 박리 테이프 공급부(200)에 인접하도록 이동하고, 롤링 필름(RF)을 통해 박리 테이프(PTP)가 헤드부(HP)에 제공된다. 박리 테이프(PTP)의 일측은 테이프 지지부(TSP) 상에 배치되고, 테이프 지지부(TSP)는 박리 테이프(PTP)의 일측의 하부에서 박리 테이프(PTP)의 일측을 지지한다.

제1 가압부(PS1)는 제1 구동부(DV1)의 의해 하부 방향으로 이동하여 박리 테이프(PTP)의 일측을 테이프 지지부(TSP)에 가압한다. 제1 가압부(PS1)가 박리 테이프(PTP)의 일측을 가압하여 박리 테이프(PTP)의 일측이 제1 가압부(PS1)와 테이프 지지부(TSP)에 고정될 수 있다. 박리 테이프(PTP)의 일측이 테이프 지지부(TSP)에 고정되고, 박리 테이프(PTP)는 롤링 필름(RF)으로부터 분리된다. 박리 테이프(PTP)를 공급받은 헤드부(HP)는 모 패널(M_P)이 배치된 스테이지(STG) 상으로 이동한다.

그립부(GP)는 더미부(DUM) 상에 배치될 수 있으며, 제3 구동부(DV3)에 의해 상부 방향으로 이동하여 테이프 지지부(TSP)보다 상부에 배치된다. 제2 가압부(PS2)는 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2) 사이에 배치된다.

도 14를 참조하면, 스테이지(STG)에 의해 모 패널(M_P)이 헤드부(HP)의 하부로 이동된다. 박리 테이프(PTP)의 타측은 제1 보호 필름(PF1)의 제1 더미부(DUM1) 상에 배치되어 제1 더미부(DUM1)와 오버랩한다. 제2 가압부(PS2)는 박리 테이프(PTP)의 타측 상에 배치되어 박리 테이프(PTP)의 타측과 오버랩한다.

도 15를 참조하면, 제2 가압부(PS2)는 제2 구동부(DV2)에 의해 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2) 사이를 경유하여 하부 방향으로 이동한다. 제2 가압부(PS2)는 하부 방향으로 이동하여 박리 테이프(PTP)의 타측을 제1 더미부(DUM1)에 가압한다. 박리 테이프(PTP)의 타측에 배치된 박리 접착제(PAD)에 의해 박리 테이프(PTP)의 타측이 제1 더미부(DUM1)에 부착된다.

도 16을 참조하면, 제2 가압부(PS2)는 박리 테이프(PTP)의 타측을 제1 더미부(DUM1)에 부착시킨 후 제2 구동부(DV2)에 의해 상부 방향으로 이동한다. 이후, 제1 메인 구동부(MDV1)가 제1 메인 지지부(MSP1)를 상부 방향으로 이동시키고, 그 결과, 테이프 지지부(TSP), 제1 및 제2 가압부들(PS1,PS2), 석션부(ST), 및 그립부(GP)가 함께 상부 방향으로 이동한다.

제1 가압부(PS1)가 박리 테이프(PTP)의 일측을 테이프 지지부(TSP)에 고정시키고 있으므로, 박리 테이프(PTP)가 상부로 이동하면서 박리 테이프(PTP)의 타측에 부착된 더미부(DUM)의 일측부터 더미부(DUM)의 소정의 부분이 박리된다. 예를 들어, 제1 더미부(DUM1)가 모 패널(M_P)로부터 박리되고, 제1 가압부(PS1) 및 테이프 지지부(TSP)가 상부로 이동함에 따라 제1 더미부(DUM1)부터 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분까지 박리될 수 있다.

제1 더미부(DUM1)가 박리될 때, 도 7 및 도 10에 도시된 고정부(FP)가 모 패널(M_P)을 고정하고 있으므로, 모 패널(M_P)의 들뜸 현상이 방지될 수 있다. 박리 접착제(PAD)는 제1 접착 부재(AD1)보다 강한 접착력을 갖는다. 따라서, 박리 접착제(PAD)에 의해 용이하게 제1 더미부(DUM1)가 박리될 수 있다.

제1 더미부(DUM1)에 오버랩하는 제1 접착 부재(AD1)는 탄화되어 있으므로, 제1 더미부(DUM1)가 박리되는 초기 박리가 용이하게 수행될 수 있다. 제1 더미부(SUM1)에 오버랩하는 제1 접착 부재(AD1)의 탄화 입자들이 분산될 경우, 탄화 입자들이 모 패널(M_P)에 흡착되어 모 패널(M_P)을 오염시킬 수 있다. 석션부(ST)는 제1 더미부(DUM1)가 박리될 때 동작하여 제1 접착 부재(AD1)의 탄화 입자들은 흡입하여 제거할 수 있다.

도 17을 참조하면, 더미부(DUM)의 소정의 부분이 박리된 후, 제3 구동부(DV3)에 의해 그립부(GP)는 하부 방향으로 이동하며, 테이프 지지부(TSP)보다 하부에 배치된다. 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)는 서로 인접하도록 이동하여 박리된 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분을 그립할 수 있다. 구체적으로 제2 서브 그립부(GP1_2) 및 제4 서브 그립부(GP2_2)가 서로 인접하도록 이동하여 박리된 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분을 그립할 수 있다.

도 18을 참조하면, 그립부(GP)가 박리된 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분을 그립할 때, 제1 가압부(PS1)는 제1 구동부(DV1)에 의해 상부 방향으로 이동하여 테이프 지지부(TSP)로부터 이격된다. 따라서, 박리 테이프(PTP)는 테이프 지지부(TSP)로부터 분리된다.

제2 메인 구동부(MDV2)는 이동부(MP)를 우측 방향으로 이동시킴으로써, 이동부(MP)에 연결된 제1 서브 지지부(SSP1)가 우측으로 이동한다. 따라서, 제2 메인 구동부(MDV2)에 의해 제1 및 제2 가압부들(PS1,PS2), 석션부(ST), 및 테이프 지지부(TSP)는 그립부(GP)로부터 멀이지도록 이동한다.

