JP2018004883A - アライメント装置 - Google Patents

Abstract

【課題】表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能なアライメント装置を提供する。【解決手段】アライメント装置１０は、表示パネル２が載置されるパネルステージ３９と、パネルステージ３９を回動させるとともにＸ方向とＹ方向とにパネルステージ３９を移動させる移動機構４０と、表示パネル２のエッジを検知するカメラ４１とを備えている。パネルステージ３９は、Ｙ方向において、表示パネル２がカメラ４１の下側に配置されるエッジ検知位置３９Ａとパネルステージ３９から表示パネル２が搬出されるパネル搬出位置３９Ｂとの間で移動可能となっており、移動機構４０は、カメラ４１での検知結果に基づいて表示パネル２の位置合わせを行いながらエッジ検知位置３９Ａからパネル搬出位置３９Ｂまでパネルステージ３９を移動させる。【選択図】図５

Description

本発明は、液晶パネル等の表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置に関する。

従来、液晶パネルの検査および修正を行うパネル処理システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のパネル処理システムは、複数のコンベヤユニットと、液晶パネルを検査する検査装置と、液晶パネルを修正するリペヤ装置と、検査装置で不良と判定された液晶パネルをコンベヤユニットからリペヤ装置に向かって送出するパネル送出装置とを備えている。パネル送出装置は、コンベヤユニットから液晶パネルを持ち上げるリフターと、リフターで持ち上げられた液晶パネルの位置合わせを行うアライメント機構と、アライメント機構で位置合わせされた液晶パネルをリペヤ装置に向かって搬送するスライド機構とから構成されている。

特開２０１１−２３７５３０号公報

特許文献１に記載のパネル処理システムでは、アライメント機構で液晶パネルの位置合わせが完了した後に、スライド機構によって液晶パネルが搬送されている。そのため、このパネル処理システムでは、アライメント機構で液晶パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に液晶パネルが搬入されるまでの時間が長くなる。

そこで、本発明の課題は、表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能なアライメント装置を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明のアライメント装置は、表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、鉛直方向に直交する所定の方向を第１方向とし、第１方向と鉛直方向とに直交する方向を第２方向とすると、表示パネルが載置されるパネルステージと、鉛直方向を回動の軸方向としてパネルステージを回動させるとともに第１方向と第２方向とにパネルステージを移動させて表示パネルの位置合わせを行う移動機構と、パネルステージよりも上側に配置され表示パネルのエッジを検知するカメラとを備え、移動機構によって移動するパネルステージの第１方向への移動可能量は、移動機構によって移動するパネルステージの第２方向への移動可能量よりも大きくなっており、パネルステージは、第１方向において、表示パネルがカメラの下側に配置されるエッジ検知位置と、パネルステージから表示パネルが搬出されるパネル搬出位置との間で移動可能となっており、移動機構は、カメラでの検知結果に基づいて表示パネルの位置合わせを行いながらエッジ検知位置からパネル搬出位置までパネルステージを移動させることを特徴とする。

本発明のアライメント装置では、移動機構は、カメラでの検知結果に基づいて表示パネルの位置合わせを行いながら、表示パネルがカメラの下側に配置されるエッジ検知位置から表示パネルが搬出されるパネル搬出位置までパネルステージを移動させている。そのため、本発明では、表示パネルの位置合わせの完了時に、表示パネルが載置されたパネルステージをパネル搬出位置まで移動させておくことが可能になり、その結果、表示パネルの位置合わせ後、短時間でパネルステージから表示パネルを搬出することが可能になる。したがって、本発明では、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能になり、アライメント装置でのサイクルタイムを短縮することが可能になる。

本発明において、表示パネルは、エッジ検知位置に配置されるパネルステージに供給されることが好ましい。このように構成すると、パネルステージに表示パネルが載置された後、短時間でカメラによって表示パネルのエッジを検知することが可能になる。したがって、パネルステージに表示パネルが載置された後、カメラによって表示パネルのエッジが検知されるまでの時間を短縮することが可能になり、アライメント装置でのタイムサイクルをより短縮することが可能になる。

