KR20180097163A - 기재, 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치 - Google Patents

기재, 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치 Download PDF

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Abstract

기재를 코팅하기 위한 박스 코팅 장치(10)가 증발원(14)을 수용하는 진공 챔버(12)를 포함한다. 기재 홀더(16)가 증발원과 마주하여 배치되어 있어, 증발된 재료가 기재 홀더에 의해 유지되는 기재 상에 충돌할 수 있다. 증발원과 기재 홀더 외에, 적어도 하나의 추가 기능 요소(20), 즉 마이스너 트랩(Meissner trap)(20) 및/또는 고진공 밸브 기구가 제공되고, 이 추가 기능 요소에는 차폐 장치(52)가 할당되어 있어, 증발된 재료가 기능 요소 상에 충돌하는 것을 방지한다. 이 차폐 장치는 셔터부(56)를 포함하고, 이 셔터부는, 셔터부가 차폐 장치를 통과하는 통로(60)를 덮고 기능 요소를 차폐하는 역할을 하는 폐쇄된 차폐 위치로부터, 셔터부가 실질적으로 통로를 열어 가스 및 증기의 본질적으로 자유로운 통과를 허용하는 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 전환될 수 있다.

Description

기재, 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치{BOX COATING APPARATUS FOR VACUUM COATING OF SUBSTRATES, IN PARTICULAR SPECTACLE LENSES}
본 발명은 일반적으로 청구항 1의 전제부에 따른, 기재의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치에 관한 것이다. 일반적으로 이러한 장치는 통상적으로 광학 분야에 사용되는 다양한 유기 및 무기 재료의 기재 상에 다층 박막을 고진공으로 증착하기 위한 것이다. 특히, 본 발명은 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치에 관한 것으로, 이 장치는 안경 렌즈의 대량 생산 구조 내에서 사용될 것이다. 이 경우, 전형적으로, 박스 코팅 장치는 안경 렌즈에 낮은 잔류 반사 및 원하는 색을 제공하기 위해 안경 렌즈 상에 다층 반사방지(AR) 코팅을 형성하기 위한 것이다. 그러나, 박스 코팅 장치는 다른 코팅 목적으로도 사용될 수 있는데, 예컨대, 소수성 코팅, 발유(oleophobic) 코팅 및 발진(dust repelling) 코팅을 포함하는 군에서 선택되는 탑 코팅(TC)을 이러한 AR 코팅 위에 형성하기 위해 사용될 수 있다.
관심 대상 코팅 기술(그 자체 알려져 있음)은 물리적 증기 증착(PVD) 공정인데, 더 정확하게 말하면, 열적 증발에 의한 코팅 공정이다. 열적 증발시, 증착 재료는 열적 가열 또는 전자 충돌에 의해 고체에서 증기 상태로 변하게 된다. 그런 다음, 증발된 재료는 박막의 성장이 일어나는 기재에 보내지게 된다. 이러한 코팅 기술의 중요한 파라미터는 주로 증발된 입자의 평균 속도 및 그 입자의 각 분포(angular distribution)이다. 공정이 일어나는 진공 챔버 안에서 증발 입자와 잔류 가스 사이의 충돌 횟수를 최소화하기 위해 기본 압력은 고진공 범위에서 유지되어야 한다. 고진공에 의해, 입자는 박막이 기재 레벨에서 성장하기에 충분한 "평균 자유 경로(mean free path)"를 가질 수 있다. 또한, 고진공은, 증발된 재료가 증발기로부터 코팅 중인 표면에 전달될 때, 그 증발된 재료가 챔버 내의 가스와 화학적으로 반응하지 않는 것을(또는 매우 제한된 정도로만 반응하도록) 보장해 준다. 이러한 이유로, 챔버는 코팅이 시작되기 전에 예컨대 약 3 x 10-3 Pa까지 펌핑 다운될 필요가 있다. 그러나 진공 챔버의 펌핑 다운은 아래에서 설명하는 문제를 수반하게 된다.
도 12 내지 14는 종래에 알려져 있는 박스 코팅 장치(10)(즉, 스위스에 있는 본 출원인의 Satisloh AG에서 구입 가능한 "1200 DLX 박스 코팅기"인 박스 코팅 장치)를 부분적으로 단순화시켜 또는 개략적으로 나타낸 것이다. 이러한 박스 코팅 장치(10)의 기본 구조 및 기능은, 이때 명백히 참조할 본 출원인으로부터 구입 가능한 안내서인 "An Introduction To The Coating Of Ophthalmic Lenses"(2판, 2006)에 설명되어 있다.
따라서, 박스 코팅 장치(10)는 기본적으로 진공 챔버(12)를 가지며, 이 진공 챔버는 증발원(14) 및 알려져 있는 방식으로 복수의 기재(나타나 있지 않음)를 유지하기 위한 기재 홀더(16)를 수용한다. 기재 홀더(16)는, 증발원(14)과 마주하여 배치되고 증발원(14)을 통과하는 회전 축선(R) 중심으로 돔 회전 구동기(18)(도 14에서는 생략되어 있음)에 의해 회전될 수 있는 돔으로 형성되며, 그래서 복수의 원 상에서 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재는 증발원(14)에 대해 각각 일정한 간격을 두고 회전 축선(R) 주위의 원형 경로 상에서 이동될 수 있다.
진공 챔버(12) 안에 위치되어 있고 박막 증착에 민감한 박스 코팅 장치(10)의 추가 절차 장비로서, 마이스너 트랩(Meissner trap)(20) 및 기재 가열기(22)가 나타나 있다. 마이스너 트랩(20)은 -100℃ 미만의 온도 또는 실온에서 유지될 수 있는 코일(24)(도 14 참조)을 필수적으로 가지고 있다. 약 10-2 Pa 미만의 압력에서, 진공 챔버(12)가 펌핑 다운될 때, 잔류 가스의 대부분(90% 만큼되는)은 수증기이다. 자유로운 수증기는 제거하는 데에 긴 시간이 걸릴 것이고, 결과적으로 공정 사이클이 길어질 것이다. 이러한 효과를 피하기 위해, 물 분자가 트랩 표면에 얼고, 공정 전체에 걸쳐 물 분자는 그 트랩 표면에 남아 있게 된다. 코팅이 완료된 후에만 물이 방출되어(증발되어) 밖으로 펌핑된다. 다른 한편, 유리 렌즈가 MgF2와 같은 전형적인 재료로 코팅될 경우에는 일반적으로 기재 가열기(22)가 제공된다. 이러한 경우, 우수한 코팅 품질을 얻기 위해 기재는 기재 가열기에 의해 약 300℃로 가열되어야 한다. 그러나 가열기는 규칙적인 간격으로 코팅 시스템에서 가스를 제거하는 역할도 할 수 있다.
박스 코팅 장치(10)에서 진공을 발생시키기 위한 또 다른 절차 장비는 도 14에서 알 수 있고, 도 14에서 전체적으로 참조 번호 "25"(펌핑 장치)로 나타나 있다. 도 14(좌측 부분)에 따르면, 역시 박막 증착에 민감한 고진공 밸브 기구(26)가 진공 챔버(12)에 대한 부속물(28)(박스 코팅 장치(10)의 "고진공 밸브 영역(high vacuum valve region)"으로도 알려져 있음)에 장착되어 있고, 밸브 액츄에이터(30)를 통해 작동될 수 있는데, 즉 개폐될 수 있다. 효율적인 루츠(Roots) 펌프(32)와 회전 베인 펌프(34)의 조합이 러핑(roughing)(전단 진공) 밸브(36)를 통해 챔버 부속물(28)에 연결되어 있다. 냉각 배플(38) 및 오일 확산 펌프(40)가 고진공 밸브(26) 아래에 배치되어 있다. 확산 펌프(40)에서 나온 오일 증기가 개방된 고진공 밸브(26)를 통해 진공 챔버(12) 안으로 빠져 나가는 것을 방지하기 위해, 냉각 배플(38)은 오일 확산 펌프(40)의 위쪽에 장착된다. 또한, 회전 펌프(32, 34)에 직접 연결되어 있는 우회 밸브(42)가 오일 확산 펌프(40)의 전단 진공 측에 위치되어 있다.
진공 챔버(12)가 펌핑 장치(25)에 의해 펌핑 다운되고 있을 때 제어 시스템(나타나 있지 않음)이 밸브(26, 36, 42)를 정확한 순서로 작동시키게 되고, 작동 순서는 기본적으로 다음과 같다. 모든 펌프(32, 34, 40) 및 냉각 배플(38)이 작동 준비가 되어 있을 때, 러핑 밸브(36)가 개방되고 루츠 펌프(32)와 회전 베인 펌프(34)의 조합이 처음에 진공 챔버(12)를 5 Pa 정도까지 펌핑 다운시킨다. 이 단계 동안에 오일 확산 펌프(40)의 전단 진공 압력이 프로그램된 한계를 넘어 상승하면, 압력 한계에 다시 이를 때까지, 러핑 밸브(36)는 폐쇄되고 우회 밸브(42)가 개방된다. 그런 다음 다시 초기 상태로 된다. 진공 챔버(12) 내의 압력이 5 Pa로 떨어지면, 진공 챔버(12)에 대한 러핑 밸브(36)가 폐쇄되고 오일 확산 펌프(40)에 대한 우회 밸브(42)가 개방된다. 이 바로 후에 고진공 밸브(26)가 개방되고, 그런 다음에, 공정의 초기 압력(고진공)이 얻어질 때까지 진공 챔버(12)가 오일 확산 펌프(40)에 의해 펌핑 다운된다. 사전에 프로그램된 압력 값에서, 수증기에 대한 펌프 용량을 증대시키기 위해 마이스너 트랩(20) 냉각이 일어나게 된다. 증기 증착 공정을 위한 최대 초기 압력은 전형적으로 3 x 10-3 Pa 이다. 마이스너 트랩(20)은 증착 공정 후에 다시 가열되고, 고진공 밸브(26)가 폐쇄되며, 진공 챔버(12)는 공기 입구 밸브(나타나 있지 않음)로 대기에 연결된다.