도 19를 참조하면, 그립부(GP)가 박리된 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분을 그립한 후, 스테이지(STG)는 그립부(GP)로부터 멀어지도록 제1 방향(DR1)의 우측 방향으로 이동한다. 따라서, 모 패널(M_P)이 이동하면서, 그립부(GP)에 의해 더미부(DUM)의 나머지 부분이 박리될 수 있다.

도 20을 참조하면, 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)는 서로 이격되도록 이동하고, 그 결과 박리 테이프(PTP) 및 모 패널(M_P)로부터 박리된 더미부(DUM)는 더미 박스(D_B)에 폐기될 수 있다.

박리된 더미부(DUM)에는 제1 접착 부재(AD1)가 잔존할 수 있다. 제2 서브 그립부(GP1_2)의 일측면 및 제4 서브 그립부(GP2_2)의 일측면에는 접착 방지 코팅층(CT)이 코팅되어 있으므로, 박리된 더미부(DUM)에 제1 접착 부재(AD1)가 잔존하더라도 박리된 더미부(DUM)가 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)에 부착되지 않을 수 있다.

제2 및 제4 서브 그립부들(GP1_2,GP2_2)의 일측면들은 요철 구조를 가지므로, 더미부(DUM)가 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)에 보다 더 부착되지 않을 수 있다. 제2 및 제4 서브 그립부들(GP1_2,GP2_2)의 일측면들의 에어 분출홀들(AH)에서 에어가 분출되므로, 박리된 더미부(DUM)가 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)로부터 보다 더 잘 떨어져 나갈 수 있다.

롤러 나 핀 등을 이용하여 롤러 나 핀을 더미부(DUM)의 일측에 접촉시킨 후, 더미부(DUM)를 밀어서 박리할 수도 있다. 그러나, 이러한 경우, 롤러 나 핀 등이 더미부(DUM)를 밀어내는 힘에 의해 모 패널(M_P)이 스테이지로부터 밀려나거나, 패널(PN)이 제2 보호 필름(PF2)으로부터 들떠서 밀려날 수도 있다.

그러나, 본 발명의 실시 예에서, 더미부(DUM)를 밀어내지 않고, 헤드부(HP)가 박리 테이프(PTP)를 더미부(DUM)에 부착시켜 더미부(DUM)를 박리시킨다. 따라서, 모 패널(M_P)이 스테이지로부터 밀려나거나, 패널(PN)이 제2 보호 필름(PF2)으로부터 들떠서 밀려나지 않고, 용이하게 더미부(DUM)가 박리될 수 있다.

도 21 및 도 22는 모 패널에서 분리된 단위 패널의 측면을 도시한 도면이다.

도 21 및 도 22를 참조하면, 모 패널(M_P)에서 더미부들(DUM)이 박리되고, 모 패널(M_P)에서 단위 패널들(U_P)이 분리된다. 단위 패널(U_P)은 표시 패널(DP)로 정의될 수 있으며, 제1 보호 필름(PF1)은 표시 패널(DP)의 후면을 정의하고, 제2 보호 필름(PF2)은 표시 패널(DP)의 상면을 정의한다.

표시 패널(DP)은 벤딩부(BA) 및 벤딩부(BA)를 사이에 두고 배치된 제1 부분(PT1) 및 제2 부분(PT2)을 포함할 수 있다. 구동칩(IC)은 제1 부분(PT1)에 배치될 수 있으며, 제2 부분(PT2)은 복수 개의 화소들을 포함할 수 있다.

벤딩부(BA)의 더미부(DUM)가 박리됨으로써, 벤딩부(BA)는 제1 및 제2 부분들(PT1,PT2)보다 작은 두께를 가질 수 있다. 벤딩부(BA)가 작은 두께를 가지므로, 표시 패널(DP)의 벤딩부(BA)가 용이하게 휘어질 수 있다. 벤딩부(BA)가 휘어지고 제1 부분(PT1)은 제2 부분(PT2)의 하부에 배치될 수 있다.

도 23은 제2 부분의 어느 한 화소의 등가 회로도이다. 도 24는 도 23에 도시된 화소의 단면 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다. 도 23에는 하나의 화소(PX)의 구성만 도시되었으나, 다른 화소들(PX)도 도 23에 도시된 화소(PX)와 동일한 구성을 갖는다.

도 23을 참조하면, 화소(PX)는 주사 라인(SLi), 데이터 라인(DLj), 및 발광 라인(ELi)에 연결된다. i 및 j는 자연수이다. 화소(PX)는 발광 소자(OLED), 구동 트랜지스터(T1), 용량 소자(Cst), 스위칭 트랜지스터(T2), 및 발광 제어 트랜지스터(T3)를 포함한다. 발광 소자(OLED)는 유기 발광 다이오드로 정의될 수 있다.

구동 트랜지스터(T1)의 소스 단자는 제1 전압(ELVDD)을 제공받고, 구동 트랜지스터(T1)의 드레인 단자는 발광 제어 트랜지스터(T3)의 소스 단자에 연결된다. 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 단자는 스위칭 트랜지스터(T2)의 드레인 단자에 연결된다.

스위칭 트랜지스터(T2)의 게이트 단자는 주사 라인(SLi)에 연결되고, 스위칭 트랜지스터(T2)의 소스 단자는 데이터 라인(DLj)에 연결된다. 용량 소자(Cst)의 제1 전극은 구동 트랜지스터(T1)의 소스 단자에 연결되고, 용량 소자(Cst)의 제2 전극은 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 단자에 연결된다.

발광 제어 트랜지스터(T3)의 게이트 단자는 발광 라인(ELi)에 연결되고, 발광 제어 트랜지스터(T3)의 드레인 단자는 발광 소자(OLED)의 애노드 전극에 연결된다. 발광 소자(OLED)의 캐소드 전극은 제2 전압(ELVSS)를 인가받는다. 제2 전압(ELVSS)은 제1 전압(ELVDD)보다 낮은 레벨을 가질 수 있다.

스위칭 트랜지스터(T2)는 주사 라인(SLi)을 통해 제공받은 주사 신호(SCAN)에 응답하여 턴 온된다. 턴 온된 스위칭 트랜지스터(T2)는 데이터 라인(DLj)을 통해 제공받은 데이터 전압(DATA)을 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 단자에 제공한다. 용량 소자(Cst)는 구동 트랜지스터(T1)의 게이트 단자에 인가되는 데이터 전압(DATA)을 충전하고, 스위칭 트랜지스터(T2)가 턴 오프된 뒤에도 이를 유지한다.

