KR20170099829A

KR20170099829A - 액추에이터

Info

Publication number: KR20170099829A
Application number: KR1020177001382A
Authority: KR
Inventors: 다다시 다케다; 다케시 스에; 마사오 츠치하시; 히로시 기타하라
Original assignee: 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
Priority date: 2014-12-26
Filing date: 2015-12-18
Publication date: 2017-09-01
Also published as: CN106471719A; CN106471719B; US20170310203A1; JP2016127789A; EP3240164A1; EP3240164A4; JP6648984B2

Abstract

본원은 가동체에 복수 방향의 진동을 행하게 할 수 있는 액추에이터를 제공하는 것이다. 예를 들어, 액추에이터(1)는 지지체(5)와, 가동체(4)와, 가동체(4)와 지지체(5)에 접속된 접속체(7)를 갖고 있다. 또한, 지지체(5)와 가동체(4) 사이에는, 제1 자석(11), 및 제1 자석(11)에 제1 방향 L1에서 대향하는 제1 코일(12)을 구비한 제1 자기 구동 회로(10)가 구성되고, 제1 자기 구동 회로(10)는 지지체(5)에 대하여 가동체(4)를 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2로 구동하는 구동력을 발생시킨다. 또한, 지지체(5)와 가동체(4) 사이에는, 제2 자석(21), 및 제2 자석(21)에 제1 방향 L1에서 대향하는 제2 코일(22)을 구비한 제2 자기 구동 회로(20)가 구성되고, 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)를 제1 방향 L1에 직교하는 제3 방향 L3로 구동하는 구동력을 발생시킨다.

Description

액추에이터{ACTUATOR}

본 발명은 자기 구동 기구를 구비한 액추에이터에 관한 것이다.

사용자에게 진동을 체감시키는 액추에이터로서, 가동체의 둘레에 통형의 코일 및 통형의 자석을 구비한 자기 구동 기구를 설치하여, 가동체를 축선 방향으로 진동시키는 구성이 제안되어 있다(특허문헌 1, 2 참조).

일본 특허 공개 제2002-78310호 공보 일본 특허 공개 제2006-7161호 공보

그러나, 특허문헌 1, 2에 기재된 구성에서는, 가동체가 축선 방향으로만 진동하기 때문에, 사용자에게 1종류의 진동밖에 체감시킬 수 없다. 이 때문에, 진동에 의해 사용자에게 정보를 전달하는 경우, 전달할 수 있는 정보량이 적다는 문제점이 있다.

이상의 문제점을 감안하여, 본 발명의 과제는, 가동체에 복수 방향의 진동을 행하게 할 수 있는 액추에이터를 제공하는 데 있다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 따른 액추에이터는, 지지체와, 가동체와, 상기 가동체와 상기 지지체에 접속되고, 탄성 및 점탄성 중 적어도 한쪽을 구비한 접속체와, 상기 지지체 및 상기 가동체 중 한쪽에 보유 지지된 제1 자석, 및 다른 쪽에 보유 지지되고, 상기 제1 자석에 제1 방향으로 대향하는 제1 코일을 구비하고, 상기 가동체를 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제1 자기 구동 회로와, 상기 지지체 및 상기 가동체 중 한쪽에 보유 지지된 제2 자석, 및 다른 쪽에 보유 지지되고, 상기 제2 자석에 상기 제1 방향으로 대향하는 제2 코일을 구비하고, 상기 가동체를 상기 제1 방향에 직교하고, 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제2 자기 구동 회로를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명에서는, 가동체가 탄성 및 점탄성 중 적어도 한쪽을 구비한 접속체에 의해 지지체에 지지되어 있음과 함께, 가동체와 지지체 사이에는, 제1 방향으로 대향하는 제1 코일과 제1 자석에 의해 가동체를 제2 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제1 자기 구동 회로와, 제1 방향으로 대향하는 제2 코일과 제2 자석에 의해 가동체를 제3 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제2 자기 구동 회로가 설치되어 있다. 이 때문에, 가동체를 제2 방향 및 제3 방향으로 진동시킬 수 있기 때문에, 사용자에게 제2 방향의 진동 및 제3 방향의 진동을 체감시킬 수 있다. 또한, 제1 자기 구동 회로 및 제2 자기 구동 회로 중 어느 것에 있어서도, 코일과 자석이 제1 방향으로 대향하고 있기 때문에, 제1 자기 구동 회로 및 제2 자기 구동 회로를 설치한 경우에도, 액추에이터의 제1 방향의 사이즈를 소형화할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 상기 제1 자기 구동 회로와 상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제1 방향의 동일 위치에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 제1 자기 구동 회로 및 제2 자기 구동 회로를 설치한 경우에도, 액추에이터의 제1 방향의 사이즈를 보다 소형화할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제2 방향과 상기 제3 방향은 직교하고 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 가동체를 제2 방향으로 진동시킨 때 사용자가 느끼는 진동과, 가동체를 제3 방향으로 진동시킨 때 사용자가 느끼는 진동을 크게 상이하게 할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 자기 구동 회로는, 상기 제2 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제2 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되고, 상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제3 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제3 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 자기 구동 회로는, 상기 제3 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제3 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되고, 상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제2 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제2 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 자기 구동 회로는, 상기 제2 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제2 방향으로부터 보았을 때 상기 제3 방향으로 어긋난 2개소에 설치되고, 상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제3 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제3 방향으로부터 보았을 때 상기 제2 방향으로 어긋난 2개소에 설치되어 있는 구성을 채용할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 제1 자기 구동 회로와 상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 가동체의 무게 중심의 둘레에서 교대로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 가동체를 제2 방향으로 진동시킬 때, 및 제3 방향으로 진동시킬 때, 가동체가 회전하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 가동체를 무게 중심 둘레로 진동시킬 수도 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 2개소의 제1 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 상기 2개소의 제2 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 가동체를 제2 방향으로 진동시킬 때, 및 제3 방향으로 진동시킬 때, 가동체가 회전하는 것을 억제할 수 있다. 또한, 가동체를 무게 중심 둘레로 진동시킬 수도 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 2개소의 제1 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 통과하여 상기 제3 방향으로 연장되는 가상선을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되고, 상기 2개소의 제2 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 통과하여 상기 제2 방향으로 연장되는 가상선을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되어 있는 구성을 채용할 수 있다. 이러한 구성에 의하면, 가동체를 제2 방향으로 진동시킬 때, 및 제3 방향으로 진동시킬 때, 가동체가 회전하는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 제1 자기 구동 회로와 상기 제2 자기 구동 회로는, 적어도 일부가 겹쳐 있는 구성을 채용해도 된다. 이러한 구성에 의하면, 액추에이터의 제1 방향으로부터 보았을 때의 사이즈를 소형화할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 지지체 및 상기 가동체 중 한쪽에 보유 지지된 제3 자석, 및 다른 쪽에 보유 지지되고, 상기 제3 자석에 상기 제1 방향으로 대향하는 제3 코일을 구비하고, 상기 가동체를 상기 제1 방향에 직교하고, 상기 제2 방향 및 상기 제3 방향에 비스듬히 교차하는 제4 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제3 자기 구동 회로를 갖는 구성을 채용해도 된다. 이러한 구성에 의하면, 가동체를 제2 방향, 제3 방향 및 제4 방향으로 진동시킬 수 있음과 함께, 제2 방향, 제3 방향 및 제4 방향의 각 진동을 합성한 진동을 가동체에 행하게 할 수 있다.

이 경우, 상기 제2 방향과 상기 제3 방향은 비스듬히 교차하고 있는 구성을 채용해도 된다.

본 발명에 있어서, 상기 접속체로서, 적어도 겔상 댐퍼 부재가 사용되고 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 가동체가 공진하는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 접속체로서, 겔상 댐퍼 부재만이 사용되고 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 접속체가 스프링 성분을 갖고 있지 않기 때문에, 가동체가 공진하는 것을 억제할 수 있음과 함께, 지지체에 대한 가동체의 지지 구조를 간소화할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 겔상 댐퍼 부재는, 상기 가동체 및 상기 지지체의 양쪽에 고정되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 겔상 댐퍼 부재가 설치되어 있는 부분에 있어서, 가동체가 지지체로부터 이격되는 방향으로 이동한 경우에도, 이러한 이동에 추종하여 겔상 댐퍼 부재가 변형되어, 가동체의 공진을 효과적으로 억제할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 겔상 댐퍼 부재는, 예를 들어, 실리콘 겔을 포함하는 구성을 채용할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 지지체는, 상기 가동체의 상기 제2 방향의 이동 범위를 규제하는 제1 이동 규제부, 및 상기 가동체의 상기 제3 방향의 이동 범위를 규제하는 제2 이동 규제부 중 한쪽 또는 양쪽을 구비하는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 가동체의 이동 범위를, 접속체의 변형량이 한계 변형량을 초과하지 않는 범위로 제한할 수 있다. 이에 의해, 접속체의 파괴를 방지할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 가동체는, 상기 제1 자석을 보유 지지하는 제1 홀더 부재와, 상기 제2 자석을 보유 지지하는 제2 홀더 부재를 접합하여 구성되고, 상기 제1 이동 규제부 및 상기 제2 이동 규제부는, 상기 제1 홀더 부재와 상기 제2 홀더 부재의 접합부와 상이한 위치에서, 상기 가동체에 맞닿는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 가동체 중에서 강도가 약한 부위인 접합부가 제1 이동 규제부 및 제2 이동 규제부에 충돌하는 경우가 없다. 따라서, 가동체가 충격에 의해 깨질 우려를 적게 할 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 접속체는, 상기 가동체가 상기 지지체에 대하여 상기 제2 방향 및 상기 제3 방향으로 상대 이동할 때, 상기 접속체의 신축 방향과 직교하는 방향으로, 비선형의 성분보다도 선형의 성분이 큰 전단 방향의 변형 특성에 따라서 변형되는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 리니어리티가 양호한 진동 특성을 얻을 수 있다.

본 발명에 있어서, 상기 접속체는, 상기 가동체와 상기 지지체가 상기 제1 방향으로 대향하는 위치에서, 상기 가동체와 상기 지지체를 상기 제1 방향으로 접속하고 있고, 상기 가동체가 상기 지지체에 대하여 상기 제1 방향으로 접근할 때, 선형의 성분보다도 비선형의 성분이 큰 신축 특성에 따라서 압축되는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 가동체와 지지체의 제1 방향의 갭이 크게 변화하는 것을 피할 수 있어, 가동체와 지지체의 제1 방향의 갭을 확보할 수 있다.