증발된 재료가 고진공 밸브 영역에 있는 민감한 절차 장비, 특히 마이스너 트랩(20) 및 고진공 밸브 기구(26)에 바람직하지 않게 증착되는 것을 방지하기 위해, 완전 고정식 차폐물(44, 46) 또는 마스크가 증발원(14)과 대향하는 위치에서 진공 챔버(12) 안에 제공되며, 코팅 공정 동안에 진공 챔버(12)를 통해 이동하는 증발 입자에 대해 각각의 장비를 보호해 준다. 도 12와 비교하면, 이들 차폐물(44, 46)은 도시의 목적으로 도 13에서는 생략되어 있다. 도 12에 따르면, 마이스너 트랩(20)을 위한 차폐물(44)은 마이스너 트랩(20)의 앞에서 연속적인 벽을 형성하는 고체 강판으로 구성되어 있고, 고진공 밸브(26)를 위한 차폐물(46)은 챔버 부속물(28)의 입구에 배치되어 있고, 고정된 박판 각도를 갖는 박판 그리드의 형태로 형성되어 있고, 그래서, 도 14에서 가장 잘 알 수 있는 바와 같이, 각각의 박판 부분은 직접 증발원(14) 쪽을 향하게 된다. 마찬가지로, 기재 가열기(22)의 하우징(48)의 부분은 증발된 재료의 바람직하지 않는 증착에 대해 기재 가열기의 실제 가열 요소(나타나 있지 않음)를 보호해 준다.
알려져 있는 차폐물(44, 46) 및 하우징(48)은 바람직하지 않는 오염 및 관련된 기능 장애에 대해 민감한 요소를 안전하게 보호해 주지만, 차폐물은 언더컷 영역 및 굴곡진 가스로 또는 증기로를 갖는 진공 챔버(12)의 "거친(rugged)" 내면부를 또한 형성하게 된다. 그러나 진공 챔버(12)의 이 "거친" 내면부는 어떤 가스/증기 유동 저항을 수반하게 되며, 그래서, 진공 챔버(12)를 위에서 언급한 공정 진공까지 "펌핑 다운(pumping down)"시키는 일은 상당히 시간 소비적일 수 있다. 물론, 안경 렌즈의 대량 생산에서는 이러한 비생산적인 하위 공정에 필요한 시간을 최소화하는 것이 바람직할 것이다.
또한, 진공 증기 증착 장치의 진공 챔버 내부에 셔터 또는 마스크를 배치하는 것이 알려져 있는데, 이 셔터 또는 마스크는 증발원과 기재 홀더 사이의 증발 경로 안으로 또한 그로부터 멀어지게 이동될 수 있다.
이와 관련하여, 문헌 JP 2007-332433 A에는 2개의 증발원을 포함하는 진공 증기 증착 장치가 개시되어 있는데, 여기서는, 증발원 중의 하나를 선택적으로 덮기 위해 증발원 사이에서 회전 축 중심으로 피봇될 수 있는 셔터가 제공된다. 문헌 US 2006/0216161 A1에 나타나 있는 다른 알려져 있는 장치에서는, 진공 증기 증착 장치의 진공 챔버는 벽에 의해 제 1 챔버 공간과 제 2 챔버 공간으로 분할되어 있다. 각 챔버 공간에는 각각의 펌핑 유닛 및 각각의 증발원(재료 공급원)이 할당되어 있다. 벽은 상기 챔버 공간 중의 하나에 할당되어 있는 증발원과 기재 홀더 사이의 증발 경로에 대해 중심 맞춤되어 있는 오목부를 가지고 있다. 이 오목부에는 외부 토글링(toggling) 장치로 작동되는 토글링 마스크가 단단히 끼워지거나 그 오목부로부터 빠질 수 있다. 알려져 있는 양 경우(JP 2007-332433 A 및 US 2006/0216161 A1)에, 폐쇄된 셔터/마스크는 증발원 중의 하나가 증발원 중의 다른 하나의 작동 중에 오염되는 것을 방지하는 역할을 한다.
또한, 문헌 JP 2010-106289 A에는, 증발원(도가니)과 기재 홀더에 의해 유지되는 기재 사이의 증발 경로를 차단하는 차폐 위치와 증발 경로를 열어 주는 개방된 위치 사이에서 셔터 구동 기구에 의해 회전 축 중심으로 회전될 수 있는 셔터를 포함하는 진공 증기 증착 장치가 개시되어 있다. 이 경우, 셔터는, 막이 일정한 높은 품질로 기재상에 형성되도록, 증발된 재료가, 불안정한 증발 조건 하에서, 예컨대 증발 공정이 막 시작될 때, 기재 상에 증착되는 것을 방지하거나, 또는 일단 증발이 안정화되면 증발된 재료가 기재상에 증착될 수 있게 해주도록 되어 있다.
마지막으로, 문헌 US 5,413,688, JP 10-251844 A, JP 61-64880 A 및 KR 10-2014-0081194에는, 진공 증기 증착용 챔버 안에 있는 셔터 장치가 더 나타나 있는데, 이 셔터 장치는 뷰포트(viewport), 석영 센서, 막 두께 모니터 헤드 및 결정 센서를 증발원에 대해 각각 보호하는 역할을 한다.
따라서, 본 발명의 목적은, 위에서 개략적으로 설명한 그리고 예컨대 도 12 내지 14에 나타나 있는 종래 기술에서 출발하여, 증착 공정으로부터 장치의 민감한 부품을 높은 수준으로 보호하면서 진공 절차를 향상시키도록 구성된, 기재, 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치를 제공하는 것이며, 그래서 본 박스 코팅 장치는 안경 렌즈의 대량 생산 구조 내에 배치되기에 특히 적합하다.
이 목적은 청구항 1에 나타나 있는 특징적 사항으로 달성된다. 본 발명의 유리한 또는 편리한 개량예는 청구항 2 내지 14에 나타나 있다.
본 발명에 따르면(기재, 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치의 경우에, 이 박스 코팅 장치는 펌핑 장치에 의해 배기될 수 있는 진공 챔버를 포함하고, 상기 진공 챔버는 코팅 재료를 증발시키기 위한 증발원을 수용하며, 복수의 기재를 유지하기 위한 기재 홀더가 상기 진공 챔버 안에서 상기 증발원과 마주하여 배치되어 있어, 상기 증발원에 의해 증발된 코팅 재료가 상기 기재 홀더에 의해 유지되는 기재 상에 충돌할 수 있고, 증발원과 기재 홀더 외에, 적어도 하나의 추가 기능 요소, 즉 적어도 마이스너 트랩(Meissner trap) 및/또는 고진공 밸브 기구가 제공되며, 상기 진공 챔버 안에서 상기 추가 기능 요소에는 차폐 장치가 할당되어 있고, 상기 차폐 장치는 상기 증발원과 상기 기능 요소 사이에 위치되어, 상기 증발원에 의해 증발된 코팅 재료가 상기 기능 요소 상에 충돌하는 것을 방지함), 마이스너 트랩 및/또는 상기 고진공 밸브 기구에 할당되어 있는 상기 차폐 장치는 셔터부를 포함하고, 이 셔터부는, 셔터부가 선택적으로 상기 차폐 장치의 나머지 부분과 함께 상기 기능 요소를 차폐하는 역할을 하면서, 셔터부가 상기 차폐 장치를 통과하는 통로를 덮는 폐쇄된 차폐 위치로부터, 상기 셔터부가 실질적으로 상기 통로를 열어 가스 및 증기의 본질적으로 자유로운 통과를 허용하는 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 선택적으로 전환될 수 있다.
이와 관련하여, 특히 "덮는다(cover)" 및 "열다(clear)" 라는 용어는, 증발원에 대한 관심 대상 차폐 장치의 셔터부 및 나머지 부분의 공간적 순서에 관해 제한적인 것으로 이해되어서는 아니 된다. 셔터부와 관련된 작동 기구는 증발된 코팅 재료의 증착에 대해 보호될 수 있으므로, 대부분의 경우에, 증발원에서 각각의 차폐 장치 쪽으로 볼 때 셔터부를 차폐 장치의 나머지 부분 뒤에 배치하는 것이 바람직할 것이지만, 원리적으로는, 증발원에서 차폐 장치 쪽으로 볼 때 셔터부는 차폐 장치의 나머지 부분의 앞에, 또는 차폐 장치를 통과하는 통로 내에 배치될 수도 있다.
