WO2019003875A1

WO2019003875A1 - アクチュエータ

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Publication number: WO2019003875A1
Application number: PCT/JP2018/022171
Authority: WO
Inventors: 将生土橋; 正武田; 北原　裕士
Original assignee: 日本電産サンキョー株式会社
Priority date: 2017-06-30
Filing date: 2018-06-11
Publication date: 2019-01-03
Also published as: CN110800198A; DE112018003381T5; JP2019013088A; US11217375B2; US20200161038A1; JP6944288B2

Abstract

アクチュエータ１において、支持体２では、第１カバー部材１６の第１端板部１６０が、コイル７を保持するホルダ６０の第１方向Ｚの一方側Ｚ１に重ねて配置されて、可動体３の第１ヨーク８６に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向している。支持体２では、第２カバー部材１７の第２端板部１７０が、ホルダ６０の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に重ねて配置されて、可動体３の第２ヨーク８７に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。従って、可動体３と第１端板部１６０とが第１方向Ｚで対向する部分に挟まれた第１粘弾性部材９１は、可動体３および第１端板部１６０の各々に適正に接しており、可動体３と第２端板部１７０とが第１方向Ｚで対向する部分に挟まれた第２粘弾性部材９２は、可動体３および第２端板部１７０の各々に適正に接している。

Description

アクチュエータ

　本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。

　磁気駆動機構によって振動を発生させる機器として、第１方向で対向するコイルおよび磁石を備えた磁気駆動回路によって可動体を支持体に対して第１方向に対して交差する第２方向に振動させるアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、可動体と支持体との間には、ゲル状ダンパー部材からなる粘弾性部材が配置されており、可動体は、粘弾性部材を介して支持体に支持されているとともに、可動体を駆動した際の共振が抑制されている。より具体的には、支持体では、第１カバー部材、磁石を保持するホルダ、および第２カバー部材が第１方向で重ねて配置されており、第１カバー部材と可動体の間、および第２カバー部材と可動体との間に粘弾性部材が配置されている。

特開２０１６－１２７７８９号公報

　しかしながら、特許文献１に記載のアクチュエータのように、第１カバー部材、ホルダ、および第２カバー部材が第１方向で重ねて配置されている場合、第１カバー部材と可動体との第１方向における間隔、および第２カバー部材と可動体との第１方向における間隔がばらつくことがある。その結果、間隔が広すぎると、粘弾性部材と第１カバー部材との間、粘弾性部材と可動体との間、あるいは粘弾性部材と第２カバー部材との間に隙間が発生することがあり、このような隙間が発生すると、可動体を駆動した際の共振が抑制されないことになる。これに対して、間隔が狭すぎると、第１カバー部材と可動体との間や、第２カバー部材と可動体との間で粘弾性部材が過度に潰されてしまい、可動体を駆動した際の共振が抑制されないことになる。

　以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、支持体と可動体との間に粘弾性部材を適正に配置することのできるアクチュエータを提供することにある。

　上記問題を解決するために、本発明を適用したアクチュエータは、支持体と、可動体と、コイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動する磁気駆動回路と、を有し、前記支持体は、前記コイルおよび前記磁石のうちの一方を保持するホルダと、前記ホルダの第１方向の一方側に重ねて配置されて前記可動体に前記第１方向の一方側で対向する第１端板部と、を有し、前記可動体は、前記コイルおよび前記磁石のうちの他方を保持し、前記可動体と前記支持体との間には、前記可動体と前記第１端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれた第１粘弾性部材が設けられていることを特徴とする。

　本発明において、支持体では、第１端板部が、コイルまたは磁石を保持するホルダの第１方向の一方側に重ねて配置されて、可動体に第１方向の一方側で対向している。このため、第１端板部は、ホルダを基準に第１方向における位置が決定されているので、可動体と第１端板部とが第１方向で対向する部分の間隔がばらつきにくい。従って、可動体と第１端板部とが第１方向で対向する部分に挟まれた第１粘弾性部材は、可動体および第１端板部の各々に適正に接しており、過度に潰された状態となりにくい等、支持体と可動体との間に第１粘弾性部材を適正に配置することができる。それ故、可動体を駆動した際の共振を適正に抑制することができる。