本発明において、アライメント装置は、パネルステージより上側に配置されるとともにカメラより下側に配置される照明を備え、照明は、カメラの視野から外れた位置に配置され、パネルステージに間接光または直接光を照射することが好ましい。このように構成すると、パネルステージに間接光または直接光が照射されているため、パネルステージに載置される表示パネルの大きさが変わっても、共通の照明を用いて、パネルステージ上の表示パネルの全体に光を照射することが可能になる。また、このように構成すると、カメラの視野から外れた位置に照明が配置されているため、エッジ検知位置に配置されるパネルステージに表示パネルが供給される場合であっても、パネルステージに表示パネルを供給するロボット等と照明との干渉を防止することが可能になる。

本発明において、照明は、直線状に配列される複数の発光ダイオードを備えるバー照明であることが好ましい。このように構成すると、パネルステージ上の表示パネルの全体に均一な間接光または直接光を照射しやすくなる。

本発明において、上下方向から見たときのパネルステージの外形は、表示パネルの外形よりも大きくなっており、カメラは、偏光フィルタを備え、パネルステージの上面には、平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、偏光フィルタの位相と偏光部材の位相とが９０°ずれていることが好ましい。また、本発明において、上下方向から見たときのパネルステージの外形は、表示パネルの外形よりも大きくなっており、パネルステージの上面は、白色となっていても良い。このように構成すると、カメラに写る表示パネルのエッジとパネルステージの上面とのコントラストを高めることが可能になる。したがって、カメラによって表示パネルのエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。

以上のように、本発明では、表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルの位置合わせが完了した後、次の工程に表示パネルが搬入されるまでの時間を短縮することが可能になる。

本発明の実施の形態にかかるアライメント装置が組み込まれる搬送システムの側面図である。 図１のＥ−Ｅ方向から搬送システムを示す平面図である。 図１に示す供給ユニットの斜視図である。 図３に示す供給ユニットの平面図である。 図３に示すアライメント装置の斜視図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるアライメント装置１０が組み込まれる搬送システム１の側面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から搬送システム１を示す平面図である。

本形態のアライメント装置１０は、表示パネルである液晶パネル２の位置合わせを行うための装置である。このアライメント装置１０は、搬送システム１に組み込まれて使用される。搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれている。この搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１４（図２参照）に液晶パネル２を供給する。また、搬送システム１は、小型の液晶パネル２（たとえば、４インチ〜１０インチの液晶パネル２）を搬送する。なお、搬送システム１で搬送される液晶パネル２は、中型の液晶パネル（たとえば、１５インチの液晶パネル）であっても良い。

液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、液晶パネル２の検査データ等のデータが記録されている。具体的には、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所に、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。すなわち、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、光学的に読取可能なデータが記録されている。なお、本形態の搬送システム１で搬送される液晶パネル２には、偏光板（偏光フィルム）が貼り付けられていても良いし、偏光板が貼り付けられていなくても良い。また、液晶パネル２には、ＦＰＣやチップが実装されていても良いし、ＦＰＣやチップが実装されていなくても良い。

搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（すなわち、段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。たとえば、コンベヤ４、５は、２０段に段積みされたトレイ３を水平方向へ直線的に搬送する。

以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１等のＸ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図１等のＸ２方向側）を「後（後ろ）側」とし、左右方向の一方側（図２等のＹ１方向側）を「右」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１４が配置されている。

また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送するロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出するロボット９と、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１４に供給する供給ユニット１１とを備えている。アライメント装置１０は、供給ユニット１１に組み込まれている。トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット１１は、トレイステージ６、７よりも後ろ側に配置されている。

また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置される本体フレーム１２と、ロボット９が設置される本体フレーム１３とを備えている。本体フレーム１２の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されており、本体フレーム１２の上面に、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置されている。本体フレーム１３は、略門型に形成された門型フレームであり、左右方向で本体フレーム１２の後端側部分を跨ぐように設置されている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部に設置されている。

コンベヤ４、５は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。なお、コンベヤ４、５は、ベルトコンベヤ等であっても良い。

コンベヤ４の前端側には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。コンベヤ４の前端側に載置された段積み状態のトレイ３は、後ろ側へ搬送され、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、コンベヤ５の後端側には、後述のようにロボット８によって空のトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、前側に搬送される。コンベヤ５の前端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。

