KR20180080233A - 로봇 반송 장치 - Google Patents

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KR20180080233A
KR20180080233A KR1020187013147A KR20187013147A KR20180080233A KR 20180080233 A KR20180080233 A KR 20180080233A KR 1020187013147 A KR1020187013147 A KR 1020187013147A KR 20187013147 A KR20187013147 A KR 20187013147A KR 20180080233 A KR20180080233 A KR 20180080233A
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다카시 시게타
도시히로 가와이
하루키 다케우치
요시마사 스다
히사시 고미
시게노리 오자키
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신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤
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Abstract

반송 공간 전체의 기체를 순환시킨다. 로봇 반송 장치(1)는, 반송 로봇(20)이 배치되는 반송 공간(10)과, 반송 공간(10) 내의 기체를 순환시키기 위한 복수의 순환 유로(30)를 갖는다. 반송 공간(10)의 주변에는, 반송 로봇(20)에 의한 반송물의 반송처로 되는 복수의 주변 공간(50)이 배치되어 있다. 반송 공간(10)은, 복수의 개구(15)를 통하여 복수의 주변 공간(50)의 각각과 연통된다. 복수의 순환 유로(30)는, 복수의 개구(15)를 포함하는 반송 로봇(20)의 작업 영역(20R)을 피하도록, 반송 공간(10)을 사이에 두는 위치에 마련되어 있다. 복수의 순환 유로(30)는, 반송 공간(10)을 형성하는 기둥 부재(10P1 내지 10P10)의 내부에 형성되어 있다.

Description

로봇 반송 장치
본 발명은 반송 공간에 배치된 반송 로봇에 의해 주변 공간에 반송물을 반송하는 로봇 반송 장치에 관한 것이다.
로봇 반송 장치는, 예를 들어 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이 패널 등의 기판을 처리하는 공정이나, 세포의 배양 또는 시험을 행하는 공정에 사용된다. 당해 공정에서는, 반송 공간의 환경(가스 농도, 온도, 습도 등)을 정돈할 필요가 있다. 이러한 점에서, 특허문헌 1(도 4 참조)에서는 반송 공간(웨이퍼 반송실(9)) 내의 기체(불활성 가스)를 순환시키는 것이 개시되어 있다.
일본 특허 공개 제2015-146349호 공보
특허문헌 1에서는, 반송 공간(웨이퍼 반송실(9))의 일방측에 순환 유로(가스 귀환로(10))가 마련되어 있다. 이 경우, 반송 공간 내의 기류에 치우침이 발생하여, 반송 공간 전체의 불활성 가스를 순환시킬 수 없다. 그 때문에, 반송 공간 내에 있어서 온도나 습도의 변동이 발생하기 쉬워, 반송 공간 전체의 환경을 균일하게 정돈하기가 곤란하다.
또한, 로봇 반송 장치에 있어서는, 반송 공간 전체의 환경을 균일하게 정돈하는 것 외에, 장치 전체의 소형화도 요구되고 있다.
본 발명의 목적은, 반송 공간 전체의 기체를 순환시켜 반송 공간 전체의 환경을 균일하게 정돈하는 것, 및 장치 전체의 소형화를 모두 실현 가능한 로봇 반송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 관점에 따르면, 반송 로봇이 배치되는 반송 공간이며, 상기 반송 로봇에 의한 반송물의 반송처로 되는 복수의 주변 공간이 주변에 배치되고, 복수의 개구를 통하여 상기 복수의 주변 공간의 각각과 연통되는 반송 공간과, 상기 반송 공간 내의 기체를 순환시키기 위한 복수의 순환 유로이며, 상기 복수의 개구를 포함하는 상기 반송 로봇의 작업 영역을 피하도록, 상기 반송 공간을 사이에 두는 위치에 마련된 복수의 순환 유로를 구비하고, 상기 복수의 순환 유로는, 상기 반송 공간을 형성하는 기둥 부재의 내부에 마련된 것을 특징으로 하는 로봇 반송 장치가 제공된다.
상기 관점에 따르면, 복수의 순환 유로가 반송 공간을 사이에 두는 위치에 마련되어 있다는 점에서, 반송 공간 전체의 기체를 순환시켜 반송 공간 전체의 환경을 균일하게 정돈하는 것이 가능하다. 또한, 복수의 순환 유로를, 반송 공간을 형성하는 기둥 부재의 내부에 마련함으로써, 로봇 반송 장치 전체의 소형화를 실현할 수 있다. 즉, 상기 관점에 따르면, 반송 공간 전체의 기체를 순환시켜 반송 공간 전체의 환경을 균일하게 정돈하는 것, 및 장치 전체의 소형화를 모두 실현 가능하다.
