JP7235495B2 - アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、可動体を直線駆動して振動させるアクチュエータに関するものである。

情報を振動によって報知するデバイスとして、永久磁石を備えた可動体と、永久磁石と対向するコイルを有する支持体とを備えたアクチュエータが提案されており、支持体は、コイルを保持するコイルホルダと、可動体およびコイルホルダを覆うケースと、コイルを構成するコイル線が接続された給電基板とが設けられている（特許文献１参照）。特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、給電基板はケースに固定されている。

特開２０１６－１２７７８９号公報

特許文献１に記載のアクチュエータでは、給電基板がケースから突出するようにケースに固定されているため、その分、アクチュエータの外形寸法が大型化するという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、コイルホルダに給電基板を固定しても外形寸法の小型化を図ることのできるアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明のアクチュエータは、可動体と、支持体と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とが対向する位置で前記可動体および前記支持体の双方に接するように配置された接続体と、前記可動体および前記支持体のうちの一方側部材に設けられたコイル、および前記コイルに対して第１方向で対向するように前記可動体および前記支持体のうちの他方側部材に設けられた永久磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に対して交差する第２方向に振動させる磁気駆動回路と、を有し、前記一方側部材は、前記コイルを保持するコイルホルダと、前記コイルを構成するコイル線が半田により接続されたランドが設けられた一方面を外側に向けて前記コイルホルダに固定された給電基板と、を有し、前記給電基板は、前記一方面が前記コイルホルダの端面から引っ込んだ状態に前記コイルホルダに固定され、前記コイル線は、前記コイルから前記給電基板との接続位置までの間に弛み部分を有し、前記弛み部分は、前記一方面に接着剤により固定され、前記コイルホルダには、前記端面より引っ込んだ段部と、前記段部で開口し、前記コイル線を前記コイルから前記給電基板まで導くガイド溝と、が設けられており、前記弛み部分は、前記段部および前記一方面に前記接着剤により固定され、前記段部および前記一方面は、同一の仮想平面上に位置することを特徴とする。

本発明において、給電基板は、ランドが設けられた一方面を外側に向けてコイルホルダに固定され、給電基板の一方面は、コイルホルダの端面から引っ込んだ状態にある。このため、コイルホルダに給電基板を固定した場合でも、外形寸法を小型化することができる。また、給電基板の一方面がコイルホルダの端面から引っ込んでいるため、コイル線を半田によってランドに接続しても、半田は、コイルホルダの端面から大きく突出しない。また、コイル線には弛み部分が設けられているため、アクチュエータの組み立て工程において、コイル線が断線しにくい。また、弛み部分は、給電基板の一方面に接着剤により固定されているため、アクチュエータを組み立てた以降、弛み部分が端面から突出しにくい。また、給電基板の一方面がコイルホルダの端面から引っ込んでいるため、接着剤は、コイルホルダの端面から大きく突出しない。

本発明において、前記半田および前記接着剤は、前記端面から引っ込んだ位置にある態様を採用することができる。

本発明において、前記一方側部材は前記支持体であり、前記他方側部材は前記可動体である態様を採用することができる。すなわち、コイルが支持体に設けられ、磁石が可動体に設けられている態様を採用することができる。

本発明において、給電基板は、ランドが設けられた一方面を外側に向けてコイルホルダに固定され、給電基板の一方面は、コイルホルダの端面から引っ込んだ状態にある。このため、コイルホルダに給電基板を固定した場合でも、外形寸法を小型化することができる。また、給電基板の一方面がコイルホルダの端面から引っ込んでいるため、コイル線を半田によってランドに接続しても、半田は、コイルホルダの端面から大きく突出しない。また、コイル線には弛み部分が設けられているため、アクチュエータの組み立て工程において、コイル線が断線しにくい。また、弛み部分は、給電基板の一方面に接着剤により固定されているため、アクチュエータを組み立てた以降、弛み部分が端面から突出しにくい。また、給電基板の一方面がコイルホルダの端面から引っ込んでいるため、接着剤は、コイルホルダの端面から大きく突出しない。

本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。 図１に示すアクチュエータのＹＺ断面図である。 図１に示すアクチュエータの分解斜視図である。 図１に示すアクチュエータを支持体と可動体とに分解した分解斜視図である。 図４に示す支持体を第１方向の他方側からみた分解斜視図である。 図４に示す支持体を第１方向の一方側からみた分解斜視図である。 図１に示すアクチュエータ１における給電基板の固定構造を示す説明図である。 図７に示す給電基板を保持するスリットの説明図である。 図１に示すアクチュエータの製造工程のうち、コイルホルダにコイルを固定する工程を示す説明図である。 図５に示すコイルホルダにコイルを固定する工程を示す平面図である。 図５に示すコイルホルダに給電基板を固定する工程を示す説明図である。

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。以下の説明において、可動体６の直動方向（第２方向、振動方向）にＸを付し、第２方向Ｘと交差する第１方向にＺを付し、第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに対して交差する第３方向にＹを付して説明する。なお、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付して説明する。また、以下の説明では、コイルを保
持する一方側部材が支持体２であって、永久磁石を保持する他方側部材が可動体６である場合を中心に説明する。