본 발명에서는, 가동체를 제2 방향 및 제3 방향으로 진동시킬 수 있기 때문에, 사용자에게 제2 방향의 진동 및 제3 방향의 진동을 체감시킬 수 있다. 또한, 제1 자기 구동 회로 및 제2 자기 구동 회로 중 어느 것에 있어서도, 코일과 자석이 제1 방향으로 대향하고 있기 때문에, 제1 자기 구동 회로 및 제2 자기 구동 회로를 설치한 경우에도, 액추에이터의 제1 방향의 사이즈를 소형화할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터의 설명도이다.
도 2는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터의 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터의 자기 구동 회로의 설명도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다.
도 5는 본 발명의 실시 형태 2에 관한 액추에이터의 설명도이다.
도 6은 본 발명의 실시 형태 2에 관한 액추에이터의 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태 3에 관한 액추에이터에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다.
도 8은 본 발명의 실시 형태 4에 관한 액추에이터에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다.
도 9는 본 발명의 실시 형태 5에 관한 액추에이터에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다.
도 10은 본 발명의 실시 형태 6에 관한 액추에이터의 자기 구동 회로의 설명도이다.
도 11은 본 발명의 실시 형태 7에 관한 액추에이터의 자기 구동 회로의 설명도이다.
도 12는 본 발명의 실시 형태 8에 관한 액추에이터의 자기 구동 회로의 설명도이다.
도 13은 본 발명의 실시 형태 9에 관한 액추에이터의 설명도이다.
도 14는 본 발명의 실시 형태 9에 관한 액추에이터의 분해 사시도이다.
도 15는 본 발명의 실시 형태 9에 관한 액추에이터의 주요부 분해 사시도이다.
도 16은 본 발명의 실시 형태 9에 관한 액추에이터로부터 제2 케이스를 제거한 평면도이다.

도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 자기 구동 회로의 레이아웃 등을 명확히 할 목적으로, 서로 직교하는 방향을 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향이라 하고, X축 방향의 일방측에 X1을 붙이고, X축 방향의 타방측에 X2를 붙이고, Y축 방향의 일방측에 Y1을 붙이고, Y축 방향의 타방측에 Y2를 붙이고, Z축 방향의 일방측에 Z1을 붙이고, Z축 방향의 타방측에 Z2를 붙여서 설명한다. 또한, 자기 구동 회로에 의해 구동력이 발생하는 각 방향 중, 제1 방향을 L1이라 하고, 제2 방향을 L2라 하고, 제3 방향을 L3라 하여 설명한다.

[실시 형태 1]

(전체 구성)

도 1은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터(1)의 설명도이며,

도 1의 (a), (b), (c)는 액추에이터(1)의 사시도, 액추에이터(1)의 중앙 부분을 통과하는 A1-A1'선을 따라 액추에이터(1)를 절단했을 때의 XZ 단면도, 및 액추에이터(1)의 단부를 통과하는 B1-B1'선을 따라 액추에이터(1)를 절단했을 때의 XZ 단면도이다. 도 2는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터(1)의 분해 사시도이며, 도 2의 (a), (b)는 제2 케이스(52)를 벗긴 상태의 분해 사시도, 및 제1 케이스(51)로부터 가동체(4) 등을 분리한 상태의 분해 사시도이다.

도 1 및 도 2에 있어서, 본 형태의 액추에이터(1)는 사용자에게 진동을 체감시키는 진동 액추에이터이다. 액추에이터(1)는 지지체(5)와, 가동체(4)와, 가동체(4)와 지지체(5)에 접속된 접속체(7)를 갖고 있으며, 가동체(4)는 접속체(7)를 통하여 지지체(5)에 지지되어 있다. 접속체(7)는 탄성 및 점탄성 중 적어도 한쪽을 구비하고 있다. 또한, 액추에이터(1)는 지지체(5)에 대하여 가동체(4)를 상대 이동시키는 자기 구동 회로로서, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 갖고 있다.

본 형태에 있어서, 먼저, 지지체(5)는 Z축 방향의 일방측 Z1에 위치하는 제1 케이스(51)와, 제1 케이스(51)에 Z축 방향의 타방측 Z2에서 덮이는 제2 케이스(52)를 갖고 있다. 제1 케이스(51)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 사각형의 판형 부재로 이루어지고, 제2 케이스(52)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 사각형의 상자형 부재로 이루어진다. 제2 케이스(52)는 제1 케이스(51)에 대향하는 단부판부(521)와, 단부판부(521)의 테두리로부터 제1 케이스(51)를 향하여 돌출된 각통형의 동체부(522)를 갖고 있으며, 동체부(522)의 Z축 방향의 일방측 Z1의 단부가 제1 케이스(51)에 연결되어 있다.

가동체(4)는 Z 방향으로 두께 방향을 향하게 하는 판형 부재(41)를 갖고 있으며, 판형 부재(41)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 지지체(5)보다 작은 사각형의 평면 형상을 갖고 있다. 또한, 가동체(4)는 판형 부재(41)의 Z축 방향의 일방측 Z1으로 향하는 제1면(411)의 중심에 고정된 평판형의 제1 웨이트 부재(46)와, 판형 부재(41)의 Z축 방향의 타방측 Z2로 향하는 제2면(412)의 중심에 고정된 평판형의 제2 웨이트 부재(47)를 구비하고 있다. 본 형태에 있어서, 제1 웨이트 부재(46) 및 제2 웨이트 부재(47)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 원형의 금속판을 포함한다.

(접속체(7)의 구성)

본 형태에 있어서, 접속체(7)는 가동체(4)의 판형 부재(41)에 4개의 코너 부근에 설치된 겔상 댐퍼 부재(70)를 포함하고, 겔상 댐퍼 부재(70)는 판형 부재(41)와 제1 케이스(51) 사이의 4개소와, 판형 부재(41)와 제2 케이스(52)의 단부판부(521) 사이의 4개소에 배치되어 있다. 따라서, 겔상 댐퍼 부재(70)는 후술하는 제1 코일(12) 및 제2 코일(22)도 포함한 가동체(4)의 무게 중심 G를 둘러싸도록 배치되어 있다. 또한, 8개소에 설치된 겔상 댐퍼 부재(70)는 모두, 가동체(4)와 지지체(5)에 접속되어 있다. 보다 구체적으로는, 8개소에 설치된 겔상 댐퍼 부재(70) 중, 판형 부재(41)와 제1 케이스(51) 사이에 설치된 겔상 댐퍼 부재(70)는 Z축 방향의 양 단부면이 각각, 판형 부재(41) 및 제1 케이스(51)에 접착 등의 방법으로 접속되어 있다. 또한, 판형 부재(41)와 제2 케이스(52)의 단부판부(521) 사이에 설치된 겔상 댐퍼 부재(70)는 Z축 방향의 양 단부면이 각각, 판형 부재(41) 및 제2 케이스(52)의 단부판부(521)에 접착 등의 방법으로 접속되어 있다.

겔상 댐퍼 부재(70)는 점탄성을 구비하고 있고, 그 신축 방향에 따라, 선형 또는 비선형의 신축 특성을 구비한다. 예를 들어, 판형의 겔상 댐퍼 부재(70)는 그 두께 방향(축방향)으로 가압되어서 압축 변형될 때는, 선형의 성분보다도 비선형의 성분이 큰 신축 특성을 구비한다. 한편, 두께 방향(축방향)으로 인장되어서 신장되는 경우에는, 비선형의 성분보다도 선형의 성분이 큰 신축 특성을 구비한다. 또한, 두께 방향(축방향)과 교차하는 방향(전단 방향)으로 변형되는 경우에도, 비선형의 성분보다도 선형의 성분이 큰 변형 특성을 갖는다. 본 형태에 있어서, 겔상 댐퍼 부재(70)는 원기둥형의 실리콘 겔을 포함하고, 침입도(針入度)가 90도부터 110도이다. 침입도란, JIS-K-2207이나 JIS-K-2220에서 규정되어 있는 바와 같이, 25℃에서 9.38g의 총 하중을 가한 1/4콘의 바늘이 5초간에 파고드는 깊이를 1/10mm 단위로 나타낸 값이며, 이 값이 작을수록 단단한 것을 의미한다.

본 형태의 액추에이터(1)에 있어서, 지지체(5)와 가동체(4) 사이에는, 가동체(4)를 서로 교차하는 2 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)가 구성되어 있고, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)는 각각, 지지체(5) 및 가동체(4) 중 한쪽에 보유 지지된 자석과, 다른 쪽에 보유 지지된 코일을 구비하고 있다. 보다 구체적으로는, 제1 자기 구동 회로(10)는 지지체(5)에 보유 지지된 제1 자석(11)과, 가동체(4)에 보유 지지된 제1 코일(12)을 구비하고 있고, 제1 자석(11)과 제1 코일(12)은 제1 방향 L1에서 대향하고, 제1 코일(12)에 통전했을 때, 가동체(4)를 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2로 구동하는 구동력을 발생시킨다. 제2 자기 구동 회로(20)는 지지체(5)에 보유 지지된 제2 자석(21)과, 가동체(4)에 보유 지지된 제2 코일(22)을 구비하고 있고, 제2 자석(21)과 제2 코일(22)은 제1 방향 L1에서 대향하고, 제2 코일(22)에 통전했을 때, 가동체(4)를 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2에 교차하는 제3 방향 L3로 구동하는 구동력을 발생시킨다. 본 형태에 있어서, 제1 방향 L1은 Z축 방향과 평행하고, 제2 방향 L2는 X축 방향과 평행하고, 제3 방향 L3은 Y축 방향과 평행하다. 따라서, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있다.

(자기 구동 회로의 상세 구성)

도 3은, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터(1)의 자기 구동 회로의 설명도이며, 도 3의 (a), (b)는 자기 구동 회로의 사시도, 및 자기 구동 회로의 분해 사시도이다.

본 형태에 있어서, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)는 모두, 도 3에 도시하는 구조를 갖고 있다. 본 형태에서는, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 기본적인 구성이 동일하기 때문에, 도 3에는, 제1 자기 구동 회로(10)의 구성을 중심으로 도시하고, 제2 자기 구동 회로(20)의 구성은, 도 3에 괄호로 나타내었다.

