KR102087812B1

KR102087812B1 - 박리 장치 및 광학 표시 디바이스의 생산 시스템

Info

Publication number: KR102087812B1
Application number: KR1020157032336A
Authority: KR
Inventors: 다쯔야 쯔찌오까; 가즈노리 기시자끼
Original assignee: 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
Priority date: 2013-05-17
Filing date: 2014-01-30
Publication date: 2020-03-11
Also published as: JPWO2014185097A1; CN105190734B; WO2014185097A1; JP5708962B1; TWI618635B; TW201501939A; CN105190734A; KR20160009555A

Abstract

박리 장치는, 제1 영역과, 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 갖고, 제2 영역이 제1 영역으로부터 분리된 상태에서, 제1 영역 및 제2 영역의 일면측에 설치된 점착층에 의해 제2 영역이 제1 영역에 접속된 가요성의 시트편에 대해, 제1 영역으로부터 제2 영역을 박리하기 위한 박리 장치로서, 흡착면을 갖는 흡착 테이블과, 시트편의 제2 영역을 척 가능한 척부와, 척부에 의해 시트편의 제2 영역이 척된 상태에서 척부와 흡착 테이블을 흡착면의 법선 방향으로 상대 이동시킴으로써, 시트편의 제2 영역을 시트편의 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치를 포함한다.

Description

박리 장치 및 광학 표시 디바이스의 생산 시스템 {DETACHING DEVICE AND SYSTEM FOR MANUFACTURING OPTICAL DISPLAY DEVICE}

본 발명은 박리 장치 및 광학 표시 디바이스의 생산 시스템에 관한 것이다.

본원은, 2013년 5월 17일에 출원된 일본 특허 출원 제2013-105584호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

종래, 액정 디스플레이 등의 광학 표시 디바이스의 생산 시스템에 있어서, 액정 패널(광학 표시 부품)에 접합하는 편광판 등의 광학 부재는, 장척 필름으로부터 액정 패널의 표시 영역에 맞춘 사이즈의 시트편으로 잘라내지고, 곤포되어 다른 라인으로 반송된 후, 액정 패널에 접합되는 경우가 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).

일본 특허 공개 제2003-255132호 공보

그러나, 상기 종래의 구성에서는, 액정 패널 및 시트편의 각 치수 편차, 및 액정 패널에 대한 시트편의 접합 편차(위치 어긋남)를 고려하여, 표시 영역보다도 약간 큰 시트편을 잘라내고 있다. 그로 인해, 표시 영역의 주변부에 여분의 영역(액연부)이 형성되어, 기기의 소형화가 저해된다고 하는 문제가 있다.

본 발명의 형태는 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 표시 영역 주변의 액연부를 축소하여 표시 에어리어의 확대 및 기기의 소형화를 도모할 수 있는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템 및 그것에 채용 가능한 박리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 이하의 구성을 채용하였다.

(1) 본 발명의 제1 형태에 따른 박리 장치는, 제1 영역과, 상기 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 갖고, 상기 제2 영역이 상기 제1 영역으로부터 분리된 상태에서, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 일면측에 설치된 점착층에 의해 상기 제2 영역이 상기 제1 영역에 접속된 가요성의 시트편에 대해, 상기 제1 영역으로부터 상기 제2 영역을 박리하기 위한 박리 장치로서, 흡착면을 갖는 흡착 테이블과, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 척 가능한 척부와, 상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척된 상태에서 상기 척부와 상기 흡착 테이블을 상기 흡착면의 법선 방향으로 상대 이동시킴으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 시트편의 상기 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치를 포함한다.

(2) 상기 (1)에 기재된 박리 장치에서는, 상기 척부에 의한 상기 시트편의 상기 제2 영역의 척이 해제된 상태에서, 상기 점착층에 의해 상기 척부에 부착된 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상방으로부터 두드림으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 척부로부터 이격시키는 두드림부를 더 포함하고 있어도 된다.

(3) 상기 (2)에 기재된 박리 장치에서는, 상기 시트편의 상기 제1 영역은, 상기 흡착면의 법선 방향에서 볼 때 직사각형이고, 상기 척부는, 상기 시트편의 상기 제2 영역 중 상기 시트편의 상기 제1 영역의 인접하는 2개의 코너부에 대응하는 부분을 척하고, 상기 두드림부는, 상기 시트편의 상기 제2 영역 중 상기 시트편의 상기 제1 영역의 인접하는 2개의 코너부의 사이에 대응하는 부분을 두드려도 된다.

(4) 상기 (1)에서 (3)까지 중 어느 한 항에 기재된 박리 장치에서는, 상기 흡착 테이블은, 상기 흡착면의 법선 방향에서 볼 때, 상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척되는 부분과 겹치는 위치에 테이퍼부를 갖고, 상기 척부는, 상기 시트편의 상기 제2 영역 중 상기 테이퍼부로부터 돌출된 부분을 척해도 된다.

(5) 본 발명의 제2 형태에 따른 광학 표시 디바이스의 생산 시스템은, 광학 표시 부품에 광학 부재를 접합하여 구성되는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템으로서, 상기 광학 표시 부품의 표시 영역의 긴 변과 짧은 변 중 어느 한쪽의 변의 길이보다도 넓은 폭의 띠 형상의 광학 부재 시트를 원반 롤로부터 권출하면서, 상기 광학 부재 시트를 상기 표시 영역의 긴 변과 짧은 변 중 어느 다른 쪽의 변의 길이 보다도 긴 길이로 커트하여 시트편으로 한 후, 상기 시트편을 상기 광학 표시 부품에 접합하는 접합 장치와, 상기 광학 표시 부품에 접합된 상기 시트편 중, 접합면에 대응하는 제1 영역으로부터, 상기 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리하고, 상기 접합면에 대응하는 크기의 상기 광학 부재를 형성하는 절단 장치와, 상기 광학 표시 부품을 흡착하여 보유 지지하는 흡착면을 갖는 흡착 테이블과, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 척 가능한 척부와, 상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척된 상태에서 상기 척부와 상기 흡착 테이블을 상기 흡착면의 법선 방향으로 상대 이동시킴으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 시트편의 상기 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치를 포함한다.

또한, 상기 구성 중의 「접합면」이라 함은, 광학 표시 부품의 시트편과 대향하는 면을 가리키고, 「접합면의 외주연」이라 함은, 구체적으로는, 광학 표시 부품에 있어서 시트편이 접합된 측의 기판의 외주연을 가리킨다.

또한, 시트편의 「제1 영역(접합면에 대응하는 부분)」이라 함은, 시트편에 있어서, 시트편과 대향하는 광학 표시 부품의 표시 영역의 크기 이상, 광학 표시 부품의 외(外)형상(평면에서 볼 때의 윤곽 형상)의 크기 이하의 영역이며, 또한 광학 표시 부품에 있어서의 전기 부품 설치부 등의 기능 부분을 피한 영역을 가리킨다. 마찬가지로 「접합면에 대응하는 크기」라 함은, 광학 표시 부품의 표시 영역의 크기 이상, 광학 표시 부품의 외형상(평면에서 볼 때의 윤곽 형상)의 크기 이하의 크기를 가리킨다.

(6) 상기 (5)에 기재된 광학 표시 디바이스의 생산 시스템에서는, 상기 시트편이 접합된 상기 광학 표시 부품과 상기 시트편과의 접합면의 외주연을 검출하는 검출 장치를 더 포함하고, 상기 절단 장치는, 상기 검출 장치가 검출한 상기 광학 표시 부품과 상기 시트편과의 상기 접합면의 외주연을 따라, 상기 시트편을 절단해도 된다.

(7) 상기 (5) 또는 (6)에 기재된 광학 표시 디바이스의 생산 시스템에서는, 상기 시트편의 상기 제1 영역으로부터 박리된 상기 시트편의 상기 제2 영역을 회수하는 회수부를 더 포함하고, 상기 이동 장치는, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 회수부로 이동시켜도 된다.

(8) 상기 (7)에 기재된 광학 표시 디바이스의 생산 시스템에서는, 상기 이동 장치는, 선단부에 상기 척부가 형성된 아암부와, 상기 아암부를 선회시키는 선회 기구를 포함하고, 상기 회수부는, 상기 아암부의 선회 축을 사이에 두고 상기 흡착 테이블과 반대측에 배치되어 있고, 상기 이동 장치는, 상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척된 상태에서 상기 아암부를 선회함으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 회수부로 이동시켜도 된다.

본 발명의 형태에 의하면, 표시 영역 주변의 액연부를 축소하여 표시 에어리어의 확대 및 기기의 소형화를 도모할 수 있는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템 및 그것에 채용 가능한 박리 장치를 제공할 수 있다.

도 1은 제1 실시 형태에 따른 박리 장치를 도시하는 사시도이다.
도 2는 흡착 테이블 및 시트편의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.
도 3은 흡착 테이블 및 시트편의 배치 관계를 도시하는 측면도이다.
도 4는 제1 척부가 개방된 상태를 도시하는 사시도이다.
도 5는 제1 척부가 폐쇄된 상태를 도시하는 사시도이다.
도 6은 필러가 상방에 위치하는 상태를 도시하는 사시도이다.
도 7은 필러가 하방에 위치하는 상태를 도시하는 사시도이다.
도 8은 척부에 의해 시트편의 제2 영역이 척된 상태를 도시하는 평면도이다.
도 9는 척부에 의해 시트편의 제2 영역이 척된 상태를 도시하는 측면도이다.
도 10은 시트편의 제2 영역을 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치의 동작을 도시하는 측면도이다.
도 11은 시트편의 제2 영역을 상방으로부터 두드리는 두드림부의 동작을 도시하는 측면도이다.
도 12는 제1 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템의 개략 구성도이다.
도 13은 액정 패널의 평면도이다.
도 14는 도 13의 A-A 단면도이다.
도 15는 제1 실시 형태에 따른 광학 부재 시트의 단면도이다.
도 16은 필름 접합 시스템을 사용한 필름 접합 프로세스의 흐름도이다.
도 17은 제2 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템의 평면도이다.
도 18은 제2 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템의 측면도이다.
도 19는 시트편의 제2 영역의 회수 동작을 도시하는 설명도이다.
도 20은 제3 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템의 평면도이다.
도 21은 접합면의 단연의 검출 공정을 도시하는 평면도이다.
도 22는 검출 장치의 모식도이다.
도 23은 검출 장치의 변형예를 도시하는 모식도이다.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태를 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시 형태로 한정되는 것은 아니다.

또한, 이하의 모든 도면에 있어서는, 도면을 보기 쉽게 하기 위해, 각 구성 요소의 치수나 비율 등은 적절히 상이하게 되어 있다. 또한, 이하의 설명 및 도면 중, 동일하거나 또는 상당하는 요소에는 동일한 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

(제1 실시 형태)(박리 장치)

도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 박리 장치(100)를 도시하는 사시도이다.

도 1에 도시한 바와 같이, 박리 장치(100)는 흡착 테이블(110)과, 테이블 이동 장치(112)와, 척부(120)[예를 들어 본 실시 형태에서는 2개의 척부{제1 척부(121), 제2 척부(122)}]와, 두드림부(130)[예를 들어 본 실시 형태에서는 2개의 두드림부{제1 두드림부(131), 제2 두드림부(132)}]와, 이동 장치(140)와, 이들 장치를 통괄 제어하는 제어 장치(150)를 구비하고 있다.

흡착 테이블(110)은 패널(103)(도 2 참조)을 흡착하여 보유 지지하는 흡착면(110s)을 갖는다. 흡착면(110s)에는, 복수의 흡착 구멍(110h)이 격자 형상으로 형성되어 있다. 흡착면(110s)에는, 흡착 테이블(110)의 전원 케이블(111)이 접속되어 있다.

예를 들어, 패널(103)(도 2 참조)은 액정 패널 등의 광학 표시 부품이다. 패널(103)에는, 시트편(101)이 접합되어 있다.

이하, 도 2 및 도 3을 참조하여 본 실시 형태에 따른 시트편(101)의 구성에 대해 설명한다.