다시 말해, 본 발명의 기본적인 아이디어는, 증발원 및 기재 홀더 외의 박스 코팅 장치의 기능 요소(적어도 마이스너 트랩 및/또는 고진공 밸브 기구를 포함하여), 즉 박스 코팅 장치의 펌핑 시스템에 포함되고 박막 증착에 민감한 기능 요소 중의 하나 이상을, 공정 단계에 따라 개방되거나 폐쇄될 수 있는 "지능형 마스크 시스템(intelligent mask system)"으로 덮거나 보호하는 것이다. 펌핑 다운 단계 동안에, 차폐 장치의 셔터부는 완전히 개방된 상태로 있을 수 있는데, 즉 차폐 장치를 통과하는 가스 및 증기 통로가 실질적으로 열리는 개방된 펌핑 위치에 유지될 수 있으며, 그리하여, 펌핑 장치 쪽으로의 전도가 최대화되고 그래서 또한 펌핑 장치의 속도가 증가된다. 이는 펌핑 다운 시간을 줄이고 그래서 박스 코팅 장치의 생산성을 증가시키는 데에 도움이 된다. 그렇지 않으면, 증착 공정이 수행될 때, 펌핑 속도의 값이 높아질 필요가 없다. 이 경우, 차폐 장치의 셔터부는 폐쇄된 상태로 있을 수 있는데, 즉 폐쇄된 차폐 위치에 유지될 수 있고, 그래서, 차폐 장치를 통과하는 통로는 차단되고 차폐 장치 뒤에 있는 각각의 민감한 기능 요소는 박막으로 덮히지 않는다. 또한 이리하여, 유지 보수 시간이 줄어들고(증착된 박막을 기능 요소에서 제거할 필요가 없음) 또한 듀티 사이클이 증가됨으로써 박스 코팅 장치의 생산성이 증가하게 된다. 다른 이점은, 차폐 장치의 셔터부를 폐쇄함으로써 얻어지는 감소된 전도 및 펌핑 시간으로 인해, 일부 증착 단계 동안에 주입되는 공정 가스의 소비의 감소에 관한 것이다.
앞에서 언급한 바와 같이, 관심 대상 기능 요소는, 적어도 마이스너 트랩 및 고진공 밸브 기구를 포함하고 또한 박스 코팅 장치의 적용 분야에 따라 가열 장치, 진공 게이지, 증착 센서 장치 및/또는 진공 챔버 안을 보기 위한 작업자 뷰포트를 선택적으로 포함하는 기능 요소의 그룹의 일부분을 형성한다. 그러나, 이러한 "지능형 마스크 시스템"으로 보호되는 박스 코팅 장치의 2개의 주요 기능 요소는 마이스너 트랩, 및 고진공 밸브 기구를 포함하는 고진공 밸브 영역이다. 지금까지, 이들 2개의 기능 요소는 전술한 바와 같은 완전 고정식 마스크로 보호되었다. 물론 이는 상기 2개의 민감한 기능 요소에서의 증착을 방지하는 데에 도움을 주지만, 펌핑 다운 단계 동안에 펌핑 속도를 최대화하는 최적화된 해결 방안은 아니다. 마이스너 트랩에 대해 본 발명에 따른 차폐 장치를 사용하는 것과 관련한 이점은, 할당된 차폐 장치를 통과하는 통로는, 일단 셔터부에 의해 열리면, 주어진 시간 내에 물 분자가 트랩 표면에 도달하여 거기에 얼게 될 가능성을 증가시키므로, 마이스너 트랩의 효율이 증가될 수 있다는 것이다. 기본적으로 이러한 점은 고진공 밸브 기구에도 해당되는데, 고진공 밸브 영역에 할당되어 있는 차폐 장치에서 통로가 열린 결과, 진공 챔버 내의 자유로운 분자가 주어진 시간 내에 고진공 밸브 기구에 도달하는 것이 더 용이하게 된다.
그럼에도 불구하고, 마이스너 트랩 및 고진공 밸브 영역 외에도, 박스 코팅 장치의 다른 기능 요소가 또한 "지능형 마스크 시스템"에 의해 보호되면 다음과 같이 이득을 볼 수 있다. 가열 장치, 예컨대, 진공 누설 시험 등을 위해 진공 챔버를 가열하기 위해 사용되는 전기 저항식 정상 가열기는 펌핑 다운 단계 동안에 노출될 수 있고, 증착 동안에는 본 발명에 따른 추가 차폐 장치로 가리어져 보호될 수 있다. 또한, 진공 게이지는, 가스 주입이 필요한 공정 단계 동안에 완전히 노출되는 것은 아니라면, 본 발명에 따른 추가 차폐 장치로 보호될 수 있다. 또한, 석영 마이크로밸런스 헤드와 같은 증착 센서 장치의 경우에는, 적절한 빈도로 증착 속도를 샘플링하면서 센서가 증착에 노출되는 것을 최소화하기 위해, 본 발명에 따른 추가 차폐 장치의 가동 셔터부가 최적화된 타이밍으로 개폐될 수 있다. 더욱이, 본 발명에 따른 추가 차폐 장치의 가동 셔터부는 작업자 뷰포트를 증착으로부터 보호할 수 있고, 작업자가 진공 챔버 내부를 볼 필요가 있을 때는 제거될 수 있다.
차폐 장치의 더 구체적인 설계(구조 및 기능)와 관련해서는, 역시 보호될 기능 요소에 따라 여러 가지 가능성을 생각할 수 있다. 마이스너 트랩을 위한 사용에 현재 바람직한 차폐 장치의 제 1 대안예에서, 차폐 장치는 적어도 하나의 구멍이 제공되는 적어도 하나의 고정식 차폐 요소를 더 가질 수 있고, 상기 셔터부는 적어도 하나의 가림 영역이 제공되는 적어도 하나의 가동 셔터 요소를 포함하고, 상기 가림 영역의 크기와 기하학적 구조는 상기 차폐 요소)에 있는 상기 구멍을 실질적으로 덮도록 되어 있고, 상기 셔터 요소는, 선택적으로, 상기 셔터부의 차폐 위치에서 상기 셔터 요소의 상기 가림 영역으로 상기 차폐 요소의 상기 구멍을 덮거나, 또는 상기 구멍을 통과하는 상기 통로가 실질적으로 열리도록 상기 셔터부의 펌핑 위치에서 상기 셔터 요소의 상기 가림 영역에 의해 상기 차폐 요소의 상기 구멍을 노출시키기 위해, 상기 차폐 요소에 대해 이동될 수 있다. 증발원에서 각각의 기능 요소, 예컨대 마이스너 트랩 쪽으로 볼 때, 셔터 요소는 차폐 요소의 앞에 또는 차폐 요소의 뒤에 배치될 수 있고, 뒤에 배치되는 것이 현재 바람직하다. 상보적인 요소를 갖는 이러한 구성에 의해, 적어도, 2개의 위치, 즉 최대 개방 영역 또는 통로와 최소 개방 영역 또는 통로 사이에서의 전환이 가능하게 된다(차폐 요소와 셔터 요소 사이의 어떤 최소 공간이 거기에 항상 존재할 것임). 그러나, 운동 작동은 또한 전도/보호 수준을 연속적으로 조절하기 위해 두 요소의 중간 상대 배치를 가능하게 할 수 있다.
차폐 요소에 대한 셔터 요소의 회전 또는 피봇 운동이 가능하지만, 이 경우, 셔터부의 셔터 요소는 바람직하게는 상기 차폐 장치의 차폐 요소에 대해 선형적으로 이동되도록 배치된다. 예컨대, 셔터 요소는 통로를 덮거나 열기 위해 차폐 요소 쪽으로 또한 그로부터 멀어지게 선형적으로 이동될 수 있도록 배치될 수 있다.
하지만, 최소 설치 공간 요건과 관련해서는, 셔터부의 셔터 요소가 차폐 장치의 차폐 요소에 평행하게 이동되도록 배치되는 것이 더 바람직하다. 이는, 역시 이용 가능한 설치 상황 및 공간에 따라 셔터 요소의 상하 운동, 셔터 요소의 횡방향 운동 또는 경사 운동일 수 있다.
고진공 밸브 기구를 갖는 고진공 밸브 영역을 위한 사용에 현재 바람직한 차폐 장치의 제 2 대안예에서, 차폐 장치는, 적어도 하나의 개방 영역이 제공되는 적어도 하나의 고정식 차폐 요소를 더 가질 수 있으며, 상기 셔터부는, 상기 개방 영역 안에 또는 그에 인접하여(즉, 앞 또는 뒤에) 위치되는 적어도 하나의 슬래트(slat) 요소를 포함하고, 상기 슬래트 요소는 상기 개방 영역에 대해 횡으로 배향되어 있는 피봇 축선 중심으로 피봇되도록 배치되어 있고, 상기 슬래트 요소는 넓은 정면 및 좁은 가장자리를 가지며, 또한 상기 슬래트 요소는, 상기 셔터부의 차폐 위치에서 슬래트 요소의 정면이 본질적으로 상기 증발원 쪽을 향하는 상태, 또는 상기 개방 영역을 통과하는 상기 통로가 실질적으로 열리도록 상기 셔터부의 상기 펌핑 위치에서 슬래트 요소의 가장자리의 표면 영역만이 상기 차폐 요소의 상기 개방 영역의 자유 단면을 제한하는 상태로 되도록 상기 피봇 축선 중심으로 피봇될 수 있다. 마찬가지로, 적어도 하나의 슬래트 요소 및 차폐 요소의 개방 영역은 상보적인 크기와 형상을 갖는 이러한 박판형 장치는, 적어도, 2개의 위치, 즉 최대 개방 단면 또는 통로(고정식 차폐 요소를 통과하는 자유 단면에서 슬래트 요소의 좁은 가장자리의 표면 영역을 뺀 것)와 최소 개방 단면 또는 통로 사이에서의 전환을 가능하게 해준다(슬래트 요소와 차폐 요소 사이의 어떤 최소 틈새가 거기에 항상 존재할 것임). 그러나, 이 경우 운동 작동은 또한 전도/보호 수준을 원하는 대로 조절하기 위해 두 요소의 중간 상대 배치를 가능하게 할 수 있다.