도 1의 (a), (b), 도 2, 및 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 자기 구동 회로(10)는 지지체(5)에 보유 지지된 제1 자석(11)과, 가동체(4)에 보유 지지된 제1 코일(12)을 갖고 있으며, 제1 자석(11)과 제1 코일(12)은 제1 방향 L1(Z축 방향)에서 대향하고 있다. 본 형태에 있어서, 제1 자석(11)은 제1 코일(12)에 대하여 Z축 방향의 일방측 Z1에서 대향하는 위치, 및 제1 코일(12)에 대하여 Z축 방향의 타방측 Z2에서 대향하는 위치의 2개소에 배치되어 있고, 2개의 제1 자석(11)은 모두 지지체(5)에 보유 지지되어 있다. 보다 구체적으로는, 2개의 제1 자석(11) 중, 제1 코일(12)에 대하여 Z축 방향의 일방측 Z1에서 대향하는 제1 자석(11)은 제1 케이스(51)에 보유 지지되고, 제1 코일(12)에 대하여 Z축 방향의 타방측 Z2에서 대향하는 제1 자석(11)은 제2 케이스(52)의 단부판부(521)에 보유 지지되어 있다.

제1 코일(12)은 제3 방향 L3로 연장되는 2개의 긴 변(121, 122)과, 제2 방향 L2로 연장되는 2개의 짧은 변(123, 124)을 구비한 편평한 중공 코어 코일이며, 2개의 긴 변(121, 122)은, 제2 방향 L2에서 대향하고, 2개의 짧은 변(123, 124)은, 제3 방향 L3에서 대향하고 있다. 제1 자석(11)은 제2 방향 L2에서 S극과 N극에 착자된 판형의 영구 자석이며, 제1 코일(12)의 긴 변(121, 122)에 대향하고 있다. 이 때문에, 제1 코일(12)에서는, 긴 변(121, 122)이 유효 변으로서 이용되고, 제1 코일(12)에 통전했을 때, 가동체(4)를 제2 방향 L2(X축 방향)로 구동하는 구동력을 발생시킨다.

또한, 제1 자기 구동 회로(10)는 2개의 제1 자석(11) 중, Z축 방향의 일방측 Z1의 제1 자석(11)에 대하여 제1 코일(12)과는 반대측에서 겹치는 요크(131)와, Z축 방향의 타방측 Z2의 제1 자석(11)에 대하여 제1 코일(12)과는 반대측에서 겹치는 요크(132)를 갖고 있으며, 2개의 제1 자석(11)은 각각, 요크(131, 132)를 개재하여 지지체(5)에 보유 지지되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 1의 (b)에 도시한 바와 같이, 2개의 제1 자석(11) 중, Z축 방향의 일방측 Z1의 제1 자석(11)은 요크(131)을 개재하여 제1 케이스(51)에 고정되고, Z축 방향의 타방측 Z2의 제1 자석(11)은 요크(132)를 개재하여 제2 케이스(52)의 단부판부(521)에 고정되어 있다. 본 형태에 있어서, 2개의 요크(131, 132)는, U자형으로 절곡된 연결부(133)를 통하여 일체로 연결된 제1 자성체(13)를 포함하고, 연결부(133)는 예를 들어, 제2 케이스(52)의 동체부(522)의 내면에 고정되어 있다.

또한, 도 3에 괄호로 나타내는 바와 같이, 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 자기 구동 회로(10)와 대략 마찬가지로, 지지체(5)에 보유 지지된 제2 자석(21)과, 가동체(4)에 보유 지지된 제2 코일(22)을 갖고 있으며, 제2 자석(21)과 제2 코일(22)은 제1 방향 L1에서 대향하고 있다. 본 형태에 있어서, 제2 자석(21)은 제2 코일(22)에 대하여 Z축 방향의 일방측 Z1에서 대향하는 위치, 및 제2 코일(22)에 대하여 Z축 방향의 타방측 Z2에서 대향하는 위치의 2개소에 배치되어 있고, 2개의 제2 자석(21)은 모두 지지체(5)에 보유 지지되어 있다.

제2 코일(22)은 제2 방향 L2로 연장되는 2개의 긴 변(221, 222)과, 제3 방향 L3로 연장되는 2개의 짧은 변(223, 224)을 구비한 편평한 중공 코어 코일이며, 2개의 긴 변(221, 222)은, 제3 방향 L3에서 대향하고, 2개의 짧은 변(223, 224)은, 제2 방향 L2에서 대향하고 있다. 제2 자석(21)은 제3 방향 L3에서 S극과 N극으로 착자된 판형의 영구 자석이며, 제2 코일(22)의 긴 변(221, 222)에 대향하고 있다. 이 때문에, 제2 코일(22)에서는, 긴 변(221, 222)이 유효 변으로서 이용되고, 제2 코일(22)에 통전했을 때, 가동체(4)를 제3 방향 L3(Y축 방향)로 구동하는 구동력을 발생시킨다.

또한, 제2 자기 구동 회로(20)는 2개의 제2 자석(21) 중, Z축 방향의 일방측 Z1의 제2 자석(21)에 대하여 제2 코일(22)과는 반대측에서 겹치는 요크(231)와, Z축 방향의 타방측 Z2의 제2 자석(21)에 대하여 제2 코일(22)과는 반대측에서 겹치는 요크(232)를 갖고 있으며, 2개의 제2 자석(21)은 각각, 요크(231, 232)를 개재하여 지지체(5)에 보유 지지되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 1의 (c)에 도시한 바와 같이, 2개의 제2 자석(21) 중, Z축 방향의 일방측 Z1의 제2 자석(21)은 요크(231)를 개재하여 제1 케이스(51)에 고정되고, Z축 방향의 타방측 Z2의 제2 자석(21)은 요크(232)를 개재하여 제2 케이스(52)의 단부판부(521)에 고정되어 있다. 본 형태에 있어서, 2개의 요크(231, 232)는, U자형으로 절곡된 연결부(233)를 통하여 연결된 제2 자성체(23)를 포함하고, 연결부(233)는 제2 케이스(52)의 동체부(522)의 내면에 고정되어 있다.

이와 같이 구성한 액추에이터(1)에 있어서, 제1 방향 L1에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 있어서 동일한 높이 위치에 설치되어 있다.

(자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃)

도 4는, 본 발명의 실시 형태 1에 관한 액추에이터(1)에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다. 또한, 도 4에서는, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구성하는 복수의 부재 중, 코일 및 1개의 자석만을 도시하였다.

도 4에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에 있어서, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 가동체(4)가 사각형이며, 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)에 있어서 제2 방향 L2에서 대향하는 2개의 변의 중앙에 설치되고, 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)에 있어서 제3 방향 L3에서 대향하는 2개의 변의 각각의 중앙에 설치되어 있다. 이 때문에, 제1 자기 구동 회로(10)는 제2 방향 L2에서 이격되고, 또한, 제2 방향 L2로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)는 제3 방향 L3에서 이격되고, 또한, 제3 방향 L3로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다.

또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 교대로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제3 방향 L3로 연장되는 가상선 L30을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제2 방향 L2로 연장되는 가상선 L20을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되어 있다.

또한, 본 형태에서는, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 가동체(4)가 정사각형이다. 이 때문에, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 등각도 간격으로 배치되어 있다.

(동작)

본 형태의 액추에이터(1)에 있어서, 예를 들어, 2개의 제1 자기 구동 회로(10)의 각각의 제1 코일(12)에 교류를 인가하는 한편, 제2 자기 구동 회로(20)의 제2 코일(22)에의 통전을 정지한다. 그 결과, 가동체(4)는 제2 방향 L2로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제2 방향 L2로 변동한다. 이 때문에, 이용자는, 제2 방향 L2의 진동을 체감할 수 있다. 그 때, 제1 코일(12)에 인가하는 교류 파형을 조정하여, 가동체(4)가 제2 방향 L2의 일방측으로 이동하는 속도와, 가동체(4)가 제2 방향 L2의 타방측으로 이동하는 속도를 상이하게 하면, 이용자는, 제2 방향 L2에 있어서 방향성을 갖는 진동을 체감할 수 있다.

또한, 2개의 제2 자기 구동 회로(20)의 각각의 제2 코일(22)에 교류를 인가하는 한편, 제1 자기 구동 회로(10)의 제1 코일(12)에의 통전을 정지한다. 그 결과, 가동체(4)는 제3 방향 L3로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제3 방향 L3로 변동한다. 이 때문에, 이용자는, 제3 방향 L3의 진동을 체감할 수 있다. 그 때, 제2 코일(22)에 인가하는 교류 파형을 조정하여, 가동체(4)가 제3 방향 L3의 일방측으로 이동하는 속도와, 가동체(4)가 제3 방향 L3의 타방측으로 이동하는 속도를 상이하게 하면, 이용자는, 제3 방향 L3에 있어서 방향성을 갖는 진동을 체감할 수 있다.

또한, 제1 코일(12)에의 통전과 제2 코일(22)에의 통전을 조합하면, 이용자는, 제2 방향 L2에서의 진동과 제3 방향 L3에서의 진동을 조합한 체감을 얻을 수 있다.

(본 형태의 주된 효과)

이상 설명한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에서는, 가동체(4)가 접속체(7)에 의해 지지체(5)에 지지되어 있음과 함께, 가동체(4)와 지지체(5) 사이에는, 제1 방향 L1에서 대향하는 코일과 자석에 의해, 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2로 구동하는 구동력을 발생시키는 제1 자기 구동 회로(10)와, 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2에 교차하는 제3 방향 L3로 구동하는 구동력을 발생시키는 제2 자기 구동 회로(20)가 설치되어 있다. 이 때문에, 가동체(4)를 제2 방향 L2로 진동시킬 수 있음과 함께, 가동체(4)를 제3 방향 L3로 진동시킬 수 있다. 이 때문에, 사용자에게 제2 방향 L2의 진동 및 제3 방향 L3의 진동을 체감시킬 수 있다. 또한, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20) 중 어느 것에 있어서도, 코일과 자석이 제1 방향 L1에서 대향하고 있기 때문에, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 설치한 경우에도, 액추에이터(1)의 제1 방향 L1의 사이즈를 소형화할 수 있다.

또한, 본 형태에서는, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있기 때문에, 가동체(4)를 제2 방향 L2로 진동시켰을 때 사용자가 느끼는 진동과, 가동체(4)를 제3 방향 L3로 진동시켰을 때 사용자가 느끼는 진동을 크게 상이하게 할 수 있다.

또한, 제1 자기 구동 회로(10)는 제2 방향 L2에서 이격되는 2개소에 설치되고, 제2 자기 구동 회로(20)는 제3 방향 L3에서 이격되는 2개소에 설치되어 있다. 이 때문에, 가동체(4)를 진동시키는 파워를 증대시킬 수 있다.