도 2는 흡착 테이블(110) 및 시트편(101)의 배치 관계를 도시하는 평면도이다.

도 3은 흡착 테이블(110) 및 시트편(101)의 배치 관계를 도시하는 측면도이다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 시트편(101)은 평면에서 볼 때 직사각형의 가요성의 시트편이다. 시트편(101)은 평면에서 볼 때 직사각형의 점착층(102)에 의해 평면에서 볼 때 직사각형의 패널(103)에 접합되어 있다. 시트편(101)의 평면에서 볼 때 사이즈는, 점착층(102)의 평면에서 볼 때 사이즈와 동일하고, 패널(103)의 표시 영역의 평면에서 볼 때 사이즈보다도 크다.

시트편(101)은 평면에서 볼 때 직사각형의 제1 영역(101s1)과, 제1 영역(101s1)의 외측의 영역인 제2 영역(101s2)을 갖는다. 제1 영역(101s1)은, 패널(103)과 시트편(101)과의 접합면에 대응하는 부분이며, 제품으로서 이용되는 부분이다. 제2 영역(101s2)은, 접합면의 외측의 잉여 부분이다.

여기서, 「접합면에 대응하는 부분」이라 함은, 표시 영역의 크기 이상, 패널(103)의 외형상(평면에서 볼 때의 윤곽 형상)의 크기 이하의 영역이고, 또한 전기 부품 설치부 등의 기능 부분을 피한 영역을 나타낸다.

시트편(101)은 제2 영역(101s2)이 절단선(CL)을 따라 제1 영역(101s1)으로부터 분리된 상태에서, 제1 영역(101s1) 및 제2 영역(101s2)의 일면측에 설치된 점착층(102)에 의해 제2 영역(101s2)이 제1 영역(101s1)에 접속되어 있다.

제2 영역(101s2)은, 패널(103)의 3변을 따라 배치되어 있다. 절단선(CL)은, 패널(103)의 외형(전기 부품 설치부 등의 기능 부분을 제외함)과 동일한 위치 또는 패널(103)의 외형보다도 약간 내측의 위치이며 또한 패널(103)의 표시 영역과 동일한 위치 또는 패널(103)의 표시 영역보다도 약간 외측의 위치에 형성되어 있다. 이에 의해, 패널(103)에는 시트편(101)의 제1 영역(101s1) 전체와, 제2 영역(101s2)의 일부(내측 부분)가 접합되어 있다.

또한, 본 실시 형태에서는 일례로서 제2 영역(101s2)이 패널(103)의 3변을 따라 배치되어 있는 예를 들어 설명하지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 제2 영역(101s2)이 패널(103)의 1변만을 따라 배치되어 있어도 되고, 패널(103)의 2변 또는 4변을 따라 배치되어 있어도 된다.

흡착 테이블(110)은 흡착면(110s)의 법선 방향에서 볼 때, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의, 척부(120)에 의해 척되는 부분[예를 들어 본 실시 형태에서는 2개의 부분(101a1, 101a2)]과 겹치는 위치에 테이퍼부(110t)[예를 들어 본 실시 형태에서는 2개의 테이퍼부(110t1, 110t2)]를 갖는다. 척부(120)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 테이퍼부(110t1)로부터 돌출된 부분(101a1)을 척한다. 척부(120)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 테이퍼부(110t2)로부터 돌출된 부분(101a2)을 척한다.

여기서, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척되는 부분(101a1) 및 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척되는 부분(101a2)은, 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 시트편(101)의 제1 영역(101s1)의 인접하는 2개의 코너부에 대응하는 부분이다.

이하의 설명에 있어서, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척되는 부분(101a1)을 제1 코너부(101a1)라고 칭하고, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척되는 부분(101a2)을 제2 코너부(101a2)라고 칭하는 경우가 있다.

제1 테이퍼부(110t1)는, 시트편(101)의 제1 코너부(101a1)와 겹치는 위치에 배치되어 있다. 제2 테이퍼부(110t2)는, 시트편(101)의 제2 코너부(101a2)와 겹치는 위치에 배치되어 있다.

제1 테이퍼부(110t1) 및 제2 테이퍼부(110t2)의 각각은, 흡착 테이블(110)의 코너부를 비스듬히 절결함으로써 형성되어 있다. 이에 의해, 예를 들어 사이즈가 작은 패널(103)에 대해서는, 흡착 테이블(110)의 선단측[테이퍼부(110t)가 형성되어 있는 측]에 패널(103)을 설치하고, 사이즈가 큰 패널(103)에 대해서는, 흡착 테이블(110)의 후단부측[테이퍼부(110t)가 형성되어 있지 않은 측]에 패널(103)을 설치함으로써, 제1 코너부(101a1) 및 제2 코너부(101a2)의 제1 테이퍼부(110t1) 및 제2 테이퍼부(110t2)로부터의 돌출량을 일정한 양으로 할 수 있다. 즉, 사이즈가 상이한 패널이어도 돌출량이 일정한 양으로 되도록 다양한 사이즈의 패널에 대응할 수 있다.

또한, 패널(103)을 흡착 테이블(110)에 배치할 때에는, 돌출량이 일정한 양으로 되도록 패널(103)의 위치 정밀도를 높이는 관점에서, 패널(103)의 반송 경로 또는 흡착 테이블(110)의 상방에 카메라를 설치할 수 있다. 예를 들어, 패널(103)에 그어진 얼라인먼트 마크를 카메라에 인식시켜, 패널(103)의 자세를 검출하고, 패널의 위치를 보면서 패널(103)을 흡착 테이블(110)에 배치함으로써, 돌출량을 일정한 양으로 할 수 있다.

도 1에서, 테이블 이동 장치(112)는 흡착 테이블(110)을 흡착면(110s)과 평행한 제1 방향(V1)을 따라 이동시킨다. 테이블 이동 장치(112)는 제1 방향(V1)을 따라 연장 설치되는 가이드 레일(113)과, 가이드 레일(113)을 따라 이동 가능한 이동부(114)를 갖는다. 흡착 테이블(110)은 이동부(114)의 가이드 레일(113)의 측과는 반대측에 설치되어 있다.

이하, 제1 척부(121)의 구성에 대해 설명한다. 또한, 제1 척부(121)와 동일한 구성을 갖는 제2 척부(122)의 구성에 관한 설명은 생략한다.

제1 척부(121)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 기계적인 힘으로 척 가능하다. 제1 척부(121)는 시트편(101)의 제1 코너부(101a1)를 척한다. 제2 척부(122)는 시트편(101)의 제2 코너부(101a2)를 척한다. 제1 척부(121)는 제1 파지부(123)와, 제2 파지부(124)와, 피스톤·실린더 기구(125)를 구비하고 있다. 피스톤·실린더 기구(125)에는, 제1 척부(121)의 전원 케이블(126)이 접속되어 있다.

제1 파지부(123)는 L자 형상이며, 시트편 지지부(123a)와, 기둥부(123b)를 갖는다. 시트편 지지부(123a)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 일면을 지지한다. 시트편 지지부(123a)는 제2 파지부(124)와 대향하여 배치되어 있다. 기둥부(123b)의 일면에는 피스톤·실린더 기구(125)가 설치되어 있고, 기둥부(123b)의 다른 면에는 제1 두드림부(131)[피스톤·실린더 기구(134)]가 설치되어 있다.

제2 파지부(124)는 피스톤·실린더 기구(125)에 연결되어 있다. 피스톤·실린더 기구(125)는 제2 파지부(124)를 미끄럼 이동 가능하게 보유 지지한다. 구체적으로, 피스톤·실린더 기구(125)는 제2 파지부(124)를 흡착면(110s)과 수직한 제2 방향(V2)[흡착면(110s)의 법선 방향]을 따라 이동시킨다.

도 4는 제1 척부(121)가 개방된 상태를 도시하는 사시도이다.

도 5는 제1 척부(121)가 폐쇄된 상태를 도시하는 사시도이다.

도 4에 도시한 바와 같이, 피스톤·실린더 기구(125)는 제1 척부(121)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척하기 전의 초기 상태에 있어서, 제2 파지부(124)를 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 제1 파지부(123)와 제2 파지부(124)가 이격되어 배치된다. 이에 의해, 제1 척부(121)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척하기 전의 초기 상태에 있어서, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척할 수 있도록 개방된 상태로 된다.

도 5에 도시한 바와 같이, 피스톤·실린더 기구(125)는 제1 척부(121)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척할 때에, 제2 파지부(124)를 제2 방향(V2)을 따라 하방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 시트편 지지부(123a)와 제2 파지부(124)가 근접하여 배치된다. 이에 의해, 제1 척부(121)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척되도록 폐쇄된 상태로 된다.

이와 같이, 피스톤·실린더 기구(125)는 제1 척부(121)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척하기 전의 개방된 상태와, 제1 척부(121)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척하였을 때의 폐쇄된 상태를 조정한다.

이어서, 제1 두드림부(131)의 구성에 대해 설명한다. 또한, 제1 두드림부(131)와 동일한 구성을 갖는 제2 두드림부(132)의 구성에 관한 설명은 생략한다.

다시 도 1에서, 제1 두드림부(131)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 기계적인 힘으로 상방으로부터 두드리는 것이 가능하다. 제1 두드림부(131)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 제1 코너부(101a1)와 제2 코너부(101a2)와의 사이의 부분을 두드린다. 제1 두드림부(131)는 제1 척부(121)에 의한 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척이 해제된 상태에서, 점착층(102)에 의해 제1 척부(121)에 부착된 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 상방으로부터 두드림으로써, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 제1 척부(121)로부터 이격시킨다.

제1 두드림부(131)는 필러(133)와, 피스톤·실린더 기구(134)를 구비하고 있다. 피스톤·실린더 기구(134)에는, 제1 두드림부(131)의 전원 케이블(135)이 접속되어 있다.

필러(133)는 직사각형 프레임 형상이다. 필러(133)의 평면에서 볼 때 사이즈는, 시트편 지지부(123a)의 평면에서 볼 때 사이즈보다도 크다. 필러(133)는 피스톤·실린더 기구(134)에 연결되어 있다. 예를 들어, 필러(133)로서는 철사를 사용할 수 있다.

피스톤·실린더 기구(134)는 필러(133)를 미끄럼 이동 가능하게 보유 지지한다. 구체적으로, 피스톤·실린더 기구(134)는 필러(133)를 제2 방향(V2)을 따라 이동시킨다.

도 6은 필러(133)가 상방에 위치하는 상태를 도시하는 사시도이다.

도 7은 필러(133)가 하방에 위치하는 상태를 도시하는 사시도이다.

도 6에 도시한 바와 같이, 피스톤·실린더 기구(134)는 제1 두드림부(131)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 두드리기 전의 초기 상태에 있어서, 필러(133)를 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 필러(133)가 시트편 지지부(123a)보다도 상방에 배치된다. 이에 의해, 필러(133)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 두드리기 전의 초기 상태에 있어서, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 상방으로부터 두드릴 수 있도록 상방에 위치하는 상태로 된다.

도 7에 도시한 바와 같이, 피스톤·실린더 기구(134)는 제1 두드림부(131)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 두드릴 때에, 필러(133)를 제2 방향(V2)을 따라 하방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 필러(133)가 시트편 지지부(123a)보다도 하방에 배치된다. 이에 의해, 필러(133)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 두드려지도록 하방에 위치하는 상태로 된다.

이와 같이, 피스톤·실린더 기구(134)는 제1 두드림부(131)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 두드리기 전의 필러(133)가 상방에 위치하는 상태와, 제1 두드림부(131)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 두드린 후의 필러(133)가 하방에 위치하는 상태를 조정한다.

도 1로 되돌아오고, 이동 장치(140)는 척부(120) 및 두드림부(130)의 양쪽을, 제2 방향(V2)을 따라 이동시킨다. 이동 장치(140)는 척부(120)에 의해 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척된 상태에서 척부(120)를 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시킴으로써, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 시트편(101)의 제1 영역(101s1)으로부터 박리시킨다.

