JP7270442B2

JP7270442B2 - アクチュエータ

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Publication number: JP7270442B2
Application number: JP2019065371A
Authority: JP
Inventors: 将生土橋
Original assignee: ニデックインスツルメンツ株式会社
Priority date: 2019-03-29
Filing date: 2019-03-29
Publication date: 2023-05-10
Anticipated expiration: 2039-03-29
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Description

本発明は、振動を発生させるアクチュエータに関する。

振動によって情報を報知するデバイスとして用いられるアクチュエータは、特許文献１に開示されている。同文献のアクチュエータは、磁石を備えた支持体と、磁石と対向するコイルを備えた可動体と、可動体と支持体との間に配置された弾性部材と、を備える。可動体は、磁石とコイルとが対向する第１方向に板厚方向を向けたコイルホルダを備える。コイルホルダは、第１方向に直交する第２方向で離間する位置に２つの第１コイルを備えるとともに、第１方向および第２方向に直交する第３方向で離間する位置に２つの第２コイルを備える。支持体は、第１コイルに対して第１方向の両側に第１磁石を備え、第２コイルに対して第１方向の両側に第２磁石を備える。これにより、第１コイルおよび第１磁石は、可動体を第２方向に振動させる第１磁気駆動回路を構成し、第２コイルおよび第２磁石は、可動体を第３方向に振動させる第２磁気駆動回路を構成する。従って、アクチュエータは、第２方向の振動や第３方向の振動を発生させることができる。

特開２０１６－１２７７８９号公報

特許文献１に記載のアクチュエータの可動体では、第１方向に板厚方向を向けたホルダに対して第１コイルおよび第２コイルが平面的に設けられている。従って、可動体の平面積が大きく、アクチュエータの平面積が大となる。

第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路を第１方向に重ねれば、アクチュエータの平面積を小さくすることができる。しかし、この場合には、第１磁気駆動回路を駆動した場合に可動体に働く力の作用点と、第２磁気駆動回路を駆動した場合に可動体に働く力の作用点が、第１方向で異なる位置となる。従って、可動体を第２方向や第３方向に振動させる際に、可動体が、重心を中心に、揺動しやすくなる。ここで、可動体を第２方向や第３方向に振動させる際に可動体が揺動すると、第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路が発生させる推力の向きが分散する。従って、アクチュエータを振動によって情報を報知するデバイスとして用いている場合などには、ユーザーがデバイスから受ける感触に影響が出る。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体の移動方向と直交する方向に第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路を重ねた場合でも、可動体が揺動することを防止或いは抑制できるアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、前記第１接続体と前記第２接続体とは、それぞれが、前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分、および前記可動体における前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続され、前記第１接続体および前記第２接続体は、前記直交方向から見た場合に、十字形状であることを特徴とする。

本発明のアクチュエータは、可動体と支持体とに接続されて可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体を備える。また、第１接続体および第２接続体は、それぞれが、可動体における第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分、および可動体における第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続されている。従って、第１接続体により、第１移動方向への可動体の揺動および第２移動方向への可動体の揺動を抑制できる。また、第２接続体により、第１移動方向への可動体の揺動および第２移動方向への可動体の揺動を抑制できる。よって、可動体の移動方向と直交する方向に第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路を重ねた場合でも、可動体が揺動することを防止或いは抑制できる。さらに、十字形状の第１接続体および第２接続体を用いるので、一つの部材からなる第１接続体を用いて、可動体における第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と支持体とを接続するとともに、可動体における第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と支持体とを接続できる。また、一つの部材からなる第２接続体を用いて、可動体における第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と支持体とを接続するとともに、可動体における第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と、支持体と、を接続できる。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、前記第１接続体と前記第２接続体とは、前記第１接続体が前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続され、かつ、前記第２接続体が前記可動体の前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続されており、第１接続体は、前記直交方向から見た場合の形状が第１移動方向を長辺方向とする長方形形状であり、第２接続体は、前記直交方向から見た場合の形状が第２移動方向を長辺方向とする長方形形状であることを特徴とする。このようにすれば、一つの部材からなる第１接続体を用いて、可動体における第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と、支持体と、を接続できるとともに、一つの部材からなる第２接続体を用いて、可動体における第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と、支持体と、を接続できる。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、前記第１接続体と前記第２接続体とは、前記第１接続体が前記第１移動方向に１列に配列され、前記第１接続体が接続される位置は、前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分の２箇所であり、かつ、前記第２接
続体が前記第２移動方向に１列に配列され、前記第２接続体が配置される位置は、前記可動体の前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分の２箇所であることを特徴とする。このようにすれば、第１接続体および第２接続体のそれぞれを一つの部材から構成した場合と比較して、第１接続体および第２接続体を小さくできる。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、支持体と、可動体と、前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路と、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、前記第１接続体と前記第２接続体とは、それぞれが、前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分、および前記可動体における前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続され、前記第１および前記第２接続体は、前記第１移動方向および前記第２移動方向を対角方向とする矩形状であることを特徴とする。