차폐 장치의 이 대안예에서, 셔터부는 상기 개방 영역 안에 또는 그에 인접하여 위치되는 적어도 2개의 슬래트 요소를 포함할 수 있고, 상기 슬래트 요소는, 상기 개방 영역에 대해 횡으로 배향되어 있는 서로 평행한 피봇 축선 중심으로 피봇되도록 배치되어 있다. 따라서, 셔터부는, (베네시안 블라인드(venetian blind)와 유사하게) 모두 동일한 방향으로 회전하는 일 세트의 상보적인 슬래트 요소를 차폐물로서 가질 수 있고, 또는 서로 다른 방향으로 회전하는 일 세트의 상보적인 슬래트 요소를 차폐물로서 가질 수 있거나, 또는 어떤 것은 고정되어 있고 어떤 것은 회전하는 일 세트의 슬래트 요소를 차폐물로서 가질 수 있으며, 이러한 모든 구성의 경우에, 슬래트 요소를 서로 독립적으로 또는 종속적으로 회전시켜 차폐물의 구성, 형상 및 전체 전도를 변경할 수 있다(중간 위치를 통과하여 최대 개방 영역에서 최소 개방 영역까지).
또한, 낮은 복잡성 및 비용과 관련해서는, 슬래트 요소 세트의 슬래트 요소는, 각각의 회전 축선 중심으로 동시에 또한 동일한 회전 방향으로 회전할 수 있도록 연결편에 의해 결합되어 있는 것이 바람직하다. 이러면, 정해진 단면적과 주 배향을 갖는 통로를 설정하는 것이 또한 용이하게 된다.
또한, 제 2 대안예에 따른 차폐 장치의 일 바람직한 실시 형태에서, 적어도 하나의 슬래트 요소는 스프링 요소에 의해, 상기 셔터부의 상기 펌핑 위치에서 슬래트 요소의 가장자리의 표면 영역만이 상기 차폐 요소의 상기 개방 영역의 자유 단면을 제한하는 상태로 편향된다. 따라서, 셔터부의 개방된 펌핑 위치는 통상적인 조건으로서 설정되며, 그래서, 관련된 기능 요소가 증발된 재료의 증착에 대해 보호될 필요가 있는 경우에만 셔터부가 작동될 필요가 있다. 물론, 대응하는 스프링 편향이, 전술한 제 1 대안예에 따른 차폐 장치의 가동 셔터 요소 중의 적어도 하나를 위해 제공될 수 있다.
차폐 장치의 제 3 대안예에서, 셔터부는, 보호될 기능 요소의 앞에 있는 수직 방향 축선 주위의 각위치를 변화시킬 수 있는 고체 플래그(flag)일 수 있다. 차폐 장치의 제 4 대안예에서, 셔터부는 카메라(광학) 기계식 셔터와 유사할 수 있다. 차폐 장치의 이들 4개의 모든 대안예와 관련해서, 가동 셔터부는 차폐 장치의 나머지 부분과의 완전 폐쇄된 틈새를 결코 가질 수 없음을 유의해야 한다. 최소의 개방이 항상 거기에 있을 것인데, 왜냐하면, 관심 대상 부품이 밀봉 수단(O-링 또는 가스켓)으로 서로에 폐쇄될 필요가 없기 때문이며, 그 밀봉 수단은 제공되지 않으며 필요가 없다).
본 발명의 개념을 계속 설명하면, 셔터부 또는 그의 적어도 일부분은 그의 폐쇄된 차폐 위치로부터 그의 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 자동적으로 전환될 수 있다. 역시 가능한 통상적인 작동과 비교하면, 차폐 장치의 자동적인 작동에 의해 유리하게, 특히 안경 렌즈의 대량 생산에서 바람직한 바와 같이 원격 제어 및 사전에 프로그램된 과정이 가능하게 된다. 이 경우, 셔터부 또는 그의 적어도 일부분은, 상기 셔터부 또는 그의 상기 일부분을 그의 폐쇄된 차폐 위치로부터 그의 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 자동적으로 전환시키는 역할을 하는 액츄에이터에 작동적으로 연결될 수 있다. 기본적으로, 액츄에이터는 주로 차폐 장치의 종류에 따라 선형 운동 액츄에이터 또는 회전 운동 액츄에이터일 수 있다.
차폐 장치의 셔터부를 작동시키기 위한 액츄에이터의 경우, 바람직하게는, 그 액츄에이터는 상기 진공 챔버의 외부에 위치될 수 있다. 원리적으로 가능한 진공내 액츄에이터, 예컨대 직접 연결식 진공내 모터 비교하면, 진공외 배치는 액츄에이터에 대한 용이한 수리를 가능하게 할 뿐만 아니라 진공 챔버 내의 진공 오염의 낮은 위험성 면에서도 유리하고 따라서 펌핑 다운 시간의 감소에 기여한다. 이 경우, 액츄에이터는 공기-진공 피드 스루(feed-through)를 통해 셔터부 또는 그의 적어도 일부분에 작동적으로 연결될 수 있고, 그 셔터부는 사용되는 액츄에이터의 종류에 따라 선형 운동형이거나 회전 운동형이다.
예컨대 중간 위치를 설정하기 위해 또는 개방/폐쇄 속도에 영향을 주기 위해, 차폐 장치의 나머지 부분에 대한 셔터부의 상대 위치를 미세하게 제어하는 것이 필요하거나 바람직하다면, 스텝퍼 모터가 액츄에이터용으로 사용될 수 있다. 하지만, 특히 진공외 액츄에이터의 경우, 액츄에이터는 바람직하게, 셔터부의 폐쇄된 차폐 위치로부터 상기 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로(단지 2개의 위치) 선택적으로 전환시키기 위한 공압 작동식 피스톤-실린더 장치를 포함하며, 이러한 피스톤-실린더 장치는 경제적으로 구입 가능하다.
마지막으로, 또한 낮은 복잡성 및 비용을 위해, 바람직하게, 액츄에이터는 슬래트 요소를 하나의 동일한 액츄에이터에 의해 동시에 피봇하기 위해 전술한 연결편에 작동적으로 연결될 수 있다. 일반적으로, 이러한 개념은, 2개 이상의 셔터 또는 슬래트 요소가 동시에 또한 경우에 따라 동일한 선형 방향 또는 회전 방향으로 이동되고자 할 때 사용될 수 있다.
이하, 부분적으로 단순화된 또는 개략적인 첨부 도면을 참조하여, 안경 렌즈와 같은 기재의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치의 바람직한 실시 형태를 가지고 본 발명을 더 상세히 설명한다. 도시의 단순화를 위해, 박스 코팅 장치의 클래딩(cladding) 및 도어의 부품 외에, 특히, 셔터를 갖는 전자 비임 총, 작동 유닛과 제어 시스템(전기 캐비넷), 스크린, 기재와 소모품을 위한 취급 장치와 배치 요소, 전류(변압기), 압축 공기, 진공(고진공 펌프 세트) 및 냉각수(물 열 조절기, 물 냉각기)를 위한 몇몇 공급 및 조절 장치(라인, 호스 및 관을 포함하여), 또한 측정 장치, 유지 보수 장치 및 안전 장치는, 모든 경우에 본 발명의 이해에 필요 없다는 점에서 도면에서 대부분 생략되었다. 적어도 이들 생략된 부품, 어셈블리 및 장치의 구조 및 기능은 통상의 기술자에게 알려져 있다.
도 1은 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 본 발명에 따른 박스 코팅 장치를, 위쪽 전방 좌측에서 비스듬히, 기재 홀더 뒤에 있는 고진공 밸브 기구에 할당되어 있는 제 1 차폐 장치 및 마이스너 트랩에 할당되어 있는 제 2 차폐 장치 상으로 본 사시도를 나타내며, 고진공 밸브 기구 및 관련된 밸브 액츄에이터를 갖는 종래에 알려져 있는 펌핑 장치(도 14 참조)는 앞에서 언급한 바와 같이 도면의 단순화를 위해 생략되었다.