　本発明において、前記支持体は、前記ホルダの第１方向の他方側に重ねて配置されて前記可動体に前記第１方向の他方側で対向する第２端板部を有し、前記可動体と前記支持体との間には、前記可動体と前記第２端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれた第２粘弾性部材が設けられている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第２端板部は、ホルダを基準に第１方向における位置が決定されているので、可動体と第２端板部とが第１方向で対向する部分の間隔がばらつきにくい。従って、可動体と第２端板部とが第１方向で対向する部分に挟まれた第２粘弾性部材は、可動体および第２端板部の各々に適正に接しており、過度に潰された状態となりにくい等、支持体と可動体との間に第２粘弾性部材を適正に配置することができる。それ故、可動体を駆動した際の共振を適正に抑制することができる。

　本発明において、前記ホルダは、前記コイルを保持し、前記可動体は、前記コイルに前記第１方向の一方側で対向する部分に、前記磁石としての第１磁石が固定された第１ヨークと、前記コイルに前記第２方向の他方側で対向する第２ヨークと、を備え、前記第１粘弾性部材は、前記第１ヨークと前記第１端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれ、前記第２粘弾性部材は、前記第２ヨークと前記第２端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれている態様を採用することができる。

　本発明において、前記第２ヨークにおいて前記コイルに前記第２方向の他方側で対向する部分に、前記磁石としての第２磁石が固定されている態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１磁石および第２磁石を用いたので、可動体に対する推力を増大させることができる。また、第１方向において可動体の構成が対称または略対称になるので、磁気駆動回路の駆動中心と可動体の重心とが第１方向において一致または略一致した状態となる。従って、可動体を駆動した際、可動体が傾きにくい。

　本発明において、前記第１端板部を備えた第１カバー部材と、前記第２端板部を備えた第２カバー部材と、を有し、前記ホルダおよび前記可動体の少なくとも一部は、前記第１カバー部材および前記第２カバー部材の少なくとも一方によって、前記第１方向および前記第２方向で覆われている態様を採用することができる。

　本発明において、前記第１カバー部材および前記第２カバー部材のうちの少なくとも一方は、他方に対して前記第２方向で重なった側板部を備えている態様を採用することができる。かかる態様によれば、ホルダを基準に第１カバー部材および第２カバー部材の第１方向の位置を設定した場合でも、側板部によって可動体等を第２方向で覆うことができる。

本発明の実施形態に係るアクチュエータの斜視図である。図１に示すアクチュエータの断面図である。図１に示すアクチュエータから出力部材の第１対向部を外した状態の分解斜視図である。図３に示す状態から出力部材の軸部を外した状態の分解斜視図である。図２等に示すホルダのＹＺ断面図である。図２等に示す磁気駆動回路の斜視図である。図６に示す磁気駆動回路の分解斜視図である。

　図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙとして説明する。
また、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙは、互いに直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側にＺ１を付し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付して説明する。

　また、本発明を適用したアクチュエータ１は、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６を有しており、磁気駆動回路６は、コイル７と磁石８とを有している。かかる磁気駆動回路６では、コイル７が支持体２（一方側部材）の側に設けられ、磁石８が可動体３（他方側部材）の側に設けられた態様、および磁石８が支持体２（他方側部材）の側に設けられ、コイル７が可動体３（一方側部材）の側に設けられた態様を採用することができる。以下の説明では、コイル７が支持体２の側に設けられ、磁石８が可動体３の側に設けられた態様を中心に説明する。

（全体構成）
　図１は、本発明の実施形態に係るアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータ１のＹＺ断面図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１のＸＺ断面図である。