本発明において、前記第１コイルおよび前記第２コイルは、前記支持体の側に設けられ、前記第１磁石および前記第２磁石は、前記可動体の側に設けられているものとすることができる。第１コイルおよび第２コイルが支持体に設けられていれば、第１コイルおよび第２コイルが可動体に設けられている場合と比較して、第１コイルおよび第２コイルへの配線が容易となる。また、可動体が移動する際に第１コイルへの配線および第２コイルへの配線が変形することによる負荷が発生しない。

本発明において、前記可動体は、前記第１磁石が固定された第１板部を有する第１ヨークと、前記第２磁石が固定された第２板部を有する第２ヨークと、を備え、前記第１板部は、前記第１コイルおよび前記第１磁石の前記直交方向の一方側に位置し、前記第２板部は、前記第２コイルおよび前記第２磁石の前記直交方向の他方側に位置し、前記第１板部を前記直交方向から見た場合の形状は、前記第１移動方向の両側に突出する一対の第１板部第１突部および前記第２移動方向の両側に突出する一対の第１板部第２突部を備える十字形状であり、前記第２板部を前記直交方向から見た場合の形状は、前記第１移動方向の両側に突出する一対の第２板部第１突部および前記第２移動方向の両側に突出する第２板部第２突部を備える十字形状であり、前記第１接続体は、一対の前記第１板部第１突部および一対の前記第１板部第２突部の少なくとも一方に接続されており、前記第２接続体は、一対の前記第２板部第１突部および一対の前記第２板部第２突部の少なくとも一方に接続されているものとすることができる。このようにすれば、第１ヨークおよび第２ヨークの形状を同一として部品点数を少なくした場合でも、第１ヨークに第１接続体を接続することにより、第１接続体を用いて可動体における第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と支持体と、を接続できる。或いは、第１ヨークに第１接続体を接続することにより、可動体における第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と、支持体と、を接続できる。また、このようにすれば、第１ヨークおよび第２ヨークの形状を同一として部品点数を少なくした場合した場合でも、第２ヨークに第２接続体を接続することにより、第２接続体を用いて、可動体における第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と、支持体と、を接続できる。或いは、第２ヨークに第２接続体を接続することにより、第２接続体を用いて、可動体における第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と、支持体と、を接続できる。

本発明において、前記可動体は、前記直交方向で前記第１磁気駆動回路と前記第２磁気
駆動回路との間に位置する磁性部材を備え、前記第１ヨークは、前記第１移動方向の両側に突出する一対の第１板部第１突部の両端部のそれぞれから前記直交方向に延びる一対の第１延設部を備え、前記第２ヨークは、前記第２移動方向の両側に突出する一対の第２板部第２突部の両端部のそれぞれから前記直交方向に延びる一対の第２延設部を備え、前記磁性部材には、一対の前記第１延設部の前記直交方向の他方側の端、および、前記一対の前記第２延設部の前記直交方向の一方側の端が接続されているものとすることができる。このようにすれば、第１ヨークと磁性部材によって第１コイルを囲む磁路を形成できるので、第１磁気駆動回路から磁束が漏れることを抑制できる。よって、第１磁気駆動回路の駆動力を確保することが容易となる。また、第２ヨークと磁性部材とによって第２コイルを囲む磁路を形成できるので、第２磁気駆動回路から磁束が漏れることを抑制できる。従って、第２磁気駆動回路の駆動力を確保することが容易となる。