도 2는 도 1에 따른 박스 코팅 장치를 위쪽 전방 우측에서 비스듬히 본 확대 절취 사시도(제 1 차폐 장치 가까이에서 그에 대해 횡으로 연장되어 있는 평면을 따라 절취된 것임)를 나타내며, 제 1 차폐 장치의 셔터부는, 쌍으로 배치되어 있고 관련된 고정 차폐 요소의 각각의 개방 영역에 위치되어 있는 복수의 슬래트 요소를 가지며, 도 2의 정상부에 나타나 있는 각각 관련된 액츄에이터에 의해, 좌측 슬래트 요소는 개방된 펌핑 위치로 피봇되어 있고 우측 슬래트 요소는 폐쇄된 차폐 위치로 피봇되어 있다.
도 3은 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 정면도로, 제 1 차폐 장치가 더 잘 보이도록 기재 홀더 및 고진공 밸브 기구를 위한 밸브 액츄에이터는 생략되어 있고, 제 1 및 제 2 차폐 장치를 위한 각각의 셔터부는, 가스 및 공기의 본질적으로 자유로운 통과를 허용하도록 차폐 장치를 통과하는 통로를 실질적으로 열어주는 개방된 펌핑 위치에 있는 것으로 도시되어 있다.
도 4는 도 3에 있는 Ⅳ - Ⅳ 단면선에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 확대 절취 단면도를 나타내며, 제 1 차폐 장치의 셔터부의 슬래트 요소는 개방된 펌핑 위치로 피봇되어 있다.
도 5는 도 4에 나타나 있는 단면에 대응하는, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 확대 절취 단면도를 나타내며, 제 1 차폐 장치의 셔터부의 슬래트 요소는 폐쇄된 차폐 위치로 피봇되어 있다.
도 6은 위쪽에서 본 제 2 차폐 장치를 더 도시하기 위한, 도 3에 있는 Ⅵ - Ⅵ 단면선에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 단면도를 나타낸다.
도 7은 도 6에 있는 Ⅶ - Ⅶ 단면선에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 단면도를 나타내며, 제 2 차폐 장치의 셔터부의 가동 셔터 요소는, 제 2 차폐 장치의 관련된 고정식 차폐 요소에 있는 구멍이 셔터 요소에 의해 노출된 상태로 있는 개방된 펌핑 위치에 있다.
도 8은 도 7에 나타나 있는 단면에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 단면도를 나타내는 것으로, 하지만, 도 7에서 처럼, 우측 셔터 요소만 개방된 펌핑 위치에 있고, 좌측 셔터 요소는, 관련된 고정식 차폐 요소에 있는 구멍이 셔터 요소의 상보적인 가림 영역에 의해 뒤에서 덮히는 폐쇄된 차폐 위치에 있다.
도 9는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 제 2 차폐 장치의 할당된 액츄에이터를 갖는 셔터 요소 중의 하나를 박스 코팅 장치로부터 고립시켜 위쪽 전방 우측에서 비스듬히 본 확대 사시도를 나타낸다.
도 10은 도 9에 도시되어 있는 셔터 요소와 액츄에이터의 조합을 도 9의 좌측에서 본 측면도를 나타낸다.
도 11은 도 10에 있는 ⅩⅠ- ⅩⅠ단면선에 대응하는 도 9에 도시되어 있는 셔터 요소와 액츄에이터의 조합의 확대 절취 단면도를 나타낸다.
도 12는 알려져 있는 박스 코팅 장치를 위쪽 전방 좌측에서 비스듬히 본 사시도를 나타내며, 마이스너 트랩, 및 고진공 밸브 기구의 부품을 수용하는 진공 챔버에 대한 챔버 부속물 각각은 증발된 재료의 증착에 대해 완전 고정식 차폐물에 의해 보호되고 있다.
도 13은 도 12에 따른 알려져 있는 박스 코팅 장치를 위쪽 전방 좌측에서 비스듬히 본 사시도를 나타내며, 도 12와 비교하여, 마이스너 트랩에 할당되어 있는 고정식 차폐물 및 고진공 밸브 기구에 할당되어 있는 고정식 차폐물은 도시의 목적으로 생략되어 있다.
도 14는 도 12에 따른 알려져 있는 박스 코팅 장치의 종단면도를 나타내며, 특히, 박스 코팅 장치의 진공 챔버를 배기시키기 위한 알려져 있는 펌핑 장치의 일 예가 도 14에서 좌측에 개략적으로 도시되어 있다.
기재(도면에는 나타나 있지 않음), 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치가 도 1 내지 8에서 참조 번호 "10"으로 나타나 있다. 앞에서 언급한 바와 같이, 이러한 박스 코팅 장치(10)는 일반적으로 그 자체 알려져 있는 방식으로 펌핑 장치(도 14에서 "25" 참조)에 의해 배기될 수 있는 진공 챔버(12)를 가지고 있다. 진공 챔버(12)는 코팅 재료를 증발시키기 위한 증발원(14)을 수용한다. 복수의 기재를 유지하기 위한 기재 홀더(16)가 진공 챔버(12) 안에서 증발원(14)과 마주하여 배치되며, 그래서, 증발원(14)에 의해 증발된 코팅 재료가 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재 상에 충돌할 수 있다.
증발원(14)과 기재 홀더(16) 외에, 다양한 기능 요소가 진공 챔버(12) 안에 또는 그에 인접하여 제공된다. 이들 기능 요소는 적어도 마이스너 트랩(Meissner trap)(20) 및 고진공 밸브 기구(26)를 포함한다(도 3 및 14 참조). 추가 기능 요소로서 가열 장치(22)(석영 램프 가열 시스템)가 나타나 있다. 도면에 나타나 있지 않은 또 다른 기능 요소는 그 자체 알려져 있는 방식으로 진공 게이지, 증착 센서 장치, 진공 챔버(12) 안을 보기 위한 작업자 뷰포트 등을 포함한다.
도시되어 있는 실시 형태에서, 제 1 차폐 장치(50)가 고진공 밸브 개구(26)에 할당되어 있고, 증발원(14)과 고진공 밸브 기구(26) 사이에서 진공 챔버(12)의 챔버 부속물(28)에 위치되어 있고, 제 2 차폐 장치(52)가 마이스너 트랩(20)과 관련되어 있고 증발원(14)과 마이스너 트랩(20) 사이에 배치되어 있다. 차폐 장치(50, 52)는, 증발원(14)에서 볼 때 각각의 기능 요소(20, 26)의 앞에 각각 위치하고 있어, 우선 증발원(14)에 의해 증발된 코팅 재료가 각각의 기능 요소(20, 26) 상에 충돌하는 것을 방지하도록 되어 있다.
또한, 아래에서 더 상세히 설명하는 바와 같이, 각 차폐 장치(50, 52)는 셔터부(54, 56)를 포함하는데, 이 셔터부는 a) 셔터부(54, 56)가 각각의 차폐 장치(50, 52)를 통과하는 통로(58, 60)를 덮어 셔터부(54, 56)가 각각의 차폐 장치(50, 52)의 나머지 부분과 함께 관련된 기능 요소(20, 26)를 보호하는 역할을 하는 폐쇄된 차폐 위치로부터 b) 셔터부(54, 56)가 실질적으로 통로(58, 60)를 열어 가스 및 증기의 본질적으로 자유로운 통과를 허용하여, 실제 증착 공정 전에 진공 챔버(12)를 펌핑 다운시키기 위해 필요한 시간을 상당히 줄일 수 있는 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 선택적으로 전환될 수 있다.
이하, 고진공 밸브 기구(26)를 위한 제 1 차폐 장치(50)의 관련된 상세를 도 2 내지 5를 참조하여 논의할 것이고, 마이스너 트랩(20)을 위한 제 2 차폐 장치(52)의 대응하는 상세는 도 6 내지 9를 참조하여 설명할 것이다. 예시적인 양 경우에, 셔터부(54, 56), 즉 그의 일부분은 폐쇄된 차폐 위치로부터 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 자동적으로(수동과는 반대로) 전환될 수 있다. 더 정확하게는, 예시적인 양 경우에, 액츄에이터(62)가 제공되고 셔터부(54, 56)의 일부분에 작동적으로 연결되어 있으며, 이 액츄에이터는 셔터부(54, 56)의 관련된 부분을 폐쇄된 차폐 위치로부터 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 자동적으로 전환시키는 역할을 한다. 이들 액츄에이터(62)(도시된 실시예에서는 제 1 차폐 장치(50)와 제 2 차폐 장치(52)에 대해 기본적으로 동일함)의 구조 및 기능은, 제 2 차폐 장치(52)를 예로 들어 뒤에서 도 10 및 11을 참조하여 설명될 것이다. 이때 이미, 도시되어 있는 실시예에서는 모든 액츄에이터(62)가 진공 챔버(12)의 외부에 위치되어 있음을 유의해야 한다(도 1 참조). 또한, 예시적인 액츄에이터(62)는 예외 없이 각각의 공기-진공 피드 스루(feed-through)(64)(역시 설명될 것임)를 통해 관련된 셔터부(54, 56)에 작동적으로 연결된다.