　図１、図２および図３に示すように、本形態のアクチュエータ１は、全体として、直方体形状を有しており、支持体２と、支持体２に移動可能に支持された可動体３と、可動体３を支持体２に対して相対移動させる磁気駆動回路６とを有しており、磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに振動させる。

　図１、図２および図３に示すように、支持体２は、カバー１１とホルダ６０とを有しており、図２および図３に示す可動体３および磁気駆動回路６の少なくとも一部は、カバー１１によって、第１方向Ｚの両側、第２方向Ｘの両側、および第３方向Ｙの両側から覆われている。カバー１１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する第１カバー部材１６と、第１カバー部材１６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２カバー部材１７とを有しており、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７は、四角形の平面形状を有している。第１カバー部材１６と第２カバー部材１７との間には、四角形の平面形状を有するホルダ６０が配置されている。

（第１カバー部材１６の構成）
　図４は、図１に示すアクチュエータ１の分解斜視図である。図２、図３および図４に示すように、第１カバー部材１６は、四角形の第１端板部１６０と、第１端板部１６０の各辺に相当する端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった側板部１６１、１６２、１６３、１６４とを有している。側板部１６１、１６２、１６３、１６４のうち、第２方向Ｘで対向する側板部１６１、１６２には、矩形の切り欠き１６１ａ、１６２ａが形成されている。第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する側板部１６３には、切り欠き１６１ａ、１６２ａより大きな開口部１６３ａが形成されている。

（第２カバー部材１７の構成）
　第２カバー部材１７は、四角形の第２端板部１７０と、第２端板部１７０の各辺に相当する端部から第１方向Ｚの一方Ｚ１に折れ曲がった側板部１７１、１７２、１７３、１７４とを有している。側板部１７１、１７２、１７３、１７４のうち、第２方向Ｘで対向する側板部１７１、１７２には、矩形の切り欠き１７１ａ、１７２ａが形成されている。第３方向Ｙの一方側Ｙ１に位置する側板部１７３には、切り欠き１７１ａ、１７２ａより大きな開口部１７３ａが形成されており、開口部１７３ａは、第１カバー部材１６の側板部１６３に形成された開口部１６３ａと重なっている。

（磁気駆動回路６の構成）
　図２および図３に示すように、磁気駆動回路６は、コイル７と、コイル７に対して第１方向Ｚで対向する磁石８とを有している。本形態において、コイル７は、第３方向Ｙに長辺７０１（有効部分）が延在する長円形状の空芯コイルである。コイル７はホルダ６０に保持されており、支持体２の側に設けられている。磁石８は、可動体３の側に設けられている。

（ホルダ６０の構成）
　図５は、図２等に示すホルダのＹＺ断面図である。図２、図３、図４、および図５に示すように、ホルダ６０は、第２方向Ｘで対向する側板部６１、６２と、第３方向Ｙで対向する側板部６３、６４とを有しており、側板部６１、６２には開口部６１ａ、６２ａが形成されている。

　ホルダ６０の内側には、第２方向Ｘの中央位置に板部６５が形成されており、板部６５の第３方向Ｙの両端部は、側板部６３、６４と繋がっている。板部６５には、第３方向Ｙに長軸方向が延在する長円状のコイル保持部６５０が形成されており、コイル保持部６５０にコイル７が配置されている。コイル保持部６５０は貫通穴である。但し、ホルダ６０において、コイル保持部６５０の第３方向Ｙの両端側には、板部６５に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で側板部６３、６４から突出した受け部６３１、６４１が形成されている。従って、コイル保持部６５０にコイル７を装着すると、コイル７において第３方向Ｙの両端に位置する短辺７０２（無効部分）が受け部６３１、６４１に支持される。この状態で、コイル７は、接着剤等によってコイル保持部６５０に固定される。