本発明において、前記第１接続体および前記第２接続体は、ゲル状部材であるものとすることができる。

本発明によれば、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える第１接続体および第２接続体の一方が、可動体における第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と支持体とを接続する。また、弾性および粘弾性の少なくとも一方を備える第１接続体および第２接続体の他方が、可動体における第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分と支持体とを接続する。従って、第１磁気駆動回路或いは第２磁気駆動回路を駆動して可動体を第１移動方向または第２移動方向に移動させたときに、第１接続体および第２接続体が当該可動体の第１移動方向への揺動および第２移動方向への移動を防止或いは抑制する。

本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。アクチュエータを第１方向および第２方向に切断した場合の説明図である。アクチュエータを第１方向および第３方向に切断した場合の説明図である。拘束部材を外した状態のアクチュエータを第１方向の他方側から見た場合の分解斜視図である。拘束部材を外した状態のアクチュエータを第１方向の一方側から見た場合の分解斜視図である。アクチュエータの磁気駆動回路を分解した状態を第１方向の他方側からみた場合の分解斜視図である。アクチュエータに用いた磁気駆動回路を分解した状態を第１方向の一方側からみた場合の分解斜視図である。第１磁気駆動回路の分解斜視図である。第２磁気駆動回路の分解斜視図である。図１０（a）および１０（ｂ）は、変形例１の接続体の説明図である。図１１（a）および１１（ｂ）は、変形例２、３の接続体の説明図である。図１２（a）および１２（ｂ）は、変形例４、５の接続体の説明図である。図１３（a）および１３（ｂ）は、変形例６、７の接続体の説明図である。

以下に図面を参照して、本発明の実施の形態のアクチュエータを説明する。以下の説明では、互いに交差する３つの方向を各々、第２方向Ｘ、第３方向Ｙおよび第１方向Ｚとする。第１方向Ｚは第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに対して直交する方向である。また、第２方向Ｘの一方側Ｘ１にＸ１を付し、第２方向Ｘの他方側にＸ２を付し、第３方向Ｙの一方側にＹ１を付し、第３方向Ｙの他方側にＹ２を付し、第１方向Ｚの一方側Ｚ１にＺ１を付
し、第１方向Ｚの他方側にＺ２を付す。

（全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータの斜視図である。図２は、アクチュエータを第１方向Ｚおよび第２方向Ｘに切断した場合の説明図である。図３は、アクチュエータを第１方向Ｚおよび第３方向Ｙに切断した場合の説明図である。図４は、拘束部材を外した状態のアクチュエータを第１方向の他方側から見た場合の分解斜視図である。図５は、拘束部材を外した状態のアクチュエータを第１方向の一方側から見た場合の分解斜視図である。

図１に示すように、本例のアクチュエータ１は略直方体形状を有する。図２、図３に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２と可動体３との間に配置された接続体４（第１接続体４１、および第２接続体４２）とを有する。接続体４は、弾性または粘弾性を備えており、可動体３と支持体２とに接続されている。

アクチュエータ１は、可動体３を支持体２に対して第１移動方向に移動（振動）させる第１磁気駆動回路６と、可動体３を支持体２に対して第２移動方向に移動（振動）させる第２磁気駆動回路７、を有する。第１磁気駆動回路６が可動体３を移動させる第１移動方向と第２磁気駆動回路７が可動体３を移動させる第２移動方向とは直交する。第１磁気駆動回路６が可動体３を移動させる第１移動方向は第２方向Ｘである。第２磁気駆動回路７が可動体３を移動させる第２移動方向は第３方向Ｙである。第１移動方向および第２移動方向と直交する直交方向は第１方向Ｚである。