トレイステージ６、７には、１個のトレイ３が載置される。トレイステージ６、７は、本体フレーム１２に固定されている。トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。

ロボット８は、いわゆる３軸直交ロボットである。このロボット８は、門型に形成される本体フレーム１５と、本体フレーム１５に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム１５に保持される可動フレーム１６と、可動フレーム１６に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム１６に保持される可動フレーム１７と、可動フレーム１７に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１７に保持される可動フレーム１８と、可動フレーム１８に取り付けられるトレイ把持部１９とを備えている。また、ロボット８は、可動フレーム１６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１７を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１８を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

本体フレーム１５の高さは、コンベヤ４、５の高さよりも高くなっており、本体フレーム１５は、左右方向でコンベヤ４、５を跨ぐように設置されている。可動フレーム１６は、本体フレーム１５の上面側に取り付けられている。この可動フレーム１６は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３よりも上側に配置されている。可動フレーム１７は、可動フレーム１６の右側に取り付けられている。可動フレーム１８は、可動フレーム１７の後端側に取り付けられている。トレイ把持部１９は、可動フレーム１８の下端に取り付けられている。このトレイ把持部１９は、トレイ３を吸着して把持する複数の吸着部を備えている。この吸着部は、ロボット８がトレイ３を搬送するときにトレイ３の上面に接触してトレイ３を真空吸着する。

ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１個ずつ搬送して、コンベヤ４上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、空になった１個のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７からコンベヤ５の後端側に搬送して、コンベヤ５にトレイ３を段積みする。

ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。このロボット９は、本体部２０と、本体部２０に連結される３本のレバー２１と、３本のレバー２１のそれぞれに連結される３個のアーム部２２と、３個のアーム部２２に連結されるヘッドユニット２３と、ヘッドユニット２３に取り付けられるパネル把持部２４とを備えている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部にぶら下がるように設置されている。また、本体部２０は、トレイステージ６、７の上方に配置されるとともに、ロボット８の本体フレーム１５よりも後ろ側に配置されている。

３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。すなわち、３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。また、３本のレバー２１の基端側は、本体部２０に回動可能に連結されている。本体部２０とレバー２１との連結部には、レバー２１を回動させる減速機付きのモータ２５が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー２１のそれぞれを回動させる３個のモータ２５を備えている。モータ２５の出力軸は、レバー２１の基端側に固定されている。

アーム部２２の基端側は、レバー２１の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部２２は、互いに平行な直線状の２本のアームによって構成されており、２本のアームのそれぞれの基端側がレバー２１の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット２３は、３個のアーム部２２の先端側に回動可能に連結されている。パネル把持部２４は、ヘッドユニット２３の下端に取り付けられている。このパネル把持部２４は、液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えており、この吸着部によって液晶パネル２の上面を吸着することで液晶パネル２を把持する。ヘッドユニット２３の上端には、モータが取り付けられている。パネル把持部２４は、このモータに連結されており、このモータの動力によって上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になっている。

ロボット９では、３個のモータ２５を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット２３が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部２４が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット２３を移動させることが可能になっている。ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３が空になるまでトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。また、ロボット９は、トレイ３から搬出した液晶パネル２を後述のパネルステージ３９へ搬送する。

（供給ユニットの構成および動作）
図３は、図１に示す供給ユニット１１の斜視図である。図４は、図３に示す供給ユニット１１の平面図である。図５は、図３に示すアライメント装置１０の斜視図である。

供給ユニット１１は、アライメント装置１０に加えて、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置３１を備えている。アライメント装置１０は、データ読取装置３１で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをする。また、供給ユニット１１は、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１４へ搬送するロボット３３と、処理装置１４へ搬送される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー（静電気除去装置）３４と、アライメント装置１０で位置合わせされた後の液晶パネル２をロボット３３に向かって搬送する搬送装置３５と、アライメント装置１０で位置合わせされた液晶パネル２を搬送装置３５に搬送するロボット３６と、これらの構成が載置されて固定されるベース板３７とを備えている。

