KR20220061297A - 필름 박리 장치 및 필름 박리 방법 - Google Patents

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KR20220061297A
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최명길
한희수
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

필름 박리 장치는 챔버, 상기 챔버의 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지, 상기 하부 스테이지 상에 배치되는 피박리체에 부착된 필름의 제1 내지 제4 측면들을 각각 그립하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리 가능한 제1 내지 제4 그리퍼들 및 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되고, 상기 제2 벽 상에서 상기 피박리체가 배치된 제1 방향으로 길이의 연장이 가능한 상부 스테이지를 포함한다.

Description

필름 박리 장치 및 필름 박리 방법{FILM PEELING DEVICE AND METHOD OF PEELING FILM}
본 발명은 필름 박리 장치 및 상기 필름 박리 장치를 이용한 필름 박리 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 필름의 4면을 동시에 박리할 수 있는 필름 박리 장치 및 상기 필름 박리 장치를 이용한 필름 박리 방법에 관한 것이다.
표시 장치의 제조 과정에서 각 부품들을 보호하기 위해 보호 필름이 부착된 상태로 이송될 수 있다. 이 때, 상기 각 부품들을 서로 결합하기 위해서는 상기 보호 필름을 제거해야 한다. 상기 보호 필름을 제거할 때 주변의 이물이 묻지 않으면서 상기 각 부품들에 손상이 가지 않아야 한다.
최근에는 상기 표시 장치는 모서리의 가장자리에서 커브드 된 형상을 갖도록 생산되고 있다. 이를 통해, 상기 표시 장치는 상기 모서리에서도 영상을 표시할 수 있다. 상기 표시 장치는 사각형 형상을 갖고, 사각형 형상의 4면이 모두 커브드 된 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 표시 장치의 각 부품들(예를 들어, 윈도우, 표시 패널 등) 또한 4면이 모두 커브드 된 형상을 가질 수 있다.
이 때, 상기 각 부품들에 부착된 상기 보호 필름을 한 번에 박리해야 상기 보호 필름을 정밀하게 박리할 수 있다. 따라서, 상기 보호 필름의 4면을 동시에 박리하기 위한 연구가 진행되고 있다.
본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 필름의 4면을 동시에 박리할 수 있는 필름 박리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 필름의 4면을 동시에 박리할 수 있는 필름 박리 장치를 이용한 필름 박리 방법을 제공하는 것이다.
다만, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 상기 언급된 과제에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 실시예들에 따른 필름 박리 장치는 챔버, 상기 챔버의 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지, 상기 하부 스테이지 상에 배치되는 피박리체에 부착된 필름의 제1 내지 제4 측면들을 각각 그립하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리 가능한 제1 내지 제4 그리퍼들 및 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되고, 상기 제2 벽 상에서 상기 피박리체가 배치된 제1 방향으로 길이의 연장이 가능한 상부 스테이지를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 챔버의 상기 제1 벽과 수직한 제1 내지 제4 측벽들에 각각 배치될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 상부 스테이지는 상기 챔버의 상기 제2 벽 상에 배치되는 지지부, 적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제1 방향으로 이동 가능한 연장부 및 상기 연장부의 상기 제1 방향의 단부에 배치되고, 상기 피박리체를 흡착 가능한 흡착부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 챔버의 상기 제2 벽과 상기 상부 스테이지 사이에 배치되는 운반부를 더 포함하고, 상기 운반부는 상기 상부 스테이지를 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 운반할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 하부 스테이지가 상기 피박리체와 접촉하는 면 상에는 얼라인 마크가 표시될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 챔버의 상기 제1 벽과 상기 하부 스테이지 사이에 배치되고, 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 연장하여 상기 상부 스테이지가 상기 피박리체를 흡착하게 하는 복수의 연결 장치들을 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 복수의 연결 장치들 각각은 상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치되는 지지부 및 적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제2 방향으로 이동 가능한 연장부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향으로 이동 가능할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하며 상기 피박리체와 멀어지는 방향 사이의 방향으로 이동 가능할 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 실시예들에 따른 필름 박리 방법은 피박리체를 챔버의 제1 방향에 위치하는 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지 상에 배치하는 단계, 상기 챔버의 내부에 배치되는 제1 내지 제4 그리퍼들을 이용하여 상기 피박리체에 부착된 필름의 제1 내지 제4 측면들을 동시에 그립하는 단계 및 상기 제1 내지 제4 그리퍼들을 이동시켜 상기 피박리체에 부착된 상기 필름의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리하는 