ここで、アクチュエータ１は、第１磁気駆動回路６と第２磁気駆動回路７との駆動によって可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに振動させることができる。従って、アクチュエータ１や、アクチュエータ１を取り付けた機器等を利用する使用者に、第２方向Ｘの振動、第３方向Ｙの振動、または第２方向Ｘの振動と第３方向Ｙの振動とを組み合わせた振動、を体感させることができる。従って、アクチュエータ１は、上記の振動によって利用者に触覚を与える触覚デバイスとして使用することができ、例えば、ゲーム機の操作部材、操作パネル、自動車のハンドルやイス等に組み込んで利用することができる。アクチュエータ１への給電、すなわち、第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７への給電は、フレキシブル配線基板９を介して行われる（図１参照）。

図４、図５示すように、支持体２は、第１方向Ｚに重ねて配置された第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２と、これら第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２を第１方向Ｚの両側から拘束する拘束部材２７を有する。図５に示すように、可動体３の第１方向Ｚの一方側Ｚ１には、第１接続体４１が配置されている。第１接続体４１は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１で拘束部材２７と可動体３とを接続する。図４に示すように、可動体３の第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第２接続体４２が配置されている。第２接続体４２は、第１方向Ｚの他方側Ｚ２で拘束部材２７と可動体３とを接続する。図２、図３に示すように、第１接続体４１および第２接続体４２はいずれも、第１方向Ｚで圧縮された状態にある。接続体４（第１接続体４１および第２接続体４２）は、可動体３を、第１方向Ｚ、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに変位可能に支持する。

第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７は、それぞれ、コイルと、コイルに第１方向Ｚで対向する磁石とを有する。コイルは、支持体２および可動体３の一方側部材に設けられ、磁石は、他方側部材に設けられる。本例では、コイル（第１コイル６１および第２コイル７１）、はコイルホルダ（第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２）に固定されている。コイル（第１コイル６１および第２コイル７１）、コイルホルダ（第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２）、および拘束部材２７は、支持体２を
構成する。また、磁石（第１磁石６２１、６２２、および第２磁石７２１、７２２）、およびヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４（磁性部材））は、可動体３に設けられている。すなわち、磁石（第１磁石６２１、６２２、および第２磁石７２１、７２２）、およびヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）は、可動体３を構成する。

第１磁気駆動回路６は、第２磁気駆動回路７に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１で重ねて配置されている。従って、アクチュエータ１を第１方向Ｚからみた場合のサイズ（平面積）が小さい。よって、本例のアクチュエータ１は、手に持つコントローラ等の機器に搭載するのに適する。

（第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路）
第１磁気駆動回路６と第２磁気駆動回路７とは基本的な構成が同一である。図２および図３に示すように、第１磁気駆動回路６と第２磁気駆動回路７とは、同一構造の２つの磁気駆動回路を、第１方向Ｚにおいて対称に配置し、一方の磁気駆動回路を第１方向Ｚに延在する中心軸線を中心に９０°回転させた構成となっている。

第１磁気駆動回路６は、第１コイル６１と、第１コイル６１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第１磁石６２１と、第１コイル６１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第１磁石６２２とを有する。第２磁気駆動回路７は、第２コイル７１と、第２コイル７１に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する第２磁石７２１と、第２コイル７１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する第２磁石７２２とを有する。第２磁気駆動回路７（第２コイル７１、および第２磁石７２１、７２２）は、第１磁気駆動回路６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に重なる。

このように構成した第１磁気駆動回路６、および第２磁気駆動回路７を第１方向Ｚに重ねて配置するために、支持体２は、図４、図５に示すように、第１コイル６１を保持する第１コイルホルダ１１と、第２コイル７１を保持する第２コイルホルダ１２と有する。第１コイルホルダ１１、および第２コイルホルダ１２は、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねて配置されている。また、第１コイルホルダ１１、および第２コイルホルダ１２は連結されている。