　側板部６３の中央部分は薄板部分になっており、外面側に凹部６３５が形成されている。凹部６３５には配線基板１８が接着等の方法で固定されている。配線基板１８には矩形の穴１８４が形成されており、側板部６３において穴１８４と重なる位置には２つの穴６３４が形成されている。配線基板１８には、ランドを備えた２つの導電パターン１８５が形成されている。配線基板１８は、第１カバー部材１６の側板部１６３に形成した開口部１６３ａ、および第２カバー部材１７の側板部１７３に形成した開口部１７３ａを介して露出した状態にある。このように構成した配線基板１８においては、穴６３４および穴１８４を介してコイル７の巻き始めの端部および巻き終わりの端部を各々、外側に引き出して導電パターン１８５に接続される。

（可動体３の構成）
　図６は、図２等に示す磁気駆動回路６の斜視図である。図２、図３、図６、および図７に示すように、可動体３は、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第１板部８６０を備えた第１ヨーク８６と、コイル７に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２板部８７０を備えた第２ヨーク８７とを有している。磁石８は、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面、および第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面の少なくとも一方に保持されてコイル７に第１方向Ｚで対向している。

　本形態では、磁石８として、第１ヨーク８６の第１板部８６０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第１磁石８１と、第２ヨーク８７の第２板部８７０のコイル７と対向する面に接着等の方法で固定された第２磁石８２とが設けられている。この状態で、第１磁石８１は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向し、第２磁石８２は、コイル７の長辺７０１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。第１磁石８１および第２磁石８２は各々、第２方向Ｘで分極着磁されており、第１磁石８１においてコイル７に対向する面と、第２磁石８２においてコイル７と対向する面は異なる極に着磁されている。

　第１ヨーク８６は、第１板部８６０の両端から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に向けて延在した２つの第１連結板部８６１を有しており、第２ヨーク８７は、第２板部８７０の両端から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に向けて延在して第１連結板部８６１と重なる第２連結板部８７１とを有している。第１連結板部８６１と第２連結板部８７１とは端部同士が溶接等によって連結されている。

（カバー１１の構成）
　図２、図３および図４に示すように、ホルダ６０に対しては、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から第１カバー部材１６が被さっており、第１カバー部材１６の第１端板部１６０は、ホルダ６０に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なって接している。この状態で、第１カバー部材１６の第１端板部１６０は、可動体３の第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１方向Ｚで対向している。また、ホルダ６０に対しては、第１方向Ｚの他方側Ｚ２から第２カバー部材１７が被さっており、第２カバー部材１７の第２端板部１７０は、ホルダ６０に第１方向Ｚの他方側Ｚ１から重なって接している。この状態で、第２カバー部材１７の第２端板部１７０は、可動体３の第２ヨーク８７の第２板部８７０と第１方向Ｚで対向している。

　また、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７は、第２方向Ｘの一方側Ｘ１で側板部１６１、１７１が第２方向Ｘで重なり、第２方向Ｘの他方側Ｘ２で側板部１６２、１７２が第２方向Ｘで重なる。また、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７は、第３方向Ｙの一方側Ｙ１で側板部１６３、１７３が第３方向Ｙで重なり、第３方向Ｙの他方側Ｙ２で側板部１６４、１７４が第３方向Ｙで重なる。従って、ホルダ６０を基準にして、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７を第１方向Ｚで位置決めした状態で、側板部１６１、１６２、１６３、１６４と側板部１７１、１７２、１７３、１７４とを溶接等によって連結することができる。