단계를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되는 상부 스테이지를 더 포함하고, 상기 상부 스테이지는 상기 챔버의 상기 제2 벽 상에 배치되는 지지부, 적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제1 방향으로 이동 가능한 연장부 및 상기 연장부의 상기 제1 방향의 단부에 배치되고, 상기 피박리체를 흡착 가능한 흡착부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 피박리체의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리하는 단계 후에, 상기 상부 스테이지의 상기 연장부가 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 피박리체와 흡착하는 단계 및 상기 상부 스테이지의 상기 연장부가 상기 제1 방향에 반대되는 제2 방향으로 이동하여 상기 피박리체를 상기 필름과 분리시키는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 피박리체를 상기 필름과 분리시키는 단계는, 상기 상부 스테이지가 틸팅(tilting)하여 상부 피박리체와 상기 필름의 일부만을 분리시킬 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 피박리체를 상기 필름과 분리시키는 단계 이후에, 상기 챔버의 상기 제2 벽과 상기 상부 스테이지 사이에 배치되는 운반부가 상기 상부 스테이지와 상기 피박리체를 함께 운반하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름을 박리할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하며 상기 피박리체와 멀어지는 방향 사이의 방향으로 이동하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름을 박리할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 챔버의 상기 제1 벽과 상기 하부 스테이지 사이에 배치되는 복수의 연결 장치들 더 포함하고, 상기 연결 장치들 각각은 상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치되는 지지부 및 적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제1 방향에 반대되는 제2 방향으로 이동 가능한 연장부를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 피박리체의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리하는 단계 후에, 상기 연장부가 상기 제2 방향으로 이동하여 상기 상부 스테이지가 상기 피박리체를 흡착하는 단계 및 상기 연장부가 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 피박리체와 상기 필름을 분리하는 단계를 더 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 피박리체를 상기 필름과 분리하는 단계는 상기 상부 스테이지가 틸팅(tilting)하여 상부 피박리체와 상기 필름의 일부만을 분리시킬 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 장치는 챔버, 상기 챔버의 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지, 상기 하부 스테이지 상에 배치되는 피박리체에 부착된 필름의 제1 내지 제4 측면들을 각각 그립하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리 가능한 제1 내지 제4 그리퍼들 및 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되고, 상기 제2 벽 상에서 상기 피박리체가 배치된 제1 방향으로 길이의 연장이 가능한 상부 스테이지를 포함할 수 있다.
이에 따라, 상기 필름 박리 장치는 상기 피박리체에 부착된 상기 필름의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 효과로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 나타내는 도면들이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 하부 스테이지와 필름을 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3의 하부 스테이지의 상부 면의 일 실시예를 나타내는 도면이다.
도 5 내지 도 10은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 방법을 나타내는 도면들이다.
도 11 내지 도 12는 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 방법을 나타내는 도면들이다.
도 13 내지 도 16은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 방법을 나타내는 도면들이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면 상의 동일한 구성 요소에 대하여는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 표시 장치를 나타내는 도면들이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 표시 장치(DD)는 평탄부(PA) 및 측면부(CA)를 포함할 수 있다. 상기 표시 장치(DD)는 다양한 형태로 제작될 수 있다. 예를 들어, 상기 표시 장치(DD)는 측면부(CA)가 평탄부(PA)에 수직하게 형성되는 형태로 제작될 수도 있다. 또한, 상기 측면부(CA)가 상기 표시 장치(DD)의 외측으로 곡률을 갖고 돌출되는 형태로 제작될 수도 있다.
상기 평탄부(PA)는 상기 표시 장치(DD)의 상면 및 상기 표시 장치(DD)의 후면에 위치할 수 있다. 상기 평탄부(PA)에는 복수의 화소들이 배치될 수 있다. 상기 표시 장치(DD)는 상기 평탄부(PA)를 통해 영상을 표시할 수 있다.
상기 측면부(CA)는 상기 평탄부(PA)와 이어질 수 있다. 상기 측면부(CA)는 상기 표시 장치(DD)의 상면 및 상기 표시 장치(DD)의 후면 사이에서 상기 표시 장치(DD)의 가장자리를 따라 배치될 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 측면부(CA)는 제1 내지 제4 측면들을 포함할 수 있고, 상기 제1 내지 제4 측면들에서도 영상이 표시될 수 있다. 이를 위해, 상기 측면부(CA)에도 복수의 화소들이 배치될 수 있다.