（全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を支持体２と可動体６とに分解した分解斜視図である。図５は、図４に示す支持体２を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた分解斜視図である。図６は、図４に示す支持体２を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみた分解斜視図である。

図１に示すアクチュエータ１は、第３方向Ｙに長手方向を向けた直方体形状を有しており、触覚デバイス等の情報伝達装置として用いることができる。アクチュエータ１を触覚デバイスとして用いた場合、アクチュエータ１を手にした利用者に対して第２方向Ｘの振動によって情報を報知する。従って、アクチュエータ１は、ゲーム機の操作部材等として利用することができ、振動等によって新たな感覚を実感することができる。但し、アクチュエータ１の用途は、触覚デバイス等の情報伝達装置に限定されるものではない。

図２、図３、および図４に示すように、アクチュエータ１は、アクチュエータ１の外形を規定する角形のケース３等を含む支持体２と、ケース３の内部で支持体２に対して第２方向Ｘに移動可能に支持された可動体６とを有しており、可動体６が第２方向Ｘに振動することによって情報を出力する。

本形態においては、図２～図６を参照して以下に説明するように、支持体２は、ケース３、コイルホルダ４、コイル５、給電基板１０を有しており、可動体６は、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）、およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を有している。また、コイル５および永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）によって磁気駆動回路１ａが構成されている。また、可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた接続体９１、９２を介して支持体２に支持されている。接続体９１、９２は、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備えている。

（可動体６の構成）
図２、図３および図４に示すように、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された磁性板からなる第１ヨーク８１と、コイル５に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向するように第１ヨーク８１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に保持された平板状の第１永久磁石７１とを有している。また、可動体６は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された磁性板からなる第２ヨーク８２と、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向するように第２ヨーク８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に保持された平板状の第２永久磁石７２とを有している。本形態において、可動体６は、第１ヨーク８１、第１永久磁石７１、第２ヨーク８２、および第２永久磁石７２によって構成されている。

第１ヨーク８１は、第１永久磁石７１が固定された平板部８１１と、平板部８１１の第２方向Ｘの両側の端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった一対の連結部８１２とを有している。第２ヨーク８２は、第２永久磁石７２が固定された平板部８２１を有しており、平板部８２１の第３方向Ｙの中間部分には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に張り出した一対の張り出し部８２２を有している。本形態において、一対の張り出し部８２２には、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２が溶接等の方法で連結されている。

第１永久磁石７１および第２永久磁石７２は各々、第１方向の一方側Ｘ１と第１方向の
他方側Ｘ２とが異なる極に着磁されている。

（支持体２の構成）
図１、図２および図３に示すように、支持体２において、ケース３は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１ケース部材３１と、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第１ケース部材３１と重なる第２ケース部材３２とを有しており、第１ケース部材３１の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３１１に、第２ケース部材３２の第２方向Ｘの両側に設けられた一対の側板部３２１が被さってケース３を構成する。その際、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２との間には、図４および図５に示すコイルホルダ４、コイル５および可動体６が収容される。本形態において、ケース３は、第３方向Ｙの両端が開口部になっている。

第１ケース部材３１の一対の側板部３１１、および第２ケース部材３２の一対の側板部３２１において、第３方向Ｙの両端部には、切欠き３１１ａ、３１１ｂ、３２１ａ、３２１ｂが形成されている。また、側板部３２１において第３方向Ｙにおいて離間する位置には係合穴３２１ｄが形成されている。

図５に示すように、コイル５は、長円状に巻回された環状の平面形状を有する空芯コイルであり、コイルホルダ４に保持されている。コイル５は、第２方向Ｘで並列して第３方向Ｙに延在する２つの長辺部５１と、２つの長辺部５１の第３方向Ｙの両端を繋ぐ円弧状の２つの短辺部５２とを備えている。このように構成したコイル５に対して、長辺部５１には、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で第１永久磁石７１が対向し、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で第２永久磁石７２が対向している。

図４および図５に示すように、コイルホルダ４は、コイル５が内側に配置される長円状の貫通穴からなるコイル配置穴４１０が第１方向Ｚで開口する板部４１を有している。

板部４１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部４１１において、第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第２方向Ｘに延在する複数の凹部４１１ｂが形成されており、第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面にも、凹部４１１ｂと同様な凹部（図示せず）が形成されている。

端部４１１において、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて側板部４１３が突出し、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１４、４１５が突出している。側板部４１４、４１５の内面４１４ｓ、４１５ｓのうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる第１保持部４１４ａ、４１５ａが形成されている。また、側板部４１４、４１５の内面４１４ｓ、４１５ｓのうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる第２保持部４１４ｂ、４１５ｂが形成されている。

板部４１の第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部４１２において、第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第２方向Ｘに延在する複数の凹部４１２ｂが形成されており、第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面にも、凹部４１２ｂと同様な凹部４１２ａが形成されている。

端部４１２において、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の縁、第２方向Ｘの一方側Ｘ１の縁、および第２方向Ｘの他方側Ｘ２の縁からは、第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および他方側Ｚ２に向けて側板部４１７、４１８、４１９が突出している。側板部４１８、４１９の内面４１８ｓ、４１９ｓのうち、板部４１に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる第１保持部４１８ａ、４１９ａが形成されている。また、側板部４１８、４１９の内面４１８ｓ、４１９ｓのうち、板部４１に対して第１方向Ｚの他方
側Ｚ２には、第１方向Ｚに延在する溝状の凹部からなる第２保持部４１８ｂ、４１９ｂが形成されている。