상기 기둥 부재는, 상기 반송 공간을 형성하고, 또한 상기 복수의 개구가 형성된 벽 부재에 접속되어도 된다. 당해 구성에 따르면, 로봇 반송 장치의 강도 향상을 실현할 수 있다.
소정의 배열 방향을 따라 3 이상의 상기 개구가 배열되어 있고, 상기 복수의 순환 유로는, 적어도 상기 3 이상의 개구 중 상기 배열 방향으로 서로 인접하는 2개의 개구의 사이의 각각에 마련되어도 된다. 당해 구성에 따르면, 순환 유로를 효율적으로 분산 배치하여, 반송 공간 전체의 환경을 정돈할 수 있다.
상기 반송 로봇은, 상기 복수의 개구의 배열 방향으로 이동 가능하고, 본 발명에 관한 로봇 반송 장치는, 상기 반송 공간과 상기 복수의 순환 유로를 순환하는 기체의 통과 영역에 설치된, 기체 중의 분진을 제거하는 필터를 더 구비해도 된다. 당해 구성에 따르면, 반송 로봇의 이동에 수반하여 분진이 발생할 수 있지만, 필터에 의해 분진을 제거하여, 반송 공간을 청정하게 유지할 수 있다.
상기 복수의 순환 유로는, 상기 배열 방향과 직교하는 직교 방향을 따라 서로 평행으로 연장되고, 또한 각각, 일단부측의 흡기구 및 타단부측의 배기구를 통하여 상기 반송 공간과 연통되고, 상기 흡기구로부터 흡인된 상기 반송 공간 내의 기체를 상기 배기구로부터 상기 반송 공간으로 되돌리도록 구성되어 있고, 본 발명에 관한 로봇 반송 장치는, 상기 복수의 순환 유로의 상기 배기구와 상기 반송 공간을 연통시키는 공통 공간을 더 구비하고, 상기 복수의 순환 유로의 상기 배기구로부터 배출된 기체가, 상기 직교 방향에 있어서의 상기 타단부측으로부터 상기 일단부측을 향하는 방향으로, 상기 공통 공간을 경유하여 상기 반송 공간으로 되돌려지도록 구성되어도 된다. 당해 구성에 따르면, 반송 로봇의 이동에 수반하여 발생하는 분진을 보다 효율적으로 회수하여, 반송 공간을 보다 청정하게 유지할 수 있다.
상기 공통 공간은, 상기 반송 공간에 대하여 상기 직교 방향과 직교하는 면 전체에 연장되어도 된다. 당해 구성에 따르면, 반송 공간 전체에 기체를 퍼지게 할 수 있다.
본 발명에 따르면, 복수의 순환 유로가 반송 공간을 사이에 두는 위치에 마련되어 있다는 점에서, 반송 공간 전체의 기체를 순환시키는 것이 가능하다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 로봇 반송 장치의 수평 방향에 따른 단면도이다.
도 2는, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 로봇 반송 장치의 도 1의 II-II선을 따른 단면도이다.
본 발명의 일 실시 형태에 관한 로봇 반송 장치(1)는, 반도체 웨이퍼를 처리하는 공정에 사용되는 것이며, 도 1에 도시하는 바와 같이, 반송 로봇(20)이 배치되는 반송 공간(10)을 갖는다. 반송 공간(10)은, 기둥 부재(10P1 내지 10P10)와 벽 부재(10W1 내지 10W4)로 구성되는 프레임(10F)에 의해 형성되어 있다.
각 기둥 부재(10P1 내지 10P10)의 내부에, 반송 공간(10) 내의 기체(공기, 불활성 가스, 멸균 가스 등)를 순환시키기 위한 순환 유로(30)가 마련되어 있다. 각 순환 유로(30)는 연직 방향(직교 방향)을 따라 연장되어 있다.
벽 부재(10W1 내지 10W4) 중 서로 대향하는 벽 부재(10W1, 10W2)에는, 각각 4개 및 2개의 개구(15)가 형성되어 있다. 각 벽 부재(10W1, 10W2)에 있어서, 복수의 개구(15)는 도 1에 도시하는 배열 방향을 따라 배열되어 있다.