상기 측면부(CA)는 상기 표시 장치(DD)의 상면 및 상기 표시 장치(DD)의 후면을 연결할 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 측면부(CA)는 다양한 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 표시 장치(DD)의 상면의 면적이 상기 표시 장치(DD)의 후면의 면적보다 작은 경우, 상기 측면부(CA)는 소정의 경사를 갖고 상기 표시 장치(DD)의 상면과 상기 표시 장치(DD)의 후면을 연결할 수 있다. 이 때, 상기 측면부(CA)는 곡률을 가지며 상기 표시 장치(DD)의 상면과 상기 표시 장치(DD)의 후면을 연결할 수 있다. 또는, 예를 들어, 상기 표시 장치(DD)의 상면의 면적이 상기 표시 장치(DD)의 후면의 면적과 동일하고 서로 중첩하는 경우, 상기 측면부(CA)는 상기 표시 장치(DD)의 상면 및 상기 표시 장치(DD)의 후면과 수직하게 배치되면서 상기 표시 장치(DD)의 상면과 상기 표시 장치(DD)의 후면을 연결할 수 있다. 또는, 상기 측면부(CA)는 중앙이 상기 표시 장치(DD)의 외측으로 돌출되면서 상기 표시 장치(DD)의 상면과 상기 표시 장치(DD)의 후면을 연결할 수도 있다.
상기 표시 장치(DD)는 내부에 다양한 구성들을 포함할 수 있다. 상기 구성들 중 적어도 일부는 상기 표시 장치(DD)의 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 윈도우, 표시 패널 등이 상기 표시 장치(DD)의 동일한 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등도 상기 표시 장치(DD)와 같이 평탄부 및 측면부를 포함할 수 있다. 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등은 필름(예를 들어, 보호 필름)이 부착될 수 있다. 상기 필름은 상기 표시 장치(DD)를 제조하는 과정에서 외부의 충격으로부터 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등을 보호하는 역할을 수행할 수 있다. 예를 들어, 상기 필름은 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등을 운반하는 과정에서 외부의 스크래치 등으로부터 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등을 보호할 수 있다.
다만, 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등을 결합하는 과정에서 상기 필름을 제거되어야 한다. 따라서, 이하에서는 상기 필름을 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등에서 제거하기 위한 필름 박리 장치 및 이를 이용한 필름 박리 방법에 대해서 서술하기로 한다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 하부 스테이지와 필름을 나타내는 도면이고, 도 4는 도 3의 하부 스테이지의 상부 면의 일 실시예를 나타내는 도면이며, 도 5 내지 도 10은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 방법을 나타내는 도면들이다.
도 3 내지 도 10을 참조하면, 상기 필름 박리 장치는 하부 스테이지(LS), 상부 스테이지(US), 운반부 및 그리퍼들(GP)을 포함할 수 있다. 상기 상부 스테이지(US)는 지지부(SP1), 연장부(EP1) 및 흡착부(AP)를 포함할 수 있다. 상기 운반부는 롤러(RO) 및 운반 벨트(BE)를 포함할 수 있다.
상기 하부 스테이지(LS)는 챔버의 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 스테이지(LS)는 상기 챔버의 제1 방향(DR1)에 위치하는 제1 벽 상에 배치될 수 있다. 상기 하부 스테이지(LS) 상에는 필름(PF)이 부착된 피박리체(DP)가 배치될 수 있다. 상기 피박리체(DP)는 전술한 윈도우, 표시 패널 등을 포함할 수 있다. 상기 필름(PF)은 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등이 운반되는 과정에서 외부의 충격으로부터 보호하기 위한 보호 필름을 의미할 수 있다.