발광 제어 트랜지스터(T3)의 게이트 단자는 발광 라인(ELi)을 통해 제공받은 발광 신호(EM)에 응답하여 턴 온된다. 턴 온된 발광 제어 트랜지스터(T3)는 구동 트랜지스터(T1)에 흐르는 전류(Ioled)를 발광 소자(OLED)에 제공하는 역할을 한다. 화소(PX)는 발광 신호(EM)의 인가 시간동안 발광할 수 있다. 발광 소자(OLED)는 제공받은 전류(Ioled) 량에 따라 세기를 달리하여 발광한다.

예시적으로 화소(PX)의 트랜지스터들(T1~T3)은 PMOS 트랜지스터들이나 이에 한정되지 않고, 화소(PX)의 트랜지스터들(T1~T3)은 NMOS 트랜지스터들일 수 있다. 화소(PX)의 트랜지스터들(T1~T3)은 구동 소자들로 정의될 수 있다.

도 24를 참조하면, 화소(PX)는 발광 소자(OLED) 및 발광 소자(OLED)에 연결된 트랜지스터(TR)를 포함한다. 트랜지스터(TR)는 발광 제어 트랜지스터(T3)일 수 있다. 트랜지스터(TR) 및 발광 소자(OLED)는 베이스 기판(BSUB) 상에 배치된다.

베이스 기판(BSUB)의 하부에 제1 보호 필름(PF1)이 배치되고, 제1 접착 부재(AD1)는 제1 보호 필름(PF1)를 베이스 기판(BSUB)에 부착시킨다. 설명의 편의를 위해 도 24에 제2 보호 필름(PF2)은 도시되지 않았다.

베이스 기판(BSUB) 및 제1 보호 필름(PF1)은 가요성을 갖고 투명한 플렉서블 기판일 수 있다. 예를 들어, 베이스 기판(BSUB)은 폴리 이미드(PI:Polyimide)로 형성되고, 제1 보호 필름(PF1)은 폴리에틸렌 테레프탈에이트(PET:polyethylene terephthalate)로 형성될 수 있다.

베이스 기판(BSUB) 상에 버퍼층(BFL)이 배치되며, 버퍼층(BFL)은 무기 물질을 포함하는 무기 절연층일 수 있다. 버퍼층(BFL) 상에 트랜지스터(TR)의 반도체 층이 배치된다. 반도체 층(SM)은 아모포스 실리콘 또는 폴리 실리콘과 같은 무기 재료의 반도체나 유기 반도체를 포함할 수 있다. 또한, 반도체 층(SM)은 산화물 반도체(oxide semiconductor)를 포함할 수 있다. 도 24에 도시되지 않았으나, 반도체 층(SM)은 소스 영역, 드레인 영역, 및 소스 영역과 드레인 영역 사이의 채널 영역을 포함할 수 있다.

반도체 층(SM)을 덮도록 버퍼층(BFL) 상에 제1 절연층(INS1)이 배치된다. 제1 절연층(INS1) 상에 반도체층(SM)과 오버랩되는 트랜지스터(TR)의 게이트 전극(GE)이 배치된다. 게이트 전극(GE)은 반도체 층(SM)의 채널 영역과 오버랩되도록 배치될 수 있다. 게이트 전극(GE)을 덮도록 제1 절연층(INS1) 상에 제2 절연층(INS2)이 배치된다. 제2 절연층(INS2)은 층간 절연막으로 정의될 수 있다. 제1 및 제2 절연층들(INS2)은 무기 물질을 포함하는 무기 절연층일 수 있다.

제2 절연층(INS2) 상에 트랜지스터(TR)의 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)이 서로 이격되어 배치된다. 소스 전극(SE)은 제1 절연층(INS1) 및 제2 절연층(INS2)을 관통하여 정의된 제1 컨택 홀(H1)을 통해 반도체층(SM)의 소스 영역에 연결될 수 있다. 드레인 전극(DE)은 제1 절연층(INS1) 및 제2 절연층(INS2)을 관통하여 정의된 제2 컨택 홀(H2)을 통해 반도체층(SM)의 드레인 영역에 연결될 수 있다.

트랜지스터(TR)의 소스 전극(SE) 및 드레인 전극(DE)을 덮도록 제2 절연층(INS2) 상에 제3 절연층(INS3)이 배치된다. 제3 절연층(INS3)은 평평한 상면을 제공하는 평탄화막으로 정의될 수 있다. 제3 절연층(INS3)은 유기 물질을 포함하는 유기 절연막일 수 있다.

제3 절연층(INS3) 상에 발광 소자(OLED)의 제1 전극(E1)이 배치된다. 제1 전극(E1)은 제3 절연층(INS3)을 관통하여 정의된 제3 컨택홀(H3)을 통해 트랜지스터(TR)의 드레인 전극(DE)에 연결될 수 있다. 제1 전극(E1)은 화소 전극 또는 애노드 전극으로 정의될 수 있다. 제1 전극(E1)은 투명 전극 또는 반사형 전극을 포함할 수 있다.

제1 전극(E1) 및 제3 절연층(INS3) 상에 제1 전극(E1)의 소정의 부분을 노출시키는 화소 정의막(PDL)이 배치된다. 화소 정의막(PDL)에는 제1 전극(E1)의 소정의 부분을 노출시키는 화소 오픈부(PX_OP)가 정의되며, 화소 오픈부(PX_OP)가 배치된 영역은 화소 영역(PA)으로 정의될 수 있다. 화소 영역(PA) 주변은 비화소 영역(NPA)으로 정의될 수 있다.

화소 오픈부(PX_OP) 내에서 제1 전극(E1) 상에 유기 발광층(OEL)이 배치된다. 유기 발광층(OEL)은 적색, 녹색, 및 청색 중 어느 하나의 광을 생성할 수 있는 유기 물질을 포함할 수 있다. 유기 발광층(OEL)은 적색, 녹색, 및 청색 중 어느 하나의 광을 생성할 수다. 그러나 이에 한정되지 않고, 유기 발광층(OEL)은 적색, 녹색, 및 청색을 생성하는 유기 물질들의 조합에 의해 백색광을 생성할 수도 있다.