기둥 부재(10P1 내지 10P5)는 벽 부재(10W1)에 접속되어 있고, 기둥 부재(10P6 내지 10P10)는 벽 부재(10W2)에 접속되어 있다. 복수의 순환 유로(30)는, 적어도 배열 방향으로 서로 인접하는 2개의 개구(15)의 사이의 각각에 마련되어 있다.
반송 공간(10)의 주변에는, 반송 로봇(20)에 의한 반송물(본 실시 형태에서는 반도체 웨이퍼)의 반송처로 되는 복수의 주변 공간(예를 들어 로드 포트 장치나 로드 로크실 등)(50)이 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, 벽 부재(10W1, 10W2)에 대하여 각각 4개 및 2개의 주변 공간(50)이 대향하도록 배치되어 있다. 반송 공간(10)은, 복수의 개구(15)를 통하여, 복수의 주변 공간(50)의 각각과 연통 가능하게 되어 있다. 각 개구(15)에는 개폐 가능한 도어(도시 생략)가 설치되어 있고, 각 도어의 개폐에 의해 개구(15)를 통한 반송 공간(10)과 주변 공간(50)의 연통 및 연통 차단이 전환된다.
반송 로봇(20)은, 개구(15)의 배열 방향으로 이동 가능하다. 반송 로봇(20)의 작업 영역(20R)은, 반송 공간(10) 내의 대략 전체 영역과, 각 개구(15)와, 각 주변 공간(50)의 일부를 포함한다. 복수의 순환 유로(30)는, 작업 영역(20R)을 피하도록, 반송 공간(10)을 사이에 두는 위치에 마련되어 있다.
복수의 순환 유로(30)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 연직 방향을 따라 서로 평행으로 연장되어 있다. 각 순환 유로(30)는, 일단부측(하방)의 흡기구(31) 및 타단부측(상방)의 배기구(32)를 통하여, 반송 공간(10)과 연통되어 있다. 흡기구(31) 및 배기구(32)는, 각각 각 기둥 부재(10P1 내지 10P10)의 하단 부분 및 상단 부분에 형성된 개구이다. 각 순환 유로(30)는, 흡기구(31)로부터 흡인된 반송 공간(10) 내의 기체를 배기구(32)로부터 반송 공간(10)으로 되돌리도록 구성되어 있다.
로봇 반송 장치(1)는, 복수의 순환 유로(30)의 배기구(32)와 반송 공간(10)을 연통시키는 공통 공간(40)을 더 갖는다. 공통 공간(40)은, 반송 공간(10)의 상방(로봇 반송 장치(1)의 천장 부분)에 형성되어 있고, 반송 공간(10)에 대하여 수평면(직교 방향과 직교하는 면) 전체에 연장되어 있다. 복수의 순환 유로(30)의 배기구(32)로부터 배출된 기체는, 연직 방향에 있어서의 타단부측(상방)으로부터 일단부측(하방)을 향하는 방향으로, 공통 공간(40)을 경유하여 반송 공간(10)으로 되돌려진다.
로봇 반송 장치(1)는, 반송 공간(10)과 복수의 순환 유로(30)를 순환하는 기체의 통과 영역에 설치된, 기체 중의 분진을 제거하는 필터(41)를 더 갖는다. 본 실시 형태에 있어서, 필터(41)는, 반송 공간(10)과 공통 공간(40)의 사이에 있어서 수평면을 따라 연장되어 있다.
상술한 바와 같은 순환 기류가 형성되도록, 공통 공간(40)이나, 반송 공간(10)에 있어서의 흡기구(31)의 근방에, 복수의 팬(42)이 설치되어 있다.
이상에 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 복수의 순환 유로(30)가 반송 공간(10)을 사이에 두는 위치에 마련되어 있다. 따라서, 반송 공간(10) 전체의 기체를 순환시켜 반송 공간(10) 전체의 환경을 균일하게 정돈하는 것이 가능하다. 또한, 복수의 순환 유로(30)를, 반송 공간(10)을 형성하는 기둥 부재(10P1 내지 10P10)의 내부에 마련하고 있다. 이에 의해, 로봇 반송 장치(1) 전체의 소형화를 실현할 수 있다. 즉, 상기 관점에 따르면, 반송 공간(10) 전체의 기체를 순환시켜 반송 공간(10) 전체의 환경을 균일하게 정돈하는 것, 및 로봇 반송 장치(1) 전체의 소형화를 모두 실현 가능하다.