また、側板部４１４の外面のうち、第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部には、第１ケース部材３１の一対の側板部３１１、および第２ケース部材３２の一対の側板部３２１に形成された切欠き３１１ａ、３２１ａが当接する凸部４１４ｅが形成され、側板部４１５の外面にも、凸部４１４ｅと同様な凸部４１５ｅが形成されている。側板部４１８の外面のうち、第３方向Ｙの他方側Ｙ２の端部には、第１ケース部材３１の一対の側板部３１１、および第２ケース部材３２の一対の側板部３２１に形成された切欠き３１１ｂ、３２１ｂが当接する凸部４１８ｅが形成され、側板部４１９の外面にも、凸部４１８ｅと同様な凸部（図示せず）が形成されている。

また、側板部４１４の外面、および側板部４１８の外面には、第２ケース部材３２の一対の側板部３２１の各々に形成された係合穴３２１ｄが係合する係合凸部４１４ｄ、４１８ｄが形成されている。なお、側板部４１５の外面、および側板部４１９の外面にも、係合凸部４１４ｄ、４１８ｄと同様な係合凸部（図示せず）が形成されている。

（第１プレート４７および第２プレート４８の構成）
このように構成した支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１プレート４７を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤からなる接着剤層９によって、コイル５は、第１プレート４７および板部４１に固定されている。従って、コイル５は、第１プレート４７を介して第１永久磁石７１と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤層９によって、第１プレート４７は板部４１に固定されている。その際、板部４１に形成された凹部４１２ａ等は、接着剤層９の溜り部になっている。

また、支持体２は、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２プレート４８を有しており、少なくともコイル５の空芯部５０に充填された接着剤からなる接着剤層９によって、コイル５は、第２プレート４８に固定されている。従って、コイル５は、第２プレート４８を介して第２永久磁石７２と第１方向Ｚで対向している。また、接着剤層９によって、第２プレート４８は板部４１に固定されている。その際、板部４１に形成された凹部４１１ｂ、４１２ｂ等は、接着剤層９の溜り部になっている。

本形態において、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなる。本形態において、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなる。より具体的には、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性のステンレンス板からなる。

ここで、第１プレート４７は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に斜めに突出した爪状の第１凸部４７２を有しており、第１凸部４７２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部からなる第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。また、第２プレート４８は、第２方向Ｘの両側から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に斜めに突出した爪状の第２凸部４８２を有しており、第２凸部４８２は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９に形成された溝状の凹部からなる第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂの内部に弾性をもって当接し、コイルホルダ４に保持されている。

本形態において、第１凸部４７２、および第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａは各々、第１プレート４７の複数の角の各々に対応する複数個所、例えば４カ所
に設けられ、第２凸部４８２、および第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂは各々、第２プレート４８の複数の角の各々に対応する複数個所、例えば、４カ所に設けられている。また、第１凸部４７２、第２凸部４８２、第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａ、および第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂは各々、複数個所の各々に複数、例えば、２つ設けられている。

ここで、第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａは各々、第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部が開放端になっており、第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂは各々、第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部が開放端になっている。

従って、４つの第１凸部４７２が各々、第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａに係合するように、第１プレート４７を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から押し込むと、第１プレート４７は、第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａによって、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なった状態に保持される。また、４つの第２凸部４８２が各々、第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂに係合するように、第２プレート４８を第１方向Ｚの他方側Ｚ２から押し込むと、第２プレート４８は、第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂによって、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なった状態に保持される。それ故、第１プレート４７および第２プレート４８を容易にコイルホルダ４に設けることができる。

このように、本形態のアクチュエータ１は、コイルホルダ４の板部４１を第１方向Ｚで貫通するコイル配置穴４１０の内側にコイル５が配置されているとともに、コイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なるように第１プレート４７が配置されている。このため、コイル５の空芯部５０に接着剤を充填すると、接着剤は、コイル５とコイルホルダ４との間、コイル５と第１プレート４７との間、および第１プレート４７とコイルホルダ４との間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル５、第１プレート４７、およびコイルホルダ４が接着剤層９によって固定される。このため、コイル５の外周面とコイル配置穴４１０の内周面との隙間に接着剤を流し込む場合と違って、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０に配置したコイル５をコイルホルダ４と適正に接着することができる。また、第１永久磁石７１とコイル５との間に第１プレート４７が介在する。このため、可動体６が第１方向Ｚの一方側Ｚ１に移動した場合でも、第１永久磁石７１とコイル５とが直接、接触することがないので、コイル５が損傷しにくい。