유기 발광층(OEL)은 각각 저분자 유기물 또는 고분자 유기물을 포함할 수 있다. 도시하지 않았으나, 유기 발광층(OEL)은 정공 주입층(Hole Injection Layer, HIL), 정공 수송층(Hole Transpoting Layer, HTL), 발광층(Emission Layer:EML), 전자 수송층(Electron Transporting Layer, ETL) 및 전자 주입층(Electron Injection Layer, EIL)을 포함하는 다중막으로 형성될 수 있다. 정공 주입층이 제1 전극(E1) 상에 배치되고, 정공 주입층 상에 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 및 전자 주입층이 차례로 적층될 수 있다.

화소 정의막(PDL) 및 유기 발광층(OEL) 상에 제2 전극(E2)이 배치된다. 제2 전극(E2)은 공통 전극 또는 캐소드 전극으로 정의될 수 있다. 제2 전극(E2)은 투명 전극 또는 반사형 전극을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)이 전면 발광형 유기 발광 표시 패널일 경우, 제1 전극(E1)은 반사형 전극으로 형성되고, 제2 전극(E2)은 투명 전극으로 형성될 수 있다. 표시 패널(DP)이 후면 발광형 유기 발광 표시 패널일 경우 제1 전극(E1)은 투명 전극으로 형성되고, 제2 전극(E2)은 반사형 전극으로 형성될 수 있다.

발광 소자(OLED)는 화소 영역(PA)에 형성되고, 화소 영역(PA)에서 제1 전극(E1), 유기 발광층(OEL), 및 제2 전극(E2)을 포함한다. 제1 전극(E1)은 정공 주입 전극인 양극이며, 제2 전극(E2)은 전자 주입 전극인 음극일 수 있다. 트랜지스터(TR)에 의해 발광 소자(OLED)의 유기 발광층(OEL)을 발광시키기 위한 제1 전원 전압이 제1 전극(E1)에 인가되고, 제1 전원 전압과 반대 극성의 제2 전원 전압이 제2 전극(E2)에 인가된다.

유기 발광층(OEL)에 주입된 정공과 전자가 결합하여 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서 발광 소자(OLED)가 발광 된다. 발광 소자(OLED)는 전류의 흐름에 따라 적색, 녹색, 및 청색의 빛을 발광하여 소정의 화상 정보를 표시할 수 있다.

도 25 및 도 26은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 보호 필름 박리 장치의 헤드부의 구성을 도시한 도면이다. 도 25는 헤드부(HP')를 제2 방향(DR2)에서 바라본 도면이고 도 26은 헤드부(HP')를 제1 방향(DR1)에서 바라본 도면이다.

이하, 도 2 및 3에 도시된 헤드부(HP)와 다른 구성을 위주로 도 25 및 도 26에 도시된 헤드부(HP')의 구성이 설명되며 동일한 구성은 동일한 부호를 사용하여 도시하였다.

도 25 및 도 26을 참조하면, 헤드부(HP')는 제1, 제2, 제3, 및 제4 지지부들(SP1,SP2,SP3,SP4), 제1, 제2, 및 제3 구동부들(DV1',DV2',DV3'), 그립부(GP), 그립 지지부(GSP), 가압부(PS), 박리 테이프 공급부(200'), 제1 및 제2 가이드부(GD1,GD2), 및 제1 및 제2 가이드 롤러들(GRO1,GRO2)을 포함한다.

제1 지지부(SP1)는 제3 방향(DR3)으로 장변들을 갖고, 제1 방향(DR1)으로 단변들을 갖는 직사각형 형상을 갖는다. 제1 및 제3 방향들(DR1,DR3)에 평행한 제1 지지부(SP1)의 전면(FS)에 박리 테이프 공급부(200')가 연결된다. 도 1에 도시된 박리 장치(1000)는 헤드부(HP)와 박리 테이프 공급부(200)가 분리되어 있으나, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 박리 장치의 박리 테이프 공급부(200)'는 헤드부(HP')에 연결된다.

제1 및 제2 가이드부들(GD1,GD2)은 박리 테이프 공급부(200')의 하부에 배치되어 제1 지지부(SP1)의 전면(FS)에 연결된다. 제1 및 제2 가이드부들(GD1,GD2)은 제3 방향(DR3)으로 연장되고, 제1 방향(DR1)으로 서로 이격되어 배치된다. 제1 및 제2 가이드부들(GD1,GD2)은 제1 지지부(SP1)의 하단보다 더 하부로 연장될 수 있다. 제1 가이드부(GD1)의 하부 및 제2 가이드부(GD2)의 하부에는 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2)가 각각 배치된다.

박리 테이프 공급부(200')는 박리 테이프(PTP')를 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2)에 제공하고, 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2)는 회전하면서 박리 테이프(PTP')를 제1 방향(DR1)으로 이동시킨다. 박리 테이프(PTP')는 제1 및 제2 가이드 롤러들(GRO1,GRO2)의 외주면들에 접촉하여 이동할 수 있다. 제2 가이드 롤러(GRO2)를 지난 박리 테이프(PTP')는 다시 박리 테이프 공급부(200')로 회수된다.

박리 테이프 공급부(200')는 제1 및 제2 빅 롤러들(BRO1,BRO2), 제1, 제2, 제3, 및 제4 스몰 롤러들(SRO1,SRO2,SRO3,SRO4), 및 박리 테이프(PTP')를 포함한다. 제1 빅 롤러(BRO1) 및 제2 빅 롤러(BRO2)는 제3 방향(DR3)으로 서로 이격되어 제1 지지부(SP)의 전면(FS)에 연결된다. 제2 빅 롤러(BRO2)는 제1 빅 롤러(BRO1)보다 하부에 배치된다. 박리 테이프(PTP')는 제1 방향(DR1)으로 연장하여 제1 빅 롤러(BRO1)에 감겨져 있다.