アライメント装置１０は、ベース板３７の右前端側に載置されている。ロボット３３は、ベース板３７の左後端側に載置されている。データ読取装置３１は、ベース板３７の左前端側に載置されている。ロボット３６は、アライメント装置１０の後ろ側に隣接配置されている。搬送装置３５は、左右方向において、データ読取装置３１およびロボット３３と、アライメント装置１０との間に配置されている。イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。ベース板３７は、本体フレーム１２の上面の後端側部分に載置されて固定されている。

アライメント装置１０は、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２が載置されるパネルステージ３９と、上下方向を回動の軸方向としてパネルステージ３９を回動させるとともに左右方向と前後方向とにパネルステージ３９を移動させて液晶パネル２の位置合わせを行う移動機構４０とを備えている。また、アライメント装置１０は、パネルステージ３９よりも上側に配置されるカメラ４１および照明４２を備えている。

パネルステージ３９は、長方形の平板状に形成されている。パネルステージ３９の上面は、上下方向に直交する平面となっている。上下方向から見たときのパネルステージ３９の外形は、液晶パネル２の外形よりも大きくなっている。液晶パネル２は、上下方向から見たときに液晶パネル２の中心とパネルステージ３９の中心とが略一致するように、かつ、液晶パネル２の長辺の方向とパネルステージ３９の長辺の方向とが略一致するように、パネルステージ３９に載置される。

パネルステージ３９は、パネルステージ３９の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。複数の吸着部は、パネルステージ３９の中心部分に配置されている。また、パネルステージ３９の上面には、平板状またはフィルム状に形成される偏光部材（偏光板または偏光フィルム）４３が取り付けられている。具体的には、パネルステージ３９の上面の、吸着部が配置されていない位置に偏光部材４３が貼り付けられている。

移動機構４０は、パネルステージ３９を回動可能に保持する可動フレーム４６と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム４６を保持する可動フレーム４７と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム４６を保持する固定フレーム４８と、可動フレーム４６に対してパネルステージ３９を回動させる回動機構と、可動フレーム４７に対して可動フレーム４６を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム４８に対して可動フレーム４７を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム４８は、ベース板３７に固定されている。

本形態では、可動フレーム４６を前後方向へスライドさせる駆動機構は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うために設けられている。一方、可動フレーム４７を左右方向へスライドさせる駆動機構は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うとともに、後述のエッジ検知位置３９Ａとパネル搬出位置３９Ｂとの間で液晶パネル２を搬送するために設けられている。

そのため、移動機構４０によって移動するパネルステージ３９の左右方向への移動可能量（最大移動量）は、移動機構４０によって移動するパネルステージ３９の前後方向への移動可能量（最大移動量）よりも大きくなっている。たとえば、パネルステージ３９の左右方向への移動可能量は、２５０ｍｍ程度となっており、パネルステージ３９の前後方向への移動可能量は、１０ｍｍ程度となっている。本形態の左右方向（Ｙ方向）は、鉛直方向に直交する所定の方向（水平方向の一方向）である第１方向となっており、前後方向（Ｘ方向）は、上下方向（鉛直方向）と第１方向とに直交する第２方向となっている。なお、パネルステージ３９を回動させる回動機構は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うために設けられており、移動機構４０によって回動するパネルステージ３９の回動可能量（最大回動量）は、たとえば、±１０°程度となっている。

照明４２は、左右方向で直線状に配列される複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）を備えるバー照明である。この照明４２は、カメラ４１より下側に配置されるとともにカメラ４１の視野から外れた位置に配置されている。本形態では、照明４２は、カメラ４１の後ろ下側に配置されている。照明４２は、パネルステージ３９に間接光を照射する。

カメラ４１は、前後方向におけるパネルステージ３９の中心とカメラ４１の光軸とが前後方向において一致するように、パネルステージ３９の上方に配置されている。このカメラ４１は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２のエッジを上側から検知する。具体的には、カメラ４１は、長方形状に形成される液晶パネル２の４個の角部の位置を検知する。カメラ４１は、偏光フィルタ５０を備えている。偏光フィルタ５０は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにカメラ４１のレンズの先端に取り付けられている。カメラ４１の偏光フィルタ５０の位相とパネルステージ３９の偏光部材４３の位相とは９０°ずれている。すなわち、偏光フィルタ５０の偏光方向と偏光部材４３の偏光方向とは９０°ずれている。そのため、カメラ４１に写るパネルステージ３９は黒くなる。