또한, 본 실시 형태에서는, 이동 장치(140)에 의해 척부(120)를 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시킴으로써, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 시트편(101)의 제1 영역(101s1)으로부터 박리시키고 있지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 흡착 테이블(110)을 제2 방향(V2)을 따라 하방으로 이동시킴으로써, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 시트편(101)의 제1 영역(101s1)으로부터 박리시키고 있어도 된다. 즉, 척부(120)와 흡착 테이블(110)을 제2 방향(V2)으로 상대 이동시킴으로써, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 시트편(101)의 제1 영역(101s1)으로부터 박리시키는 구성이라면 된다.

이동 장치(140)는 액추에이터 등의 동력부(도시하지 않음)에 의해 제2 방향(V2)을 따라 이동 가능한 아암부(141)와, 제2 방향(V2)을 따라 연장 설치되는 기둥부(142)를 갖는다. 아암부(141)의 일단부측[흡착면(110s)의 측]에는, 척부(120) 및 두드림부(130)의 양쪽이 설치되어 있다. 아암부(141)의 타단부측은, 기둥부(142)에 설치되어 있다.

도 8∼도 11은, 박리 장치(100)에 의한 박리 동작의 설명도이다.

도 8은 척부(120)에 의해 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척된 상태를 도시하는 평면도이다.

도 9는 척부(120)에 의해 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척된 상태를 도시하는 측면도이다.

도 10은 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 제1 영역(101s1)으로부터 박리시키는 이동 장치(140)의 동작을 도시하는 측면도이다.

도 11은 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 상방으로부터 두드리는 두드림부(130)의 동작을 도시하는 측면도이다.

도 8에 도시한 바와 같이, 척부(120)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 시트편(101)의 제1 영역(101s1)의 인접하는 2개의 코너부에 대응하는 부분을 척한다. 제1 척부(121)는 시트편(101)의 제1 코너부(101a1)를 척한다. 제2 척부(122)는 시트편(101)의 제2 코너부(101a2)를 척한다.

구체적으로, 척부(120)가 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척할 때에는, 도 9에 도시한 바와 같이, 피스톤·실린더 기구(125)는 제2 파지부(124)를 제2 방향(V2)을 따라 하방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 시트편 지지부(123a)와 제2 파지부(124)가 근접하여 배치된다. 이에 의해, 척부(120)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척되도록 폐쇄된 상태로 된다.

시트편(101) 및 점착층(102)은 시트편 지지부(123a)와 제2 파지부(124)에 의해 끼워진다. 이때, 시트편 지지부(123a)는 점착층(102)의 일면[시트편(101)과는 반대측의 면]에 접한다. 제2 파지부(124)는 시트편(101)의 일면[점착층(102)과는 반대측의 면]에 접한다.

필러(133)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 두드리기 전의 초기 상태에 있어서, 시트편(101)보다도 상방에 배치되어 있다.

도 8에서, 필러(133)의 4개의 코너부 중 1개의 코너부(133a)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 제1 코너부(101a1)와 제2 코너부(101a2)와의 사이의 중앙 부분에 배치되어 있다. 필러(133)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 제1 코너부(101a1)와 제2 코너부(101a2)와의 사이의 중앙 부분을 상방으로부터 두드린다.

도 10에 도시한 바와 같이, 이동 장치(140)(도 1 참조)는 척부(120)에 의해 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척된 상태에서 척부(120)를 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시킨다. 이에 의해, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 시트편(101)의 제1 영역(101s1)으로부터 박리시킨다.

도 11에 도시한 바와 같이, 피스톤·실린더 기구(125)는 제2 파지부(124)를 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 시트편 지지부(123a)와 제2 파지부(124)가 이격되어 배치된다. 이에 의해, 제1 척부(121)에 의한 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척이 해제된 상태로 된다.

피스톤·실린더 기구(134)는 제1 척부(121)에 의한 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척이 해제된 상태에서, 필러(133)를 제2 방향(V2)을 따라 하방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 필러(133)에 의해, 점착층(102)에 의해 척부(120)에 부착된 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 제1 코너부(101a1)와 제2 코너부(101a2)와의 사이의 중앙 부분이 상방으로부터 두드려진다. 이에 의해, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척부(120)로부터 이격된다. 척부(120)로부터 이격된 시트편(101)의 제2 영역(101s2)은, 회수부(160)에 의해 회수된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 박리 장치(100)에 의하면, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시켜 시트편(101)의 제1 영역(101s1)으로부터 박리시킴으로써, 제1 영역(101s1)으로부터 제2 영역(101s2)을 약한 힘으로 박리시킬 수 있다. 따라서, 박리 시에 제2 영역(101s2)의 일부가 찢어지는 것을 억제하고, 제2 영역(101s2)의 박리를 중단시키지 않고 제2 영역(101s2)을 제1 영역(101s1)으로부터 도중에 끊어지지 않게 연속적으로 박리할 수 있다. 따라서, 표시 영역 주변의 액연부를 축소하여 표시 에어리어의 확대 및 기기의 소형화를 도모할 수 있는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템에 채용 가능한 박리 장치(100)를 제공할 수 있다.

또한, 두드림부(130)는 척부(120)에 의한 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척이 해제된 상태에서, 점착층(102)에 의해 척부(120)에 부착된 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 상방으로부터 두드림으로써, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척부(120)로부터 이격시키기 때문에, 박리 시에 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 점착층(102)에 의해 척부(120)에 부착된 채 남는 것을 억제할 수 있다.

또한, 시트편(101)의 제1 영역(101s1)은 평면에서 볼 때 직사각형이며, 척부(120)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 제1 코너부(101a1)와 제2 코너부(101a2)를 척하고, 두드림부(130)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 제1 코너부(101a1)와 제2 코너부(101a2)와의 사이의 부분을 두드리기 때문에, 두드릴 때에 시트편(101)의 제2 영역(101s2)에 대해 균등하게 힘을 작용시킬 수 있다. 따라서, 박리 시에 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 점착층(102)에 의해 척부(120)에 부착되어도, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척부(120)로부터 용이하게 이격시킬 수 있다.

또한, 흡착 테이블(110)은 평면에서 볼 때 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의, 척부(120)에 의해 척되는 부분(101a1) 및 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의, 척부(120)에 의해 척되는 부분(101a2)과 겹치는 위치에 테이퍼부(110t1), 테이퍼부(110t2)를 갖고, 척부(120)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 테이퍼부(110t1), 테이퍼부(110t2)로부터 돌출된 부분[제1 코너부(101a1) 및 제2 코너부(101a2)]을 척하기 때문에, 제1 코너부(101a1) 및 제2 코너부(101a2)의 돌출량을 각각 소정의 값으로 설정함으로써, 제1 코너부(101a1) 및 제2 코너부(101a2)의 척을 안정적으로 행할 수 있다. 따라서, 제2 영역(101s2)을 제1 영역(101s1)으로부터 도중에 끊어지지 않게 연속적으로 안정적으로 박리할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 척부(120)로서 제2 영역(101s2)을 기계적인 힘으로 척하는 메커니컬 척을 들어 설명하였지만 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 제2 영역(101s2)을 진공 흡인하여 고정하는 진공 척을 사용해도 된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 박리 장치(100)가 제2 영역(101s2)의 제1 코너부(101a1), 제2 코너부(101a2)로부터 박리하여 회수하는 예를 들어 설명하였지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 박리 장치(100)가 제2 영역(101s2)의 길이 부분의 일부로부터 박리하여 회수해도 된다. 즉, 박리 장치(100)가 제2 영역(101s2)을 척하여 제1 영역(101s1)으로부터 박리하도록 구성되어 있으면 된다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 제2 영역(101s2)의 평면에서 볼 때 형상이 평면에서 볼 때 직사각형의 제1 영역(101s1)의 3변을 따른 형상인 예를 들어 설명하였지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 제2 영역(101s2)의 평면에서 볼 때 형상은, 직사각형 프레임 형상이어도 되고, L자 형상 등의 다양한 형상이어도 된다.

본 명세서에 있어서, 「접합면에 대응하는 부분」이라 함은, 표시 영역(P4)의 크기 이상, 광학 표시 부품[액정 패널(P)]의 외형상의 크기 이하의 크기를 갖는 영역이고, 또한 전기 부품 설치부 등의 기능 부분을 피한 영역을 나타낸다. 즉, 「접합면에 대응하는 부분의 외측의 잉여 부분을 분리」라 함은, 광학 표시 부품[액정 패널(P)]의 외주연을 따라 잉여 부분을 분리하는 경우를 포함한다.

(광학 표시 디바이스의 생산 시스템)

이하, 본 발명의 제1 실시 형태에 따른 광학 표시 디바이스의 생산 시스템인 필름 접합 시스템(1)에 대해 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템(1)은 회수 장치[본 실시 형태에서는 예를 들어 제1 회수 장치(100A) 및 제2 회수 장치(100B)]가 상술한 박리 장치(100)에 의해 구성되어 있다.

도 12는 본 실시 형태에 있어서의 필름 접합 시스템(1)의 개략 구성도이다. 필름 접합 시스템(1)은 예를 들어 액정 패널이나 유기 EL 패널과 같은 패널 형상의 광학 표시 부품에, 편광 필름이나 위상차 필름, 휘도 향상 필름과 같은 필름 형상의 광학 부재를 접합하는 것으로, 광학 표시 부품 및 광학 부재를 포함한 광학 표시 디바이스를 생산하는 생산 시스템의 일부로서 구성된다. 필름 접합 시스템(1)에서는, 광학 표시 부품으로서 액정 패널(P)을 사용하고 있다. 도 12에서는 도시 사정상, 필름 접합 시스템(1)을 상하 2단으로 나누어 기재하고 있다.

도 13은 액정 패널(P)을 액정 패널(P)의 액정층(P3)의 두께 방향으로부터 본 평면도이다. 액정 패널(P)은, 평면에서 볼 때 직사각 형상을 갖는 제1 기판(P1)과, 제1 기판(P1)에 대향하여 배치되는 비교적 소형의 직사각 형상을 갖는 제2 기판(P2)과, 제1 기판(P1)과 제2 기판(P2)과의 사이에 봉입된 액정층(P3)을 구비한다. 액정 패널(P)은, 평면에서 볼 때 제1 기판(P1)의 외형상을 따르는 직사각 형상을 갖고, 평면에서 볼 때 액정층(P3)의 외주의 내측에 수용되는 영역을 표시 영역(P4)으로 한다.

도 14는 도 12의 A-A 단면도이다. 액정 패널(P)의 표리면에는, 장척 띠 형상의 제1 광학 부재 시트(F1) 및 제2 광학 부재 시트(F2)[도 1 참조, 이하, 광학 부재 시트(FX)라고 총칭하는 경우가 있음]로부터 잘라낸 제1 광학 부재(F11) 및 제2 광학 부재(F12)[이하, 광학 부재(F1X)라고 총칭하는 경우가 있음]가 적절히 접합된다. 본 실시 형태에서는, 액정 패널(P)의 백라이트측 및 표시면측의 양면에는, 편광 필름이 각각 접합된다. 액정 패널(P)의 백라이트측의 면에는, 편광 필름으로서 제1 광학 부재(F11)가 접합된다. 액정 패널(P)의 표시면측의 면에는, 편광 필름으로서 제2 광학 부재(F12)가 접합된다. 또한, 액정 패널(P)의 백라이트측의 면에, 제1 광학 부재(F11)에 겹쳐 휘도 향상 필름으로서의 제3 광학 부재가 더 접합되어 있어도 된다.

또한, 제1 광학 부재(F11) 및 제2 광학 부재(F12)는, 후술하는 제1 시트편(F1m) 및 제2 시트편(F2m)[이하, 시트편(FXm)이라고 총칭하는 경우가 있음]으로부터, 제1 시트편(F1m) 및 제2 시트편(F2m)의 접합면에 대응하는 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리함으로써 형성된 것이다.