제1, 제2, 및 제3 스몰 롤러들(SRO1,SRO2,SRO3)은 제2 빅 롤러(BRO2)보다 하부에 배치되고, 제1 방향(DR1)으로 배열될 수 있다. 제4 스몰 롤러(SRO4)는 제1 빅 롤러(BRO1)에 인접하게 배치된다. 박리 테이프(PTP')의 일면 상에는 박리 접착제(PAD)가 배치될 수 있다.

제1 및 제2 빅 롤러들(BRO1,BRO2) 및 제1, 제2, 제3, 및 제4 스몰 롤러들(SRO1,SRO2,SRO3,SRO4)은 회전하면서 박리 테이프(PTP')를 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 제1 빅 롤러(BRO1)에 감겨져 있는 박리 테이프(PTP')는 회전하는 제1 스몰 롤러(SRO1)를 경유하여 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2)에 제공된다.

제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2)는 헤드부(HP)의 박리 동작 시 회전을 멈추고, 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2) 사이에 배치된 박리 테이프(PTP')에 의해 박리 동작이 수행된다. 박리 접착제(PAD)는 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2) 사이에 배치된 박리 테이프(PTP')의 하부에 배치된다.

박리 동작이 완료된 후, 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2)가 회전되어 박리 테이프(PTP')를 이동시키고, 박리 테이프(PTP')는 회전하는 제2, 제3, 및 제4 스몰 롤러들(SRO2,SRO3,SRO4)을 경유하여 제2 빅 롤러(BRO2)로 회수되어 제2 빅 롤러(BRO2)에 감겨진다.

제2 지지부(SP2)는 제1 지지부(SP1)의 전면(FS)의 반대면인 제1 지지부(SP1)의 후면(BS)의 소정의 부분에 연결되어 제2 방향(DR2)으로 연장한다. 제2 지지부(SP2)의 끝단 상에 제3 지지부(SP3)가 연결되고, 제3 지지부(SP3)는 제3 지지부(SP3) 상에 배치된 제1 구동부(DV1')에 연결된다. 제1 구동부(DV1')는 제3 지지부(SP3)를 상하 방향(DR3)으로 이동시킴으로써, 제3 지지부(SP3)에 연결된 제2 지지부(SP2) 및 제2 지지부(SP2)에 연결된 제1 지지부(SP1)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.

제4 지지부(SP4)는 제2 지지부(SP2)에 인접하게 배치되어 제3 방향(DR3)으로 연장되며, 제4 지지부(SP4)에는 제3 방향(DR3)으로 연장하는 레일 홈(RG)이 정의된다. 제2 지지부(SP2)는 상하 방향으로 이동할 때, 레일 홈(RG)을 따라 이동할 수 있다.

제2 구동부(DV2')는 제1 지지부(SP1)의 하단에 배치되고, 제1 지지부(SP1)의 후면(BS)에 연결된다. 제2 구동부(DV2')는 제2 지지부(SP2)보다 하부에 배치될 수 있다. 제2 구동부(DV2')의 하부에는 가압부(PS)가 연결된다. 가압부(PS)는 제1 가이드부(GD1) 및 제2 가이드부(GD2) 사이에 배치되고, 하부 방향으로 이동하여 박리 테이프(PTP')를 패널(PN) 상의 제1 보호 필름(PF1)의 더미부(DUM)의 일측에 가압하여 부착시킬 수 있다.

가압부(PS)는 제2 구동부(DV2')의 하부에 연결된 제1 가압부(PS1') 및 제1 가압부(PS1')의 하부에 연결된 제2 가압부(PS2')를 포함한다. 제2 가압부(PS2')는 제2 방향(DR2)으로 연장하여 제1 가이드부(GD1)의 하부 및 제2 가이드부(GD2)의 하부 사이에 배치된다. 제2 가압부(PS2')는 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2) 사이에 배치된 박리 테이프(PTP') 상에 배치될 수 있다. 제2 구동부(DV2')는 제1 가압부(PS1')를 상하 방향으로 이동시킴으로써, 제1 가압부(PS1')에 연결된 제2 가압부(PS2')를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다.

그립 지지부(GSP)는 제3 구동부(DV3')의 하부에 연결되고, 제1 및 제2 가이드부들(GD1,GD2)에 인접하게 배치된다. 제3 구동부(DV3')는 그립 지지부(GSP)를 상하 방향으로 이동시킴으로써 그립부(GP)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있다. 그립부(GP) 및 그립 지지부(GSP)의 구성은 도 2에 도시된 그립부(GP) 및 그립 지지부(GSP)와 같으므로 설명을 생략한다.

제1 구동부(DV1')가 제3 지지부(SP3)를 상하 방향(DR3)으로 이동시킴으로써, 제1 및 제2 지지부들(SP1,SP2)이 상하 방향으로 이동된다. 따라서, 제2 구동부(DV2'), 제3 구동부(DV3'), 제1 및 제2 가이드부들(GD1,GD2), 제1 및 제2 가이드 롤러들(GRO1,GRO2), 및 가압부(PS)가 제1 구동부(DV1')에 의해 함께 상하 방향으로 이동할 수 있다.

도 25 및 도 26에 도시된 헤드부(HP')가 적어도 하나 이상 박리 장치에 구비되어 박리 동작이 수행될 수 있다.

도 27 내지 도 30은 도 25 및 도 26에 도시된 헤드부를 이용한 보호 필름 박리 방법을 설명하기 위한 도면들이다.

도 27을 참조하면, 스테이지에 의해 헤드부(HP')의 하부에 이동된다. 모 패널(M_P) 및 스테이지는 도 7 내지 도 10에 도시된 모 패널(M_P) 및 스테이지(STG)와 같은 구성을 갖는다.

제1 및 제2 가이드 롤러들(GRO1,GRO2)은 회전을 중지하고, 모 패널(M_P)의 제1 더미부(DUM1)는 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2) 사이에 배치된 박리 테이프(PTP')에 오버랩하도록 배치된다.

도 28을 참조하면, 제2 구동부(DV2')에 의해 제1 및 제2 가압부들(PS1',PS2')이 하부 방향으로 이동하고, 제2 가압부(PS2')는 제1 가이드 롤러(GRO1) 및 제2 가이드 롤러(GRO2) 사이의 박리 테이프(PTP')를 제1 더미부(DUM1)에 가압하여 제1 더미부(DUM1)에 부착시킨다.