또한, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 교대로 배치되어 있다. 또한, 제1 자기 구동 회로(10)는 제2 방향 L2에서 이격되고, 또한, 제2 방향 L2로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)는 제3 방향 L3에서 이격되고, 또한, 제3 방향 L3로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다. 이 때문에, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구동하여 가동체(4)를 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3로 진동시켰을 때, 가동체(4)가 제1 방향 L1로 연장되는 축선 둘레로 회전하기 어려우므로, 가동체(4)를 효율적으로 진동시킬 수 있다.

특히, 본 형태에서는, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제3 방향 L3로 연장되는 가상선 L30을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제2 방향 L2로 연장되는 가상선 L20을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되어 있다. 이 때문에, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구동하여 가동체(4)를 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3로 진동시켰을 때, 가동체(4)가 제1 방향 L1로 연장되는 축선 둘레에 보다 회전하기 어려우므로, 가동체(4)를 더욱 효율적으로 진동시킬 수 있다.

또한, 액추에이터(1)에 있어서, 가동체(4)와 지지체(5)에 접속하는 접속체(7)를 스프링 부재로 한 경우에는, 가동체(4)가 가동체(4)의 질량과 스프링 부재의 스프링 상수에 대응하는 주파수로 공진하는 경우가 있지만, 본 형태에서는, 접속체(7)에 겔상 댐퍼 부재(70)가 사용되고 있다. 또한, 본 형태에서는, 접속체(7)에 겔상 댐퍼 부재(70)만이 사용되고, 겔상 댐퍼 부재(70)는 그 변형 방향에 따라서는, 스프링 성분이 존재하지 않거나, 또는, 스프링 성분이 적은 변형 특성을 갖는다. 이 때문에, 가동체(4)의 공진을 억제할 수 있다. 또한, 겔상 댐퍼 부재(70)는 가동체(4) 및 지지체(5)의 양쪽에 접착 등의 방법으로 고정되어 있다. 이 때문에, 가동체(4)의 이동에 수반하여 겔상 댐퍼 부재(70)가 이동하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 접속체(7)로서 겔상 댐퍼 부재(70)만을 사용할 수 있으므로, 액추에이터(1)의 구성을 간소화할 수 있다. 또한, 겔상 댐퍼 부재(70)는 침입도가 90도부터 110도이다. 이 때문에, 겔상 댐퍼 부재(70)는 댐퍼 기능을 발휘 하기에 충분한 탄성을 가짐과 함께, 겔상 댐퍼 부재(70)가 파단되어 비산하는 사태가 발생하기 어렵다.

겔상 댐퍼 부재(70)는 가동체(4)의 제1 방향 L1의 양측에서, 지지체(5)와 가동체(4) 사이에 배치되어 있다. 이 때문에, 겔상 댐퍼 부재(70)는 가동체(4)가 제1 방향 L1으로 움직이는 경우에는, 제1 방향 L1의 일방측과 타방측 중 어느 한쪽에서 반드시 압축 변형되고, 또다른 한쪽 측에서, 그 두께 방향(축방향)으로 신장한다. 상술한 바와 같이, 겔상 댐퍼 부재(70)는 압축 시의 신축 특성은 선형의 성분보다도 비선형의 성분이 많으므로, 가동체(4)가 제1 방향 L1으로 움직이는 경우에는, 반드시, 압축측의 겔상 댐퍼 부재(70)가 비선형의 신축 특성에 따라서 압축된다. 따라서, 가동체(4)와 지지체(5)의 갭이 크게 변화하는 것을 피할 수 있어, 가동체(4)와 지지체(5)의 제1 방향 L1의 갭을 확보할 수 있다.

또한, 겔상 댐퍼 부재(70)는 가동체(4)가 제2 방향 L2, 제3 방향 L3로 움직이면, 두께 방향(축방향)과 직교하는 방향(전단 방향)으로 변형된다. 즉, 겔상 댐퍼 부재(70)의 전단 방향은, 제1 방향 L1으로 대향하는 지지체(5)와 가동체(4)를 접속하는 겔상 댐퍼 부재(70)가 신축하는 경우에, 그 신축 방향(제1 방향)과 직교하는 방향이며, 가동체(4)가 진동하는 방향과 평행한 방향이다. 따라서, 액추에이터(1)는 가동체(4)를 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3로 진동시킬 때, 겔상 댐퍼 부재(70)의 전단 방향의 변형 특성을 사용한다. 겔상 댐퍼 부재(70)의 전단 방향의 변형 특성은, 비선형의 성분보다도 선형의 성분이 많다. 따라서, 액추에이터(1)의 구동 방향(제2 방향 L2, 제3 방향 L3)에서는, 리니어리티가 양호한 진동 특성을 얻을 수 있다.

[실시 형태 2]

도 5는, 본 발명의 실시 형태 2에 관한 액추에이터(1)의 설명도이며, 도 5의 (a), (b)는 액추에이터(1)의 사시도, 및 액추에이터(1)의 중앙 부분을 통과하는 A2-A2'선을 따라 액추에이터(1)를 절단했을 때의 XZ 단면도이다. 도 6은, 본 발명의 실시 형태 2에 관한 액추에이터(1)의 분해 사시도이며, 도 6의 (a), (b)는 제2 케이스(54)를 벗긴 상태의 분해 사시도, 및 제1 케이스(53)로부터 가동체(4) 등을 분리한 상태의 분해 사시도이다. 또한, 본 형태의 기본적인 구성은, 실시 형태 1과 동등하기 때문에, 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 그들의 설명을 생략한다.

실시 형태 1에서는, 코일이 가동체(4)에 보유 지지되고, 자석이 지지체(5)에 보유 지지되어 있었지만, 본 형태에서는, 코일이 지지체(5)에 보유 지지되고, 자석이 가동체(4)에 보유 지지되어 있다. 보다 구체적으로는, 도 5 및 도 6에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 사용자에게 진동을 체감시키는 진동 액추에이터이다. 액추에이터(1)는 지지체(5)와, 가동체(4)와, 가동체(4)와 지지체(5)에 접속된 접속체(7)를 갖고 있으며, 가동체(4)는 접속체(7)를 통하여 지지체(5)에 지지되어 있다. 또한, 액추에이터(1)는 지지체(5)에 대하여 가동체(4)를 서로 교차하는 방향(제2 방향 L2 및 제3 방향 L3)으로 상대 이동시키는 자기 구동 회로로서, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 갖고 있다. 본 형태에 있어서, 제1 자기 구동 회로(10)가 구동력을 발생시키는 제2 방향 L2는, X축 방향이며, 제2 자기 구동 회로(20)가 구동력을 발생시키는 제3 방향 L3은, Y축 방향이며, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있다.

본 형태에 있어서, 지지체(5)는 Z축 방향의 일방측 Z1에 위치하는 제1 케이스(53)와, 제1 케이스(53)에 Z축 방향의 타방측 Z2에서 덮이는 제2 케이스(54)를 갖고 있다. 제1 케이스(53)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 +(플러스) 형상의 용기로 이루어지고, 단부판부(531)와, 단부판부(531)로부터 제2 케이스(54)의 측으로 돌출된 동체부(532)를 갖고 있다. 제2 케이스(54)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 +(플러스) 형상의 덮개로 이루어지고, 동체부(532)의 Z축 방향의 타방측 Z2의 단부에 고정되어 있다.

가동체(4)는 Z 방향으로 두께 방향을 향하게 하는 판형 부재(48)를 갖고 있으며, 판형 부재(48)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 지지체(5)보다 작은 사각형의 평면 형상을 갖고 있다. 여기서, 판형 부재(48)의 4개의 변 중, 제2 방향 L2에서 대향하는 2개의 변의 각각에, 제1 자기 구동 회로(10)의 제1 자석(11)이 고정되고, 제3 방향 L3에서 대향하는 2개의 변의 각각에, 제2 자기 구동 회로(20)의 제2 자석(21)이 고정되어 있다.

또한, 지지체(5)는 제1 케이스(53)의 단부판부(531)에 고정된 판형 부재(55)를 갖고 있으며, 이러한 판형 부재(55)에는, 2개의 제1 자석(11)의 각각에 제1 방향 L1의 일방측(Z축 방향의 일방측 Z1)에서 대향하는 제1 코일(12)(도 5의 (b) 참조)과, 2개의 제2 자석(21)의 각각에 제1 방향 L1의 일방측에서(Z축 방향의 일방측 Z1) 대향하는 제2 코일(도시하지 않음)이 보유 지지되어 있다.

또한, 본 형태에서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 접속체(7)는 가동체(4)와 지지체(5) 사이에 설치된 겔상 댐퍼 부재(70)를 포함한다. 본 형태에 있어서, 겔상 댐퍼 부재(70)는 제1 자석(11)의 제1 방향 L1의 일방측 단부면과 제1 케이스(53)의 단부판부(531) 사이에 4개소에 설치되어 있고, 이러한 겔상 댐퍼 부재(70)는 제1 자석(11) 및 제1 케이스(53)의 단부판부(531)의 각각에 접착 등의 방법으로 고정되어 있다. 또한, 겔상 댐퍼 부재(70)는 제1 자석(11)의 제1 방향 L1의 타방측 단부면과 제2 케이스(54) 사이의 4개소에 설치되어 있고, 이러한 겔상 댐퍼 부재(70)는 제1 자석(11) 및 제2 케이스(54)의 각각에 접착 등의 방법으로 고정되어 있다. 또한, 겔상 댐퍼 부재(70)는 제1 자석(11)의 측면과 판형 부재(55)의 측면에 걸치는 4개소에도 설치되어 있고, 이러한 겔상 댐퍼 부재(70)는 제1 자석(11), 판형 부재(55) 및 제1 케이스(53)의 동체부(532)의 내면 각각에 접착 등의 방법으로 고정되어 있다. 본 형태에 있어서, 겔상 댐퍼 부재(7)는 판형의 실리콘 겔을 포함한다.

본 형태에 있어서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)는 제2 방향 L2에서 이격되고, 또한, 제2 방향 L2로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)는 제3 방향 L3에서 이격되고, 또한, 제3 방향 L3로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 교대로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제3 방향 L3로 연장되는 가상선(도시하지 않음)을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제2 방향 L2로 연장되는 가상선(도시하지 않음)을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 등각도 간격으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 있어서 동일한 높이 위치에 설치되어 있다.