상기 하부 스테이지(LS)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 피박리체(DP)가 상기 하부 스테이지(LS) 상에 정확하게 위치할 수 있도록 얼라인 마크(AM)가 표시될 수 있다. 도 4에서는 5개의 얼라인 마크들(AM)이 표시된 것으로 도시되었지만, 이는 예시적인 것으로, 상기 얼라인 마크들(AM)은 상기 피박리체(DP)를 정확하게 위치할 수 있게 보조하는 범위 내에서 상기 하부 스테이지(MS) 상에 다양하게 표시될 수 있다. 예를 들어, 상기 얼라인 마크들(AM)은 상기 하부 스테이지(LS)의 상면의 각 코너부에만 표시될 수도 있다. 즉, 4개의 얼라인 마크들(AM)이 상기 하부 스테이지(LS) 상에 표시될 수 있다. 또는, 상기 얼라인 마크들(AM)은 상기 하부 스테이지(LS)의 상면의 각 단부에 표시될 수도 있다. 즉, 4개의 얼라인 마크들(AM)이 상기 하부 스테이지(LS) 상에 표시될 수 있다. 상기 필름 박리 장치는 비전 카메라(미도시)를 이용하여 상기 피박리체가(DP)가 상기 얼라인 마크들(AM)에 대응하여 정밀하게 위치하였는지 확인할 수 있다. 이 때, 상기 필름 박리 장치는 상기 피박리체(DP)가 상기 얼라인 마크들(AM)에 대응하여 위치하지 않는 경우, 피박리체(DP)의 위치를 조정할 수 있다. 최종적으로, 상기 피박리체(DP)가 상기 얼라인 마크들(AM)에 대응하는 것을 확인한 후에 상기 필름 박리 장치는 필름 박리 공정을 진행할 수 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 상기 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들은 동시에 박리가 진행될 수 있다. 즉, 상기 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들은 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리가 진행될 수 있다. 상기 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들이 만나는 영역은 박리를 용이하게 진행하기 위해 컷팅될 수 있다. 따라서, 상기 필름 박리 장치는 상기 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF)의 일부를 그립할 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF) 중 상기 피박리체(DP)의 외측으로 돌출된 돌출부를 그립할 수 있다. 이 후, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)의 일부를 당김으로써 필름 박리 공정이 진행될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 챔버의 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치될 수 있다. 또는, 예를 들어, 기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 상기 제1 벽과 수직한 제1 내지 제4 측벽들에 각각 배치될 수 있다. 이 외에도, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 내부의 다양한 위치에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 하부 스테이지(LS) 상에도 배치될 수 있고, 상기 제1 벽에 대향하는 제2 벽 상에도 배치될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 4개가 배치될 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 각각 상기 챔버의 제1 내지 제4 측벽들에 배치될 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 각각 상기 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들을 그립할 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리할 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리함으로써, 상기 필름 박리 장치는 피박리체(DP)에 손상이 발생하지 않으면서 상기 필름(PF)을 용이하게 제거할 수 있다. 또한, 상기 4개의 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리함으로써, 상기 필름 박리 장치는 이물의 발생을 감소시킬 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 제1 방향(DR1) 및 상기 제1 방향(DR1)에 수직하며 상기 피박리체(DP)와 멀어지는 방향 사이의 방향으로 이동하여 상기 필름(PF)을 박리할 수 있다. 즉, 상기 그리퍼들(GP)은 사선 방향으로 상기 필름(PF)을 당기면서 필름 박리 공정을 진행할 수 있다. 이 경우, 상기 필름(PF)과 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들 사이의 마찰을 최소화하면서 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)로부터 박리할 수 있다. 이를 통해, 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 박리하는데 필요한 동력을 최소화할 수 있다.
또는, 실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 제1 방향(DR1)으로 이동하여 상기 필름(PF)을 박리할 수 있다. 즉, 상기 그리퍼들(GP)은 수직 방향으로 상기 필름(PF)을 당기면서 필름 박리 공정을 진행할 수 있다.
도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)의 외측으로 돌출된 돌출부를 그립하여 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)로부터 박리할 수 있다. 상기 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 분리할 수 있다. 즉, 상기 피박리체(DP) 및 상기 필름(PF)이 상기 제1 방향(DR1)으로 중첩하는 면은 후에 상기 상부 스테이지(US) 또는 상기 하부 스테이지(LS)에 의해 분리될 수 있다.
이 후, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되는 상기 상부 스테이지(US)가 상기 피박리체(DP)를 흡착할 수 있다. 상기 상부 스테이지(US)는 상기 하부 스테이지(LS)가 배치된 상기 제1 방향(DR1)으로 연장할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 연장부(EP1)는 상기 지지부(SP1)의 내부에 배치될 수 있다. 이를 위해, 상기 지지부(SP1)는 내부에 빈 공간을 가질 수 있다. 상기 빈 공간에서 상기 연장부(EP1)가 상기 제1 방향(DR1) 및 상기 제1 방향(DR1)에 반대되는 방향으로 이동할 수 있다. 이를 통해, 상기 상부 스테이지(US)는 상기 제1 방향(DR1)으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 스테이지(US)는 상기 연장부(EP1)가 상기 제1 방향(DR1)으로 이동하여 상기 피박리체(DP)를 흡착할 수 있다. 상기 상부 스테이지(US)가 상기 피박리체(DP)를 흡착한 후에 상기 연장부(EP1)가 상기 제1 방향(DR1)에 반대되는 방향으로 이동하여 상기 피박리체(DP)와 상기 필름(PF)을 분리시킬 수 있다. 상기 흡착부(AP)는 상기 피박리체(DP)를 흡착할 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 흡착부(AP)는 흡착 물질을 포함함으로써 상기 피박치레(DP)를 흡착할 수도 있고, 진공 흡착 방식으로 상기 피박리체(DP)를 흡착할 수도 있다.