また、コイル５の空芯部５０に接着剤を充填した後、第２プレート４８を重ねると、接着剤は、コイル５とコイルホルダ４との間、コイル５と第１プレート４７との間、および第１プレート４７とコイルホルダ４との間にスムーズに流れ込むとともに、コイル５と第２プレート４８との間、および第２プレート４８とコイルホルダ４との間に流れ込む。従って、接着剤を硬化させると、コイル５、第１プレート４７、第２プレート４８、およびコイルホルダ４が接着剤層９によって固定される。この状態では、第２永久磁石７２とコイル５との間に第２プレート４８が介在する。このため、可動体６が第１方向Ｚの他方側Ｚ２に移動した場合でも、第２永久磁石７２とコイル５とが直接、接触することがないので、コイル５が損傷しにくい。

また、第１プレート４７および第２プレート４８は、非磁性材料からなるため、第１永久磁石７１からの磁束、および第２永久磁石７２の磁束が、第１プレート４７および第２プレート４８の影響を受けずに、コイル５と鎖交することになる．また、第１プレート４７および第２プレート４８は、金属板からなるため、コイル５で発生した熱を第１プレート４７および第２プレート４８を介して効率よく逃がすことができる。また、第１プレート４７および第２プレート４８は、ステンレンス板からなるため、第１プレート４７およ
び第２プレート４８は、板厚が薄い場合でも、十分な強度を有する。

また、コイルホルダ４は、第１プレート４７の爪状の第１凸部４７２と係合して第１プレート４７を保持する第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａと、第２プレート４８の爪状の第２凸部４８２と係合して第２プレート４８を保持する第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂとを有している。このため、接着剤９０が硬化するまで、第１プレート４７および第２プレート４８を治具で支持する必要がない。

（接続体９１、９２の構成）
図２、図３、図４および図５に示すように、可動体６は、可動体６と支持体２との間に設けられた接続体９１、９２によって第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動可能に支持されている。

本形態において、接続体９１は、第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。接続体９２は、第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。より具体的には、接続体９１は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所（コイル５の短辺部５２側）の各々において第１ヨーク８１と第１プレート４７とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。接続体９２は、第３方向Ｙにおいて離間する２個所（コイル５の短辺部５２側）の各々において第２ヨーク８２と第２プレート４８とが第１方向Ｚで対向する部分に設けられている。従って、板状バネ等を用いずに、可動体６を第２方向Ｘに移動可能に支持することができる。

本形態において、接続体９１、９２は粘弾性部材である。より具体的には、接続体９１、９２（粘弾性部材）は、シリコーンゲル等からなるゲル状部材である。本形態において、接続体９１、９２は、針入度が９０度から１１０度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されているように、２５℃で９．３８ｇの総荷重をかけた１／４コーンの針が５秒間に入り込む深さを１／１０ｍｍ単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。なお、接続体９１、９２と第１ヨーク８１や第２ヨーク８２との固定、および接続体９１、９２とコイルホルダ４との固定は、接着剤、粘着剤、あるいはシリコーンゲルの粘着性を利用して行われる。

このように本形態のアクチュエータ１においては、可動体６と支持体２との間に接続体９１、９２が設けられているため、可動体６が共振することを抑制することができる。ここで、接続体９１は、第１プレート４７と第１ヨーク８１との間に設けられており、接続体９２は、第２プレート４８と第２ヨーク８２との間に設けられている。従って、接続体９１、９２を設けるのにケース３が用いられていない。従って、ケース３を用いなくても、支持体２と可動体６との間に接続体９１、９２を設けることができる。それ故、ケース３を設けていない組み立て途中の段階で接続体９１、９２を設けることができるので、製造途中にダンパー特性を含む振動特性を測定することができる。また、接続体９１、９２を設けるのにケース３が用いられていないので、ケース３を有しないアクチュエータに接続体９１、９２を設けることができる。

また、接続体９１、９２は、支持体２と可動体６とにおいて第２方向Ｘ（振動方向）に対して交差する第１方向Ｚで対向する位置に設けられているため、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、そのせん断方向に変形して共振を防止する。このため、可動体６が第２方向Ｘに振動しても、接続体９１、９２の弾性率の変化が小さいので、可動体６の共振を効果的に抑制することができる。

すなわち、接続体（接続体９１、９２）は、粘弾性部材（板状のゲル状部材）であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、接続体９１
、９２は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、接続体９１、９２は、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、接続体９１、９２は、せん断方向に変形するように構成されている。従って、接続体９１、９２では、可動体６が第２方向Ｘに振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、接続体９１、９２のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

また、接続体９１、９２は、第１方向Ｚの両面が各々、可動体６および支持体２に接着等の方法で接続されている。従って、接続体９１、９２は、可動体６の移動に確実に追従するので、可動体６の共振を効果的に防止することができる。

また、接続体９１、９２は、支持体２と可動体６との間で第１方向Ｚに圧縮された状態にある。従って、接続体９１、９２は、可動体６の移動に確実に追従するので、可動体６の共振を効果的に防止することができる。

（度当たり部の構成）
本形態では、外部からの衝撃によって、可動体６が第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに移動する際の可動範囲を規定する度当たり部が設けられている。より具体的には、可動体６において、第１ヨーク８１および第２ヨーク８２の平板部８１１、８２１は、側板部４１４、４１５、４１８、４１９の内面４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓと第２方向Ｘで対向している。側板部４１４、４１５、４１８、４１９の内面４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓは、外部からの衝撃によって、可動体６が第２方向Ｘに移動した際、可動体６と当接して第２方向Ｘの可動範囲を規定する第１度当たり部になっている。