一方、可動体３は、図２、図３に示すように、第１コイル６１に対して第１方向Ｚに一方側Ｚ１に配置された第１ヨーク６４と、第２コイル７１に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された第２ヨーク７４と、第１コイル６１と第２コイル７１との間に配置された第３ヨーク８４とを備える。第１ヨーク６４および第３ヨーク８４において第１コイル６１と対向する面には、第１磁石６２１、６２２が保持されている。第２ヨーク７４および第３ヨーク８４において第２コイル６２と対向する面には、第２磁石７２１、７２２が保持されている。

（第１磁気駆動回路）
図６は、アクチュエータ１の磁気駆動回路を分解した状態を第１方向Ｚの他方側Ｚ２からみた場合の分解斜視図である。図７は、アクチュエータ１の磁気駆動回路を分解した状態を第１方向Ｚの一方側Ｚ１からみた場合の分解斜視図である。図８は、第１磁気駆動回路６の分解斜視図である。図９は、第２磁気駆動回路７の分解斜視図である。

図６、図８に示すように、第１コイルホルダ１１は、第１コイル６１を内側に保持する第１枠部６６と、第１枠部６６に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置された第１補強枠６７と、第１枠部６６の端部と第１補強枠６７の端部とを繋ぐ複数の第１柱状部６９とを備える。第１枠部６６および第１補強枠６７を第１方向Ｚからみた場合の外形は四角形で
あり、４つの角の各々に第１柱状部６９が設けられている。第１柱状部６９は、第１枠部６６から第２コイルホルダ１２に向けて突出している。第１コイルホルダ１１は、樹脂製あるいは金属製である。本例において、第１コイルホルダ１１は樹脂製である。

図８に示すように、第１磁気駆動回路６に用いた第１コイル６１は、第３方向Ｙに延在する第１有効辺部分６１１、６１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第１コイルホルダ１１の第１枠部６６には、第３方向Ｙに長径方向を向けた長円形状の第１開口部６６０が形成されており、第１開口部６６０の内側に第１コイル６１が接着等により固定される。

第１コイルホルダ１１において、第１枠部６６に対して第１方向Ｚの一方側Ｚ１には、第１開口部６６０の第３方向Ｙの両端部と重なる位置に、第１コイル６１の両端部で第２方向Ｘに延在する第１無効辺部分６１３、６１４（短辺部分）を第１方向Ｚの一方側Ｚ１で支持する第１座部６６１、６６２が形成されている。第１座部６６１、６６２は、第１枠部６６から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出し、第１開口部６６０の第３方向Ｙの両端部で第１方向Ｚの一方側Ｚ１の底部を構成している。第１枠部６６の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面には、第１開口部６６０に第３方向Ｙの一方側Ｙ１で隣接する位置に凹部６６５が形成されている。凹部６６５は、第１コイル６１を構成するコイル線の巻き始めの引き出し部分、および巻き終わりの引き出し部分を通すためのガイド部分である。第１枠部６６の厚さ（第１方向Ｚの寸法）は、第１コイル６１の厚さ（第１方向Ｚの寸法）より大である。従って、第１開口部６６０の内側に第１コイル６１が収容された状態で、第１コイル６１は、第１枠部６６から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出していない。第１コイルホルダ１１において、第１枠部６６の外面には、第３方向Ｙの一方側Ｙ１に突出した凸部６６６が形成されている。

第１磁石６２１、６２２は各々、長方形の平面形状を有する。第１磁石６２１、６２２は、それぞれ長手方向を第２方向Ｘに向けている。また、第１磁石６２１、６２２は各々、第２方向Ｘに分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第１コイル６１の第１有効辺部分６１１、６１２に対向している。従って、第１コイル６１に通電すると、第１磁気駆動回路６は、可動体３を第２方向Ｘに駆動する駆動力を発生させる。