도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 실시예들에 있어서, 상기 상부 스테이지(US)는 흡착부(AP)를 통해 상기 피박리체(DP)를 흡착한 후 틸팅(tilting)하여 상기 피박리체(DP)의 일부를 상기 필름(PF)으로부터 분리시킬 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 스테이지(US)는 상기 연장부(EP1)가 중심축을 기준으로 소정의 각도로 회전함으로써 틸팅할 수 있다.
상기 상부 스테이지(US)는 지지부(SP1)가 고정된 상태에서, 연장부(EP1)만 일 방향으로 틸팅할 수 있다. 이로써, 상기 피박리체(DP)와 상기 필름(PF) 사이의 접착 면적을 줄일 수 있다.
이 후, 상기 상부 스테이지(US)는 상기 운반부에 의해 상기 제1 방향(DR1)에 수직한 제2 방향으로 운반되는 과정에서 상기 피박리체(DP) 일부에 반대되는 방향에 위치하는 일부를 상기 필름(PF)과 분리시킬 수 있다. 이로써, 상기 연장부(EP1)는 상기 하부 스테이지(LS)와 평행할 수 있다.
도 8 및 도 9에서는 상기 제2 방향(DR2)에 반대되는 방향에서 상기 피박리체(DP)와 상기 필름(PF)이 일부 분리되는 것으로 도시되었지만, 이는 예시적인 것으로 이에 제한되지 않는다. 예를 들어, 상기 제2 방향(DR2)에서 상기 피박리체(DP)와 상기 필름(PF)이 일부 분리될 수도 있다.
상기 챔버와 상기 상부 스테이지(US) 사이에는 상기 운반부가 배치될 수 있다. 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 운반부는 상기 상부 스테이지(US)가 상기 피박리체(DP)의 일부를 상기 필름(PF)과 분리한 후에, 상기 상부 스테이지(US) 및 상기 피박리체(DP)를 함께 상기 제1 방향(DR1)에 수직한 방향으로 운반할 수 있다. 이를 통해, 상기 필름 박리 장치는 상기 필름(PF)이 박리된 상기 피박리체(DP)를 상기 필름 박리 장치 외부로 운반할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 장치는 챔버, 상기 챔버의 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지(LS), 상기 하부 스테이지(LS) 상에 배치되는 피박리체(DP)에 부착된 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들을 각각 그립하여 상기 피박리체(DP)에 부착된 상기 필름(PF)의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리 가능한 제1 내지 제4 그리퍼들(GP) 및 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되고, 상기 제2 벽 상에서 상기 피박리체가 배치된 제1 방향으로 길이의 연장이 가능한 상부 스테이지(US)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 필름 박리 장치는 상기 피박리체(DP)에 부착된 상기 필름(PF)의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리할 수 있다.
도 11 내지 도 12는 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 방법을 나타내는 도면들이다. 도 11 및 도 12는 그리퍼들(GP)이 제1 방향(DR1)으로 수직하게 이동하는 것을 제외하면 전술한 도 5 내지 도 7과 실질적으로 동일할 수 있다. 이에 따라, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 11 및 도 12를 참조하면, 상기 필름 박리 장치는 하부 스테이지(LS), 상부 스테이지(US), 운반부 및 그리퍼들(GP)을 포함할 수 있다. 상기 상부 스테이지(US)는 지지부(SP1), 연장부(EP1) 및 흡착부(AP)를 포함할 수 있다. 상기 운반부는 롤러(RO) 및 운반 벨트(BE)를 포함할 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF)의 일부를 그립할 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF) 중 상기 피박리체(DP)의 외측으로 돌출된 돌출부를 그립할 수 있다. 이 후, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)의 일부를 당김으로써 필름 박리 공정이 진행될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 챔버의 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치될 수 있다. 또는, 예를 들어, 기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 상기 제1 벽과 수직한 제1 내지 제4 측벽들에 각각 배치될 수 있다. 이 외에도, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 내부의 다양한 위치에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 하부 스테이지(LS) 상에도 배치될 수 있고, 상기 제1 벽에 대향하는 제2 벽 상에도 배치될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 4개가 배치될 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 각각 상기 챔버의 제1 내지 제4 측벽들에 배치될 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 각각 상기 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들을 그립할 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리할 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리함으로써, 상기 필름 박리 장치는 피박리체(DP)에 손상이 발생하지 않으면서 상기 필름(PF)을 용이하게 제거할 수 있다. 또한, 상기 4개의 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리함으로써, 상기 필름 박리 장치는 이물의 발생을 감소시킬 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 제1 방향(DR1)으로 이동하여 상기 필름(PF)을 박리할 수 있다. 즉, 상기 그리퍼들(GP)은 수직 방향으로 상기 필름(PF)을 당기면서 필름 박리 공정을 진행할 수 있다.