도 2 및 3에서 가장 잘 알 수 있는 바와 같이, 제 1 차폐 장치(50)는, 적절히 함께 용접되고 나사 결합되는 판금 부품으로 만들어지는 3개의 고정식 차폐 요소(66, 68, 70)를 가지고 있다. 각 차폐 요소(66, 68, 70)에는 개방 영역(72, 74, 76)이 제공된다. 중간 차폐 요소(68)의 개방 영역(74)에는 2개의 보호 판(78)이 고정적으로 장착되어 있어, 고정된 박판 각도를 갖는 일종의 박판 그리드를 형성하며, 그래서 각각의 보호 판(78)은 실질적으로 증발원(14) 쪽을 향한다. 앞에서 볼 때, 그레이트(grate)(80)가 차폐 요소(66, 68, 70) 뒤에 장착되어 있는데, 이 그레이트는 폭 및 높이에 있어 차폐 요소(66, 68, 70)를 가로질러 연장되어 있다.
또한, 특히 도 2에 따르면, 도시되어 있는 실시예에서, 제 1 차폐 장치(50)의 셔터부(54)는 총 4개의 슬래트(slat) 요소(82)를 가지며, 이들 슬래트 요소는 외측의 두 차폐 요소(66, 70)의 개방 영역(72, 76)에 위치된다. 슬래트 요소(82)는 평평한 판 재료로 만들어지고, 각기 실질적으로 직사각형인 형상을 가지고 있다. 또한, 슬래트 요소(82) 각각은 각각의 개방 영역(72, 76)에 대해 횡으로 배향되어 있는 관련된 피봇 축선(84) 중심으로 피봇되도록 배치되어 있다. 더 상세하게 말하면, 그리고 도 2, 4 및 5에서 명확한 바와 같이, 나타나 있는 실시예에서는 2개의 슬래트 요소(82)가 각 개방 영역(72, 76)에 위치되어 있고, 각각의 개방 영역(72, 76)에 대해 횡으로 배향되어 있는 서로 평행한 피봇 축선(84) 중심으로 피봇되도록 배치되어 있다. 적절하게 설계된 베어링 점(86)(도면에는 더 상세히 나타나 있지 않음)이 각 슬래트 요소(82)의 양 측면에 제공된다.
도 2, 4 및 5에서 더 알 수 있는 바와 같이, 각 슬래트 요소(82)는 넓은 정면(88) 및 좁은 가장자리(90)를 가지고 있고, a) 셔터부(54)의 차폐 위치에서 정면(88)이 본질적으로 증발원(14) 쪽을 향하는 상태(도 5 및 도 2의 우측 슬래트 요소(82) 참조), 또는 b) 각각의 개방 영역(72, 76)을 통과하는 통로(58)가 실질적으로 열리도록 셔터부(54)의 펌핑 위치에서 가장자리(90)의 표면 영역만이 관련된 차폐 요소(66, 70)의 각각의 개방 영역(72, 76)의 자유 단면을 제한하는 상태(도 4 및 도 2의 좌측 슬래트 요소(82) 참조)로 되도록 각각의 피봇 축선(84) 중심으로 피봇될 수 있다.
더욱이, 도시되어 있는 실시예에서, 쌍으로 배치되는 슬래트 요소(82)는, 각각의 피봇 축선(84) 중심으로 동시에 또한 동일한 회전 방향으로 피봇될 수 있도록 연결편(92)에 의해 결합되어 있다. 도 4 및 5에 따르면, 각 연결편(92)은 축방향으로 서로 떨어져 있는 2개의 연결 아암(94)을 가지고 있고, 이들 연결 아암은 그레이트(80)를 통과하여, 각각의 슬래트 요소(82)에 부착되어 있는 할당된 브라켓(96)에 적절히 연결되어 있다. 각 쌍의 슬래트 요소(82) 중의 상측 슬래트 요소(82)는 스프링 요소(98)에 의해, 셔터부(54)의 펌핑 위치에서 가장자리(90)의 표면 영역만이 관련된 차폐 요소(66, 70)의 각각의 개방 영역(72, 76)의 자유 단면을 제한하는 상태로 편향된다. 나타나 있는 실시 형태에서, 스프링 요소(98)는 스크류 인장 스프링의 형태로 되어 있고, 상측 단부는 U-볼트(100)를 통해 각각의 차폐 요소(66, 70)에 고정되어 있고 하측 단부는 관련된 상측 슬래트 요소(82)의 브라켓(96)에 적절히 연결되어 있다.
역시 판금 부품으로 형성되는 연결편(92)은 관련된 액츄에이터(62)에 대한 접촉면(102)을 규정하는 구부러진 상측 부분(도 2 참조)을 더 가지고 있다. 더 정확하게 말하면, 액츄에이터(62)는 하나 또는 복수의 부분으로 형성되는 연결 축(104)을 가지며, 이 연결 축은 공기-진공 피드 스루(64)를 통해 챔버 부속물(28) 안으로 슬라이딩식으로 돌출한다. 연결 축(104)의 자유 단부는 롤러 요소(108)를 회전 가능하게 장착하는 장착 브라켓(106)을 지니고 있다. 롤러 요소(108)는 연결편(92)의 접촉면(102)에 접한다.
도 4 및 5에서 명확한 바와 같이, 도 4에 나타나 있는 이중 화살표를 따라 액츄에이터(62)의 연결 축(104)을 챔버 부속물(28) 안으로 슬라이딩식으로 연장시키면, 연결편(92)이 스프링 요소(98)의 편향력에 대항하여 롤러 요소(108)를 통해 아래로 눌리게 된다. 그리고, 슬래트 요소(82)(브라켓(96)을 통해 연결편(92)에 결합되어 있음)가 그의 각각의 피봇 축선(84) 중심으로 피봇함에 따라, 도 5에 나타나 있는 위치에 이를 때까지 연결편(92)이 도 4에서 좌측으로 이동하게 된다. 이 동안에 롤러 요소(108)는 연결편(92)의 접촉면(102) 상에서 구르게 된다. 슬래트 요소(82)를 도 4에 나타나 있는 위치로 역방향으로 피봇시키기 위해 액츄에이터(62)의 연결 축(104)이 도 5에 나타나 있는 이중 화살표를 따라 도 5에 나타나 있는 위치로부터 후퇴되면, 연결편(92)(스프링 요소(98)의 편향력 때문에 접촉면(102)으로 롤러 요소(108)에 가압됨)이 연결 축(104)을 따르게 된다. 이 동안에, 도 4에 나타나 있는 위치에 다시 이를 때까지 연결편(92)은 도 5에서 우측으로 이동하게 되며, 이때 롤러 요소(108)는 연결편(92)의 접촉면(102) 상에서 역방향으로 구르게 된다.
따라서, 액츄에이터(62)는 관련된 슬래트 요소(82)를 하나의 동일한 액츄에이터(62)에 의해 동시에 피봇하도록 연결편(92)에 작동적으로 연결되어 있다. 도 2에서 더 명확한 바와 같이, 슬래트 요소(82)의 각 쌍은 자체의 액츄에이터(62)를 가지고 있기 때문에 슬래트 요소(82)의 쌍은 서로 독립적으로 작동될 수 있다. 예컨대 이러한 특징적인 점을 사용하여, 펌핑 다운 단계가 막 시작될 때 진공 챔버(12) 안에서 정해진 나선 운동을 하는 유동을 발생시켜, 배기를 촉진시킬 수 있다.
이제 도 6 내지 9를 참조하면, 나타나 있는 실시예에서, 마이스너 트랩(20)에 할당되어 있는 제 2 차폐 장치(52)는 서로 다른 크기로 되어 있는 3개의 고정식 차폐 요소(110, 112, 114)를 가지고 있고, 이들 차폐 요소 각각은 실질적으로 평평한 직사각형의 판금 부품으로 형성된다. 도 6에 가장 잘 볼 수 있는 바와 같이, 차폐 요소(110, 112, 114)는, 본질적으로 마이스너 트랩(20)의 C-형 만곡을 따르는 각진 구성으로 배치되어 있다. 각 차폐 요소(110, 112, 114)에는, 서로 평행하게 배치되고 각각의 차폐 요소(110, 112, 114)의 폭 방향으로 연장되어 있는 4개의 슬릿형 구멍(116)이 제공된다.
또한, 도시되어 있는 실시 형태에서, 제 2 차폐 장치(52)의 셔터부(56)는, 차폐 요소(110, 112, 114)에 각각 할당되어 있고 차폐 요소(110, 112, 114)와 마이스너 트랩(20) 사이에 배치되는 3개의 가동 셔터 요소(118, 120, 122)를 포함한다. 할당되어 있는 차폐 요소(110, 112, 114)에 있는 구멍(116)의 수(나타나 있는 실시예에서는 4개의 구멍)에 대응하여, 각 셔터 요소(118, 120, 122)에는 가림 영역(masking areas)(124)이 제공되며, 이 가림 영역의 크기와 기하학적 구조는 각각의 차폐 요소(110, 112, 114)에 있는 관련된 구멍(116)을 실질적으로 덮도록 되어 있다. 이는 도 7 및 8에서 가장 잘 알 수 있다. 특히 도 9에 따르면, 가림 영역(124)(이 경우에는 4개)은, 각 셔터 요소(118, 120, 122)의 개별적인 프레임(126)에 적절히 장착되는 금속 스트립으로 구성될 수 있다.