（粘弾性部材の構成）
　図２、図３および図４に示すように、可動体３と支持体２の間には、可動体３の第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の第１端板部１６０とが第１方向Ｚで対向する部分に挟まれた第１粘弾性部材９１が設けられている。また、可動体３と支持体２の間には、可動体３の第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の第２端板部１７０とが第１方向Ｚで対向する部分に挟まれた第２粘弾性部材９２が設けられている。その結果、可動体３は、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２を介して支持体２に支持されている。第１粘弾性部材９１は、可動体３の第１ヨーク８６の第１板部８６０と第１カバー部材１６の第１端板部１６０と間で圧縮されていない状態、あるいは適度に圧縮された状態にあり、第１ヨーク８６の第１板部８６０、および第１カバー部材１６の第１端板部１６０に接している。本形態において、第１粘弾性部材９１は、第１ヨーク８６の第１板部８６０、および第１カバー部材１６の第１端板部１６０に接着されている。第２粘弾性部材９２は、可動体３の第２ヨーク８７の第２板部８７０と第２カバー部材１７の第２端板部１７０と間で圧縮されていない状態、あるいは適度に圧縮された状態にあり、第２ヨーク８７の第２板部８７０、および第２カバー部材１７の第２端板部１７０に接している。本形態において、第２粘弾性部材９２は、第２ヨーク８７の第２板部８７０、および第２カバー部材１７の第２端板部１７０に接着されている。

　ここで、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。従って、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２として、各種ゲル部材を用いることができる。また、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。本形態では、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２として、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルが用いられている。針入度とは、ＪＩＳ－Ｋ－２２０７やＪＩＳ－Ｋ－２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。

　第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。これに対して、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。一方、本形態のように、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２が厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。従って、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２では、運動方向によるバネ力が一定となる。それ故、本形態のように、第１粘弾性部材９１および第２粘弾性部材９２のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスもって振動を実現することができる。

（基本動作）
　本形態のアクチュエータ１において、コイル７に交流を印加すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するため、アクチュエータ１における重心が第２方向Ｘに変動する。このため、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、コイル７に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

（本形態の主な効果）
　以上説明したように、本形態のアクチュエータ１において、支持体２では、第１カバー部材１６の第１端板部１６０が、ホルダ６０の第１方向Ｚの一方側Ｚ１に重ねて配置されて、可動体３に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向している。このため、第１端板部１６０は、ホルダ６０を基準に第１方向Ｚにおける位置が決定されているので、可動体３と第１端板部１６０とが第１方向Ｚで対向する部分の間隔がばらつきにくい。従って、可動体３と第１端板部１６０とが第１方向Ｚで対向する部分に挟まれた第１粘弾性部材９１は、可動体３および第１端板部１６０の各々に適正に接しており、過度に潰された状態となりにくい等、支持体２と可動体３との間に第１粘弾性部材９１を適正に配置することができる。また、支持体２では、第２カバー部材１７の第２端板部１７０が、ホルダ６０の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に重ねて配置されて、可動体３に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向している。このため、第２端板部１７０は、ホルダ６０を基準に第１方向Ｚにおける位置が決定されているので、可動体３と第２端板部１７０とが第１方向Ｚで対向する部分の間隔がばらつきにくい。従って、可動体３と第２端板部１７０とが第１方向Ｚで対向する部分に挟まれた第２粘弾性部材９２は、可動体３および第２端板部１７０の各々に適正に接しており、過度に潰された状態となりにくい等、支持体２と可動体３との間に第２粘弾性部材９２を適正に配置することができる。それ故、本形態によれば、可動体３を駆動した際の共振を適正に抑制することができる。

　また、磁気駆動回路６では、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１および他方側Ｚ２に、第１ヨーク８６に固定された第１磁石８１と、第２ヨーク８７に固定された第２磁石８２とを有している。従って、可動体３に対する推力を増大させることができる。また、第１方向Ｚにおいて可動体３の構成が対称または略対称になるので、磁気駆動回路６の駆動中心と可動体３の重心とが第１方向Ｚにおいて一致または略一致した状態となる。従って、可動体３を駆動した際、可動体３が傾きにくい。