이 경우, 상기 필름 박리 장치는 상기 그리퍼들(GP)의 이동 거리를 최소화하면서 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 박리할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 장치는 챔버, 상기 챔버의 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지(LS), 상기 하부 스테이지(LS) 상에 배치되는 피박리체(DP)에 부착된 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들을 각각 그립하여 상기 피박리체(DP)에 부착된 상기 필름(PF)의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리 가능한 제1 내지 제4 그리퍼들(GP) 및 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되고, 상기 제2 벽 상에서 상기 피박리체가 배치된 제1 방향으로 길이의 연장이 가능한 상부 스테이지(US)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 필름 박리 장치는 상기 피박리체(DP)에 부착된 상기 필름(PF)의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리할 수 있다.
도 13 내지 도 16은 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 방법을 나타내는 도면들이다.
도 13 내지 도 16을 참조하면, 상기 필름 박리 장치는 하부 스테이지(LS), 상부 스테이지(US), 운반부, 그리퍼들(GP) 및 연결 장치를 포함할 수 있다. 상기 연결 장치는 지지부(SP2) 및 연장부(EP2)를 포함할 수 있다. 상기 상부 스테이지(US)는 지지부(SP1), 연장부(EP1) 및 흡착부(AP)를 포함할 수 있다. 상기 운반부는 롤러(RO) 및 운반 벨트(BE)를 포함할 수 있다.
상기 하부 스테이지(LS)는 챔버의 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 스테이지(LS)는 상기 챔버의 상기 제1 방향(DR1)에 위치하는 제1 벽 상에 배치될 수 있다. 상기 하부 스테이지(LS)에는 필름(PF)이 부착된 피박리체(DP)가 배치될 수 있다. 상기 피박리체(DP)는 전술한 윈도우, 표시 패널 등을 포함할 수 있다. 상기 필름(PF)은 상기 윈도우, 상기 표시 패널 등을 보호하기 위한 보호 필름을 의미할 수 있다.
상기 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF)의 일부를 그립할 수 있다. 이 후, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)의 일부를 당기면서 필름 박리 공정이 진행될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 챔버의 내부에 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치될 수 있다. 또는, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 상기 제1 벽과 수직한 제1 내지 제4 측벽들에 각각 배치될 수 있다. 이 외에도, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 챔버의 내부의 다양한 위치에 배치될 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 4개가 배치될 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 각각 상기 챔버의 제1 내지 제4 측벽들에 배치될 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 각각 상기 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들을 그립할 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)은 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리할 수 있다. 상기 4개의 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 동시에 박리함으로써, 상기 필름 박리 장치는 피박리체(DP)에 손상이 발생하지 않으면서 상기 필름(PF)을 제거할 수 있다. 또한, 이를 통해, 상기 필름 박리 장치는 이물의 발생을 감소시킬 수 있다.
실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 제1 방향(DR1) 및 상기 제1 방향(DR1)에 수직하며 상기 피박리체(DP)와 멀어지는 방향 사이의 방향으로 이동하여 상기 필름(PF)을 박리할 수 있다. 즉, 상기 그리퍼들(GP)은 사선 방향으로 상기 필름(PF)을 당기면서 필름 박리 공정을 진행할 수 있다. 이를 통해, 상기 필름(PF)를 상기 피박리체(DP)로부터 박리하는데 필요한 동력을 최소화할 수 있다.