도 29를 참조하면, 제1 구동부(DV1')는 제1, 제2, 및 제3 지지부들(SP1,SP2,SP3)을 상부 방향으로 이동시킨다. 제1 및 제2 가이드부들(GD1,GD2), 제1 및 제2 가이드 롤러들(GRO1,GRO2), 및 가압부(PS)가 상부 방향으로 이동되고, 박리 테이프(PTP')에 부착된 제1 더미부(DUM1)가 모 패널(M_D)로부터 박리되고, 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분까지 박리된다. 제3 구동부(DV3')에 의해 그립부(GP)는 하부 방향으로 이동하고, 제1 그립부(GP1) 및 제2 그립부(GP2)는 서로 인접하도록 이동하여 박리된 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분을 그립할 수 있다.

도 30을 참조하면, 그립부(GP)가 박리된 제2 더미부(DUM2)의 소정의 부분을 그립한 후, 스테이지는 그립부(GP)로부터 멀어지도록 제1 방향(DR1)의 우측 방향으로 이동한다. 따라서, 모 패널(M_P)이 이동하면서, 그립부(GP)에 의해 더미부(DUM)의 나머지 부분이 박리될 수 있다.

제1 및 제2 가이드 롤러들(GRO1,GRO2)은 회전하여 박리 테이프(PTP')를 이동시키고, 그 결과 박리 테이프(PTP')에 부착된 더미부(DUM)가 박리 테이프(PTP')로부터 분리될 수 있다. 박리된 더미부(DUM)는 더미 박스에 폐기된다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 박리 장치는 용이하게 더미부(DUM)를 박리할 수 있다.

이상 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. 또한 본 발명에 개시된 실시 예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니고, 하기의 특허 청구의 범위 및 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

1000: 박리 장치 100: 박리부
200: 박리 테이프 공급부 MSTG: 메인 스테이지
RA: 레일부 STG: 스테이지
HS1,HS2,HS3: 제1, 제2, 및 제3 헤드 지지부
HP: 헤드부 M_P: 모 패널
U_P: 단위 패널 MSP1,MSP2: 제1 및 제2 메인 지지부
SSP1,SSP2: 제1 및 제2 서브 지지부 TSP: 테이프 지지부
GSP: 그립 지지부 ST: 석션부
MDV1,MDV2: 제1 및 제2 메인 구동부 GP: 그립부
DV1,DV2,DV3: 제1, 제2, 및 제3 구동부
GP1,GP2: 제1 및 제2 그립부 CT: 접착 방지 코팅층
AH: 에어 분출 홀 PTP: 박리 테이프
PAD: 박리 접착제 RF: 롤링 필름