第１磁気駆動回路６において、第１ヨーク６４は、第１磁石６２１を第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面で保持する平板状の第１板部６４０を有する。第１板部６４０は、第１コイル６１および第１磁石６２１の第１方向Ｚの一方側Ｚ１に位置する。図８に示すように、第１板部６４０を第１方向Ｚから見た場合の形状は、十字形状である。すなわち、第１板部６４０は、矩形の第１板部中央部６４０ａと、第１板部中央部６４０ａから第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂと、第１板部中央部６４０ａから第３方向Ｙの両側に突出する一対の第１板部第２突部６４０ｃと、を備える。また、第１ヨーク６４は、一対の第１板部第１突部６４０ｂの第２方向Ｘの両端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった板状部分からなる一対の第１延設部６４１、６４２を有する。

第３ヨーク８４は平板状である。第１方向から見た場合に、第３ヨーク８４は十字形状である。第１ヨーク６４の第１延設部６４１、６４２は各々、第３ヨーク８４と連結されている。より詳細には、第１延設部６４１、６４２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端部には凹部６４１ａ、６４２ａが形成されており、第３ヨーク８４の板部８４０の第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２の端部には、凹部６４１ａ、６４２ａに嵌る凸部８４１、８４２が形成されている。本例において、第１ヨーク６４の第１延設部６４１、６４２と第３ヨーク８４とは溶接やカシメ等によって連結されている。

ここで、図６に示すように、このように構成した第１磁気駆動回路６において、第１ヨ
ーク６４のうち、第１コイル６１と対向する第１板部６４０、および第１磁石６２１は、第１方向Ｚにおいて第１コイルホルダ１１の第１枠部６６と第１補強枠６７との間に配置される。第１延設部６４１、６４２は、第１枠部６６と第１補強枠６７との間から第３ヨーク８４に向けて突出する。

（第２磁気駆動回路）
図７、図９に示すように、第２コイルホルダ１２は、第２コイル７１を内側に保持する第２枠部７６と、第２枠部７６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置された第２補強枠７７と、第２枠部７６の端部と第２補強枠７７の端部とを繋ぐ複数の第２柱状部７９とを備える。第２枠部７６および第２補強枠７７を第１方向Ｚからみた場合の外形は四角形であり、４つの角の各々に第２柱状部７９が設けられている。第２柱状部７９は、第２枠部７６から第１コイルホルダ１１に向けて突出し、第１コイルホルダ１１の第１柱状部６９と先端面同士が当接している。従って、第１コイルホルダ１１が保持する第１コイル６１と、第２コイルホルダ１２が保持する第２コイル７１との間には、適正な間隔が設けられる。第２コイルホルダ１２は、樹脂製あるいは金属製である。本例において、第２コイルホルダ１２は樹脂製である。

図９に示すように、第２磁気駆動回路７に用いた第２コイル７１は、第２方向Ｘに延在する第２有効辺部分７１１、７１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第２コイルホルダ１２の第２枠部７６には、第２方向Ｘに長径方向を向けた長円形状の第２開口部７６０が形成されており、第２開口部７６０の内側に第２コイル７１が接着等により固定される。

第２コイルホルダ１２において、第２枠部７６に対して第１方向Ｚの他方側Ｚ２には、第２開口部７６０の第２方向Ｘの両端部と重なる位置に、第２コイル７１の両端部で第３方向Ｙに延在する第２無効辺部分７１３、７１４（短辺部分）を第１方向Ｚの他方側Ｚ２で支持する第２座部７６１、７６２が形成されている。第２座部７６１、７６２は、第２枠部７６から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に突出し、第２開口部７６０の第２方向Ｘの両端部で第１方向Ｚの他方側Ｚ２の底部を構成している。第２枠部７６の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面には、第２開口部７６０に第２方向Ｘの一方側Ｘ１で隣接する位置に凹部７６５が形成されている。凹部７６５は、第２コイル７１を構成するコイル線の巻き始めの引き出し部分、および巻き終わりの引き出し部分を通すためのガイド部分である。第２枠部７６の厚さ（第１方向Ｚの寸法）は、第２コイル７１の厚さ（第１方向Ｚの寸法）より大である。従って、第２開口部７６０の内側に第２コイル７１が収容された状態で、第２コイル７１は、第２枠部７６から第１方向Ｚの一方側Ｚ１に突出していない。第２コイルホルダ１２において、第２枠部７６の外面には、第２方向Ｘの一方側Ｘ１に突出した凸部７６６が形成されている。