이와 같이 구성한 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 가동체(4)가 접속체(7)에 의해 지지체(5)에 지지되어 있음과 함께, 가동체(4)와 지지체(5) 사이에는, 제1 방향 L1에서 대향하는 코일과 자석에 의해, 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2로 구동하는 구동력을 발생시키는 제1 자기 구동 회로(10)와, 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2에 교차하는 제3 방향 L3로 구동하는 구동력을 발생시키는 제2 자기 구동 회로(20)가 설치되어 있다. 이 때문에, 가동체(4)를 제2 방향 L2로 진동시킬 수 있음과 함께, 가동체(4)를 제3 방향 L3로 진동시킬 수 있다. 이 때문에, 사용자에게 제2 방향 L2의 진동 및 제3 방향 L3의 진동을 체감시킬 수 있다. 또한, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20) 중 어느 것에 있어서도, 코일과 자석이 제1 방향 L1에서 대향하고 있기 때문에, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 설치한 경우에도, 액추에이터(1)의 제1 방향 L1의 사이즈를 소형화할 수 있는 등, 실시 형태 1과 동일한 효과를 발휘한다.

[실시 형태 3]

도 7은, 본 발명의 실시 형태 3에 관한 액추에이터(1)에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다. 또한, 도 7에서는, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구성하는 복수의 부재 중, 코일 및 1개의 자석만을 도시하였다.

도 7에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1, 2와 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)는 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2의 구동력을 발생시키고, 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2와 교차하는 제3 방향 L3의 구동력을 발생시킨다. 여기서, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있다.

본 형태에서는, 제1 자기 구동 회로(10)는 제3 방향 L3에서 이격되고, 또한, 제3 방향 L3로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)는 제2 방향 L2에서 이격되고, 또한, 제2 방향 L2로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있다.

또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 교대로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제3 방향 L3로 연장되는 가상선 L30을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제2 방향 L2로 연장되는 가상선 L20을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 등각도 간격으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 있어서 동일한 높이 위치에 설치되어 있다.

본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 2개의 제1 자기 구동 회로(10)에 의해, 가동체(4)가 제2 방향 L2로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제2 방향 L2로 변동한다. 또한, 2개의 제2 자기 구동 회로(20)에 의해, 가동체(4)가 제3 방향 L3로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제3 방향 L3로 변동한다. 이 때문에, 이용자는, 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3의 진동을 체감할 수 있다.

또한, 2개의 제1 코일(12)에 역상의 교류를 공급하고, 2개의 제2 코일(22)에 역상의 교류를 공급하면, 가동체(4)가 무게 중심 G 둘레에 왕복 회전한다. 이 때문에, 이용자는, 무게 중심 G 둘레의 진동을 체감할 수 있다.

[실시 형태 4]

도 8은, 본 발명의 실시 형태 4에 관한 액추에이터(1)에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다. 또한, 도 8에서는, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구성하는 복수의 부재 중, 코일 및 1개의 자석만을 도시하였다.

도 8에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1, 2와 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)는 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2의 구동력을 발생시키고, 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2와 교차하는 제3 방향 L3의 구동력을 발생시킨다. 여기서, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있다.

본 형태에서는, 제1 자기 구동 회로(10)는 제2 방향 L2에서 이격되고, 또한, 제2 방향 L2로부터 보았을 때 제3 방향 L3로 어긋난 2개소에 설치되어 있다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)는 제3 방향 L3에서 이격되고, 또한, 제3 방향 L3로부터 보았을 때 제2 방향 L2로 어긋난 2개소에 설치되어 있다.

또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 교대로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는, 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 등각도 간격으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 있어서 동일한 높이 위치에 설치되어 있다.

[실시 형태 5]

도 9는, 본 발명의 실시 형태 5에 관한 액추에이터(1)에 있어서의 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다. 또한, 도 9에서는, 제1 자기 구동 회로(10), 제2 자기 구동 회로, 및 제3 자기 구동 회로(30)를 구성하는 복수의 부재 중, 코일 및 1개의 자석만을 도시하였다.

도 9에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1, 2와 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)는 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2의 구동력을 발생시키고, 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2와 교차하는 제3 방향 L3의 구동력을 발생시킨다.

또한, 본 형태의 액추에이터(1)는 제3 자석(31)과, 제3 자석(31)에 제1 방향 L1(Z축 방향)에서 대향하는 제3 코일(32)을 갖고, 제1 방향 L1과 직교하고, 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3과 비스듬히 교차하는 제4 방향 L4의 구동력을 발생시킨다.

여기서, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 비스듬히 교차하고, 제3 방향 L3과 제4 방향 L4는 비스듬히 교차하고, 제2 방향 L2와 제4 방향 L4는 비스듬히 교차하고 있다. 또한, 제1 자기 구동 회로(10), 제2 자기 구동 회로(20) 및 제3 자기 구동 회로(30)는 모두, 1개소에 설치되어 있다.

또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10), 제2 자기 구동 회로(20) 및 제3 자기 구동 회로(30)는 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 회전 대칭으로 배치되고, 제1 자기 구동 회로(10), 제2 자기 구동 회로(20) 및 제3 자기 구동 회로(30)는 가동체(4)의 무게 중심 G의 둘레에서 등각도 간격으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10), 제2 자기 구동 회로(20), 및 제3 자기 구동 회로(30)는 제1 방향 L1에 있어서 동일한 높이 위치에 설치되어 있다.

본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)의 제1 코일(12)에 교류를 인가하는 한편, 제2 자기 구동 회로(20)의 제2 코일(22), 및 제3 자기 구동 회로(30)의 제3 코일(32)에의 통전을 정지하면, 가동체(4)는 제2 방향 L2로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제2 방향 L2로 변동한다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)의 제2 코일(22)에 교류를 인가하는 한편, 제1 자기 구동 회로(10)의 제1 코일(12), 및 제3 자기 구동 회로(30)의 제3 코일(32)에의 통전을 정지하면, 가동체(4)는 제3 방향 L3로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제3 방향 L3로 변동한다. 또한, 제3 자기 구동 회로(30)의 제3 코일(32)에 교류를 인가하는 한편, 제1 자기 구동 회로(10)의 제1 코일(12), 및 제2 자기 구동 회로(20)의 제2 코일(22)에의 통전을 정지하면, 가동체(4)는 제4 방향 L4로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제3 방향 L3로 변동한다. 이 때문에, 이용자는, 제2 방향 L2, 제3 방향 L3 및 제4 방향 L4의 진동을 체감할 수 있다.

또한, 제1 코일(12)에의 통전, 제2 코일(22)에의 통전, 및 제3 코일(32)에의 통전을 조합하면, 이용자는, 제2 방향 L2에서의 진동, 제3 방향 L3에서의 진동, 및 제4 방향 L4에서의 진동을 조합한 체감을 얻을 수 있다. 예를 들어, 제1 코일(12)에의 통전, 제2 코일(22)에의 통전, 및 제3 코일(32)에의 통전을 조합하면, 이용자는, X축 방향 X에서의 진동, 및 Y축 방향 Y에서의 진동을 체감할 수 있다.

[실시 형태 6]

도 10은, 본 발명의 실시 형태 6에 관한 액추에이터(1)의 자기 구동 회로의 설명도이며, 도 10의 (a), (b)는 자기 구동 회로의 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도, 및 자기 구동 회로의 다른 평면적인 레이아웃을 도시하는 설명도이다. 또한, 도 10에서는, 제1 자기 구동 회로(10), 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구성하는 복수의 부재 중, 코일 및 1개의 자석만을 도시하였다.

실시 형태 1에서는, 계 8개의 자석 및 계 8개의 코일이 사용되고, 실시 형태 2에서는, 계 3개의 자석 및 계 3개의 코일을 사용했지만, 본 형태에서는, 계 2개의 자석 및 계 2개의 코일이 사용되고 있다.

구체적으로는, 도 10의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1, 2와 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)는 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2의 구동력을 발생시키고, 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2와 교차하는 제3 방향 L3의 구동력을 발생시킨다. 여기서, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있다.

도 10의 (a)에 도시하는 형태에서는, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G로부터 제2 방향 L2로 이격한 위치에 제1 자기 구동 회로(10)가 설치되고, 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G로부터 제3 방향 L3로 이격한 위치에 제2 자기 구동 회로(20)가 설치되어 있다. 또한, 도 10의 (b)에 도시하는 형태에서는, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G로부터 제2 방향 L2로 이격한 위치에 제1 자기 구동 회로(10)가 설치되고, 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G와 겹치는 위치에 제2 자기 구동 회로(20)가 설치되어 있다.

본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)에 의해, 가동체(4)가 제2 방향 L2로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제2 방향 L2로 변동한다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)에 의해, 가동체(4)가 제3 방향 L3로 진동하기 때문에, 액추에이터(1)에 있어서의 무게 중심이 제3 방향 L3로 변동한다. 이 때문에, 이용자는, 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3의 진동을 체감할 수 있다.

여기서, 도 10의 (b)에 도시하는 형태에서는, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G와 겹치는 위치에 제2 자기 구동 회로(20)가 설치되어 있기 때문에, 가동체(4)를 제3 방향 L3로 진동시킬 때, 가동체(4)가 무게 중심 G를 중심으로 회전하는 것을 억제할 수 있다.

[실시 형태 7]

도 11은, 본 발명의 실시 형태 7에 관한 액추에이터(1)의 자기 구동 회로의 설명도이며, 도 11의 (a), (b), (c)는 자기 구동 회로의 사시도, 평면도, 및 측면도이다. 또한, 도 11에서는, 제1 자기 구동 회로(10), 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구성하는 복수의 부재 중, 코일 및 1개의 자석만을 도시하였다.

상기 실시 형태 1에서는, 제1 방향 L1에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 모든 자기 구동 회로가 제1 방향 L1으로 동일 위치에 설치되어 있었지만, 본 형태 및 후술하는 실시 형태 8에서는, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)가 부분적으로 겹쳐 있다.

구체적으로는, 도 11에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1, 2와 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)는 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2의 구동력을 발생시킨다. 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2와 교차하는 제3 방향 L3의 구동력을 발생시킨다. 여기서, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있다.

여기서, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G와 겹치는 위치에 설치되고, 제2 자기 구동 회로(20)도, 제1 자기 구동 회로(10)와 마찬가지로, 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G와 겹치는 위치에 설치되어 있다. 이 때문에, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)가 부분적으로 겹쳐 있다. 따라서, 액추에이터(1)의 제1 방향 L1으로부터 보았을 때의 사이즈를 소형화할 수 있다.