기둥 부재(10P1 내지 10P10)는 반송 공간(10)을 형성하고, 또한 복수의 개구(15)가 형성된 벽 부재(10W1, 10W2)에 접속되어 있다. 당해 구성에 따르면, 로봇 반송 장치(1)의 강도 향상을 실현할 수 있다.
복수의 순환 유로(30)는, 적어도 배열 방향으로 서로 인접하는 2개의 개구(15)의 사이의 각각에 마련되어 있다. 당해 구성에 따르면, 순환 유로(30)를 효율적으로 분산 배치하여, 반송 공간(10) 전체의 환경을 정돈할 수 있다.
로봇 반송 장치(1)는, 반송 공간(10)과 복수의 순환 유로(30)를 순환하는 기체의 통과 영역에 설치된, 기체 중의 분진을 제거하는 필터(41)를 더 구비하고 있다. 당해 구성에 따르면, 반송 로봇(20)의 이동에 수반하여 분진이 발생할 수 있지만, 필터(41)에 의해 분진을 제거하여, 반송 공간(10)을 청정하게 유지할 수 있다.
복수의 순환 유로(30)는, 연직 방향(직교 방향)을 따라 서로 평행으로 연장되고, 또한 각각, 일단부측의 흡기구(31) 및 타단부측의 배기구(32)를 통하여 반송 공간(10)과 연통되고, 흡기구(31)로부터 흡인된 반송 공간(10) 내의 기체를 배기구(32)로부터 반송 공간(10)으로 되돌리도록 구성되어 있다. 또한, 로봇 반송 장치(1)는, 복수의 순환 유로(30)의 배기구(32)와 반송 공간(10)을 연통시키는 공통 공간(40)을 더 구비하고, 복수의 순환 유로(30)의 배기구(32)로부터 배출된 기체가, 연직 방향에 있어서의 타단부측(상방)으로부터 일단부측(하방)을 향하는 방향으로, 공통 공간(40)을 경유하여 반송 공간(10)으로 되돌려지도록 구성되어 있다. 당해 구성에 따르면, 반송 로봇(20)의 이동에 수반하여 발생하는 분진을 보다 효율적으로 회수하여, 반송 공간(10)을 보다 청정하게 유지할 수 있다.
공통 공간(40)은, 반송 공간(10)에 대하여 수평면(직교 방향과 직교하는 면) 전체에 연장되어 있다. 당해 구성에 따르면, 반송 공간(10) 전체에 기체를 퍼지게 할 수 있다.
이상, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시 형태에 한정되는 것은 아니며, 예를 들어 이하와 같이, 특허청구범위에 기재한 한도 내에서 여러 가지 설계 변경이 가능한 것이다.
ㆍ본 발명에 관한 로봇 반송 장치는, 반도체 웨이퍼를 처리하는 공정에 사용되는 것에 한정되지 않고, 액정 디스플레이 패널을 처리하는 공정, 세포의 배양 또는 시험을 행하는 공정, 그 밖의 임의의 공정에 사용되어도 된다.
ㆍ반송물은, 로봇 반송 장치가 적용되는 공정에 따라 적절하게 변경 가능하다(예를 들어, 액정 디스플레이 패널을 처리하는 공정에 로봇 반송 장치가 적용되는 경우, 액정 디스플레이 패널이 반송물로 됨).
ㆍ순환 유로를 통하여 반송 공간에 클린 에어나 가스 등을 공급하고, 당해 가스를 포함하는 기체를 반송 공간 전체에 순환시켜도 된다.
ㆍ순환 유로는, 연직 방향으로 연장되는 것에 한정되지 않고, 예를 들어 수평 방향으로 연장되어도 된다. 또한, 복수의 순환 유로의 연장 방향은, 서로 평행인 것에 한정되지 않고, 서로 교차해도 된다(예를 들어, 연직 방향으로 연장되는 순환 유로와, 수평 방향으로 연장되는 순환 유로가 마련되어도 됨). 또한, 순환 유로는 곧은 형상인 것에 한정되지 않고, 만곡된 형상이어도 된다.
ㆍ팬의 위치나 수는, 반송 공간과 복수의 순환 유로를 순환하는 기류를 형성할 수 있는 한, 특별히 한정되지 않는다.
ㆍ반송 공간과 복수의 순환 유로를 순환하는 기체의 통과 영역에, 온습도 제어 장치(습도를 저하시키는 드라이어, 온도를 저하시키는 쿨러, 반도체 웨이퍼의 제전을 행하는 이오나이저 등)를 설치해도 된다. 이에 의해, 반송 공간 전체의 온도를 일정하게 유지할 수 있다.