도 15는 액정 패널(P)에 접합하는 광학 부재 시트(FX)의 부분 단면도이다. 광학 부재 시트(FX)는, 필름 형상의 광학 부재 본체(F1a)와, 광학 부재 본체(F1a)의 한쪽 면(도 15에서는 상면)에 설치된 점착층(F2a)과, 점착층(F2a)을 개재하여 광학 부재 본체(F1a)의 한쪽 면에 분리 가능하게 적층된 세퍼레이터 시트(F3a)와, 광학 부재 본체(F1a)의 다른 쪽의 면(도 15에서는 하면)에 적층된 표면 보호 필름(F4a)을 갖는다. 광학 부재 본체(F1a)는 편광판으로서 기능하고, 액정 패널(P)의 표시 영역(P4)의 전체 영역과 표시 영역(P4)의 주변 영역에 걸쳐 접합된다. 또한, 도시 사정상, 도 15의 각 층의 해칭은 생략한다.

광학 부재 본체(F1a)는, 광학 부재 본체(F1a)의 한쪽 면에 점착층(F2a)을 남기면서 세퍼레이터 시트(F3a)를 분리시킨 상태에서, 액정 패널(P)에 점착층(F2a)을 개재하여 접합된다. 이하, 광학 부재 시트(FX)로부터 세퍼레이터 시트(F3a)를 제외한 부분을 접합 시트(F5)라고 한다.

세퍼레이터 시트(F3a)는, 점착층(F2a)으로부터 분리될 때까지의 동안에 점착층(F2a) 및 광학 부재 본체(F1a)를 보호한다. 표면 보호 필름(F4a)은, 광학 부재 본체(F1a)와 함께 액정 패널(P)에 접합된다. 표면 보호 필름(F4a)은, 광학 부재 본체(F1a)에 대해 액정 패널(P)과 반대측에 배치되어 광학 부재 본체(F1a)를 보호한다. 표면 보호 필름(F4a)은, 소정의 타이밍에 광학 부재 본체(F1a)로부터 분리된다. 또한, 광학 부재 시트(FX)가 표면 보호 필름(F4a)을 포함하지 않는 구성이어도 된다. 표면 보호 필름(F4a)이 광학 부재 본체(F1a)로부터 분리되지 않는 구성이어도 된다.

광학 부재 본체(F1a)는, 시트 형상의 편광자(F6)와, 편광자(F6)의 한쪽 면에 접착제 등에 의해 접합되는 제1 필름(F7)과, 편광자(F6)의 다른 쪽 면에 접착제 등에 의해 접합되는 제2 필름(F8)을 갖는다. 제1 필름(F7) 및 제2 필름(F8)은, 예를 들어 편광자(F6)를 보호하는 보호 필름이다.

또한, 광학 부재 본체(F1a)는, 1층의 광학층을 포함하는 단층 구조이어도 되고, 복수의 광학층이 서로 적층된 적층 구조이어도 된다. 광학층은, 편광자(F6) 외에, 위상차 필름이나 휘도 향상 필름 등이어도 된다. 제1 필름(F7)과 제2 필름(F8) 중 적어도 한쪽은, 액정 표시 소자의 최외면을 보호하는 하드 코트 처리나 안티글래어 처리를 포함하는 방현 등의 효과가 얻어지는 표면 처리가 실시되어도 된다. 광학 부재 본체(F1a)는, 제1 필름(F7)과 제2 필름(F8) 중 적어도 한쪽을 포함하지 않아도 된다. 예를 들어 제1 필름(F7)을 생략한 경우, 세퍼레이터 시트(F3a)를 광학 부재 본체(F1a)의 한쪽 면에 점착층(F2a)을 개재하여 접합해도 된다.

도 12에 도시한 바와 같이, 필름 접합 시스템(1)은 도면 중 우측의 액정 패널(P)의 반송 방향 상류측으로부터 도면 중 좌측의 액정 패널(P)의 반송 방향 하류측에 이르고, 액정 패널(P)을 수평 상태로 반송하는 구동식의 롤러 컨베이어(5)를 구비하고 있다.

롤러 컨베이어(5)는 후술하는 제1 선회 장치(18)를 경계로, 상류측 컨베이어(6)와 하류측 컨베이어(7)로 나뉘어진다. 상류측 컨베이어(6)에서는, 액정 패널(P)은 표시 영역(P4)의 짧은 변을 반송 방향을 따르도록 하여 반송된다. 하류측 컨베이어(7)에서는, 액정 패널(P)은 표시 영역(P4)의 긴 변을 반송 방향을 따르도록 하여 반송된다. 이 액정 패널(P)의 표리면에 대해, 띠 형상의 광학 부재 시트(FX)로부터 소정 길이로 잘라낸 접합 시트(F5)가 접합된다. 필름 접합 시스템(1)의 각 부는, 도시하지 않은 제어부에 의해 통괄 제어된다.

필름 접합 시스템(1)은 전단 공정의 반출단으로 반송된 액정 패널(P)을 흡착하여 상류측 컨베이어(6)의 반입단으로 반송함과 함께 액정 패널(P)의 얼라인먼트(위치 결정)를 행하는 제1 흡착 장치(11)와, 제1 흡착 장치(11)의 패널 반송 하류측에 설치되는 제1 집진 장치(12)와, 제1 집진 장치(12)보다도 패널 반송 하류측에 설치되는 제1 접합 장치(13)와, 제1 접합 장치(13)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제1 반전 장치(14A)와, 제1 반전 장치(14A)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제1 절단 장치(15A)와, 제1 절단 장치(15A)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제1 회수 장치(100A)와, 제1 회수 장치(100A)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제1 선회 장치(18)를 구비하고 있다.

또한, 필름 접합 시스템(1)은 하류측 컨베이어(7)의 반입단보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제2 집진 장치(16)와, 제2 집진 장치(16)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제2 접합 장치(17)와, 제2 접합 장치(17)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제2 반전 장치(14B)와, 제2 반전 장치(14B)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제2 절단 장치(15B)와, 제2 절단 장치(15B)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제2 회수 장치(100B)와, 제2 회수 장치(100B)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 제2 선회 장치(19)와, 제2 선회 장치(19)보다도 패널 반송 하류측에 배치되는 결함 검사 장치(21)를 구비하고 있다.

제1 흡착 장치(11)는 액정 패널(P)을 보유 지지하여 상하 방향 및 수평 방향으로 이동 가능하게 액정 패널(P)의 얼라인먼트를 행하는 패널 보유 지지부(11a)와, 패널 보유 지지부(11a)에 설치되어 액정 패널(P)의 얼라인먼트를 가능하게 하는 얼라인먼트 카메라(11b)를 갖는다.

패널 보유 지지부(11a)는 전단 공정의 반출단으로 반송된 액정 패널(P)을 흡착 테이블(25)의 흡착 패드(26)로 진공 흡착에 의해 흡착 보유 지지하고, 흡착 보유 지지된 상태에서 상류측 컨베이어(6)의 반입단으로 반송하고, 반송이 종료되면 액정 패널(P)의 흡착 상태를 해제하여 액정 패널(P)을 상류측 컨베이어(6)의 반입단으로 전달한다.

얼라인먼트 카메라(11b)는, 패널 보유 지지부(11a)가 보유 지지한 액정 패널(P)을 상류측 컨베이어(6) 상에 적재할 때, 액정 패널(P)의 얼라인먼트 마크나 선단 형상 등을 촬영한다.

얼라인먼트 카메라(11b)에 의한 촬상 데이터는 제어 장치에 송신되고, 이 촬상 데이터에 기초하여 패널 보유 지지부(11a)가 작동하여 상류측 컨베이어(6)에 대한 액정 패널(P)의 얼라인먼트가 행해진다. 이때, 액정 패널(P)은, 상류측 컨베이어(6)에 대해 반송 방향과 직교하는 방향, 즉 상류측 컨베이어(6)의 폭 방향의 소정의 위치이며, 액정 패널(P)의 수직 축 주위의 선회 방향에서 위치 결정된다.

제1 집진 장치(12)는 제1 접합 장치(13)의 접합 위치에 근접하여 접합 위치의 패널 반송 상류측에 설치되고, 접합 위치에 도입되기 직전의 액정 패널(P)의 하면측의 정전기의 제거 및 집진을 행한다.

제1 접합 장치(13)는 접합 위치에 도입된 액정 패널(P)의 하면에 대해 소정 사이즈로 커트한 접합 시트(F5)의 접합을 행한다.

제1 접합 장치(13)는 제1 광학 부재 시트(F1)가 권회된 원반 롤(R1)로부터 제1 광학 부재 시트(F1)를 권출하면서 제1 광학 부재 시트(F1)를 제1 광학 부재 시트(F1)의 길이 방향을 따라 반송하는 반송 장치(22)와, 반송 장치(22)가 제1 광학 부재 시트(F1)로부터 분리시킨 소정 길이의 접합 시트(F5)를 상류측 컨베이어(6)에 의해 반송되는 액정 패널(P)의 하면에 접합하는 협지 가압 롤(23)을 구비하고 있다.

반송 장치(22)는 세퍼레이터 시트(F3a)를 캐리어로 하여 접합 시트(F5)를 반송한다. 반송 장치(22)는 제1 광학 부재 시트(F1)를 제1 광학 부재 시트(F1)의 길이 방향을 따라 조출하는 롤 보유 지지부(22a)와, 원반 롤(R1)로부터 권출한 제1 광학 부재 시트(F1)를 소정의 반송 경로를 따라 안내하기 위해 제1 광학 부재 시트(F1)를 권취하는 복수의 가이드 롤러(22b)와, 반송 경로상의 제1 광학 부재 시트(F1)에 하프컷을 실시하는 커트부(22c)와, 하프컷을 실시한 제1 광학 부재 시트(F1)를 예각으로 권취하여 세퍼레이터 시트(F3a)로부터 접합 시트(F5)를 박리시키면서 접합 시트(F5)를 접합 위치에 공급하는 나이프 에지(22d)와, 나이프 에지(22d)를 거쳐 단독으로 된 세퍼레이터 시트(F3a)를 권취하는 세퍼레이터 롤(R2)을 보유 지지하는 권취부(22e)를 갖는다.

제1 광학 부재 시트(F1)는, 제1 광학 부재 시트(F1)의 반송 방향과 직교하는 수평 방향(시트 폭 방향)에서, 액정 패널(P)의 표시 영역(P4)의 폭[표시 영역(P4)의 긴 변과 짧은 변 중 어느 한쪽의 변의 길이, 본 실시 형태에서는 표시 영역(P4)의 긴 변 길이에 상당]보다도 넓은 폭을 갖고 있다.

반송 장치(22)의 반입단에 위치하는 롤 보유 지지부(22a)와 반송 장치(22)의 반출단에 위치하는 권취부(22e)는 서로 동기하여 구동한다. 이에 의해, 롤 보유 지지부(22a)가 제1 광학 부재 시트(F1)를 제1 광학 부재 시트(F1)의 반송 방향으로 조출하면서, 권취부(22e)가 나이프 에지(22d)를 거친 세퍼레이터 시트(F3a)를 권취한다. 이하, 반송 장치(22)에 있어서의 제1 광학 부재 시트(F1)[세퍼레이터 시트(F3a)]의 반송 방향 상류측을 시트 반송 상류측, 반송 방향 하류측을 시트 반송 하류측이라고 한다.

각 가이드 롤러(22b)는 반송 중인 제1 광학 부재 시트(F1)의 진행 방향을 반송 경로를 따라 변화시킴과 함께, 복수의 가이드 롤러(22b)의 적어도 일부가 반송 중인 제1 광학 부재 시트(F1)의 텐션을 조정하도록 가동한다.

커트부(22c)는 제1 광학 부재 시트(F1)가 시트 폭 방향과 직교하는 길이 방향에서 표시 영역(P4)의 길이[표시 영역(P4)의 긴 변과 짧은 변 중 어느 다른 쪽의 변의 길이, 본 실시 형태에서는 표시 영역(P4)의 짧은 변 길이에 상당]보다도 긴 길이가 조출될 때마다, 시트 폭 방향을 따라 전체 폭에 걸쳐, 제1 광학 부재 시트(F1)의 두께 방향의 일부를 절단하는 하프컷을 행한다. 이에 의해, 제1 광학 부재 시트(F1)로부터 액정 패널(P)의 표시 영역(P4)보다도 큰 접합 시트(F5)의 시트편[제1 시트편(F1m)]이 잘라내진다.