여기서, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G와 겹치는 위치에 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)가 설치되어 있기 때문에, 가동체(4)를 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3로 진동시킬 때, 가동체(4)가 무게 중심 G를 중심으로 회전하는 것을 억제할 수 있다.

[실시 형태 8]

도 12는, 본 발명의 실시 형태 8에 관한 액추에이터(1)의 자기 구동 회로의 설명도이며, 도 12의 (a), (b), (c)는 자기 구동 회로의 사시도, 평면도, 및 측면도이다. 또한, 도 12에서는, 제1 자기 구동 회로(10), 및 제2 자기 구동 회로(20)를 구성하는 복수의 부재 중, 코일 및 1개의 자석만을 도시하였다.

상기 실시 형태 7에서는, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)가 1개씩 설치되어 있었지만, 본 형태에서는, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)가 2개씩 설치되고, 제1 방향 L1에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)가 부분적으로 겹쳐 있다.

구체적으로는, 도 12에 도시한 바와 같이, 본 형태의 액추에이터(1)에 있어서도, 실시 형태 1, 2와 마찬가지로, 제1 자기 구동 회로(10)는 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2의 구동력을 발생시키고, 제2 자기 구동 회로(20)는 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2와 교차하는 제3 방향 L3의 구동력을 발생시킨다. 여기서, 제2 방향 L2와 제3 방향 L3는 직교하고 있다.

여기서, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G로부터 제2 방향 L2에서 이격되는 2개소에 설치되고, 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)(도시하지 않음)의 무게 중심 G와 겹치는 위치에 있어서, 제1 방향 L1에서 이격되는 2개소에 설치되어 있다. 이 때문에, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 제1 자기 구동 회로(10)와 제2 자기 구동 회로(20)가 부분적으로 겹쳐 있음과 함께, 2개의 제2 자기 구동 회로(20)가 부분적으로 겹쳐 있다. 따라서, 액추에이터(1)의 제1 방향 L1으로부터 보았을 때의 사이즈를 소형화할 수 있다.

여기서, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있다. 또한, 제1 방향 L1으로부터 보았을 때, 2개소의 제1 자기 구동 회로(10)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제3 방향 L3로 연장되는 가상선 L30을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되고, 2개소의 제2 자기 구동 회로(20)는 가동체(4)의 무게 중심 G를 통과하여 제2 방향 L2로 연장되는 가상선 L20을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되어 있다. 이 때문에, 가동체(4)를 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3로 진동시킬 때, 가동체(4)가 무게 중심 G를 중심으로 회전하는 것을 억제할 수 있다.

[실시 형태 9]

(전체 구성)

도 13은, 본 발명의 실시 형태 9에 관한 액추에이터(1)의 설명도이며, 도 13의 (a)는 액추에이터(1)의 사시도이며, 도 13의 (b)는 액추에이터(1)의 중앙 부분을 통과하는 A3-A3'선을 따라 액추에이터(1)를 절단했을 때의 XZ 단면도이다. 또한, 도 14는, 도 13의 액추에이터(1)의 분해 사시도이며, 도 15는, 도 13의 액추에이터(1)의 주요부 분해 사시도이다. 또한, 본 형태의 기본적인 구성은, 실시 형태 1, 2와 동등하기 때문에, 대응하는 부분에는 동일한 부호를 부여하여 그들의 설명을 생략한다. 실시 형태 9에 관한 액추에이터(1)는 실시 형태 2와 마찬가지로, 코일(제1 코일(12), 제2 코일(22))이 지지체(5)에 보유 지지되고, 자석(제1 자석(11), 제2 자석(21))이 가동체(4)에 보유 지지되어 있다.

본 형태의 액추에이터(1)는 다른 형태와 마찬가지로, 사용자에게 진동을 체감시키는 진동 액추에이터이다. 액추에이터(1)는 지지체(5)와, 가동체(4)와, 가동체(4)와 지지체(5)에 접속된 접속체(7)를 갖고 있으며, 가동체(4)는 접속체(7)를 통하여 지지체(5)에 지지되어 있다. 또한, 액추에이터(1)는 지지체(5)에 대하여 가동체(4)를 서로 교차하는 방향(제2 방향 L2 및 제3 방향 L3)으로 상대 이동시키는 자기 구동 회로로서, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 갖고 있다. 본 형태에 있어서, 제1 자기 구동 회로(10)가 구동력을 발생시키는 제2 방향 L2는, X축 방향이며, 제2 자기 구동 회로(20)가 구동력을 발생시키는 제3 방향 L3은, Y축 방향이다.

본 형태에 있어서, 지지체(5)는 Z축 방향의 일방측 Z1에 위치하는 제1 케이스(56)와, 제1 케이스(56)에 Z축 방향의 타방측 Z2에서 덮이는 제2 케이스(57)와, 제1 케이스(56)와 제2 케이스(57)의 사이에 배치되는 판형 부재(58)와, 제1 케이스(56)와 제2 케이스(57)를 고정하는 4개의 고정 나사(59)를 갖는다. 제2 케이스(57)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 사각형의 평면 형상을 갖는 단부판부(571)와, 단부판부(571)로부터 제1 케이스(56)의 측으로 돌출된 동체부(572)를 갖는다. 동체부(572)는 제2 방향 L2(X축 방향)의 일방측을 향하는 제1면(572a) 및 타방측을 향하는 제2면(572b)과, 제3 방향 L3(Y축 방향)의 일방측을 향하는 제3면(572c) 및 타방측을 향하는 제4면(572d)을 구비한다. 제1면(572a)과 제2면(572b)의 제3 방향 L3의 중앙부, 및 제3면(572c)과 제4면(572d)의 제2 방향 L2의 중앙부에는, Z축 방향의 일방측 Z1부터 타방측 Z2에 절결한 절결부(573)가 형성되어 있다. 또한, 제1면(572a)에는, 절결부(573)의 인접한 부분을 Z축 방향의 높이의 일부분만 절결한 절결부(574)가 형성되어 있다.

제1 케이스(56)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 사각형의 평면 형상을 갖는 단부판부(561)와, 단부판부(561)의 네 코너로부터 제2 케이스(57)의 단부판부(571)를 향하여 돌출된 보스부(562)를 구비한다. 보스부(562)는 Z축 방향의 도중 위치에 형성된 단면(563)과, 단면(563)으로부터 Z축 방향의 타방측 Z2로 돌출된 원통부(564)를 구비한다. 제2 케이스(57)의 단부판부(571)에는, 네 코너에 고정 구멍(575)이 형성된다. 제2 케이스(57)의 고정 구멍(575)과 제1 케이스(56)의 보스부(562)에 Z축 방향의 타방측 Z2로부터 고정 나사(59)를 나사 고정함으로써, 동체부(572)의 Z축 방향의 일방측 Z1의 단부에 제1 케이스(56)의 단부판부(571)가 고정된다. 제1 케이스(56)는 제2 케이스(57)의 절결부(574)와 제1 방향 L1에서 대향하는 상승부(565)를 구비한다. 상승부(565)는 절결부(574)와의 사이에 기판(6)을 배치하는 슬릿을 구성한다. 기판(6)에는, 제1 코일(12), 제2 코일(22)에의 급전선 등이 접속된다.

판형 부재(58)의 네 코너에는 원형 구멍(581)이 개구되어 있다. 판형 부재(58)는 원형 구멍(581)에 보스부(562)의 원통부(564)가 삽입되고, 단면(563)에 실린 위치에서 보유 지지된다. 판형 부재(58)에 4개의 변의 중앙에는, 내주측으로 오목한 오목부(582)(도 15 참조)가 형성되어 있다. 제2 방향 L2에서 대향하는 2개의 오목부(582)의 내측에 제1 자기 구동 회로(10)의 제1 코일(12)이 보유 지지된다. 또한, 제3 방향 L3에서 대향하는 2개의 오목부(582)의 내측에 제2 자기 구동 회로(20)의 제2 코일(22)이 보유 지지된다. 제1 코일(12)은 유효 변이 되는 긴 변이 제3 방향 L3로 연장되는 편평한 중공 코어 코일이며, 제2 코일(22)은 유효 변이 되는 긴 변이 제2 방향 L2로 연장되는 편평한 중공 코어 코일이다. 제1 코일(12)과 제2 코일(22)은 판형 부재(58)에 형성한 타원형의 관통부에 장착되어 있다.

가동체(4)는 판형 부재(58)에 대하여 Z축 방향의 일방측 Z1에 위치하는 제1 홀더 부재(42)와, 판형 부재(58)에 대하여 Z축 방향의 타방측 Z2에 위치하는 제2 홀더 부재(43)를 구비한다. 제1 홀더 부재(42) 및 제2 홀더 부재(43)는 Z축 방향으로부터 보았을 때 +(플러스) 형상이다. 제1 홀더 부재(42) 및 제2 홀더 부재(43)는 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3의 양측에 각각 돌출되어 있는 부분의 선단부가 서로 대향하는 방향으로 절곡되고, U자형으로 연결된 접합부(44)를 형성하고 있다. 가동체(4)는 Z축 방향으로부터 보았을 때의 외형이 판형 부재(58)보다도 한 치수 작고, 접합부(44)는 판형 부재(58)의 오목부(582)와 제2 케이스(57)의 동체부(572) 사이의 간극에 배치된다(도 13의 (b) 참조).

제1 홀더 부재(42)의 중앙부와 제2 홀더 부재(43)의 중앙부는, 판형 부재(58)의 중앙부에 형성된 원형 구멍(583)을 통하여 Z축 방향으로 연결되어 있고, 이 부위에 제1 베어링(45A)과 제2 베어링(45B)이 설치되어 있다. 제1 베어링(45A)은 제1 홀더 부재(42)의 중앙에 설치되고, Z축 방향의 일방측 Z1으로부터 타방측 Z2로 향하는 방향으로 오목해지는 원형 오목부(451A)와, 원형 오목부(451A)의 저면과 제1 케이스(56)의 단부판부(561) 사이에서 전동 가능한 구체(452A)를 구비한다. 제2 베어링(45B)은 제2 홀더 부재(43)의 중앙에 설치되고, Z축 방향의 타방측 Z2로부터 일방측 Z1으로 향하는 방향으로 오목해지는 원형 오목부(451B)와, 원형 오목부(451B)의 저면과 제2 케이스(57)의 단부판부(571) 사이에서 전동 가능한 구체(452B)를 구비한다. 또한, 가동체(4)는 제1 베어링(45A)과 제2 베어링(45B)을 생략한 구성으로 할 수도 있다.