ㆍ복수의 주변 공간은, 반송 공간의 주변의 임의의 위치에 배치되어도 된다. 예를 들어, 복수의 주변 공간은, 반송 공간의 주위 전체에 걸쳐 배치되어도 된다(상술한 실시 형태에 있어서, 벽 부재(10W3, 10W4)에 대향하는 주변 공간이 더 형성되어도 됨). 혹은, 복수의 주변 공간은, 반송 공간의 일방측(상술한 실시 형태에 있어서, 벽 부재(10W1) 또는 벽 부재(10W2))에만 형성되어도 된다.
ㆍ복수의 주변 공간은 서로 다른 구성이어도 되고, 서로 동일한 구성이어도 된다.
ㆍ개구에 도어를 설치하지 않아도 된다.
ㆍ개구의 배열 방향은 수평 방향에 한정되지 않으며, 예를 들어 연직 방향이어도 된다.
ㆍ반송 로봇의 이동 방향은 수평 방향에 한정되지 않고, 예를 들어 연직 방향이어도 된다.
ㆍ복수의 개구가 연직 방향으로 배열되고, 또한 반송 로봇이 연직 방향으로 이동 가능한 경우에, 수평 방향의 순환 기류를 발생시켜도 된다.
1: 로봇 반송 장치
10: 반송 공간
10P1 내지 10P10: 기둥 부재
10W1 내지 10W4: 벽 부재
15: 개구
20: 반송 로봇
20R: 반송 로봇의 작업 영역
30: 순환 유로
31: 흡기구
32: 배기구
40: 공통 공간
41: 필터
42: 팬
50: 주변 공간

Claims (6)

  1. 반송 로봇이 배치되는 반송 공간이며, 상기 반송 로봇에 의한 반송물의 반송처로 되는 복수의 주변 공간이 주변에 배치되고, 복수의 개구를 통하여 상기 복수의 주변 공간의 각각과 연통되는 반송 공간과,
    상기 반송 공간 내의 기체를 순환시키기 위한 복수의 순환 유로이며, 상기 복수의 개구를 포함하는 상기 반송 로봇의 작업 영역을 피하도록, 상기 반송 공간을 사이에 두는 위치에 마련된 복수의 순환 유로
    를 구비하고,
    상기 복수의 순환 유로는, 상기 반송 공간을 형성하는 기둥 부재의 내부에 마련된 것을 특징으로 하는 로봇 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기둥 부재는, 상기 반송 공간을 형성하고, 또한 상기 복수의 개구가 형성된 벽 부재에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 로봇 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 소정의 배열 방향을 따라 3 이상의 상기 개구가 배열되어 있고,
    상기 복수의 순환 유로는, 적어도 상기 3 이상의 개구 중 상기 배열 방향으로 서로 인접하는 2개의 개구의 사이의 각각에 마련된 것을 특징으로 하는 로봇 반송 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송 로봇은, 상기 복수의 개구의 배열 방향으로 이동 가능하고,
    상기 반송 공간과 상기 복수의 순환 유로를 순환하는 기체의 통과 영역에 설치된, 기체 중의 분진을 제거하는 필터를 더 구비한 것을 특징으로 하는 로봇 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 복수의 순환 유로는, 상기 배열 방향과 직교하는 직교 방향을 따라 서로 평행으로 연장되고, 또한 각각, 일단부측의 흡기구 및 타단부측의 배기구를 통하여 상기 반송 공간과 연통되고, 상기 흡기구로부터 흡인된 상기 반송 공간 내의 기체를 상기 배기구로부터 상기 반송 공간으로 되돌리도록 구성되어 있고,
    상기 복수의 순환 유로의 상기 배기구와 상기 반송 공간을 연통시키는 공통 공간을 더 구비하고,
    상기 복수의 순환 유로의 상기 배기구로부터 배출된 기체가, 상기 직교 방향에 있어서의 상기 타단부측으로부터 상기 일단부측을 향하는 방향으로, 상기 공통 공간을 경유하여 상기 반송 공간으로 되돌려지도록 구성된 것을 특징으로 하는 로봇 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 공통 공간은, 상기 반송 공간에 대하여 상기 직교 방향과 직교하는 면 전체에 연장되는 것을 특징으로 하는 로봇 반송 장치.
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