　また、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７は各々、一方が他方に対して第２方向Ｘで重なった側板部１６１、１６２、１７１、１７２を備えている。また、第１カバー部材１６および第２カバー部材１７は各々、一方が他方に対して第３方向Ｙで重なった側板部１６３、１６４、１７３、１７４を有している。このため、ホルダ６０を基準に第１カバー部材１６および第２カバー部材１７の第１方向Ｚの位置を設定した場合でも、側板部１６１、１６２と側板部１７１、１７２とが第２方向Ｘで確実に重なる。また、ホルダ６０を基準に第１カバー部材１６および第２カバー部材１７の第１方向Ｚの位置を設定した場合でも、側板部１６３、１６４と側板部１７３、１７４とが第３方向Ｙで確実に重なる。

（他の実施形態）
　上記実施形態では、２つの磁石８（第１磁石８１および第２磁石８２）を有していたが、例えば、コイル７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１のみに磁石８が配置され、第１方向Ｚの他方側Ｚ２に第２ヨーク８７のみが存在する態様の場合に本発明を適用してもよい。

　上記実施形態では、粘弾性部材としてゲル状ダンパー部材を用いたが、ゴム等を粘弾性部材として用いてもよい。

　上記実施形態では、コイル７が支持体２に設けられ、磁石８が可動体３に設けられていたが、コイル７が可動体３に設けられ、磁石８が支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。上記実施形態では、可動体３を第２方向Ｘのみに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用したが、可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに駆動するアクチュエータ１に本発明を適用してもよい。

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、６…磁気駆動回路、７…コイル、８…磁石、１１…カバー、１６…第１カバー部材、１７…第２カバー部材、１８…配線基板、６０…ホルダ、６５…板部、８１…第１磁石、８２…第２磁石、８６…第１ヨーク、８７…第２ヨーク、９１…第１粘弾性部材、９２…第２粘弾性部材、１６０…第１端板部、１７０…第２端板部、６５０…コイル保持部、７０１…長辺、７０２…短辺、８６０…第１板部、８６１…第１連結板部、８７０…第２板部、８７１…第２連結板部、Ｘ…第２方向、Ｙ…第３方向、Ｚ…第１方向

Claims

　支持体と、
　可動体と、
　コイルおよび前記コイルに第１方向で対向する磁石を備え、前記可動体を前記第１方向に対して交差する第２方向に駆動する磁気駆動回路と、
　を有し、
　前記支持体は、前記コイルおよび前記磁石のうちの一方を保持するホルダと、前記ホルダの第１方向の一方側に重ねて配置されて前記可動体に前記第１方向の一方側で対向する第１端板部と、を有し、
　前記可動体は、前記コイルおよび前記磁石のうちの他方を保持し、
　前記可動体と前記支持体との間には、前記可動体と前記第１端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれた第１粘弾性部材が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
　前記支持体は、前記ホルダの第１方向の他方側に重ねて配置されて前記可動体に前記第１方向の他方側で対向する第２端板部を有し、
　前記可動体と前記支持体との間には、前記可動体と前記第２端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれた第２粘弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
　前記ホルダは、前記コイルを保持し、
　前記可動体は、前記コイルに前記第１方向の一方側で対向する部分に、前記磁石としての第１磁石が固定された第１ヨークと、前記コイルに前記第２方向の他方側で対向する第２ヨークと、を備え、
　前記第１粘弾性部材は、前記第１ヨークと前記第１端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれ、
　前記第２粘弾性部材は、前記第２ヨークと前記第２端板部とが前記第１方向で対向する部分に挟まれていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
　前記第２ヨークにおいて前記コイルに前記第２方向の他方側で対向する部分に、前記磁石としての第２磁石が固定されていることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
　前記第１端板部を備えた第１カバー部材と、
　前記第２端板部を備えた第２カバー部材と、
　を有し、
　前記ホルダおよび前記可動体の少なくとも一部は、前記第１カバー部材および前記第２カバー部材によって、前記第１方向および前記第２方向で覆われていることを特徴とする請求項２から４までの何れか一項に記載のアクチュエータ。
　前記第１カバー部材および前記第２カバー部材のうちの少なくとも一方は、他方に対して前記第２方向で重なった側板部を備えていることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。