하프컷은, 제1 광학 부재 시트(F1)의 반송 중에 작용하는 텐션에 의해 제1 광학 부재 시트(F1)[세퍼레이터 시트(F3a)]가 파단되지 않고 세퍼레이터 시트(F3a)가 소정의 두께만 남도록, 절단 날의 진퇴 위치를 조정하고, 점착층(F2)과 세퍼레이터 시트(F3a)와의 경계면의 근방까지 절입부를 형성한다. 또한, 절단 날 대신에 레이저 장치를 사용해도 된다.

하프컷 후의 제1 광학 부재 시트(F1)에는, 제1 광학 부재 시트(F1)의 폭 방향의 전체 폭에 걸쳐, 두께 방향에서 광학 부재 본체(F1a) 및 표면 보호 필름(F4a)이 절단된 절입선이 형성된다. 절입선은, 띠 형상의 제1 광학 부재 시트(F1)의 길이 방향에서 표시 영역(P4)의 짧은 변 길이 상당의 길이를 갖는 간격으로 형성된다. 제1 광학 부재 시트(F1)는, 복수의 절입선에 의해 길이 방향에서 복수의 구획으로 나뉘어진다. 제1 광학 부재 시트(F1)의 길이 방향에서 인접하는 한 쌍의 절입선 사이에 끼워지는 구획 부분 각각이, 접합 시트(F5)에 있어서의 하나의 시트편[제1 시트편(F1m)]으로 된다.

나이프 에지(22d)는 상류측 컨베이어(6)의 하방에 배치되어 제1 광학 부재 시트(F1)의 폭 방향에서 적어도 제1 광학 부재 시트(F1)의 전체 폭에 걸쳐 연장된다. 나이프 에지(22d)에는, 하프컷 후의 제1 광학 부재 시트(F1)의 세퍼레이터 시트(F3a)측이 미끄럼 접촉하도록 권취된다.

제1 광학 부재 시트(F1)는, 나이프 에지(22d)의 선단부에서 예각으로 절곡되도록 하여 진행 방향이 변화될 때에, 제1 시트편(F1m)으로부터 세퍼레이터 시트(F3a)를 박리시킨다. 나이프 에지(22d)의 선단부는, 협지 가압 롤(23)의 패널 반송 하류측에 근접 배치된다. 나이프 에지(22d)에 의해 세퍼레이터 시트(F3a)로부터 박리된 제1 시트편(F1m)은, 상류측 컨베이어(6)에 의해 반송되는 액정 패널(P)의 하면에 겹치면서, 협지 가압 롤(23)의 한 쌍의 접합 롤러(23a) 사이에 도입된다.

협지 가압 롤(23)은 서로 축방향을 평행하게 하여 배치된 한 쌍의 접합 롤러(23a)를 갖는다. 한 쌍의 접합 롤러(23a) 사이에는 소정의 간극이 형성되고, 이 간극의 위치가 제1 접합 장치(13)의 접합 위치로 된다. 한 쌍의 접합 롤러(23a)의 간극에, 액정 패널(P) 및 제1 시트편(F1m)이 서로 겹쳐 도입되고, 이들 액정 패널(P) 및 제1 시트편(F1m)이, 한 쌍의 접합 롤러(23a)에 협지 가압되면서 패널 반송 하류측으로 송출된다. 이에 의해, 액정 패널(P)의 하면에 제1 시트편(F1m)이 일체적으로 접합되어, 제1 광학 부재 접합체(PA1)로 된다.

제1 반전 장치(14A)는, 제1 광학 부재 접합체(PA1)를 제1 절단 장치(15A)의 절단 위치로 반송함과 함께, 이 반송 시에 제1 광학 부재 접합체(PA1)의 표리를 반전하고, 액정 패널(P)의 제1 시트편(F1m)이 접합된 면을 상면으로 한 상태에서 제1 절단 장치(15A)에 전달한다.

또한, 필름 접합 시스템(1)은 제1 검출 장치(41)(도 22 참조)를 구비한다. 제1 검출 장치(41)는 반전 장치(14A)보다도 패널 반송 하류측에 설치된다. 제1 검출 장치(41)는 액정 패널(P)과 제1 시트편(F1m)과의 접합면[이하, 제1 접합면(SA1)이라고 칭하는 경우가 있음]의 단연을 검출한다.

제1 검출 장치(41)는, 예를 들어 도 21에 도시한 바와 같이, 상류측 컨베이어(6)의 반송 경로 상에 설치된 4개소의 검사 영역(CA)에 있어서 제1 접합면(SA1)의 단연(ED)(접합면의 외주연)을 검출한다. 각 검사 영역(CA)은, 직사각형 형상을 갖는 제1 접합면(SA1)의 4개의 코너부에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 단연(ED)은, 라인상으로 반송되는 액정 패널(P)마다 검출된다. 제1 검출 장치(41)에 의해 검출된 단연(ED)의 데이터는, 도시하지 않은 기억부에 기억된다.

또한, 검사 영역(CA)의 배치 위치는 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 각 검사 영역(CA)이, 제1 접합면(SA1)의 각 변의 일부(예를 들어 각 변의 중앙부)에 대응하는 위치에 배치되어 있어도 된다.

도 22는 제1 검출 장치(41)의 모식도이다.

도 22에 도시한 바와 같이, 제1 검출 장치(41)는 단연(ED)을 조명하는 조명 광원(44)과, 제1 접합면(SA1)의 법선 방향에 대해 단연(ED)보다도 제1 접합면(SA1)의 내측으로 경사진 자세로 배치되고, 제1 광학 부재 접합체(PA1)의 제1 시트편(F1m)이 접합된 측으로부터 단연(ED)의 화상을 촬상하는 촬상 장치(43)를 구비하고 있다.

조명 광원(44)과 촬상 장치(43)는, 도 21에서 도시한 4개소의 검사 영역(CA)[제1 접합면(SA1)의 4개의 코너부에 대응하는 위치]에 각각 배치되어 있다.

제1 접합면(SA1)의 법선과 촬상 장치(43)의 촬상면(43a)의 법선이 이루는 각도(θ)[이하, 촬상 장치(43)의 경사 각도(θ)라고 칭함]는 촬상 장치(43)의 촬상 시야 내에 패널 분단 시의 어긋남이나 버어 등이 인입되지 않도록 설정할 수 있다. 예를 들어, 제2 기판(P2)의 단부면이 제1 기판(P1)의 단부면보다도 외측으로 어긋나 있는 경우, 촬상 장치(43)의 경사 각도(θ)는, 촬상 장치(43)의 촬상 시야 내에 제2 기판(P2)의 단연이 인입되지 않도록 설정한다.

촬상 장치(43)의 경사 각도(θ)는, 제1 접합면(SA1)과 촬상 장치(43)의 촬상면(43a)의 중심과의 사이의 거리(H)[이하, 촬상 장치(43)의 높이(H)라고 칭함]에 적합하도록 설정할 수 있다. 예를 들어, 촬상 장치(43)의 높이(H)가 50㎜ 이상 100㎜ 이하인 경우, 촬상 장치(43)의 경사 각도(θ)는, 5°이상 20°이하의 범위의 각도로 설정할 수 있다. 단, 경험적으로 어긋남량을 알고 있는 경우에는, 그 어긋남량에 기초하여 촬상 장치(43)의 높이(H) 및 촬상 장치(43)의 경사 각도(θ)를 구할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 촬상 장치(43)의 높이(H)가 78㎜, 촬상 장치(43)의 경사 각도(θ)가 10°로 설정되어 있다.

조명 광원(44)과 촬상 장치(43)는, 각 검사 영역(CA)에 고정하여 배치되어 있다.

또한, 조명 광원(44)과 촬상 장치(43)는, 제1 접합면(SA1)의 단연(ED)을 따라 이동 가능하게 배치되어 있어도 된다. 이 경우, 조명 광원(44)과 촬상 장치(43)가 각각 1개씩 설치되어 있으면 된다. 또한, 이에 의해, 조명 광원(44)과 촬상 장치(43)를 제1 접합면(SA1)의 단연(ED)을 촬상하기 쉬운 위치로 이동시킬 수 있다.

조명 광원(44)은 제1 광학 부재 접합체(PA1)의 제1 시트편(F1m)이 접합된 측과는 반대측에 배치되어 있다. 조명 광원(44)은 제1 접합면(SA1)의 법선 방향에 대해 단연(ED)보다도 제1 접합면(SA1)의 외측으로 경사진 자세로 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 조명 광원(44)의 광축과 촬상 장치(43)의 촬상면(43a)의 법선이 평행하게 되어 있다.

또한, 조명 광원은, 제1 광학 부재 접합체(PA1)의 제1 시트편(F1m)이 접합된 측에 배치되어 있어도 된다.

또한, 조명 광원(44)의 광축과 촬상 장치(43)의 촬상면(43a)의 법선이 약간 비스듬히 교차하고 있어도 된다.

또한, 도 23에 도시한 바와 같이, 촬상 장치(43) 및 조명 광원(44)의 각각이, 제1 접합면(SA1)의 법선 방향을 따라 단연(ED)에 겹치는 위치에 배치되어 있어도 된다. 제1 접합면(SA1)과 촬상 장치(43)의 촬상면(43a)의 중심과의 사이의 거리(H1)[이하, 촬상 장치(43)의 높이(H1)라고 칭함]는 제1 접합면(SA1)의 단연(ED)을 검출하기 쉬운 위치에 설정할 수 있다. 예를 들어, 촬상 장치(43)의 높이(H1)은, 50㎜ 이상 150㎜ 이하의 범위로 설정할 수 있다.

제1 시트편(F1m)의 커트 위치는, 제1 접합면(SA1)의 단연(ED)의 검출 결과에 기초하여 조정된다. 제어부(도시하지 않음)는 기억부에 기억된 제1 접합면(SA1)의 단연(ED)의 데이터를 취득하고, 제1 광학 부재(F11)가 액정 패널(P)의 외측[제1 접합면(SA1)의 외측]으로 돌출되지 않는 크기로 되도록 제1 시트편(F1m)의 커트 위치를 결정한다. 제1 절단 장치(15A)는, 제어부에 의해 결정된 커트 위치에 있어서 제1 시트편(F1m)을 절단한다.

다시 도 12에서, 제1 절단 장치(15A)는, 제1 검출 장치(41)보다도 패널 반송 하류측에 설치되어 있다. 제1 절단 장치(15A)는, 액정 패널(P)에 접합된 제1 시트편(F1m) 중 제1 접합면(SA1)에 대응하는 제1 영역으로부터, 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리하고, 제1 접합면(SA1)에 대응하는 크기의 제1 광학 부재(F11)(도 14 참조)를 형성한다.

여기서, 「제1 접합면(SA1)에 대응하는 크기」라 함은, 액정 패널(P)의 표시 영역(P4)의 크기 이상, 액정 패널(P)의 외형상(평면에서 볼 때의 윤곽 형상)의 크기 이하의 크기를 가리킨다.

제1 절단 장치(15A)에 의해 제1 광학 부재 접합체(PA1)로부터 제1 시트편(F1m)의 제2 영역이 분리됨으로써, 액정 패널(P)의 표리 한쪽의 면에 제1 광학 부재(F11)가 접합되어 구성되는 제2 광학 부재 접합체(PA2)가 형성된다. 이때, 제2 광학 부재 접합체(PA2)와, 제1 접합면(SA1)에 대응하는 부분[제1 광학 부재(F11)]이 절취되어, 프레임 형상으로 남는 제1 시트편(F1m)의 잉여 부분이 분리된다.