본 형태에서도, 실시 형태 1과 마찬가지로, 접속체(7)는 가동체(4)와 지지체(5) 사이에 설치된 겔상 댐퍼 부재(70)를 포함한다. 즉, 접속체(7)는 가동체(4)의 제1 홀더 부재(42)와 제1 케이스(56) 사이에 설치된 4개의 겔상 댐퍼 부재(70)와, 제2 홀더 부재(43)와 제2 케이스(57)의 단부판부(571) 사이에 설치된 4개의 겔상 댐퍼 부재(70)를 포함한다. 제1 홀더 부재(42)는 제2 방향 L2의 일방측 및 타방측으로 연장되는 제1 자석 보유 지지부(421)와, 제3 방향 L3의 일방측 및 타방측으로 연장되는 제2 자석 보유 지지부(422)를 구비하고 있고, 이들 4개의 자석 보유 지지부와 제1 케이스(56)의 단부판부(561) 사이에 각각, 겔상 댐퍼 부재(70)가 1개씩 배치되어 있다. 또한, 제2 홀더 부재(43)는 제2 방향 L2의 일방측 및 타방측으로 연장되는 제1 자석 보유 지지부(431)와, 제3 방향 L3의 일방측 및 타방측으로 연장되는 제2 자석 보유 지지부(432)를 구비하고 있고, 이들 4개의 자석 보유 지지부와 제2 케이스(57)의 단부판부(571) 사이에 각각, 겔상 댐퍼 부재(70)가 1개씩 배치되어 있다.

제1 자석 보유 지지부(421)와 제1 자석 보유 지지부(431)는 제1 자기 구동 회로(10)의 제1 자석(11)을 보유 지지한다. 제1 자석 보유 지지부(421)와 제1 자석 보유 지지부(431)에는, 직사각형의 관통부가 형성되고, 여기에 제1 자석(11)이 장착된다. 제1 자석(11)과 겔상 댐퍼 부재(70) 사이에는 직사각형의 요크(71)가 배치되어 있다. 또한, 제2 자석 보유 지지부(422)와 제2 자석 보유 지지부(432)는 제2 자기 구동 회로(20)의 제2 자석(12)을 보유 지지한다. 제2 자석 보유 지지부(422)와 제2 자석 보유 지지부(432)에는 직사각형의 관통부가 형성되고, 여기에 제2 자석(12)이 장착된다. 제2 자석(12)과 겔상 댐퍼 부재(70) 사이에는 직사각형의 요크(71)가 배치되어 있다. 겔상 댐퍼 부재(70)는 접착 등의 방법으로 가동체(4)의 요크(71) 및 지지체(5)의 단부판부(561) 및 단부판부(571)에 고정되어 있다.

본 형태에 있어서, 겔상 댐퍼 부재(70)는 판형의 실리콘 겔을 포함한다. 겔상 댐퍼 부재(70)의 평면 형상은, 본 형태에서는 원형이지만, 직사각형 등의 다각형이어도 된다. 직사각형의 경우, 겔상 댐퍼 부재(70)를 제조할 때의 수율이 가장 좋으므로, 저비용이다. 단, 액추에이터(1)를 구동할 때의 가동체(4)의 공진 특성을 고려하면, 겔상 댐퍼 부재(70)를 원형으로 하는 것이 바람직하다.

본 형태에 있어서, 제1 자기 구동 회로(10)는 판형 부재(58)에 보유 지지된 제1 코일(12)과, 판형 부재(58)의 제1 방향 L1의 양측에서 가동체(4)에 보유 지지된 제1 자석(11)을 구비하고 있고, 제1 자석(11)과 제1 코일(12)은 제1 방향 L1에서 대향하고, 제1 코일(12)에 통전했을 때, 가동체(4)를 제1 방향 L1에 직교하는 제2 방향 L2로 구동하는 구동력을 발생시킨다. 또한, 제2 자기 구동 회로(20)는 판형 부재(58)에 보유 지지된 제2 코일(22)과, 판형 부재(58)의 제1 방향 L1의 양측에서 가동체(4)에 보유 지지된 제2 자석(21)을 구비하고 있고, 제2 자석(21)과 제2 코일(22)은 제1 방향 L1에서 대향하고, 제2 코일(22)에 통전했을 때, 가동체(4)를 제1 방향 L1에 직교하고, 제2 방향 L2에 교차하는 제3 방향 L3로 구동하는 구동력을 발생시킨다. 이 때문에, 가동체(4)를 제2 방향 L2로 진동시킬 수 있음과 함께, 가동체(4)를 제3 방향 L3로 진동시킬 수 있다. 이 때문에, 사용자에게 제2 방향 L2의 진동 및 제3 방향 L3의 진동을 체감시킬 수 있다. 또한, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20) 중 어느 것에 있어서도, 코일과 자석이 제1 방향 L1에서 대향하고 있기 때문에, 제1 자기 구동 회로(10) 및 제2 자기 구동 회로(20)를 설치한 경우에도, 액추에이터(1)의 제1 방향 L1의 사이즈를 소형화할 수 있는 등, 실시 형태 1, 2와 동일한 효과를 발휘한다.

(이동 규제부)

도 16은, 제2 케이스(57)를 제거한 액추에이터(1)의 평면도이다. 도 15, 도 16에 도시한 바와 같이, 본 형태의 지지체(5)는 가동체(4)의 제2 방향 L2의 이동 범위를 규제하는 제1 이동 규제부(80)와, 가동체(4)의 제3 방향 L3의 이동 범위를 규제하는 제2 이동 규제부(90)를 구비한다. 제1 이동 규제부(80) 및 제2 이동 규제부(90)는 판형 부재(58)에 형성되어 있다. 판형 부재(58)는 상술한 원형 구멍(581), 오목부(582), 원형 구멍(583)이 형성되어 있는 박판부(584)와, 박판부(584)에 대하여 수직한 각기둥부(81) 및 각기둥부(91)를 구비한다. 제1 이동 규제부(80)는 가동체(4)의 제2 자석 보유 지지부(422) 및 제2 자석 보유 지지부(432)의 제2 방향 L2의 양측에서 대향하는 각기둥부(81)를 2조(4개) 구비하고 있다. 또한, 제2 이동 규제부(90)는 가동체(4)의 제1 자석 보유 지지부(421) 및 제1 자석 보유 지지부(431)의 제3 방향 L3의 양측에서 대향하는 각기둥부(91)를 2조(4개) 구비하고 있다.

제1 이동 규제부(80)를 구성하는 각기둥부(81)는 제3 방향 L3에서 대향하는 2개의 오목부(582) 각각의, 제2 방향 L2에서 대향하는 내주연에 위치한다. 각기둥부(81)는 제2 방향 L2에서 대향하는 측면(813)과 측면(814)을 구비하고 있고, 이 측면(813, 814)은, 가동체(4)가 제2 방향 L2로 진동할 때, 진동 방향에 대하여 수직인 면이다. 또한, 제2 이동 규제부(90)를 구성하는 각기둥부(91)는 제2 방향 L2에서 대향하는 2개의 오목부(582) 각각의, 제3 방향 L3에서 대향하는 내주연에 위치한다. 각기둥부(91)는 제3 방향 L3에서 대향하는 측면(913)과 측면(914)을 구비하고 있고, 이 측면(913, 914)은, 가동체(4)가 제2 방향 L2로 진동할 때, 진동 방향에 대하여 수직인 면이다.

도 15에 도시한 바와 같이, 각기둥부(81)는 박판부(584)로부터 제1 케이스(56)의 단부판부(561)를 향하여 돌출된 제1 돌출부(811)와, 제2 케이스(57)의 단부판부(571)를 향하여 돌출된 제2 돌출부(812)를 구비한다. 제1 돌출부(811)와 제2 돌출부(812)는 박판부(584)로부터의 돌출 방향이 역방향이고 돌출 치수가 동일하며, 제2 방향 L2(X축 방향)에 보았을 때, 제1 돌출부(811)가 제2 자석 보유 지지부(422)와 겹치고, 제2 돌출부(812)가 제2 자석 보유 지지부(432)와 겹친다. 따라서, 가동체(4)는 제2 방향 L2로 진동할 때, 각기둥부(81)에 의해, 제2 방향 L2의 일방측 및 타방측으로의 이동이 규제된다. 가동체(4)는 제2 자석 보유 지지부(422) 및 제2 자석 보유 지지부(432)의 제2 방향 L2의 양측에서 대향하는 각기둥부(81)의 간격 D1과, 제2 자석 보유 지지부(422) 및 제2 자석 보유 지지부(432)의 제2 방향 L2의 폭 D2와의 치수 차의 범위에서, 제2 방향 L2로 진동 가능하다. 또한, 각기둥부(81)는 제1 홀더 부재(42)와 제2 홀더 부재(43)를 U자형으로 연결시킨 접합부인 접합부(44)와 상이한 위치에서, 가동체(4)와 맞닿아서 그 이동을 규제한다.

마찬가지로, 각기둥부(91)는 박판부(584)로부터 제1 케이스(56)의 단부판부(561)를 향하여 돌출된 제1 돌출부(911)와, 제2 케이스(57)의 단부판부(571)를 향하여 돌출된 제2 돌출부(912)를 구비한다. 제1 돌출부(911)와 제2 돌출부(912)는 박판부(584)로부터의 돌출 방향이 역방향이고 돌출 치수가 동일하며, 제3 방향 L3(Y축 방향)에 보았을 때, 제1 돌출부(91)가 제2 자석 보유 지지부(422)와 겹치고, 제2 돌출부(912)가 제2 자석 보유 지지부(432)와 겹친다. 따라서, 가동체(4)는 제3 방향 L3로 진동할 때, 각기둥부(91)에 의해, 제3 방향 L3의 일방측 및 타방측으로의 이동이 규제된다. 가동체(4)는 제1 자석 보유 지지부(421) 및 제1 자석 보유 지지부(431)의 제3 방향 L3의 양측에서 대향하는 각기둥부(91)의 간격 D3과, 제1 자석 보유 지지부(421) 및 제1 자석 보유 지지부(431)의 제3 방향 L3의 폭 D4와의 치수 차의 범위에서, 제3 방향 L3로 진동 가능하다. 또한, 각기둥부(91)는 제1 홀더 부재(42)와 제2 홀더 부재(43)를 U자형으로 연결시킨 접합부인 접합부(44)와 상이한 위치에서, 가동체(4)와 맞닿아서 그 이동을 규제한다.