また、可動体６において、第１ヨーク８１の一対の連結部８１２および第２ヨーク８２の一対の張り出し部８２２は各々、コイルホルダ４において第３方向Ｙで離間する側板部４１４と側板部４１８との間、および第３方向Ｙで離間する側板部４１５と側板部４１９との間に位置する。従って、側板部４１４と側板部４１８とにおいて互いに対向する端部４１４ｇ、４１８ｇ、および側板部４１５と側板部４１９とにおいて互いに対向する端部４１５ｇ、４１９ｇは、外部からの衝撃によって、可動体６が第３方向Ｙに移動した際、可動体６と当接して第３方向Ｙの可動範囲を規定する第２度当たり部になっている。

（給電基板１０の構成）
図７は、図１に示すアクチュエータ１における給電基板１０の固定構造を示す説明図である。図８は、給電基板１０を保持するスリット４１４ｔ、４１５ｔの説明図である。

図１および図３に示すように、アクチュエータ１では、コイルホルダ４において、上記の度当たり部（側板部４１４、４１５、４１８、４１９の内面４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓ、および端部４１４ｇ、４１５ｇ、４１８ｇ、４１９ｇ）から離間する位置に給電基板１０が保持されており、給電基板１０には、コイル５を構成するコイル線５６、５７が半田等により接続されている。本形態において、給電基板１０は剛性基板である。

図７および図８に示すように、第３方向Ｙの一方側Ｙ１において、コイルホルダ４の側板部４１３、４１４、４１５は端面４０を構成しており、端面４０は、コイルホルダ４の
第３方向Ｙの外形寸法を規定している。また、端面４０は、支持体２の端面を構成し、支持体２の第３方向Ｙの外形寸法を規定している。さらに、端面４０は、アクチュエータ１の端面を構成し、アクチュエータ１の第３方向Ｙの外形寸法を規定している。本形態では、コイルホルダ４の端面４０において、第３方向Ｙの一方側Ｙ１で側板部４１３、４１４、４１５に囲まれた開口部４０ａに給電基板１０が保持されている。本形態において、コイル線５６、５７は、コイルホルダ４の板部４１の端部４１１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に形成された２本のガイド溝４１１ｃを通ってコイル５から第３方向Ｙの一方側Ｙ１に引き出された後、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向けて延在し、給電基板１０に接続されている。

ここで、コイルホルダ４には、端面４０より引っ込んだ段部４１３ｕが形成されており、ガイド溝４１１ｃは、段部４１３ｕで開口している。

本形態では、コイルホルダ４には、第２方向Ｘで相対向する側板部４１４、４１５の端部４１４ｈ、４１５ｈに第１方向Ｚの一方側Ｚ１に延在する一対のスリット４１４ｔ、４１５ｔが形成されており、給電基板１０の第２方向Ｘの両側の端部１０ａ、１０ｂが各々、スリット４１４ｔ、４１５ｔの内側に嵌っている。従って、給電基板１０は、ケース３から露出する位置でコイルホルダ４の端面４０（側板部４１３、４１４、４１５）に沿うようにコイルホルダ４に保持されている。本形態では、給電基板１０の端部１０ａ、１０ｂをスリット４１４ｔ、４１５ｔに嵌めた後、さらに接着剤によってコイルホルダ４と給電基板１０とを固定し、給電基板１０の振動を抑制する構造になっている。

本形態において、給電基板１０は、コイル線５６、５７が半田１８により接続された２つのランド１６ａ、１６ｂが第２方向Ｘで離間する位置に形成された第１板部１１と、第１板部１１の第２方向Ｘの両端から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出した２つの第２板部１２、１３とを備えている。また、第１板部１１には、ランド１６ａ、１６ｂの両側に２つのランド１７ａ、１７ｂが形成されており、ランド１７ａ、１７ｂには外部からの配線部材（図示せず）が接続される。ランド１６ａ、１６ｂ、１７ａ、１７ｂはいずれも、給電基板１０の一方面１５に形成されており、給電基板１０は、一方面１５を外側に向けてコイルホルダ４に固定されている。この状態で、給電基板１０の一方面１５と段部４１３ｕは、同一の仮想平面上に位置する。

コイルホルダ４の端部４１１には、ガイド溝４１１ｃの第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端部を通る位置に給電基板１０の第１板部１１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の縁を受ける当接部４１１ｒが形成されており、給電基板１０の両端部１０ａ、１０ｂは、給電基板１０の第１板部１１が当接部４１１ｒに当接する深さ位置までスリット４１４ｔ、４１５ｔに嵌っている。第１板部１１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部には、コイル線５６、５７を給電基板１０に接続する際、コイル線５６、５７の先端側を保持する２つの凹部１１ａ、１１ｂが形成されている。

スリット４１４ｔ、４１５ｔは、深さ方向（第１方向Ｚ）の途中から幅が狭くなっている。従って、給電基板１０は、両端部１０ａ、１０ｂをスリット４１４ｔ、４１５ｔに挿入した際、第１板部１１が当接部４１１ｒに当接するまでの途中位置においても、スリット４１４ｔ、４１５ｔに保持された状態が維持される。