第２磁石７２１、７２２は各々、長方形の平面形状を有する。第２磁石７２１、７２２は、それぞれ長手方向を第３方向Ｙに向けている。また、第２磁石７２１、７２２は、各々、第３方向Ｙに分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第２コイル６２の第２有効辺部分７１１、７１２に対向している。従って、第２コイル７１に通電すると、第２磁気駆動回路７は、可動体３を第３方向Ｙに駆動する駆動力を発生させる。

第２磁気駆動回路７において、第２ヨーク７４は、第２磁石７２１を第１方向Ｚの一方側Ｚ１の面で保持する平板状の第２板部７４０を有する。第２板部７４０は、第２コイル６２および第２磁石７２１の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に位置する。図９に示すように、第２板部７４０を第１方向Ｚから見た場合の形状は、十字形状である。すなわち、第２板部７４０は、矩形の第２板部中央部７４０ａと、第２板部中央部７４０ａから第２方向Ｘの両側に突出する一対の第２板部第１突部７４０ｂと、第２板部中央部７４０ａから第３方
向Ｙの両側に突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃと、を備える。また、第２ヨーク７４は、一対の第２板部第２突部７４０ｃの第３方向Ｙの両端部から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がった板状部分からなる一対の第２延設部７４１、７４２を有する。

第２延設部７４１、７４２は各々、第３ヨーク８４と連結されている。より詳細には、第２延設部７４１、７４２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端部には凹部７４１ａ、７４２ａが形成されており、第３ヨーク８４の板部８４０の第３方向Ｙの一方側Ｙ１および他方側Ｙ２の端部には、凹部７４１ａ、７４２ａに嵌る凸部８４３、８４４が形成されている。本例において、第２ヨーク７４の第２延設部７４１、７４２と第３ヨーク８４とは溶接やカシメ等によって連結されている。

ここで、第３ヨーク８４は、第１磁気駆動回路６と共通に用いられている。第３ヨーク８４の板部８４０は、第２磁石７２２を第１方向Ｚの他方側Ｚ２の面で保持している。第３ヨーク８４は、他のヨ－ク（第１ヨーク６４および第２ヨーク７４）より第１方向Ｚの厚さが厚い。従って、第３ヨーク８４を第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７において共通のヨークとして用いても、磁気飽和等が発生しにくい。

図７に示すように、このように構成した第２磁気駆動回路７において、第２ヨーク７４のうち、第２コイル７２と対向する第２板部７４０、および第２磁石７２１は、第１方向Ｚにおいて第２コイルホルダ１２の第２枠部７６と第２補強枠７７との間に配置される。第２延設部７４１、７４２は、第２枠部７６と第２補強枠７７との間から第３ヨーク８４に向けて突出する。

（第１コイルホルダと第２コイルホルダとの連結構造およびフレキシブル配線基板）
図６および図７に示すように、第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２は、第１方向Ｚで互いに対向する部分で開口する有底の複数の穴６９０、７９０を備える。第１コイルホルダ１１と第２コイルホルダ１２とは、複数の穴６９０、７９０の各々に嵌るピンによって位置決めされて、連結されている。ピン２０は金属製の丸棒からなる。第１コイルホルダ１１と第２コイルホルダ１２とが連結された状態では、第１コイルホルダ１１の複数の第１柱状部６９と第２コイルホルダ１２の複数の第２柱状部７９は各々、先端面同士が当接する。