본 형태의 액추에이터(1)에서는, 이와 같이, 지지체(5)가 제1 이동 규제부(80) 및 제2 이동 규제부(90)를 구비하고 있고, 가동체(4)의 제2 방향 L2의 이동 범위, 및 제3 방향 L3의 이동 범위를 규제할 수 있다. 제1 이동 규제부(80)에 의해 규제되는 제2 방향 L2의 이동 범위, 및 제2 이동 규제부(90)에 의해 규제되는 제3 방향 L3의 이동 범위는, 가동체(4)가 제2 케이스(57)의 동체부(572)에 충돌하는 일이 없는 범위로 설정되어 있다. 또한, 가동체(4)가 제2 방향 L2 및 제3 방향 L3로 진동할 때, 접속체(7)(겔상 댐퍼 부재(70))는 전단 방향으로 변형되게 된다. 본 형태에서는, 가동체(4)의 이동 범위를, 겔상 댐퍼 부재(70)의 전단 방향의 한계 변형량 이하로 하고 있다. 따라서, 가동체(4)가 최대한 진동해도, 겔상 댐퍼 부재(70)가 한계 변형량 이상 신장하는 경우가 없으므로, 겔상 댐퍼 부재(70)가 파괴되는 것을 피할 수 있다.

또한, 제1 이동 규제부(80) 및 제2 이동 규제부(90)는 제1 홀더 부재(42)와 제2 홀더 부재(43)를 U자형으로 연결시킨 접합부인 접합부(44)와 상이한 위치에서 가동체(4)와 접촉하도록 배치되어 있고, 가동체(4)의 강도가 약한 개소가 제1 이동 규제부(80) 및 제2 이동 규제부(90)에 닿지 않도록 구성되어 있다. 따라서, 가동체(4)가 제1 이동 규제부(80) 및 제2 이동 규제부(90)의 충돌에 의해 깨질 우려를 적게 할 수 있다.

또한, 본 형태의 액추에이터(1)는 제1 코일(12)에 대하여 양면으로부터 제1 자석(11)이 대향하고, 제2 코일(22)에 대하여 양면으로부터 제2 자석(21)이 대향하므로, 코일의 편면에만 자석이 대향하고 있는 경우와 비교하여, 자속 누설이 적다. 따라서, 가동체(4)를 움직이게 하기 위한 추력을 크게 할 수 있다.

또한, 제1 이동 규제부(80)와 제2 이동 규제부(90) 중 한쪽을 생략할 수도 있다. 또한, 본 형태에서는, 제1 이동 규제부(80)를 및 제2 이동 규제부(90)를 판형 부재(58)에 설치하고 있었지만, 제1 케이스(56) 및 제2 케이스(57)에 설치하는 것도 가능하다.

[다른 실시 형태]

상기 실시 형태에서는, 자석과 코일이 간극을 개재하여 대향하고 있었지만, 자석과 코일 사이에 수지제의 보호 시트를 설치하여, 자석과 코일이 접촉했을 때의 자석이나 코일의 손상을 방지해도 된다.

상기 실시 형태에서는, 접속체(7)로서 겔상 댐퍼 부재(70)만을 사용했지만, 접속체(7)로서, 스프링을 사용한 형태나, 스프링과 겔상 댐퍼 부재(70)를 병용한 형태로 해도 된다.

1: 액추에이터
10: 제1 자기 구동 회로
11: 제1 자석
12: 제1 코일
121, 122: 긴 변
123, 124: 짧은 변
13: 제1 자성체
131: 요크
132: 요크
133: 연결부
20: 제2 자기 구동 회로
21: 제2 자석
22: 제2 코일
221, 222: 긴 변
223, 224: 짧은 변
23: 제2 자성체
231: 요크
232: 요크
233: 연결부
30: 제3 자기 구동 회로
31: 제3 자석
32: 제3 코일
4: 가동체
41: 판형 부재
411: 제1면
412: 제2면
42: 제1 홀더 부재
421: 제1 자석 보유 지지부
422: 제2 자석 보유 지지부
43: 제2 홀더 부재
431: 제1 자석 보유 지지부
432: 제2 자석 보유 지지부
44: 접합부
45A: 제1 베어링
451A: 원형 오목부
452A: 구체
45B: 제2 베어링
451B: 원형 오목부
452B: 구체
46: 제1 웨이트 부재
47: 제2 웨이트 부재
48: 판형 부재
5: 지지체
51: 제1 케이스
52: 제2 케이스
521: 단부판부
522: 동체부
53: 제1 케이스
531: 단부판부
532: 동체부
54: 제2 케이스
55: 판형 부재
56: 제1 케이스
561: 단부판부
562: 보스부
563: 단면
564: 원통부
565: 상승부
57: 제2 케이스
571: 단부판부
572: 동체부
572a: 제1면
572b: 제2면
572c: 제3면
572d: 제4면
573, 574: 절결부
575: 고정 구멍
58: 판형 부재
581: 원형 구멍
582: 오목부
583: 원형 구멍
584: 박판부
59: 고정 나사
6: 기판
7: 접속체
70: 겔상 댐퍼 부재
71: 요크
80: 제1 이동 규제부
81: 각기둥부
811: 제1 돌출부
812: 제2 돌출부
813, 814: 측면
90: 제2 이동 규제부
91: 각기둥부
11: 제1 돌출부
912: 제2 돌출부
913, 914: 측면
D1, D3: 간격
D2, D4: 폭
G: 무게 중심
L1: 제1 방향
L2: 제2 방향
L3: 제3 방향
L4: 제4 방향
L20: 가상선
L30: 가상선

Claims

지지체와,
가동체와,
상기 가동체와 상기 지지체에 접속되고, 탄성과 점탄성 중 적어도 한쪽을 구비한 접속체와,
상기 지지체와 상기 가동체 중 한쪽에 보유 지지된 제1 자석, 및 다른 쪽에 보유 지지되고, 상기 제1 자석에 제1 방향으로 대향하는 제1 코일을 구비하고, 상기 가동체를 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제1 자기 구동 회로와,
상기 지지체와 상기 가동체 중 한쪽에 보유 지지된 제2 자석, 및 다른 쪽에 보유 지지되고, 상기 제2 자석에 상기 제1 방향으로 대향하는 제2 코일을 구비하고, 상기 가동체를 상기 제1 방향에 직교하고 상기 제2 방향에 교차하는 제3 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제2 자기 구동 회로
를 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제1항에 있어서, 상기 제1 방향에 대하여 직교하는 방향으로부터 보았을 때,
상기 제1 자기 구동 회로와 상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제1 방향의 동일 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제2항에 있어서, 상기 제2 방향과 상기 제3 방향은 직교하고 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제3항에 있어서, 상기 제1 자기 구동 회로는, 상기 제2 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제2 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되고,
상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제3 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제3 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제3항에 있어서, 상기 제1 자기 구동 회로는, 상기 제3 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제3 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되고,
상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제2 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제2 방향으로부터 보았을 때 겹치는 2개소에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제3항에 있어서, 상기 제1 자기 구동 회로는, 상기 제2 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제2 방향으로부터 보았을 때 상기 제3 방향으로 어긋난 2개소에 설치되고,
상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 제3 방향으로 이격되고, 또한, 상기 제3 방향으로부터 보았을 때 상기 제2 방향으로 어긋난 2개소에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 제1 자기 구동 회로와 상기 제2 자기 구동 회로는, 상기 가동체의 무게 중심의 둘레에서 교대로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제7항에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 2개소의 제1 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 중심으로 하는 점대칭으로 배치되고, 상기 2개소의 제2 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 중심으로 하는 점대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제8항에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 2개소의 제1 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 통과하여 상기 제3 방향으로 연장되는 가상선을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되고, 상기 2개소의 제2 자기 구동 회로는, 상기 무게 중심을 통과하여 상기 제2 방향으로 연장되는 가상선을 중심으로 하는 선 대칭으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제1항에 있어서, 상기 제1 방향으로부터 보았을 때, 상기 제1 자기 구동 회로와 상기 제2 자기 구동 회로는, 적어도 일부가 겹쳐 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제1항에 있어서, 상기 지지체와 상기 가동체 중 한쪽에 보유 지지된 제3 자석, 및 다른 쪽에 보유 지지되고, 상기 제3 자석에 상기 제1 방향으로 대향하는 제3 코일을 구비하고, 상기 가동체를 상기 제1 방향에 직교하고 상기 제2 방향 및 상기 제3 방향에 비스듬히 교차하는 제4 방향으로 구동하는 구동력을 발생시키는 제3 자기 구동 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제10항에 있어서, 상기 제2 방향과 상기 제3 방향은 비스듬히 교차하고 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접속체로서, 적어도 겔상 댐퍼 부재가 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제13항에 있어서, 상기 접속체로서, 겔상 댐퍼 부재만이 사용되고 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 겔상 댐퍼 부재는, 상기 가동체 및 상기 지지체의 양쪽에 고정되어 있는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제13항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 겔상 댐퍼 부재는, 실리콘 겔을 포함하는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지체는,
상기 가동체의 상기 제2 방향의 이동 범위를 규제하는 제1 이동 규제부, 및 상기 가동체의 상기 제3 방향의 이동 범위를 규제하는 제2 이동 규제부 중 한쪽 또는 양쪽을 구비하는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제17항에 있어서, 상기 가동체는, 상기 제1 자석을 보유 지지하는 제1 홀더 부재와, 상기 제2 자석을 보유 지지하는 제2 홀더 부재를 접합하여 구성되고,
상기 제1 이동 규제부 및 상기 제2 이동 규제부는, 상기 제1 홀더 부재와 상기 제2 홀더 부재의 접합부와 상이한 위치에서, 상기 가동체에 맞닿는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접속체는, 상기 가동체가 상기 지지체에 대하여 상기 제2 방향 및 상기 제3 방향으로 상대 이동할 때, 상기 접속체의 신축 방향과 직교하는 방향으로, 비선형 성분보다 선형 성분이 큰 전단 방향의 변형 특성에 따라 변형되는 것을 특징으로 하는 액추에이터.
제1항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 접속체는, 상기 가동체와 상기 지지체가 상기 제1 방향으로 대향하는 위치에서, 상기 가동체와 상기 지지체를 상기 제1 방향으로 접속하고 있고,
상기 가동체가 상기 지지체에 대하여 상기 제1 방향으로 접근할 때, 선형 성분보다 비선형 성분이 큰 신축 특성에 따라 압축되는 것을 특징으로 하는 액추에이터.