パネルステージ３９は、左右方向において、液晶パネル２がカメラ４１の下側に配置される（具体的には、液晶パネル２がカメラ４１の真下に配置される）エッジ検知位置３９Ａ（図３〜図５の実線で示す位置）と、ロボット３６によってパネルステージ３９から液晶パネル２が搬出されるパネル搬出位置３９Ｂ（図４、図５の二点鎖線で示す位置）との間で移動可能となっている。本形態では、パネルステージ３９が固定フレーム４８の右端側まで移動すると、パネルステージ３９がエッジ検知位置３９Ａに到達し、パネルステージ３９が固定フレーム４８の左端側まで移動すると、パネルステージ３９がパネル搬出位置３９Ｂに到達する。また、本形態では、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２は、エッジ検知位置３９Ａに配置されるパネルステージ３９に供給される。

エッジ検知位置３９Ａに配置されたパネルステージ３９に、ロボット９によって搬出された液晶パネル２が載置されると、カメラ４１は、液晶パネル２のエッジを検知する。その後、移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル２の位置合わせを行いながらエッジ検知位置３９Ａからパネル搬出位置３９Ｂまでパネルステージ３９を移動させる。具体的は、移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて、パネルステージ３９の回動動作および前後方向への可動フレーム４６のスライド動作の少なくともいずれか一方の動作を行いながら、左方向へ可動フレーム４７をスライドさせて、パネルステージ３９をパネル搬出位置３９Ｂまで移動させる。

なお、移動機構４０は、カメラ４１の検知結果が出た後にパネル搬出位置３９Ｂへのパネルステージ３９の移動を開始しても良いし、カメラ４１の検知結果を待たずにパネル搬出位置３９Ｂへのパネルステージ３９の移動を開始しても良い。また、移動機構４０は、パネルステージ３９をパネル搬出位置３９Ｂまで移動させる途中から液晶パネル２の位置合わせを開始しても良いし、パネルステージ３９をパネル搬出位置３９Ｂまで移動させてから液晶パネル２の位置合わせを開始しても良い。また、左右方向における液晶パネル２の位置合わせを行うため、エッジ検知位置３９Ａから左方向へのパネルステージ３９の移動量は必ずしも一定にならない。すなわち、パネルステージ３９に対する液晶パネル２の載置位置に応じて、パネル搬出位置３９Ｂは左右方向においてわずかに変動する。

搬送装置３５は、液晶パネル２が載置される４個のスライドステージ５２と、４個のスライドステージ５２が固定される可動フレーム５３と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５３を保持する固定フレーム５４と、固定フレーム５４に対して可動フレーム５３を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。４個のスライドステージ５２は、前後方向で隣接配置されている。スライドステージ５２は、スライドステージ５２の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム５４は、ベース板３７に固定されている。

ロボット３６は、液晶パネル２を真空吸着して把持するパネル把持部５５と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部５５を保持する可動フレーム５６と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５６を保持する固定フレーム５７と、可動フレーム５６に対してパネル把持部５５を昇降させる昇降機構と、固定フレーム５７に対して可動フレーム５６を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム５７は、ベース板３７に固定されている。パネル把持部５５は、前後方向においてパネルステージ３９と同じ位置に配置されている。

ロボット３６は、パネル搬出位置３９Ｂに配置されるパネルステージ３９上の液晶パネル２（すなわち、アライメント装置１０で位置合わせされた後の液晶パネル２）をスライドステージ５２に搬送する。具体的には、ロボット３６は、パネル搬出位置３９Ｂに配置されるパネルステージ３９上の液晶パネル２の上面をパネル把持部５５で真空吸着して把持し、前端側まで移動して停止している４個のスライドステージ５２のそれぞれにパネルステージ３９から液晶パネル２を順次、搬送する。また、４個のスライドステージ５２のそれぞれに液晶パネル２が載置されると、搬送装置３５は、後ろ方向へスライドステージ５２を移動させて、液晶パネル２を搬送装置３５の後端側まで搬送する。