Claims

ㅂ제1 방향으로 연장하는 박리 테이프;
상기 박리 테이프의 일측의 하부에 배치된 테이프 지지부;
상기 박리 테이프의 상기 일측 상에 배치되고, 하부 방향으로 이동하여 상기 박리 테이프의 상기 일측을 상기 테이프 지지부에 가압하여 고정하는 제1 가압부;
상기 박리 테이프의 타측 상에 배치되고, 상기 박리 테이프의 상기 타측을 패널 상의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 제2 가압부; 및
상기 더미부 상에 배치된 그립부를 포함하고,
상기 지지부 및 상기 제1 가압부는 상부 방향으로 이동하여 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리시키고, 상기 그립부는 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리시키는 보호 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제2 가압부는 상기 하부 방향으로 이동하여 상기 박리 테이프의 상기 타측을 상기 더미부의 상기 일측에 가압하여 부착시킨 후, 상기 상부 방향으로 이동하는 보호 필름 박리 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 그립부는 상기 더미부의 상기 소정의 부분이 박리된 후, 상기 하부 방향으로 이동하여 상기 테이프 지지부보다 하부에 배치되고, 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하는 보호 필름 박리 장치.
제 3 항에 있어서,
상기 그립부가 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립할 때, 상기 제1 가압부는 상기 상부 방향으로 이동하여 상기 더미부의 상기 일측으로부터 이격되는 보호 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 패널이 안착된 스테이지;
상기 제1 가압부를 상하 방향으로 이동시키는 제1 구동부;
상기 제2 가압부를 상기 상하 방향으로 이동시키는 제2 구동부;
상기 그립부를 상기 상하 방향으로 이동시키는 제3 구동부;
상기 테이프 지지부, 상기 제1 및 제2 가압부들, 및 상기 그립부를 상기 상하 방향으로 이동시키는 제1 메인 구동부; 및
상기 테이프 지지부 및 상기 제1 및 제2 가압부들을 상기 제1 방향으로 왕복 이동시키는 제2 메인 구동부를 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 더미부의 상기 소정의 부분이 박리될 때, 상기 제1 메인 구동부는 상기 테이프 지지부, 상기 제1 및 제2 가압부들, 및 상기 그립부를 상부 방향으로 이동시키는 보호 필름 박리 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 그립부가 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립할 때, 상기 제2 메인 구동부는 상기 테이프 지지부 및 상기 제1 및 제2 가압부들을 상기 그립부로부터 멀어지도록 상기 제1 방향으로 이동시키는 보호 필름 박리 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 그립부가 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립한 후, 상기 스테이지는 상기 그립부로부터 멀어지도록 상기 제1 방향으로 이동하고, 상기 더미부의 상기 나머지 부분이 박리되는 보호 필름 박리 장치.
제 5 항에 있어서,
상기 더미부의 상기 일측에 인접한 상기 스테이지의 일측에 배치되어 상기 더미부의 상기 일측의 주변의 보호 필름을 가압하는 고정부를 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 더미부는,
상기 더미부의 일측으로 정의되는 제1 더미부; 및
상기 제1 더미부로부터 상기 제1 방향으로 연장하는 제2 더미부를 포함하고,
상기 패널은,
상기 제1 방향으로 배열된 복수 개의 단위 패널들을 포함하고,
상기 단위 패널들 각각은 상기 제1 방향으로 연장하는 벤딩부를 포함하고,
상기 단위 패널들 각각에서 상기 제2 더미부는 상기 벤딩부에 오버랩하는 보호 필름 박리 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 패널과 상기 보호 필름 사이에 배치되어 상기 보호 필름을 상기 패널에 부착시키는 접착 부재를 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 박리 테이프는 상기 박리 테이프의 상기 타측에 배치되어 상기 박리 테이프의 상기 타측을 상기 제1 더미부에 부착하는 박리 접착제를 포함하고, 상기 박리 접착제는 상기 접착 부재보다 강한 접착력을 갖는 보호 필름 박리 장치.
제 11 항에 있어서,
상기 제1 가압부 및 상기 제2 가압부 사이에 배치된 석션부를 더 포함하고, 상기 석션부는 상기 제1 더미부가 박리될 때 구동되고 상기 제1 더미부에 오버랩하는 접착 부재의 탄화된 입자들을 흡입하는 보호 필름 박리 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 제1 더미부의 폭은 상기 제2 더미부의 폭보다 크고, 상기 제2 방향으로 상기 박리 테이프의 폭은 상기 제1 더미부의 상기 폭보다 작거나 같은 보호 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 그립부는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 바라봤을 때, "L" 자 형상을 갖는 보호 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 그립부는,
제1 그립부; 및
상기 제1 그립부와 이격되어 배치되는 제2 그립부를 포함하고,
상기 제2 가압부는 상기 제1 그립부 및 상기 제2 그립부 사이를 경유하여 상기 하부 방향 및 상기 상부 방향으로 이동하고,
상기 더미부의 상기 소정의 부분이 박리된 후, 상기 제1 그립부 및 상기 제2 그립부는 상기 하부 방향으로 이동하여 상기 테이프 지지부보다 하부에 배치되고, 서로 인접하도록 이동하여 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하는 보호 필름 박리 장치.
제 16 항에 있어서,
상기 제1 그립부는
제1 서브 그립부; 및
상기 제1 서브 그립부의 하부에 연결되고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 바라봤을 때, "L" 자 형상을 갖는 제2 서브 그립부를 포함하고,
상기 제2 그립부는,
제3 서브 그립부; 및
상기 제3 서브 그립부의 하부에 연결되고 상기 제2 방향에서 바라봤을 때 상기 "L"자 형상을 갖는 제4 서브 그립부를 포함하고,
상기 제2 서브 그립부 및 상기 제4 서브 그립부는 서로 인접하도록 이동하여 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하는 보호 필름 박리 장치.
제 17 항에 있어서,
서로 마주보는 상기 제2 서브 그립부의 일측면 및 상기 제4 서브 그립부의 일측면 상에 배치된 접착 방지 코팅층을 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 18 항에 있어서,
상기 제2 서브 그립부의 상기 일측면 및 상기 제4 서브 그립부의 상기 일측면은 요철 구조를 갖는 보호 필름 박리 장치.
제 18 항에 있어서,
상기 제2 서브 그립부의 상기 일측면 및 상기 제4 서브 그립부의 상기 일측면에 배치된 복수 개의 에어 분출 홀들을 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 박리 테이프를 공급하기 위한 박리 테이프 공급부를 더 포함하고,
상기 박리 테이프 공급부는 상기 박리 테이프의 상기 타측이 부착된 롤링 필름을 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 21 항에 있어서,
상기 박리 테이프의 상기 일측이 상기 제1 가압부에 의해 상기 테이프 지지부에 가압되어 고정될 때, 상기 박리 테이프는 상기 롤링 필름으로부터 분리되는 보호 필름 박리 장치.
제 21 항에 있어서,
상기 박리 테이프 공급부는 상기 롤링 필름의 상부 및 하부에 배치된 복수 개의 롤링 필름 지지부재들을 더 포함하고,
상기 박리 테이프가 상기 롤링 필름으로부터 분리될 때, 상기 롤링 필름의 상부에 배치된 롤링 필름 지지부재들 및 상기 롤링 필름의 하부에 배치된 롤링 필름 지지부재들은 서로 오버랩하여 상기 롤링 필름을 향해 이동하고, 상기 롤링 필름을 지지하는 보호 필름 박리 장치.
제1 방향으로 연장하는 박리 테이프의 일측을 테이프 지지부 상에 배치하는 단계;