コイル線５６、５７は、コイル５から給電基板１０のランド１６ａ、１６ｂ（接続位置）までの間に適度な弛みが付されている。但し、給電基板１０をスリット４１４ｔ、４１５ｔ内に嵌った状態で当接部４１１ｒから第１方向Ｚの他方側Ｚ２に離間する深さ位置に移動させると、コイル線５６、５７は緊張状態となる。

このように、本形態では、ケース３で覆われたコイルホルダ４に給電基板１０が保持されているため、落下時の衝撃がケース３を介して給電基板１０に伝搬しにくい。また、落下時の衝撃がコイルホルダ４に伝搬した場合でも、給電基板１０は、コイルホルダ４とともに動くので、コイル線５６、５７が引っ張られるという事態が発生しにくい。それ故、落下時の衝撃によってコイル線５６、５７が断線するという事態が発生しにくいので、耐落下衝撃性能を向上することができる。

また、給電基板１０は、コイルホルダ４の側面に沿うように設けられている。このため、落下時の衝撃が給電基板１０に直接、加わるという事態が発生しにくいので、落下時の衝撃によってコイル線５６、５７が断線するという事態が発生しにくい。

また、コイルホルダ４において、給電基板１０は、可動体６に対する度当たり部（側板部４１４、４１５、４１８、４１９の内面４１４ｓ、４１５ｓ、４１８ｓ、４１９ｓ（第１度当たり部）、および側板部４１４、４１５、４１８、４１９の端部４１４ｇ、４１５ｇ、４１８ｇ、４１９ｇ（第２度当たり部）から離間する位置に設けられている。従って、落下時の衝撃によって可動体６が動き、コイルホルダ４の度当たり部に可動体６が当たっても、その際の衝撃が給電基板１０に伝搬しにくい。従って、落下時の衝撃によって、コイル線５６、５７が断線するという事態が発生しにくい。

また、コイルホルダ４において給電基板１０が固定された側面は、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する。ここで、第３方向Ｙには、コイル５の短辺部５２（無効辺）が位置する。また、コイル５では、コイル線５６、５７がコイル５の短辺部５２から引き出される。従って、コイルホルダ４において第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する側面に給電基板１０を配置すれば、コイル５から給電基板１０までコイル線５６、５７が延在する距離が短くてよい。

また、コイル線５６、５７が第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に延在して給電基板１０に接続されており、かかる給電基板１０の両端部１０ａ、１０ｂは、コイルホルダ４の相対向する位置で第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて延在する一対のスリット４１４ｔ、４１５ｔの内側に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から嵌められている。ここで、給電基板１０は、コイルホルダ４に設けた当接部４１１ｒに第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接する深さまでスリット４１４ｔ、４１５ｔに嵌っており、第１方向Ｚの最も一方側Ｚ１に位置する。このため、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に延在するコイル線５６、５７に適度な弛みを容易に設けることができる。従って、温度変化が発生した際、コイル線５６、５７と周辺部材との間に熱膨張係数の差に起因してコイル線５６、５７が引っ張られる等の事態が発生しても、コイル線５６、５７が断線しにくい。それ故、アクチュエータ１の使用温度範囲を拡大することができる。

また、本形態では、給電基板１０は、一方面１５が端面４０から引っ込んだ状態にコイルホルダ４に固定されている。また、コイル線５６、５７は、コイル５から給電基板１０との接続位置までの間に弛み部分を有し、弛み部分は、給電基板１０の一方面１５に接着剤１９により固定されている。本形態では、コイル線５６、５７の弛み部分は、段部４１３ｕと給電基板１０との間に位置することから、接着剤１９は、弛み部分を段部４１３ｕおよび給電基板１０の一方面１５に固定している。

このように、本形態では、給電基板１０がコイルホルダ４の端面４０に沿うように配置されているとともに、給電基板１０の一方面１５が端面４０から引っ込んだ状態にある。このため、コイルホルダ４に給電基板１０を固定した場合でも、コイルホルダ４、支持体２およびアクチュエータ１の第３方向Ｙの外形寸法を小型化することができる。

また、給電基板１０の一方面１５が端面４０から引っ込んでいるため、コイル線５６、５７を半田１８によってランド１６ａ、１６ｂに接続しても、半田１８は、端面４０から大きく突出しない。本形態において、半田１８は、端面４０から引っ込んだ位置にある。このため、コイルホルダ４、支持体２およびアクチュエータ１の第３方向Ｙの外形寸法を小型化することができる。

また、コイル線５６、５７には弛み部分が設けられているため、アクチュエータ１の組み立て工程において、コイル線５６、５７が断線しにくい。また、弛み部分は、給電基板１０の一方面１５に接着剤１９により固定されているため、アクチュエータ１を組み立てた以降、弛み部分が端面４０から突出しにくい。また、給電基板１０の一方面１５が端面４０から引っ込んでいるため、接着剤１９は、端面４０から大きく突出しない。本形態において、接着剤１９は、端面４０から引っ込んだ位置にある。このため、コイルホルダ４、支持体２およびアクチュエータ１の第３方向Ｙの外形寸法を小型化することができる。