여기서, 「제1 접합면(SA1)에 대응하는 부분」이라 함은, 표시 영역(P4)의 크기 이상, 액정 패널(P)의 외형상의 크기 이하의 영역이고, 또한 전기 부품 설치부 등의 기능 부분을 피한 영역을 나타낸다. 본 실시 형태에서는, 평면에서 볼 때 직사각 형상의 액정 패널(P)에 있어서의 기능 부분을 제외한 3변에서는, 액정 패널(P)의 외주연을 따라 잉여 부분을 레이저 커트하고, 기능 부분에 상당하는 1변에서는, 액정 패널(P)의 외주연으로부터 표시 영역(P4)측으로 적절히 인입된 위치에서 잉여 부분을 레이저 커트하고 있다. 예를 들어, 제1 접합면(SA1)에 대응하는 부분이 TFT(Thin Film Transistor) 기판의 접합면의 경우, 기능 부분에 상당하는 1변에서는 기능 부분을 제외하도록 액정 패널(P)의 외주연으로부터 표시 영역(P4)측으로 소정량 어긋난 위치에서 커트된다.

제1 회수 장치(100A)는, 도 1에 도시한 박리 장치(100)와 동일한 구성이며, 제2 광학 부재 접합체(PA2)를 흡착하는 흡착면(110s)을 갖는 흡착 테이블(110)과, 제1 시트편(F1m)의 제2 영역을 척 가능한 척부(120)와, 척부(120)에 의해 제1 시트편(F1m)의 제2 영역이 척된 상태에서 척부(120)와 흡착 테이블(110)을 흡착면(110s)의 법선 방향으로 상대 이동시킴으로써, 제1 시트편(F1m)의 제2 영역을 시트편(F1m)의 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치(140)를 구비하고 있다.

본 실시 형태의 이동 장치(140)는 제1 시트편(F1m)의 제2 영역을 제2 방향(V2)(도 10 참조)을 따라 상방으로 이동시켜 제1 시트편(F1m)의 제1 영역으로부터 박리시킨다.

흡착 테이블(110)은 상류측 컨베이어(6)의 하방에 배치되어 있다. 제1 회수 장치(100A)는, 제1 시트편(F1m)으로부터 분리된 제2 영역을 제1 시트편(F1m)의 코너부에 대응하는 부분으로부터 박리하여 회수한다.

이 회수 처리 후, 흡착 테이블(110)은 제2 광학 부재 접합체(PA2)를 제1 선회 장치(18)의 방향으로 이동한다.

제1 선회 장치(18)는 제1 절단 장치(15A)를 거쳐 상류측 컨베이어(6)의 반출단에 도달한 제2 광학 부재 접합체(PA2)를 흡착 또는 협지함으로써 보유 지지하고, 표시 영역(P4)의 짧은 변을 반송 방향을 따르도록 하여 반송되어 있었던 제2 광학 부재 접합체(PA2)를 표시 영역(P4)의 긴 변을 따르는 방향으로 반송되도록 선회시킨다.

제2 광학 부재 접합체(PA2)는, 제1 선회 장치(18)에 의해 선회 동작을 행함으로써, 액정 패널(P)의 표리면에 접합되는 각 편광 필름의 편광 축이 서로 직각으로 된다.

따라서, 상류측 컨베이어(6) 및 하류측 컨베이어(7)는 모두 도면의 우측으로부터 좌측으로 향하는 방향을 액정 패널(P)의 반송 방향으로 하지만, 제1 선회 장치(18)를 경유함으로써, 상류측 컨베이어(6) 및 하류측 컨베이어(7)가 평면에서 볼 때 폭 방향으로 소정량 오프셋한다.

제1 선회 장치(18)는 제1 흡착 장치(11)의 얼라인먼트 카메라(11b)와 동일한 얼라인먼트 카메라(18c)를 구비하고 있고, 제1 흡착 장치(11)의 패널 보유 지지부(11a)와 동일한 얼라인먼트 기능을 갖고 있다.

제2 집진 장치(16)는 제2 접합 장치(17)의 접합 위치에 근접하여 접합 위치의 패널 반송 상류측에 설치되고, 접합 위치에 도입되기 직전의 제2 광학 부재 접합체(PA2)의 하면측의 정전기의 제거 및 집진을 행한다.

제2 접합 장치(17)는 접합 위치에 도입된 제2 광학 부재 접합체(PA2)의 하면에 대해, 소정 사이즈로 커트한 접합 시트(F5)의 접합을 행한다. 제2 접합 장치(17)는 제1 접합 장치(13)와 동일한 반송 장치(22) 및 협지 가압 롤(23)을 구비하고 있다.

제2 접합 장치(17)의 커트부(22c)는 제2 접합 장치(17)에서 사용하는 제2 광학 부재 시트(F2)가 시트 폭 방향과 직교하는 길이 방향에서 표시 영역(P4)의 길이[표시 영역(P4)의 긴 변과 짧은 변 중 어느 다른 쪽의 변의 길이, 본 실시 형태에서는 표시 영역(P4)의 긴 변 길이에 상당]보다도 긴 길이가 조출될 때마다, 시트 폭 방향을 따라 전체 폭에 걸쳐, 제2 광학 부재 시트(F2)에 대해 하프컷을 실시하고, 띠 형상의 제2 광학 부재 시트(F2)의 길이 방향에서 배열되는 복수의 절입선을 형성한다. 절입선은, 띠 형상의 제2 광학 부재 시트(F2)의 길이 방향에서 표시 영역(P4)의 긴 변 길이 상당의 길이를 갖는 간격으로 형성된다. 제2 광학 부재 시트(F2)는, 복수의 절입선에 의해 길이 방향에서 복수의 구획으로 나뉘어진다. 제2 광학 부재 시트(F2)의 길이 방향에서 인접하는 한 쌍의 절입선 사이에 끼워지는 구획 부분 각각이, 접합 시트(F5)에 있어서의 하나의 시트편[제2 시트편(F2m)]으로 된다.

협지 가압 롤(23)은 서로 축방향을 평행하게 하여 배치되는 한 쌍의 접합 롤러(23a)를 갖고, 한 쌍의 접합 롤러(23a) 사이에는 소정의 간극이 형성되고, 이 간극의 위치가 제2 접합 장치(17)의 접합 위치로 된다. 간극 내에는, 제2 광학 부재 접합체(PA2) 및 제2 시트편(F2m)이 서로 겹친 상태에서 도입되고, 이들 제2 광학 부재 접합체(PA2) 및 제2 시트편(F2m)이, 한 쌍의 접합 롤러(23a)에 협지 가압되면서 패널 반송 하류측으로 송출된다. 이에 의해, 제2 광학 부재 접합체(PA2)의 표리 다른 쪽의 면[제2 광학 부재 접합체(PA2)의 제1 광학 부재(F11)가 접합된 면과는 반대측의 면]에 제2 시트편(F2m)이 일체적으로 접합되고, 제3 광학 부재 접합체(PA3)로 된다.

제2 반전 장치(14B)는, 제3 광학 부재 접합체(PA3)를 제2 절단 장치(15B)의 절단 위치로 반송함과 함께, 이 반송 시에 제3 광학 부재 접합체(PA3)의 표리를 반전하고, 액정 패널(P)의 제2 시트편(F2m)이 접합된 면을 상면으로 한 상태에서 제2 절단 장치(15B)에 전달한다.

또한, 필름 접합 시스템(1)은 제2 검출 장치(42)(도 22 참조)를 구비한다. 제2 검출 장치(42)는 제2 반전 장치(14B)보다도 패널 반송 하류측에 설치되어 있다. 제2 검출 장치(42)는 액정 패널(P)과 제2 시트편(F2m)과의 접합면(이하, 제2 접합면이라고 칭하는 경우가 있음)의 단연을 검출한다. 제2 검출 장치(42)에 의해 검출된 단연의 데이터는, 도시하지 않은 기억부에 기억된다.

제2 시트편(F2m)의 커트 위치는, 제2 접합면의 단연의 검출 결과에 기초하여 조정된다. 제어부(도시하지 않음)는 기억부에 기억된 제2 접합면의 단연의 데이터를 취득하고, 제2 광학 부재(F12)가 액정 패널(P)의 외측(제2 접합면의 외측)으로 돌출되지 않는 크기로 되도록 제2 시트편(F2m)의 커트 위치를 결정한다. 제2 절단 장치(15B)는, 제어부에 의해 결정된 커트 위치에 있어서 제2 시트편(F2m)을 절단한다.

제2 절단 장치(15B)는, 제2 검출 장치(42)보다도 패널 반송 하류측에 설치되어 있다.

제2 절단 장치(15B)는, 제3 광학 부재 접합체(PA3)에 접합된 제2 시트편(F2m) 중, 제2 접합면에 대응하는 제1 영역으로부터, 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리하고, 제2 접합면에 대응하는 크기의 제2 광학 부재(F12)(도 14 참조)를 형성한다.

여기서, 「제2 접합면에 대응하는 크기」라 함은, 액정 패널(P)의 표시 영역(P4)의 크기 이상, 액정 패널(P)의 외형상(평면에서 볼 때의 윤곽 형상)의 크기 이하의 크기를 가리킨다.

제2 절단 장치(15B)에 의해 제3 광학 부재 접합체(PA3)로부터 제2 시트편(F2m)의 제2 영역이 분리됨으로써, 액정 패널(P)의 표리 다른 쪽의 면에 제2 광학 부재(F12)가 접합되고, 또한 액정 패널(P)의 표리 한쪽의 면에 제1 광학 부재(F11)가 접합되어 구성되는 제4 광학 부재 접합체(PA4)가 형성된다. 이때, 제4 광학 부재 접합체(PA4)와, 제2 접합면에 대응하는 부분[제2 광학 부재(F12)]이 절취되어 프레임 형상으로 남는 제2 시트편(F2m)의 잉여 부분이 분리된다.

여기서, 「제2 접합면에 대응하는 부분」이라 함은, 표시 영역(P4)의 크기 이상, 액정 패널(P)의 외형상의 크기 이하의 영역이고, 또한 전기 부품 설치부 등의 기능 부분을 피한 영역을 나타낸다. 본 실시 형태에서는, 평면에서 볼 때 직사각 형상의 액정 패널(P)에 있어서의 4변에 있어서, 액정 패널(P)의 외주연을 따라 잉여 부분을 레이저 커트하고 있다. 예를 들어, 제2 접합면에 대응하는 부분이 CF(Color Filter) 기판의 접합면의 경우, 기능 부분에 상당하는 부분이 없기 때문에, 액정 패널(P)의 4변에 있어서 액정 패널(P)의 외주연을 따라 커트된다.

본 실시 형태에 있어서, 제1 절단 장치(15A)는, 제1 검출 장치(41)가 검출한 액정 패널(P)과 제1 시트편(F1m)과의 접합면[제1 접합면(SA1)]의 외주연을 따라, 제1 시트편(F1m)을 절단한다. 제2 절단 장치(15B)는, 제2 검출 장치(42)가 검출한 액정 패널(P)과 제2 시트편(F2m)과의 접합면(제2 접합면)의 외주연을 따라, 제2 시트편(F2m)을 절단한다.

여기서, 제1 절단 장치(15A) 및 제2 절단 장치(15B)는, 예를 들어 CO₂ 레이저 커터이다. 제1 절단 장치(15A), 제2 절단 장치(15B)[이하, 절단 장치(15)라고 총칭하는 경우가 있음]에 의해, 제1 시트편(F1m), 제2 시트편(F2m) 중 접합면에 대응하는 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리하고, 접합면에 대응하는 크기의 제1 광학 부재(F11), 제2 광학 부재(F12)를 형성한다.

절단 장치(15)는 제1 검출 장치(41), 제2 검출 장치(42)가 검출한 액정 패널(P)과 시트편(FXm)과의 접합면의 외주연을 따라, 시트편(FXm)을 무단 형상으로 절단한다. 표시 영역(P4)의 외측에는, 액정 패널(P)의 제1 기판(P1) 및 제2 기판(P2)을 접합하는 시일제 등을 배치하는 소정 폭의 액연부(G)(도 14 참조)가 설치되어 있고, 이 액연부(G)의 폭 내에서 절단 장치(15)에 의한 시트편(FXm)의 절단이 행해진다.