또는, 실시예들에 있어서, 상기 그리퍼들(GP)은 상기 제1 방향(DR1)으로 이동하여 상기 필름(PF)을 박리할 수 있다. 즉, 상기 그리퍼들(GP)은 수직 방향으로 상기 필름(PF)을 당기면서 필름 박리 공정을 진행할 수 있다.
도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 그리퍼들(GP)이 상기 필름(PF)을 상기 피박리체(DP)의 제1 내지 제4 측면들로부터 박리할 수 있다. 이 후, 도 14 및 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 연결 장치가 상기 하부 스테이지(LS)를 상기 제1 방향(DR1)에 반대되는 방향으로 이동시켜 상기 상부 스테이지(US)가 상기 피박리체(DP)를 흡착하도록 할 수 있다.
상기 연결 장치는 상기 하부 장치(LS)와 상기 챔버의 제1 벽 사이에 배치될 수 있다. 상기 연결 장치는 상기 하부 장치(LS)를 지지할 수 있고, 상기 하부 장치(LS)를 상기 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 실시예들에 있어서, 상기 연결 장치는 연장부(EP2)는 상기 지지부(SP2)의 내부에 배치될 수 있다. 상기 연장부(EP2)의 적어도 일부가 상기 지지부(SP2) 외부로 노출될 수 있다. 상기 연장부(EP2)는 상기 지지부(SP2)의 내부에서 상기 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 이를 통해, 상기 연결 장치가 상기 하부 스테이지(LS)를 상기 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다.
상기 연결 장치는 상기 상부 스테이지(US)가 상기 피박리체(DP)를 흡착한 후에 상기 하부 스테이지(LS)를 다시 제1 방향(DR1)으로 이동시킬 수 있다. 이를 통해, 상기 필름 박리 장치는 상기 필름(PF)과 상기 피박리체(DP)를 분리시킬 수 있다.
이 때, 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 상부 스테이지(US)는 흡착부(AP)를 통해 상기 피박리체(DP)를 흡착한 후 틸팅(tilting)하여 상기 피박리체(DP)의 일부를 상기 필름(PF)으로부터 분리시킬 수 있다. 상기 상부 스테이지(US)는 지지부(SP1)는 고정된 상태에서, 연장부(EP1)만 일 방향으로 틸팅할 수 있다. 이 후, 상기 상부 스테이지(US)는 일 방향으로 운반되는 과정에서 상기 피박리체(DP) 일부에 반대되는 방향의 일부를 상기 필름(PF)과 분리시킬 수 있다. 이로써, 상기 피박리체(DP)와 상기 필름(PF) 사이의 접착 면적을 줄일 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 필름 박리 장치는 챔버, 상기 챔버의 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지(LS), 상기 하부 스테이지(LS) 상에 배치되는 피박리체(DP)에 부착된 필름(PF)의 제1 내지 제4 측면들을 각각 그립하여 상기 피박리체(DP)에 부착된 상기 필름(PF)의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리 가능한 제1 내지 제4 그리퍼들(GP) 및 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되고, 상기 제2 벽 상에서 상기 피박리체가 배치된 제1 방향으로 길이의 연장이 가능한 상부 스테이지(US)를 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 필름 박리 장치는 상기 피박리체(DP)에 부착된 상기 필름(PF)의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리할 수 있다.
상술한 바에서는, 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 것이다.
본 발명은 필름 박리 장치 및 상기 필름 박리 장치를 이용한 필름 박리 방법에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명은 필름 박리 장치에 적용될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
LS: 하부 스테이지 US: 상부 스테이지
DD: 표시 장치 PA: 평탄부
CA: 측면부 DP: 피박리체
PF: 필름 GP: 그리퍼
SP1, SP2: 지지부 EP1, EP2: 연장부
AP: 흡착부 RO: 롤러
BE: 벨트 AM: 얼라인 마크
DR1, DR2: 제1 및 제2 방향

Claims (20)

  1. 챔버;
    상기 챔버의 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지;
    상기 하부 스테이지 상에 배치되는 피박리체에 부착된 필름의 제1 내지 제4 측면들을 각각 그립하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리 가능한 제1 내지 제4 그리퍼들; 및
    상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되고, 상기 제2 벽 상에서 상기 피박리체가 배치된 제1 방향으로 길이의 연장이 가능한 상부 스테이지를 포함하는 필름 박리 장치.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 챔버의 상기 제1 벽과 수직한 제1 내지 제4 측벽들에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  4. 제1 항에 있어서, 상기 상부 스테이지는,
    상기 챔버의 상기 제2 벽 상에 배치되는 지지부;
    적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제1 방향으로 이동 가능한 연장부; 및
    상기 연장부의 상기 제1 방향의 단부에 배치되고, 상기 피박리체를 흡착 가능한 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 챔버의 상기 제2 벽과 상기 상부 스테이지 사이에 배치되는 운반부를 더 포함하고,
    상기 운반부는 상기 상부 스테이지를 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 운반하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 하부 스테이지가 상기 피박리체와 접촉하는 면 상에는 얼라인 마크가 표시되는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 챔버의 상기 제1 벽과 상기 하부 스테이지 사이에 배치되고, 상기 제1 방향과 반대되는 제2 방향으로 연장하여 상기 상부 스테이지가 상기 피박리체를 흡착하게 하는 복수의 연결 장치들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  8. 제7 항에 있어서, 상기 복수의 연결 장치들 각각은,
    상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치되는 지지부; 및
    적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제2 방향으로 이동 가능한 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  9. 제1 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 박리 장치.