（動作）
本形態のアクチュエータ１において、給電基板１０を介して外部（上位の機器）からコイル５に給電すると、コイル５、第１永久磁石７１および第２永久磁石７２を備えた磁気駆動回路１ａによって、可動体６が第２方向Ｘに往復移動する。従って、アクチュエータ１を手に持っていた利用者は、アクチュエータ１からの振動によって情報を得ることができる。その際、コイル５に印加される信号波形については、伝達すべき情報によって、周波数を変化させる。また、コイル５に印加される信号波形については極性を反転させるが、その際、駆動信号の極性が負の期間と正の期間とにおいて電圧の変化に対して緩急の差を設ける。その結果、可動体６が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する際の加速度と可動体６が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する際の加速度との間に差が発生する。従って、利用者に対して、アクチュエータ１が第２方向Ｘの一方側Ｘ１あるいは他方側Ｘ２に移動するような錯覚を感じさせることができる。

（アクチュエータ１の製造方法）
図９は、図１に示すアクチュエータ１の製造工程のうち、コイルホルダ４にコイル５を固定する工程を示す説明図である。図１０は、図５に示すコイルホルダ４にコイル５を固定する工程を示す平面図である。図１１は、図５に示すコイルホルダ４に給電基板１０を固定する工程を示す説明図である。

アクチュエータ１を製造する際、まず、図９および図１０に示すように、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なるように第１プレート４７を配置する。その際、第１凸部４７２を側板部４１４、４１５、４１８、４１９の第１保持部４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａに差し込み、係合させる。その結果、第１プレート４７は、コイル配置穴４１０を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から塞いだ状態でコイルホルダ４に保持される。次に、図９および図１０に示すように、コイル５をコイル配置穴４１０に配置する。

この状態で、図７に示すように、コイル５に給電基板１０を固定する。本形態では、図１１（ａ）に示すように、第１方向Ｚの他方側Ｚ２からコイルホルダ４のスリット４１４ｔ、４１５ｔに給電基板１０の端部１０ａ、１０ｂを嵌める。その際、給電基板１０がコイルホルダ４の当接部４１１ｒに第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接するまでの途中位置で給電基板１０の挿入を止める。従って、給電基板１０は、当接部４１１ｒから浮いた状態にある。

この状態で、コイル線５６、５７を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に引き回して給電基板１０のランド１６ａ、１６ｂに半田１８により接続する。その際、コイル線５
６、５７を凹部１１ａ、１１ｂに通し、コイル線５６、５７を位置決めする。コイル線５６、５７を給電基板１０に接続した後、コイル線５６、５７の先端側の余剰部分を切断し、除去する。

しかる後に、給電基板１０を当接部４１１ｒに第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接する深さまでスリット４１４ｔ、４１５ｔ内に押し込む。その結果、コイル線５６、５７には、コイル５から給電基板１０のランド１６ａ、１６ｂ（接続位置）までの間に適度な弛みが付される。本形態では、給電基板１０を当接部４１１ｒに第１方向Ｚの他方側Ｚ２から当接する深さまでスリット４１４ｔ、４１５ｔ内に押し込んだ後、給電基板１０をコイルホルダ４に接着剤によって固定する。

ここで、スリット４１４ｔ、４１５ｔは、深さ方向の途中から幅が狭くなっているため、スリット４１４ｔ、４１５ｔにおいて幅が狭くなっている位置まで給電基板１０を差し込むと、給電基板１０がスリット４１４ｔ、４１５ｔに仮固定される。従って、仮固定された給電基板１０にコイル線５６、５７を接続した後、給電基板１０をさらに深くスリット４１４ｔ、４１５ｔ内に押し込めば、コイル線５６、５７に弛みを付すことができる。また、コイル線５６、５７を接続する際の給電基板１０の位置を適正化するだけで、コイル線５６、５７に付す弛みを適正化することができる。しかる後には、コイル線５６、５７の弛み部分を接着剤１９によって、段部４１３ｕおよび給電基板１０の一方面１５に固定する。

次に、図９および図１０に示すように、コイル５の空芯部５０に接着剤に充填した後、コイルホルダ４のコイル配置穴４１０および板部４１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なるように第２プレート４８を配置する。その際、第２凸部４８２を側板部４１４、４１５、４１８、４１９の第２保持部４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂに差し込み、係合させる。その結果、第２プレート４８は、コイル５に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる状態でコイルホルダ４に保持される。また、接着剤９０は、コイル５に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１では、コイル５と第１プレート４７との間を伝って、第１プレート４７とコイルホルダ４の板部４１との隙間に流入する。その際、過剰な接着剤９０は、板部４１の端部４１１、４１２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面に形成された凹部４１２ａ等に流れ込む。一方、接着剤９０は、コイル５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２では、コイル５と第２プレート４８との間を伝って、第２プレート４８とコイルホルダ４の板部４１との隙間に流入する。その際、過剰な接着剤９０は、板部４１の端部４１１、４１２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面に形成された凹部４１１ｂ、４１２ｂ等に流れ込む。