상기 실시 형태에서는, 절단 장치(15)의 일례로서 CO₂ 레이저를 사용하였지만, 절단 장치(15)는 이것으로 한정되지 않는다. 절단 날 등의 다른 절단 수단을 절단 장치(15)로서 사용하는 것도 가능하다.

제2 회수 장치(100B)는, 도 1에 도시한 박리 장치(100)와 동일한 구성이며, 제4 광학 부재 접합체(PA4)를 흡착하는 흡착면(110s)을 갖는 흡착 테이블(110)과, 제1 시트편(F1m)의 제2 영역을 척 가능한 척부(120)와, 척부(120)에 의해 제2 시트편(F2m)의 제2 영역이 척된 상태에서 척부(120)와 흡착 테이블(110)을 흡착면(110s)의 법선 방향으로 상대 이동시킴으로써, 제2 시트편(F2m)의 제2 영역을 제2 시트편(F2m)의 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치(140)를 구비하고 있다. 본 실시 형태의 이동 장치(140)는 제2 시트편(F2m)의 제2 영역을 제2 방향(V2)(도 10 참조)을 따라 상방으로 이동시켜 제2 시트편(F2m)의 제1 영역으로부터 박리시킨다.

흡착 테이블(110)은 하류측 컨베이어(7)의 하방에 배치되어 있다. 제2 회수 장치(100B)는, 제2 시트편(F2m)으로부터 분리된 제2 영역을 제2 시트편(F2m)의 코너부에 대응하는 부분으로부터 박리하여 회수한다.

이 회수 처리 후, 흡착 테이블(110)은 제4 광학 부재 접합체(PA4)를 제2 선회 장치(19)의 방향으로 이동한다.

제2 선회 장치(19)는 표시 영역(P4)의 긴 변을 반송 방향을 따르도록 하여 반송되어 있었던 제4 광학 부재 접합체(PA4)를 표시 영역(P4)의 짧은 변을 따르는 방향으로 반송되도록 선회시킨다.

결함 검사 장치(21)는 제2 선회 장치(19)를 거쳐 표시면측을 상향으로 한 제4 광학 부재 접합체(PA4)를, 제4 광학 부재 접합체(PA4)의 하면측(백라이트측)으로부터 광을 비추어 상면측(표시면측)으로부터 카메라(21a)로 촬상하고, 이 촬상 데이터에 기초하여 제4 광학 부재 접합체(PA4)의 결함(접합 불량 등)의 유무를 검사한다.

이하, 도 16을 참조하여, 본 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템(1)을 사용한 필름 접합 프로세스에 대해 설명한다.

도 16은 본 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템(1)을 사용한 필름 접합 프로세스의 흐름도이다.

또한, 본 필름 접합 프로세스에서는, 액정 패널의 백라이트측 및 표시면측의 양면에는, 편광 필름[상술한 제1 광학 부재(F11) 및 제2 광학 부재(F12)에 상당]이 각각 접합된다. 또한, 액정 패널의 백라이트측의 면에는, 제1 광학 부재(F11)에 겹쳐 휘도 향상 필름(APF:Advanced Polarizing Film)으로서의 제3 광학 부재가 접합된다.

우선, 도 16에 나타내는 바와 같이, 편광 필름용의 광학 부재 시트가 권회된 원반 롤을 준비한다(도 16에 나타내는 스텝 S1).

이어서, 광학 부재 시트의 두께 방향의 일부를 절단하는 하프컷을 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S2).

이에 의해, 광학 부재 시트로부터 액정 패널의 표시 영역보다도 큰 접합 시트의 시트편[제1 시트편(F1m) 및 제2 시트편(F2m)에 상당]이 잘라내진다(도 16에 나타내는 스텝 S3).

한편, 휘도 향상 필름용의 광학 부재 시트가 권회된 원반 롤을 준비한다(도 16에 나타내는 스텝 S4).

이어서, 광학 부재 시트의 두께 방향의 일부를 절단하는 하프컷을 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S5).

이에 의해, 광학 부재 시트로부터 액정 패널의 표시 영역보다도 큰 접합 시트의 시트편(제3 시트편에 상당)이 잘라내진다(도 16에 나타내는 스텝 S6).

한편, 액정 패널을 준비한다(도 16에 나타내는 스텝 S7).

이어서, 액정 패널을 세정한다(도 16에 나타내는 스텝 S8). 예를 들어, 액정 패널의 표면을 연마하는 등으로 하여, 액정 패널의 표면에 부착된 이물질을 제거한다.

이어서, 액정 패널의 하면에 대해 소정 사이즈로 커트한 시트편[제1 시트편(F1m)에 상당]의 접합을 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S9). 이에 의해, 액정 패널(P)의 하면에 시트편이 일체적으로 접합되어, 접합체[제1 광학 부재 접합체(PA1)에 상당]로 된다.

이어서, 접합체의 표리를 반전한다(도 16에 나타내는 스텝 S10). 이에 의해, 액정 패널의 시트편이 접합된 면을 상면으로 한다.

이어서, 시트편이 접합된 액정 패널과 시트편과의 접합면의 외주연을 검출한다.

이어서, 접합한 시트편을 접합면의 외주연을 따라 절단하는 윈도우 커트를 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S11). 구체적으로는, 액정 패널에 접합된 시트편 중 접합면과 대향하는 제1 영역으로부터, 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리하고, 접합면에 대응하는 크기의 편광 필름[제1 광학 부재(F11)에 상당]을 형성한다. 이에 의해, 액정 패널의 표리 한쪽의 면에 편광 필름이 접합되어 구성되는 접합체[제2 광학 부재 접합체(PA2)에 상당]가 형성된다.

이어서, 시트편으로부터 분리된 제2 영역을 시트편의 제1 영역으로부터 박리하여 회수한다(도 16에 나타내는 스텝 S12).

이어서, 액정 패널에 대한 시트편의 접합 편차(위치 어긋남)를 검사한다(도 16에 나타내는 스텝 S13).

이어서, 편광 필름으로부터 표면 보호 필름을 박리한다(도 16에 나타내는 스텝 S14).

이어서, 접합체를 선회(90°회전)시킨다(도 16에 나타내는 스텝 S15). 예를 들어, 표시 영역의 짧은 변을 반송 방향을 따르도록 하여 반송되어 있었던 접합체를 표시 영역의 긴 변을 따르는 방향으로 반송되도록 선회시킨다. 이에 의해, 액정 패널의 표리면에 접합되는 각 편광 필름의 편광 축이 서로 직각으로 된다.

이어서, 접합체의 하면[제2 광학 부재 접합체(PA2)의 편광 필름이 접합된 면과는 반대측의 면]에 대해, 소정 사이즈로 커트한 시트편[제2 시트편(F2m)에 상당]의 접합을 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S16). 이에 의해, 접합체의 하면에 시트편이 일체적으로 접합되어, 접합체[제3 광학 부재 접합체(PA3)에 상당]로 된다.

이어서, 접합체의 하면[제3 광학 부재 접합체(PA3)의 편광 필름이 접합된 면]에 대해, 소정 사이즈로 커트한 시트편(제3 시트편에 상당)의 접합을 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S17).

이어서, 접합체의 표리를 반전한다(도 16에 나타내는 스텝 S18). 이에 의해, 접합체의 제3 시트편이 접합된 면을 상면으로 한다.

이어서, 접합한 시트편을 접합면의 외주연을 따라 절단하는 윈도우 커트를 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S19). 구체적으로는, 접합체에 접합된 시트편 중 접합면과 대향하는 제1 영역으로부터, 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리하고, 접합면에 대응하는 크기의 편광 필름[제2 광학 부재(F12)에 상당] 및 접합면에 대응하는 크기의 휘도 향상 필름(제3 광학 부재에 상당)을 형성한다.

이어서, 시트편으로부터 분리된 제2 영역을 시트편의 제1 영역으로부터 박리하여 회수한다(도 16에 나타내는 스텝 S20).

이어서, 액정 패널에 대한 시트편의 접합 편차(위치 어긋남)를 검사한다(도 16에 나타내는 스텝 S21).

이어서, 접합체에 대해 불량 검사를 행한다(도 16에 나타내는 스텝 S22). 예를 들어, AOI 검사(광학식 자동 외관 검사:Automatic Optical Inspection)에 의해 필름의 접합 불량의 유무 등의 검사를 행한다. NG 판정이 이루어진 접합체는, 도시하지 않은 불출(拂出) 수단에 의해 시스템 외부로 배출된다.

이에 의해, 액정 패널의 백라이트측 및 표시면측의 양면에 편광 필름이 각각 접합되고, 또한 액정 패널의 백라이트측의 면에 편광 필름에 겹쳐 휘도 향상 필름이 접합된 접합체가 얻어진다(도 16에 나타내는 스텝 S23).

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 필름 접합 시스템(1)에 의하면, 표시 영역(P4)보다도 큰 시트편(FXm)을 액정 패널(P)에 접합한 후에, 시트편(FXm)이 접합된 액정 패널(P)과 시트편(FXm)과의 접합면의 외주연을 검출하고, 액정 패널(P)에 접합된 시트편(FXm)으로부터 접합면에 대응하는 부분의 외측의 제2 영역을 분리함으로써, 접합면에 대응하는 크기의 광학 부재를 액정 패널(P)의 면 상에서 형성할 수 있다. 이에 의해, 광학 부재를 표시 영역(P4) 시까지 고정밀도로 설치할 수 있고, 표시 영역(P4) 외측의 액연부를 좁혀 표시 에어리어의 확대 및 기기의 소형화를 도모할 수 있다.

그리고, 시트편(FXm)으로부터 분리한 제2 영역을 회수할 때, 시트편(FXm)의 제2 영역을 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시켜 시트편(FXm)의 제1 영역으로부터 박리시킴으로써, 제1 영역으로부터 제2 영역을 약한 힘으로 박리시킬 수 있다. 따라서, 박리 시에 제2 영역의 일부가 찢어지는 것을 억제하고, 제2 영역의 박리를 중단시키지 않고 제2 영역을 제1 영역으로부터 도중에 끊어지지 않게 연속적으로 박리할 수 있다.

또한, 시트편(FXm)의 잉여 부분의 크기[액정 패널(P)의 외측으로 돌출되는 부분의 크기]는 액정 패널(P)의 사이즈에 따라 적절히 설정된다. 예를 들어, 시트편(FXm)을 5인치∼10인치의 중소형 사이즈의 액정 패널(P)에 적용하는 경우에는, 시트편(FXm)의 각 변에 있어서 시트편(FXm)의 1변과 액정 패널(P)의 1변과의 사이의 간격을 2㎜∼5㎜의 범위의 길이로 설정한다.

(제2 실시 형태)

이어서, 본 발명의 제2 실시 형태에 대해 도 17∼도 19를 이용하여 설명한다.

본 실시 형태의 필름 접합 시스템(201)은 시트편의 제1 영역으로부터 박리된 시트편의 제2 영역을 회수하는 회수부(260)를 더 포함하고, 이동 장치(240)가 시트편의 제2 영역을 회수부(260)로 이동시키는 점에서, 제1 실시 형태와 상이하다. 그 외의 제1 실시 형태와 동일 구성에는 동일 부호를 부여하고, 상세 설명은 생략한다.

도 17은 제2 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템(201)의 평면도이다.

도 18은 제2 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템(201)의 측면도이다.

도 17 및 도 18에 도시한 바와 같이, 이동 장치(240)는 선단부에 척부(120)가 형성된 아암부(241)와, 아암부(241)를 선회시키는 선회 기구(242)를 구비하고 있다. 선회 기구(242)는 아암부(241)를 선회 축(243)을 중심축으로 하여 회전 가능하다.

회수부(260)는 아암부(241)의 선회 축(243)을 사이에 두고 흡착 테이블(110)과 반대측에 배치되어 있다. 이동 장치(240)는 척부(120)에 의해 시트편의 제2 영역이 척된 상태에서 아암부(241)를 선회함으로써, 시트편의 제2 영역을 회수부(260)로 이동시킨다.