  10. 제1 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하며 상기 피박리체와 멀어지는 방향 사이의 방향으로 이동 가능한 것을 특징으로 하는 필름 박리 장치.
  11. 피박리체를 챔버의 제1 방향에 위치하는 제1 벽 상에 배치되는 하부 스테이지 상에 배치하는 단계;
    상기 챔버의 내부에 배치되는 제1 내지 제4 그리퍼들을 이용하여 상기 피박리체에 부착된 필름의 제1 내지 제4 측면들을 동시에 그립하는 단계; 및
    상기 제1 내지 제4 그리퍼들을 이동시켜 상기 피박리체에 부착된 상기 필름의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리하는 단계를 포함하는 필름 박리 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되는 상부 스테이지를 더 포함하고,
    상기 상부 스테이지는,
    상기 챔버의 상기 제2 벽 상에 배치되는 지지부;
    적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제1 방향으로 이동 가능한 연장부; 및
    상기 연장부의 상기 제1 방향의 단부에 배치되고, 상기 피박리체를 흡착 가능한 흡착부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  13. 제12 항에 있어서, 상기 피박리체의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리하는 단계 후에,
    상기 상부 스테이지의 상기 연장부가 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 피박리체와 흡착하는 단계; 및
    상기 상부 스테이지의 상기 연장부가 상기 제1 방향에 반대되는 제2 방향으로 이동하여 상기 피박리체를 상기 필름과 분리시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  14. 제13 항에 있어서, 상기 피박리체를 상기 필름과 분리시키는 단계는,
    상기 상부 스테이지가 틸팅(tilting)하여 상부 피박리체와 상기 필름의 일부만을 분리시키는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  15. 제13 항에 있어서, 상기 피박리체를 상기 필름과 분리시키는 단계 이후에,
    상기 챔버의 상기 제2 벽과 상기 상부 스테이지 사이에 배치되는 운반부가 상기 상부 스테이지와 상기 피박리체를 함께 운반하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  16. 제11 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  17. 제11 항에 있어서, 상기 제1 내지 제4 그리퍼들은 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향에 수직하며 상기 피박리체와 멀어지는 방향 사이의 방향으로 이동하여 상기 피박리체에 부착된 상기 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  18. 제11 항에 있어서,
    상기 챔버의 상기 제1 벽과 상기 하부 스테이지 사이에 배치되는 복수의 연결 장치들 더 포함하고,
    상기 연결 장치들 각각은,
    상기 챔버의 상기 제1 벽 상에 배치되는 지지부; 및
    적어도 일부가 상기 지지부의 내부에 배치되고, 상기 제1 방향에 반대되는 제2 방향으로 이동 가능한 연장부를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  19. 제18 항에 있어서,
    상기 피박리체의 상기 제1 내지 제4 측면들을 동시에 박리하는 단계 후에,
    상기 연장부가 상기 제2 방향으로 이동하여 상기 챔버의 상기 제1 벽과 대향하는 제2 벽 상에 배치되는 상부 스테이지가 상기 피박리체를 흡착하는 단계; 및
    상기 연장부가 상기 제1 방향으로 이동하여 상기 피박리체와 상기 필름을 분리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
  20. 제19 항에 있어서, 상기 피박리체를 상기 필름과 분리하는 단계는,
    상기 상부 스테이지가 틸팅(tilting)하여 상부 피박리체와 상기 필름의 일부만을 분리시키는 것을 특징으로 하는 필름 박리 방법.
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