ロボット３３は、液晶パネル２を真空吸着して把持する４個のパネル把持部５８と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部５８を保持する可動フレーム５９と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５９を保持する固定フレーム６０と、可動フレーム５９に対してパネル把持部５８を昇降させる昇降機構と、固定フレーム６０に対して可動フレーム５９を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。４個のパネル把持部５８は、前後方向で隣接配置されている。前後方向における４個のパネル把持部５８のピッチは、前後方向における４個のスライドステージ５２のピッチと等しくなっている。固定フレーム６０は、ベース板３７に固定されている。

ロボット３３は、搬送装置３５によって搬送装置３５の後端側まで搬送された液晶パネル２を処理装置１４に搬入する。具体的には、ロボット３３は、４個のスライドステージ５２のそれぞれに載置される４個の液晶パネル２のそれぞれの上面を４個のパネル把持部５８のそれぞれで真空吸着して把持し、スライドステージ５２から４個の液晶パネル２を一緒に処理装置１４に搬入する。

データ読取装置３１は、二次元コードや一次元コード等の光学的に読取可能なデータを読み取るカメラ６２と、カメラ６２が取り付けられる可動フレーム６３と、上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６３を保持する可動フレーム６４と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６４を保持する可動フレーム６５と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６５を保持する固定フレーム６６と、可動フレーム６４に対して可動フレーム６３を昇降させる昇降機構と、可動フレーム６５に対して可動フレーム６４を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム６６に対して可動フレーム６５を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム６６は、ベース板３７に固定されている。また、データ読取装置３１は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。

データ読取装置３１は、アライメント装置１０での位置調整後に搬送装置３５のスライドステージ５２に載置された液晶パネル２のデータを読み取る。データ読取装置３１で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされる。上述のように、イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。また、イオナイザー３４は、データ読取装置３１よりも後ろ側に配置されており、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２の静電気を除去する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、アライメント装置１０の移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル２の位置合わせを行いながら、液晶パネル２がカメラ４１の下側に配置されるエッジ検知位置３９Ａから、ロボット３６によって液晶パネル２が搬出されるパネル搬出位置３９Ｂまでパネルステージ３９を移動させている。そのため、本形態では、液晶パネル２の位置合わせの完了時に、液晶パネル２が載置されたパネルステージ３９をパネル搬出位置３９Ｂまで移動させておくことが可能になり、その結果、液晶パネル２の位置合わせ後、短時間でパネルステージ３９からスライドステージ５２にロボット３６によって液晶パネル２を搬出することが可能になる。したがって、本形態では、液晶パネル２の位置合わせが完了した後、スライドステージ５２に液晶パネル２が載置されるまでの時間を短縮することが可能になり、アライメント装置１０でのサイクルタイムを短縮することが可能になる。

また、本形態では、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２は、エッジ検知位置３９Ａに配置されるパネルステージ３９に供給されているため、パネルステージ３９に液晶パネル２が載置された後、カメラ６１によって液晶パネル２のエッジが検知されるまでの時間を短縮することが可能になる。したがって、本形態では、アライメント装置１０でのタイムサイクルをより短縮することが可能になる。

本形態では、照明４２は、パネルステージ３９に間接光を照射している。そのため、本形態では、パネルステージ３９に載置される液晶パネル２の大きさが変わっても、共通の照明４２を用いて、パネルステージ３９上の液晶パネル２の全体に光を照射することが可能になる。また、本形態では、照明４２がカメラ４１の視野から外れた位置に配置されているため、パラレルリンクロボットであるロボット９によってエッジ検知位置３９Ａに配置されるパネルステージ３９に液晶パネル２が供給される場合であっても、ロボット９と照明４２との干渉を防止することが可能になる。また、本形態では、照明４２がバー照明であるため、パネルステージ３９上の液晶パネル２の全体に均一な間接光を照射しやすくなる。

本形態では、カメラ４１の偏光フィルタ５０の位相とパネルステージ３９の偏光部材４３の位相とが９０°ずれており、カメラ４１に写るパネルステージ３９は黒くなる。そのため、本形態では、カメラ４１に写る液晶パネル２のエッジとパネルステージ３９の上面とのコントラストを高めることが可能になる。したがって、本形態では、カメラ４１によって液晶パネル２のエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、液晶パネル２を精度良く位置合わせすることが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、移動機構４０は、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム４６を保持する可動フレームと、この可動フレームに対して可動フレーム４６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、前後方向へのスライドが可能となるようにこの可動フレームを保持する固定フレームと、この固定フレームに対して可動フレームを前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えていても良い。この場合であっても、移動機構４０によって移動するパネルステージ３９の左右方向への移動可能量は、移動機構４０によって移動するパネルステージ３９の前後方向への移動可能量より大きくなっている。