도 19는 시트편의 제2 영역의 회수 동작을 도시하는 설명도이다.

도 19의 상단은, 척부(120)에 의해 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척된 상태를 도시하는 평면도이다.

도 19의 하단은, 이동 장치(240)에 의해 시트편의 제2 영역이 회수부(260)로 이동된 상태를 도시하는 평면도이다.

도 19의 상단에 도시한 바와 같이, 척부(120)는 시트편(101)의 제2 영역(101s2) 중 시트편(101)의 제1 영역(101s1)의 인접하는 2개의 코너부에 대응하는 부분을 척한다. 제1 척부(121)는 시트편(101)의 제1 코너부(101a1)를 척한다. 제2 척부(122)는 시트편(101)의 제2 코너부(101a2)를 척한다.

이어서, 이동 장치(240)(도 17 및 도 18 참조)는 척부(120)에 의해 시트편(101)의 제2 영역(101s2)이 척된 상태에서 척부(120)를 제2 방향(V2)을 따라 상방으로 이동시킨다. 이에 의해, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 시트편(101)의 제1 영역(101s1)으로부터 박리시킨다.

이어서, 도 19의 하단에 도시한 바와 같이, 이동 장치(240)는 척부(120)에 의해 시트편의 제2 영역이 척된 상태에서 아암부(241)를 선회한다. 이에 의해, 시트편의 제2 영역을 회수부(260)로 이동시킨다.

이어서, 척부(120)에 의한 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 척이 해제된 상태로 하고, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 척부(120)로부터 이격시킨다. 이에 의해, 척부(120)로부터 이격된 시트편(101)의 제2 영역(101s2)은, 회수부(260)에 의해 회수된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 필름 접합 시스템(201)에 의하면, 이동 장치(240)에 의한 아암부(241)의 선회 동작에 의해, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 회수부(260)로 이동시킬 수 있다. 따라서, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 회수를 원활하게 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 이동 장치(240)가 아암부(241)와 선회 기구(242)를 구비하고 있는 예를 들어 설명하였지만, 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, 이동 장치는, 가이드 레일 및 액추에이터 등의 구동부를 구비하고 있어도 되고, 다양한 구성을 채용할 수 있다.

(제3 실시 형태)

이어서, 본 발명의 제3 실시 형태에 대해 도 20을 이용하여 설명한다.

본 실시 형태의 필름 접합 시스템(301)은 서로 평행한 2개의 라인(더블 라인)에서 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 회수 동작을 행하는 점에서, 제2 실시 형태와 상이하다. 그 외의 제2 실시 형태와 동일 구성에는 동일 부호를 부여하고, 상세 설명은 생략한다.

도 20은 제3 실시 형태에 따른 필름 접합 시스템(301)의 평면도이다.

도 20에 도시한 바와 같이, 필름 접합 시스템(301)은 액정 패널(P)을 흡착하여 보유 지지하는 2개의 흡착 테이블[예를 들어 본 실시 형태에서는 제1 흡착 테이블(110A) 및 제2 흡착 테이블(110B)]과, 시트편의 제1 영역으로부터 박리된 시트편의 제2 영역을 회수하는 2개의 회수부[예를 들어 본 실시 형태에서는 제1 회수부(260A) 및 제2 회수부(260B)]와, 시트편의 제2 영역을 제1 회수부(260A) 및 제2 회수부(260B)로 각각 이동시키는 2개의 이동 장치[예를 들어 본 실시 형태에서는 제1 이동 장치(240A) 및 제2 이동 장치(240B)]를 구비하고 있다.

제1 이동 장치(240A)는, 척부(120)에 의해 시트편의 제2 영역이 척된 상태에서 아암부(241)를 시계 반대 방향으로 선회함으로써, 시트편의 제2 영역을 제1 회수부(260A)로 이동시킨다.

제2 이동 장치(240B)는, 척부(120)에 의해 시트편의 제2 영역이 척된 상태에서 아암부(241)를 시계 방향으로 선회함으로써, 시트편의 제2 영역을 제2 회수부(260B)로 이동시킨다.

본 실시 형태의 필름 접합 시스템(201)에 의하면, 제1 이동 장치(240A) 및 제2 이동 장치(240B)에 의한 각각의 아암부(241)의 선회 동작에 의해, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)을 제1 회수부(260A) 및 제2 회수부(260B) 각각으로 이동시킬 수 있다. 따라서, 시트편(101)의 제2 영역(101s2)의 회수를 더블 라인에서 원활하게 행할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태의 필름 접합 시스템에서는, 검출 장치를 사용하여 복수의 액정 패널(P)마다 접합면의 외주연을 검출하고, 검출한 외주연에 기초하여, 개개의 액정 패널(P)마다 접합한 시트편의 절단 위치를 설정해도 된다. 이에 의해, 액정 패널(P)이나 시트편의 크기의 개체차에 의하지 않고 원하는 크기의 광학 부재를 분리할 수 있기 때문에, 액정 패널(P)이나 시트편의 크기의 개체차에 의한 품질 편차를 없애고, 표시 영역 주변의 액연부를 축소하여 표시 에어리어의 확대 및 기기의 소형화를 도모할 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 액정 패널에 편광 필름을 접합하는 경우에 대해 설명하였지만, 광학 부재가 부착되는 광학 표시 부품으로서는 액정 패널로 한정되지 않고, 유기 EL 패널에도 적용할 수 있고, 접합되는 광학 부재로서는 편광 필름으로 한정되지 않고, 반사 방지 필름, 광 확산 필름 등에도 적용할 수 있다.

이상, 첨부 도면을 참조하면서 본 실시 형태에 따른 적합한 실시 형태 예에 대해 설명하였지만, 본 발명은 이러한 예로 한정되지 않는 것은 물론이다. 상술한 예에 있어서 나타낸 각 구성 부재의 여러 형상이나 조합 등은 일례이며, 본 발명의 주지로부터 일탈하지 않는 범위에 있어서 설계 요구 등에 기초하여 다양한 변경이 가능하다.

1, 201, 301 : 필름 접합 시스템(광학 표시 디바이스의 생산 시스템)
13 : 제1 접합 장치(접합 장치)
15 : 절단 장치
15A : 제1 절단 장치(절단 장치)
15B : 제2 절단 장치(절단 장치)
17 : 제2 접합 장치(접합 장치)
41 : 제1 검출 장치(검출 장치)
42 : 제2 검출 장치(검출 장치)
100 : 박리 장치
100A : 제1 회수 장치(박리 장치)
100B : 제2 회수 장치(박리 장치)
101 : 시트편
101s1 : 제1 영역
101s2 : 제2 영역
102 : 점착층
110 : 흡착 테이블
110A : 제1 흡착 테이블(흡착 테이블)
110B : 제2 흡착 테이블(흡착 테이블)
110t : 테이퍼부
120 : 척부
130 : 두드림부
140, 240 : 이동 장치
160, 260 : 회수부
260A : 제1 회수부(회수부)
260B : 제2 회수부(회수부)
240A : 제1 이동 장치(이동 장치)
240B : 제2 이동 장치(이동 장치)
241 : 아암부
242 : 선회 기구
243 : 선회 축
F1 : 제1 광학 부재 시트
F1m : 제1 시트편(시트편)
F2m : 제2 시트편(시트편)
P : 액정 패널(광학 표시 부품)
P4 : 표시 영역
R1 : 원반 롤
V2 : 제2 방향(흡착면의 법선 방향)
SA1 : 제1 접합면(접합면)
ED : 제1 접합면의 단연(접합면의 외주연)

Claims

제1 영역과, 상기 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 갖고, 상기 제2 영역이 상기 제1 영역으로부터 분리된 상태에서, 상기 제1 영역 및 상기 제2 영역의 일면측에 설치된 점착층에 의해 상기 제2 영역이 상기 제1 영역에 접속된 가요성의 시트편에 대해, 상기 제1 영역으로부터 상기 제2 영역을 박리하기 위한 박리 장치로서,
상기 시트편이 접합되는 대상물을 흡착하여 보유 지지하는 흡착면을 갖는 흡착 테이블과,
상기 시트편의 상기 제2 영역을 척 가능한 척부와,
상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척된 상태에서 상기 척부와 상기 흡착 테이블을 상기 흡착면의 법선 방향으로 상대 이동시킴으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 시트편의 상기 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치를 포함하는 박리 장치.
제1항에 있어서,
상기 척부에 의한 상기 시트편의 상기 제2 영역의 척이 해제된 상태에서, 상기 점착층에 의해 상기 척부에 부착된 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상방으로부터 두드림으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 척부로부터 이격시키는 두드림부를 더 포함하는 박리 장치.
제2항에 있어서,
상기 시트편의 상기 제1 영역은, 상기 흡착면의 법선 방향에서 볼 때 직사각형이고,
상기 척부는, 상기 시트편의 상기 제2 영역 중 상기 시트편의 상기 제1 영역의 인접하는 2개의 코너부에 대응하는 부분을 척하고,
상기 두드림부는, 상기 시트편의 상기 제2 영역 중 상기 시트편의 상기 제1 영역의 인접하는 2개의 코너부의 사이에 대응하는 부분을 두드리는 박리 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡착 테이블은, 상기 흡착면의 법선 방향에서 볼 때, 상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척되는 부분과 겹치는 위치에 테이퍼부를 갖고,
상기 척부는, 상기 시트편의 상기 제2 영역 중 상기 테이퍼부로부터 돌출된 부분을 척하는 박리 장치.
광학 표시 부품에 광학 부재를 접합하여 구성되는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템으로서,
상기 광학 표시 부품의 표시 영역의 긴 변과 짧은 변 중 어느 한쪽의 변의 길이보다도 넓은 폭의 띠 형상의 광학 부재 시트를 원반 롤로부터 권출하면서, 상기 광학 부재 시트를 상기 표시 영역의 긴 변과 짧은 변 중 어느 다른 쪽의 변의 길이 보다도 긴 길이로 커트하여 시트편으로 한 후, 상기 시트편을 상기 광학 표시 부품에 접합하는 접합 장치와,
상기 광학 표시 부품에 접합된 상기 시트편 중, 접합면에 대응하는 제1 영역으로부터, 상기 제1 영역의 외측의 영역인 제2 영역을 분리하고, 상기 접합면에 대응하는 크기의 상기 광학 부재를 형성하는 절단 장치와,
상기 광학 표시 부품을 흡착하여 보유 지지하는 흡착면을 갖는 흡착 테이블과,
상기 시트편의 상기 제2 영역을 척 가능한 척부와,
상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척된 상태에서 상기 척부와 상기 흡착 테이블을 상기 흡착면의 법선 방향으로 상대 이동시킴으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 시트편의 상기 제1 영역으로부터 박리시키는 이동 장치를 포함하는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템.
제5항에 있어서,
상기 시트편이 접합된 상기 광학 표시 부품과 상기 시트편과의 접합면의 외주연을 검출하는 검출 장치를 더 포함하고,
상기 절단 장치는, 상기 검출 장치가 검출한 상기 광학 표시 부품과 상기 시트편과의 상기 접합면의 외주연을 따라, 상기 시트편을 절단하는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템.
제5항 또는 제6항에 있어서,
상기 시트편의 상기 제1 영역으로부터 박리된 상기 시트편의 상기 제2 영역을 회수하는 회수부를 더 포함하고,
상기 이동 장치는, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 회수부로 이동시키는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템.
제7항에 있어서,
상기 이동 장치는, 선단부에 상기 척부가 형성된 아암부와, 상기 아암부를 선회시키는 선회 기구를 포함하고,
상기 회수부는, 상기 아암부의 선회 축을 사이에 두고 상기 흡착 테이블과 반대측에 배치되어 있고,
상기 이동 장치는, 상기 척부에 의해 상기 시트편의 상기 제2 영역이 척된 상태에서 상기 아암부를 선회함으로써, 상기 시트편의 상기 제2 영역을 상기 회수부로 이동시키는 광학 표시 디바이스의 생산 시스템.