도 7 및 8에 더 도시되어 있는 바와 같이, 중간 차폐 요소(112) 및 관련된 셔터 요소(120)를 예로 들면, 각각의 차폐 요소(110, 112, 114)에 할당되어 있는 셔터 요소(118, 120, 122)는, 선택적으로 a) 제 2 차폐 장치(52)의 셔터부(56)의 차폐 위치에서 상기 할당된 셔터 요소(118, 120, 122)의 가림 영역(124)으로 각각의 차폐 요소(110, 112, 114)에 있는 구멍(116)을 덮거나(도 8 참조; 액츄에이터(62)의 연결 축(104)이 후퇴되어 있음), 또는 b) 실질적으로 구멍(116)을 통과하는 통로(60)가 열리도록 제 2 차폐 장치(52)의 셔터부(56)의 펌핑 위치에서 상기 할당된 셔터 요소(118, 120, 122)의 가림 영역(124)에 의해 각각의 차폐 요소(110, 112, 114)의 구멍(116)을 노출시키기 위해(도 7 참조; 액츄에이터(62)의 연결 축(104)이 연장되어 있음), 관련된 액츄에이터(62)에 의해 각각의 차폐 요소(110, 112, 114)에 대해 이동될 수 있다. 이 경우(도 7 및 8에서 이중 화살표로 나타나 있는 바와 같은 셔터 요소의 상하 운동), 중력은, 일단 액츄에이터(62)에 의한 작동이 중단되면 셔터 요소(118, 120, 122)가 복귀하게 되는 원래의 상태로서 셔터부(56)의 차폐 위치를 설정하는 데에 도움을 준다.
특히 도 7 및 8에서 명백한 바와 같이, 셔터부(56)의 셔터 요소(118, 120, 122)는 관련된 차폐 요소(110, 112, 114)에 대해 선형적으로 평행하게 이동되도록 배치되어 있다. 셔터 요소(118, 120, 122)가 선형적으로 이동될 때 관련된 액츄에이터(62)의 축방향 운동 축선 중심으로 회전하지 못하게 하기 위한 적절한 수단(도면에는 상세히 나타나 있지 않음)이 제공된다.
박스 코팅 장치(10)의 본 실시 형태 전체에 걸쳐 사용되는 액츄에이터(62) 및 공기-진공 피드 스루(64)에 대한 추가 상세는 도 9 내지 11에서 알 수 있으며, 도 11은 진공 챔버(12)의 벽(128)에 장착되어 있는 상태에 있는 액츄에이터(62) 및 공기-진공 피드 스루(64)를 나타낸다.
도 11에 따르면, 진공 챔버(12)의 벽(128)에는 관통 구멍(130)이 제공되는데, 이 관통 구멍 안에는 금속 슬리브(132)가 용접(용접 비드(bead)(134))에 의해 고정적으로 또한 밀봉식으로 장착되어 있다. 슬리브(132)는 칼라(136)가 제공되는 외측 단부를 가지고 있으며, 그 칼라는 클램프(140) 및 O-링(142)을 이용하여 어댑터 판(138)을 이의 상측 칼라(139)를 통해 슬리브(132)에 밀봉식으로 클램핑시키는 역할을 한다. 하측 단부에서 확대 카운터 베어링부(145)를 가지고 있는 부싱(144)이 어댑터 판(138)을 관통하는 단차형 구멍(146)에 타이트하게 수용되어 있고 상측 단부로 슬리브(132)를 통해 연장되어 있고, 부싱(144)은 유지 링(148)에 의해 슬리브(132) 및 어댑터 판(138)에 고정된다. 부싱(144) 자체에는 슬라이딩 부시(152)를 수용하기 위한 단차형 구멍(150)이 제공되고, 그 슬라이딩 부시는 다른 유지 링(154)에 의해 부싱(144)의 단차형 구멍(150)에 고정되고 또한 슬라이딩 베어링 처럼 액츄에이터(62)의 연결 축(104)를 안내하는 역할을 한다.
특히 도 9 및 10에서 알 수 있는 바와 같이, 어댑터 판(138)은 위에서 볼 때 일반적으로 직사각 형상을 가지며 장착 장치의 일부분을 형성하고, 이 장착 장치는 어댑터 판(138)에 볼트 체결되는 U-형 브라켓(156)을 더 포함한다. U-형 브라켓(156)의 베이스부(158)는 액츄에이터(62)의 공압 작동식 피스톤-실린더 장치(162)의 플랜지 장착을 위해 제공되는 플랜지 판(160)을 장착하는 역할을 한다.
도 11에 따르면, 피스톤-실린더 장치(162)는, 피스톤-실린더 장치(162)의 실린더 하우징(167)의 실린더 챔버(166) 안에 슬라이딩식으로 배치되는 피스톤(164)을 가지고 있다. 실린더 하우징(167)에 제공되는 가압 공기 연결부(168, 170)를 통해 가압 공기가 실린더 챔버(166) 안으로 들어갈 수 있다. 따라서, 피스톤(164)은 연결 축(104)의 원하는 운동 방향에 따라 도 11에서 아래쪽 또는 위쪽에서부터 공압으로 작동될 수 있다.
압력차로 인해 유도되는 피스톤(164)의 운동을 액츄에이터(62)의 연결 축(104)에 전달하기 위해 피스톤 로드(172)가 피스톤(164)에 부착되어 있고, 이 피스톤 로드는 실린더 하우징(167), 플랜지 판(160) 및 U-형 브라켓(156)의 베이스부(158)에 있는 관련된 구멍을 통과하여 나사 연결을 통해 연결 축(104)에 연결된다. 더 정확하게 말하면, 피스톤 로드(172)의 자유 단부에는 나사식 단부(174)가 제공되는데, 이 나사식 단부는 연결 축(104)의 정면에 있는 나사식 구멍(175) 안으로 나사 결합되고 너트(176) 및 잠금 너트(177)에 의해 제자리에 고정된다.
또한, 금속 벨로우즈(178)가 제공되는데, 이 금속 벨로우즈는, 실질적으로 U-형인 단면을 갖는 2개의 단부 링 부분(179, 180)을 가지며, 이들 단부 링 부분은 사이에 있는 벨로우즈 부분(182)에 밀봉식으로 부착된다. 도 11에서 알 수 있는 바와 같이, 연결 축(104)에는 이의 하측 단부 근처에서 칼라(184)가 제공되는데, 이 칼라는 클램프(185) 및 O-링(186)을 이용하여 금속 벨로우즈(178)의 하측 단부 링 부분(180)을 연결 축(104)에 밀봉식으로 클램핑시키는 역할을 한다. 금속 벨로우즈(178)의 상측 단부 링 부분(179)은 다른 클램프(189) 및 O-링(190)에 의해 어댑터 판(138)의 하측 칼라(188)에 밀봉식으로 클램핑된다.
마지막으로, 전술한 바로부터 명백한 바와 같이, 가압 공기 연결부(168)를 통해 액츄에이터(62)의 피스톤-실린더 장치(162)에 공압을 주어, 피스톤(164)과 피스톤 로드(172)를 통해 연결 축(104)을 상승시키거나 하강시킬 수 있다. 이 결과, 관련된 셔터부(54, 56)는, 액츄에이터(62)의 장착 배향에 따라, 폐쇄된 차폐 위치로부터 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 선택적으로 전환될 수 있다. 이때, 액츄에이터(62)의 장착 배향에 따라, 진공 챔버(12) 내의 진공이 연결 축(104)의 칼라(184)의 아래 또는 위에 존재할 것인데, 하지만 금속 벨로우즈(178)를 갖는 공기-진공 피드 스루(64) 때문에 빠져나가지 못한다.
기재의 코팅을 위한 박스 코팅 장치가 증발원을 수용하는 진공 챔버를 포함한다. 기재 홀더가 증발원과 마주하여 배치되어 있어, 증발된 재료가 기재 홀더에 의해 유지되는 기재 상에 충돌할 수 있다. 증발원과 기재 홀더 외에도, 적어도 하나의 추가 기능 요소, 즉 마이스너 트랩 및/또는 고진공 밸브 기구가 제공되며, 이 기능 요소에는 차폐 장치가 할당되어 있어, 증발된 재료가 상기 기능 요소 상에 충돌하는 것을 방지한다. 이 차폐 장치는 셔터부를 가지며, 이 셔터부는 차폐 장치를 통과하는 통로를 덮고 상기 기능 요소를 보호하는 역할을 하는 폐쇄된 차폐 위치로부터, 실질적으로 통로를 열어 가스 및 증기의 본질적으로 자유로운 통과를 허용하는 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 전환될 수 있다.