従って、接着剤９０を硬化させると、コイル５は、接着剤９０が硬化した接着剤層９によって、第１プレート４７およびコイルホルダ４の板部４１に固定される。また、第１プレート４７は、接着剤層９によってコイルホルダ４の板部４１に固定される。また、コイル５は、接着剤層９によって第１プレート４７に固定され、第２プレート４８は、接着剤層９によってコイルホルダ４の板部４１に固定される。

次に、第１プレート４７の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面において第３方向Ｙで離間する２箇所に接続体９１を接着する一方、第２プレート４８の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面において第３方向Ｙで離間する２箇所に接続体９２を接着する。

次に、第１プレート４７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に、第１永久磁石７１が固定された第１ヨーク８１を配置する一方、第２プレート４８に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に、第２永久磁石７２が固定された第２ヨーク８２を配置し、第１ヨーク８１の連結部８１２の先端部を第２ヨーク８２の張り出し部８２２に溶接等の方法で連結する。その際、接続体９１を第１ヨーク８１に接着し、接続体９２を第２ヨーク８２に接着する。

次に、コイルホルダ４および可動体６を第１方向Ｚの一方側Ｚ１から覆うように第１ケース部材３１を重ねた後、コイルホルダ４および可動体６を第１方向Ｚの他方側Ｚ２から覆うように第２ケース部材３２を重ね、第２ケース部材３２の側板部３２１に形成された係合穴３２１ｄをコイルホルダ４の係合凸部４１４ｄ、４１８ｄ等に係合させる。しかる後には、第１ケース部材３１と第２ケース部材３２とを溶接等によって結合させ、ケース３を構成する。

（他の実施の形態）
上記実施の形態では、コイル５に対する第１方向Ｚの両側に永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）を設けたが、コイル５に対する第１方向Ｚの一方のみに永久磁石を設けたアクチュエータに本発明を適用してもよい。

上記実施の形態では、コイルホルダ４およびコイル５を支持体２に設け、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を可動体６に設けた。但し、第１プレート４７および第２プレート４８を用いた構成や、給電基板１０に弛みを設けるための構成については、コイルホルダ４およびコイル５を可動体６に設け、永久磁石（第１永久磁石７１および第２永久磁石７２）およびヨーク（第１ヨーク８１および第２ヨーク８２）を支持体２に設けたアクチュエータに適用してもよい。

上記実施の形態では、接続体９１、９２としてゲル状部材（粘弾性部材）を用いたが、ゴムやバネ等を用いてもよい。ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、粘弾性を備えた接続体９１、９２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

１…アクチュエータ、１ａ…磁気駆動回路、２…支持体、３…ケース、４…コイルホルダ、５…コイル、６…可動体、９…接着剤層、１０…給電基板、１０ａ、１０ｂ…端部、１１…第１板部、１２、１３…第２板部、１５…一方面、１６ａ、１６ｂ、１７ａ、１７ｂ…ランド、１８…半田、３１…第１ケース部材、３２…第２ケース部材、４０…端面、４１…板部、４７…第１プレート、４８…第２プレート、５０…空芯部、５１…長辺部、５２…短辺部、５６、５７…コイル線、７１…第１永久磁石、７２…第２永久磁石、８１…第１ヨーク、８２…第２ヨーク、９０…接着剤、９１、９２…接続体、３１１、３２１、４１３、４１４、４１５、４１７、４１８、４１９…側板部、４１０…コイル配置穴、４１１ｃ…ガイド溝、４１１ｒ…当接部、４１３ｕ…段部、４１４ａ、４１５ａ、４１８ａ、４１９ａ…第１保持部、４１４ｂ、４１５ｂ、４１８ｂ、４１９ｂ…第２保持部、４１４ｔ、４１５ｔ…スリット、８１１、８２１…平板部、８１２…連結部、８２２…張り出し部、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

Claims (3)

1. 可動体と、
   支持体と、
   弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とが対向する位置で前記可動体および前記支持体の双方に接するように配置された接続体と、
   前記可動体および前記支持体のうちの一方側部材に設けられたコイル、および前記コイルに対して第１方向で対向するように前記可動体および前記支持体のうちの他方側部材に設けられた永久磁石を備え、前記可動体を前記支持体に対して前記第１方向に対して交差する第２方向に振動させる磁気駆動回路と、
   を有し、
   前記一方側部材は、前記コイルを保持するコイルホルダと、前記コイルを構成するコイル線が半田により接続されたランドが設けられた一方面を外側に向けて前記コイルホルダに固定された給電基板と、を有し、
   前記給電基板は、前記一方面が前記コイルホルダの端面から引っ込んだ状態に前記コイルホルダに固定され、
   前記コイル線は、前記コイルから前記給電基板との接続位置までの間に弛み部分を有し、
   前記弛み部分は、前記一方面に接着剤により固定され、
   前記コイルホルダには、前記端面より引っ込んだ段部と、前記段部で開口し、前記コイル線を前記コイルから前記給電基板まで導くガイド溝と、が設けられており、
   前記弛み部分は、前記段部および前記一方面に前記接着剤により固定され、
   前記段部および前記一方面は、同一の仮想平面上に位置することを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記半田および前記接着剤は、前記端面から引っ込んだ位置にあることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記一方側部材は前記支持体であり、
   前記他方側部材は前記可動体であることを特徴とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。

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