상기 박리 테이프의 상기 일측 상에 배치된 제1 가압부를 하부 방향으로 이동시켜 상기 박리 테이프의 상기 일측을 상기 테이프 지지부에 가압하여 고정하는 단계;
상기 박리 테이프의 타측 상에 배치된 제2 가압부를 상기 하부 방향으로 이동시켜 상기 박리 테이프의 상기 타측을 모 패널의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 단계;
상기 제2 가압부를 상부 방향으로 이동시키고, 상기 지지부 및 상기 제1 가압부를 상기 상부 방향으로 이동시켜 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리하는 단계; 및
상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립부로 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리하는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.
제 24 항에 있어서,
상기 더미부의 상기 나머지 부분을 박리시키는 단계는,
상기 그립부를 상기 하부 방향으로 이동시켜 상기 테이프 지지부보다 하부에 배치하는 단계;
상기 그립부로 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하는 단계;
상기 제1 가압부를 상기 상부 방향으로 이동시켜 상기 박리 테이프의 상기 일측으로부터 이격시키는 단계; 및
상기 그립부로부터 멀어지도록 상기 제1 방향으로 상기 모 패널이 안착된 스테이지를 이동시키는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.
제 25 항에 있어서,
상기 더미부의 상기 일측에 인접한 상기 스테이지의 일측에 배치된 고정부로 상기 더미부의 상기 일측의 주변의 보호 필름을 가압하는 단계를 더 포함하는 보호 필름 박리 방법.
제 24 항에 있어서,
상기 더미부는,
상기 더미부의 일측으로 정의되는 제1 더미부; 및
상기 제1 더미부로부터 상기 제1 방향으로 연장하는 제2 더미부를 포함하고,
상기 모 패널은,
패널;
상기 패널 상에 배치된 보호 필름; 및
상기 패널과 상기 보호 필름 사이에 배치되어 상기 보호 필름을 상기 패널에 부착시키는 접착 부재를 포함하고,
상기 패널은,
상기 제1 방향으로 배열된 복수 개의 단위 패널들을 포함하고,
상기 단위 패널들 각각은 상기 제1 방향으로 연장하는 벤딩부를 포함하고,
상기 단위 패널들 각각에서 상기 제2 더미부는 상기 벤딩부에 오버랩하는 보호 필름 박리 방법.
제 27 항에 있어서,
상기 박리 테이프는 상기 박리 테이프의 상기 타측에 배치되어 상기 박리 테이프의 상기 타측을 상기 제1 더미부에 부착하는 박리 접착제를 포함하고, 상기 박리 접착제는 상기 접착 부재보다 강한 접착력을 갖고,
상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상기 제1 더미부의 폭은 상기 제2 더미부의 폭보다 크고, 상기 제2 방향으로 상기 박리 테이프의 폭은 상기 제1 더미부의 폭보다 작거나 같은 보호 필름 박리 방법.
제 27 항에 있어서,
상기 제1 더미부가 박리될 때, 상기 제1 가압부 및 상기 제2 가압부 사이에 배치된 석션부로 상기 제1 더미부에 오버랩하는 접착 부재의 탄화된 입자들을 흡입하는 단계를 더 포함하는 보호 필름 박리 방법.
제 24 항에 있어서,
상기 그립부는,
제1 그립부; 및
상기 제1 그립부와 이격되어 배치되는 제2 그립부를 포함하고,
상기 제2 가압부는 상기 제1 그립부 및 상기 제2 그립부 사이를 경유하여 상기 하부 방향 및 상기 상부 방향으로 이동하고,
상기 더미부의 상기 소정의 부분이 박리된 후, 상기 제1 그립부 및 상기 제2 그립부는 상기 하부 방향으로 이동하여 상기 테이프 지지부보다 하부에 배치되고, 서로 인접하도록 이동하여 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하는 보호 필름 박리 방법.
제 30 항에 있어서,
상기 제1 그립부는
제1 서브 그립부; 및
상기 제1 서브 그립부의 하부에 연결되고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에서 바라봤을 때, "L" 자 형상을 갖는 제2 서브 그립부를 포함하고,
상기 제2 그립부는,
제3 서브 그립부; 및
상기 제3 서브 그립부의 하부에 연결되고 상기 제2 방향에서 바라봤을 때 상기 "L"자 형상을 갖는 제4 서브 그립부를 포함하고,
상기 제2 서브 그립부 및 상기 제4 서브 그립부는 서로 인접하도록 이동하여 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하는 보호 필름 박리 방법.
제 31 항에 있어서,
서로 마주보는 상기 제2 서브 그립부의 일측면 및 상기 제4 서브 그립부의 일측면 상에 배치된 접착 방지 코팅층; 및
상기 제2 서브 그립부의 상기 일측면 및 상기 제4 서브 그립부의 상기 일측면에 배치된 복수 개의 에어 분출 홀들을 더 포함하고,
상기 제2 서브 그립부의 상기 일측면 및 상기 제4 서브 그립부의 상기 일측면은 요철 구조를 갖는 보호 필름 박리 방법.
제1 방향으로 연장하는 박리 테이프를 공급하는 박리 테이프 공급부;
상기 박리 테이프 공급부의 하부에 배치된 제1 가이드부 및 제2 가이드부;
상기 제1 가이드부의 하부 및 상기 제2 가이드부의 하부에 각각 배치되고 상기 박리 테이프를 공급받아 제1 방향으로 이동시키는 제1 가이드 롤러 및 제2 가이드 롤러;
상기 제1 가이드부 및 상기 제2 가이드부 사이에 배치되고, 하부 방향으로 이동하여 상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러 사이의 박리 테이프를 패널 상의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 가압부; 및
상기 제1 및 제2 가이드부들에 인접하게 배치된 그립부를 포함하고,
상기 제1 및 제2 가이드 롤러들 및 상기 가압부는 상부 방향으로 이동하여 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리시키고, 상기 그립부는 상기 하부 방향으로 이동하여 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리시키는 보호 필름 박리 장치.
제 33 항에 있어서,
상기 가압부가 상기 박리 테이프를 상기 더미부의 상기 일측에 부착시킬 때, 상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러는 회전 동작을 중지하고, 상기 더미부의 박리가 완료된 후, 상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러는 회전하여 상기 박리 테이프를 상기 제1 방향으로 이동시키는 보호 필름 박리 장치.
제 33 항에 있어서,
상기 패널이 안착된 스테이지;
상기 제1 및 제2 가이드부들, 상기 제1 및 제2 가이드 롤러들, 및 상기 가압부를 함께 상하 방향으로 이동시키는 제1 구동부;
상기 가압부를 상기 상하 방향으로 이동시키는 제2 구동부; 및
상기 그립부를 상기 상하 방향으로 이동시키는 제3 구동부를 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 35 항에 있어서,
상기 가압부는,
상기 제2 구동부의 하부에 연결된 제1 가압부; 및
상기 제1 가압부의 하부에 연결되고 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장하여 상기 제1 가이드부의 하부 및 상기 제2 가이드부의 하부 사이에 배치된 제2 가압부를 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제 33 항에 있어서,
상기 박리 테이프 공급부, 상기 제1 및 제2 가이드부들, 상기 가압부, 및 상기 그립부가 연결된 지지부를 더 포함하는 보호 필름 박리 장치.
제1 방향으로 연장하는 박리 테이프를 회전하는 제1 가이드 롤러 및 제2 가이드 롤러에 제공하는 단계;
상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러의 회전을 중지하고, 가압부를 하부 방향으로 이동시켜 상기 제1 가이드 롤러 및 상기 제2 가이드 롤러 사이의 박리 테이프를 패널 상의 보호 필름의 더미부의 일측에 가압하여 부착시키는 단계;
상기 제1 및 제2 가이드 롤러들 및 상기 가압부를 상부 방향으로 이동시켜 상기 더미부의 상기 일측부터 상기 더미부의 소정의 부분을 박리시키는 단계; 및
그립부를 하부 방향으로 이동시키고, 상기 박리된 더미부의 상기 소정의 부분을 상기 그립부로 그립하여 상기 더미부의 나머지 부분을 박리하는 단계를 포함하는 보호 필름 박리 방법.