10 박스 코팅 장치 12 진공 챔버
14 증발원 16 기재 홀더
18 돔 회전 구동기 20 마이스너 트랩
22 기재 가열기/가열 장치 24 코일
25 펌핑 장치 26 고진공 밸브 기구
28 챔버 부속물 30 밸브 액츄에이터
32 루츠 펌프 34 회전 베인 펌프
36 러핑 밸브 38 냉각 배플
40 오일 확산 펌프 42 우회 밸브
44 차폐물 46 차폐물
48 하우징 50 제 1 차폐 장치
52 제 2 차폐 장치 54 셔터부
56 셔터부 58 통로
60 통로 62 액츄에이터
64 공기-진공 피드 스루 66 차폐 요소
68 차폐 요소 70 차폐 요소
72 개방 영역 74 개방 영역
76 개방 영역 78 보호 판
80 그레이트 82 슬래트 요소
84 피봇 축선 86 베어링 점
88 정면 90 가장자리
92 연결편 94 연결 아암
96 브라켓 98 스프링 요소
100 U-볼트 102 접촉면
104 연결축 106 장착 브라켓
108 롤러 요소 110 차폐 요소
112 차폐 요소 114 차폐 요소
116 구멍 118 셔터 요소
120 셔터 요소 122 셔터 요소
124 가림 영역 126 프레임
128 벽 130 관통 구멍
132 슬리브 134 용접 비드
136 칼라 138 어댑터 판
139 칼라 140 클램프
142 O-링 144 부싱
145 카운터 베어링부 146 단차형 구멍
148 유지 링 150 단차형 구멍
152 슬라이딩 부시 154 유지 링
156 U-형 브라켓 158 베이스부
160 플랜지 판 162 피스톤-실린더 장치
164 피스톤 166 실린더 챔버
167 실린더 하우징 168 가압 공기 연결부
170 가압 공기 연결부 172 피스톤 로드
174 나사식 단부 175 나사식 구멍
176 너트 177 잠금 너트
178 금속 벨로우즈 179 단부 링 부분
180 단부 링 부분 182 벨로우즈 부분
184 칼라 185 클램프
186 O-링 188 칼라
189 클램프 190 O-링
R 회전 축선

Claims (14)

  1. 기재, 특히 안경 렌즈의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치(10)로서,
    펌핑 장치(25)에 의해 배기될 수 있는 진공 챔버(12)를 포함하고, 상기 진공 챔버는 코팅 재료를 증발시키기 위한 증발원(14)을 수용하며, 복수의 기재를 유지하기 위한 기재 홀더(16)가 상기 진공 챔버(12) 안에서 상기 증발원(14)과 마주하여 배치되어 있어, 상기 증발원(14)에 의해 증발된 코팅 재료가 상기 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재 상에 충돌할 수 있고,
    상기 증발원(14)과 상기 기재 홀더(16) 외에, 적어도 하나의 추가 기능 요소(20, 26), 즉 적어도 마이스너 트랩(Meissner trap)(20) 및/또는 고진공 밸브 기구(26)가 제공되고, 상기 진공 챔버(12) 안에서 상기 추가 기능 요소에는 차폐 장치(50, 52)가 할당되어 있고, 상기 차폐 장치는 상기 증발원(14)과 상기 기능 요소(20, 26) 사이에 위치되어, 상기 증발원(14)에 의해 증발된 코팅 재료가 상기 기능 요소(20, 26) 상에 충돌하는 것을 방지하며,
    상기 마이스너 트랩(20) 및/또는 상기 고진공 밸브 기구(26)에 할당되어 있는 상기 차폐 장치(50, 52)는 셔터부(54, 56)를 포함하고, 상기 셔터부는, 상기 셔터부(54, 56)가 선택적으로 상기 차폐 장치(50, 52)의 나머지 부분과 함께 상기 기능 요소(20, 26)를 차폐하는 역할을 하면서, 상기 셔터부(54, 56)가 상기 차폐 장치(50, 52)를 통과하는 통로(58, 60)를 덮는 폐쇄된 차폐 위치로부터, 상기 셔터부(54, 56)가 실질적으로 상기 통로(58, 60)를 열어 가스 및 증기의 본질적으로 자유로운 통과를 허용하는 개방된 펌핑 위치로 또한 그 반대로 선택적으로 전환될 수 있는 박스 코팅 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 차폐 장치(52)는 적어도 하나의 구멍(116)이 제공되는 적어도 하나의 고정식 차폐 요소(110, 112, 114)를 더 가지며, 상기 셔터부(56)는 적어도 하나의 가림 영역(124)이 제공되는 적어도 하나의 가동 셔터 요소(118, 120, 122)를 포함하고, 상기 가림 영역의 크기와 기하학적 구조는 상기 차폐 요소(110, 112, 114)에 있는 상기 구멍(116)을 실질적으로 덮도록 되어 있고,
    상기 셔터 요소(118, 120, 122)는, 선택적으로, 상기 셔터부(56)의 차폐 위치에서 상기 셔터 요소(118, 120, 122)의 상기 가림 영역(124)으로 상기 차폐 요소(110, 112, 114)의 상기 구멍(116)을 덮거나, 또는 상기 구멍(116)을 통과하는 상기 통로(60)가 실질적으로 열리도록 상기 셔터부(56)의 펌핑 위치에서 상기 셔터 요소(118, 120, 122)의 상기 가림 영역(124)에 의해 상기 차폐 요소(110, 112, 114)의 상기 구멍(116)을 노출시키기 위해, 상기 차폐 요소(110, 112, 114)에 대해 이동될 수 있는, 박스 코팅 장치.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 셔터부(56)의 상기 셔터 요소(118, 120, 122)는 상기 차폐 장치(52)의 상기 차폐 요소(110, 112, 114)에 대해 선형적으로 이동되도록 배치되어 있는 박스 코팅 장치.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 셔터부(56)의 상기 셔터 요소(118, 120, 122)는 상기 차폐 장치(52)의 상기 차폐 요소(110, 112, 114)에 평행하게 이동되도록 배치되어 있는 박스 코팅 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 차폐 장치(50)는, 적어도 하나의 개방 영역(72, 76)이 제공되는 적어도 하나의 고정식 차폐 요소(66, 70)를 더 가지며, 상기 셔터부(54)는, 상기 개방 영역(72, 76) 안에 또는 개방 영역(72, 76)에 인접하여 위치되는 적어도 하나의 슬래트(slat) 요소(82)를 포함하고, 상기 슬래트 요소는 상기 개방 영역(72, 76)에 대해 횡으로 배향되어 있는 피봇(pivot) 축선(84) 중심으로 피봇되도록 배치되어 있고,
    상기 슬래트 요소(82)는 넓은 정면(88) 및 좁은 가장자리(90)를 가지며, 또한 상기 슬래트 요소는, 상기 셔터부(54)의 차폐 위치에서 슬래트 요소의 정면(88)이 본질적으로 상기 증발원(14) 쪽을 향하는 상태, 또는 상기 개방 영역(72, 76)을 통과하는 상기 통로(58)가 실질적으로 열리도록 상기 셔터부(54)의 상기 펌핑 위치에서 슬래트 요소의 가장자리(90)의 표면 영역만이 상기 차폐 요소(66, 70)의 상기 개방 영역(72, 76)의 자유 단면을 제한하는 상태로 되도록 상기 피봇 축선(84) 중심으로 피봇될 수 있는 박스 코팅 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 셔터부(54)는 상기 개방 영역(72, 76) 안에 또는 개방 영역(72, 76)에 인접하여 위치되는 적어도 2개의 슬래트 요소(82)를 포함하고, 상기 슬래트 요소는, 상기 개방 영역(72, 76)에 대해 횡으로 배향되어 있는 서로 평행한 피봇 축선(84) 중심으로 피봇되도록 배치되어 있는 박스 코팅 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 슬래트 요소(82)는, 각각의 회전 축선(84) 중심으로 동시에 또한 동일한 회전 방향으로 피봇될 수 있도록 연결편(92)에 의해 결합되어 있는 박스 코팅 장치.
  8. 청구항 5 내지 청구항 7중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 슬래트 요소(82)는 스프링 요소(98)에 의해, 상기 셔터부(54)의 상기 펌핑 위치에서 슬래트 요소의 가장자리(90)의 표면 영역만이 상기 차폐 요소(66, 70)의 상기 개방 영역(72, 76)의 자유 단면을 제한하는 상태로 편향되는 박스 코팅 장치.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 셔터부(54, 56) 또는 셔터부의 적어도 일부분은 그의 폐쇄된 차폐 위치로부터 그의 개방된 펌핑 위치로, 또한 그 반대로 자동적으로 전환될 수 있는 박스 코팅 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 셔터부(54, 56) 또는 셔터부의 적어도 일부분은, 상기 셔터부(54, 56) 또는 셔터부의 상기 일부분을 그의 폐쇄된 차폐 위치로부터 그의 개방된 펌핑 위치로, 또한 그 반대로 자동적으로 전환시키는 역할을 하는 액츄에이터(62)에 작동적으로 연결되어 있는 박스 코팅 장치.
  11. 청구항 10에 있어서,
    상기 액츄에이터(62)는 상기 진공 챔버(12)의 외부에 위치되는 박스 코팅 장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 액츄에이터(62)는 공기-진공 피드 스루(feed-through)(64)를 통해 상기 셔터부(54, 56) 또는 셔터부의 적어도 일부분에 작동적으로 연결되어 있는 박스 코팅 장치.
  13. 청구항 10 내지 청구항 12중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 액츄에이터(62)는, 상기 셔터부(54, 56)의 상기 폐쇄된 차폐 위치로부터 상기 개방된 펌핑 위치로, 또한 그 반대로 선택적으로 전환시키기 위한 공압 작동식 피스톤-실린더 장치(162)를 포함하는 박스 코팅 장치.
  14. 청구항 7 또는 청구항 10에 있어서,
    상기 액츄에이터(62)는 상기 슬래트 요소(82)를 하나의 동일한 액츄에이터(62)에 의해 동시에 피봇하기 위해 상기 연결편(92)에 작동적으로 연결되어 있는 박스 코팅 장치.
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