上述した形態では、エッジ検知位置３９Ａに配置されるパネルステージ３９に液晶パネル２が供給されているが、エッジ検知位置３９Ａからずれた位置に配置されるパネルステージ３９に液晶パネル２が供給されても良い。また、上述した形態では、照明４２は、バー照明であるが、照明４２は、バー照明以外の照明であっても良い。また、上述した形態では、照明４２は、パネルステージ３９に間接光を照射しているが、照明４２は、パネルステージ３９に直接光を照射しても良い。

上述した形態において、パネルステージ３９の上面に偏光部材４３が貼り付けられていなくても良い。この場合には、パネルステージ３９は、ポリアセタール等の白色の板によって形成されており、パネルステージ３９の上面は、白色となっている。この場合であっても、カメラ４１に写る液晶パネル２のエッジとパネルステージ３９の上面とのコントラストを高めることが可能になるため、カメラ４１によって液晶パネル２のエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、液晶パネル２を精度良く位置合わせすることが可能になる。

上述した形態では、ロボット８は、３軸直交ロボットであるが、ロボット８は、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、ロボット９は、パラレルリンクロボットであるが、ロボット９は、水平多関節ロボットであっても良い。また、上述した形態では、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル２であるが、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

２ 液晶パネル（表示パネル）
１０ アライメント装置
３９ パネルステージ
３９Ａ エッジ検知位置
３９Ｂ パネル搬出位置
４０ 移動機構
４１ カメラ
４２ 照明
４３ 偏光部材
５０ 偏光フィルタ
Ｘ 第２方向
Ｙ 第１方向

Claims (6)

1. 表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、
   鉛直方向に直交する所定の方向を第１方向とし、前記第１方向と鉛直方向とに直交する方向を第２方向とすると、
   前記表示パネルが載置されるパネルステージと、鉛直方向を回動の軸方向として前記パネルステージを回動させるとともに前記第１方向と前記第２方向とに前記パネルステージを移動させて前記表示パネルの位置合わせを行う移動機構と、前記パネルステージよりも上側に配置され前記表示パネルのエッジを検知するカメラとを備え、
   前記移動機構によって移動する前記パネルステージの前記第１方向への移動可能量は、前記移動機構によって移動する前記パネルステージの前記第２方向への移動可能量よりも大きくなっており、
   前記パネルステージは、前記第１方向において、前記表示パネルが前記カメラの下側に配置されるエッジ検知位置と、前記パネルステージから前記表示パネルが搬出されるパネル搬出位置との間で移動可能となっており、
   前記移動機構は、前記カメラでの検知結果に基づいて前記表示パネルの位置合わせを行いながら前記エッジ検知位置から前記パネル搬出位置まで前記パネルステージを移動させることを特徴とするアライメント装置。
2. 前記表示パネルは、前記エッジ検知位置に配置される前記パネルステージに供給されることを特徴とする請求項１記載のアライメント装置。
3. 前記パネルステージより上側に配置されるとともに前記カメラより下側に配置される照明を備え、
   前記照明は、前記カメラの視野から外れた位置に配置され、前記パネルステージに間接光または直接光を照射することを特徴とする請求項１または２記載のアライメント装置。
4. 前記照明は、直線状に配列される複数の発光ダイオードを備えるバー照明であることを特徴とする請求項３記載のアライメント装置。
5. 上下方向から見たときの前記パネルステージの外形は、前記表示パネルの外形よりも大きくなっており、
   前記カメラは、偏光フィルタを備え、
   前記パネルステージの上面には、平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、
   前記偏光フィルタの位相と前記偏光部材の位相とが９０°ずれていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のアライメント装置。
6. 上下方向から見たときの前記パネルステージの外形は、前記表示パネルの外形よりも大きくなっており、
   前記パネルステージの上面は、白色となっていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のアライメント装置。

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