図４、図５に示すように、フレキシブル配線基板９は、第１コイルホルダ１１の第３方向Ｙの一方側Ｙ１の面に沿って延びる第１部分９１と、第１部分９１から第３方向Ｙの他方側Ｙ２に屈曲した屈曲部９０と、屈曲部９０から延在して第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の面に沿って延びる第２部分９２とを備える。第２部分９２は、屈曲部９０から第１コイルホルダ１１の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の面に沿って第１方向Ｚの他方側Ｚ２に延びる第３部分９３と、第３部分９３から第３方向Ｙの他方側Ｙ２に延びる帯状の第４部分９４と、を有する。第１部分９１は、第１コイルホルダ１１の凸部６６６に係止され、接着剤により第１コイルホルダ１１に固定されている。第４部分９４は、第２コイルホルダ１２の凸部７６６に係止され、接着剤により第２コイルホルダ１２に固定されている。第１部分９１には第１コイル６１を構成するコイル線が接続され、第２部分９２には第２コイル７１を構成するコイル線が接続されている。第２部分９２には外部接続用の複数の端子が設けられている。

（拘束部材および接続体）
図４、図５に示すように、拘束部材２７は、第１コイルホルダ１１に第１方向Ｚの一方側Ｚ１から重なる第１端板部２８１を備えた第１板状部材２８と、第２コイルホルダ１２に第１方向Ｚの他方側Ｚ２から重なる第２端板部２９１を備えた第２板状部材２９と、を備える。第１板状部材２８および第２板状部材２９はいずれも、金属板からなる。

図４、図５に示すように、第１板状部材２８の第１端板部２８１を第１方向Ｚから見た場合の形状は、十字形状である。すなわち、第１端板部２８１は、矩形の第１端板中央部２８１ａと、第１端板中央部２８１ａから第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１端板第１突部２８１ｂと、第１端板中央部２８１ａから第３方向Ｙの両側に突出する一対の第１端板第２突部２８１ｃと、を備える。また、第１板状部材２８は、第１端板部２８１の第３方向Ｙの両端（第１端板第２突部２８１ｃの端）から第１方向Ｚの他方側Ｚ２に折れ曲がる２つの第１側板部２８２を備える。

また、第２板状部材２９の第２端板部２９１を第２方向Ｘから見た場合の形状は、十字形状である。すなわち、第２端板部２９１は、矩形の第２端板中央部２９１ａと、第２端板中央部２９１ａから第２方向Ｘの両側に突出する一対の第２端板第１突部２９１ｂと、第２端板中央部２９１ａから第３方向Ｙの両側に突出する一対の第２端板第２突部２９１ｃと、を備える。また、第２板状部材２９は、第２端板部２９１の第３方向Ｙの両端（第２端板第２突部２９１ｃの端）から第２方向Ｘの一方側Ｚ１に折れ曲がる２つの第２側板部２９２を備える。

ここで、各第１側板部２８２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端は、溶接により、第２板状部材２９の第２端板部２９１に接続されている。また、各第２側板部２９２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端は、溶接等により、第１板状部材２８の第１端板部２８１に接続されている。第１板状部材２８と第２板状部材２９とが接続された状態では、第１コイルホルダ１１と第２コイルホルダ１２とは、拘束部材２７によって第１方向Ｚの両側から押圧された状態で拘束される。

図２、図３に示すように、拘束部材２７が第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２に重ねられた状態では、第１板状部材２８の第１端板部２８１は、可動体３の第１ヨーク６４の第１板部６４０とは第１方向Ｚで対向する。第１端板部２８１と第１板部６４０とを第１方向から見た場合には、互いの十字形状が重なっている。第１端板部２８１と第１板部６４０との間には第１接続体４１が位置する。また、拘束部材２７が第１コイルホルダ１１および第２コイルホルダ１２に重ねられた状態では、第２板状部材２９の第２端板部２９１は、可動体３の第２ヨーク７４の第２板部７４０と第１方向Ｚで対向する。第２端板部２９１と第２板部７４０とを第１方向から見た場合には、互いの十字形状が重なっている。第２端板部２９１と第２板部７４０との間には、第２接続体４２が位置する。

第１接続体４１および第２接続体４２は、粘弾性を備えた粘弾性体である。本例では、第１接続体４１および第２接続体４２は、直方体形状のゲル状部材である。図５に示すように、第１接続体４１は、長手方向を第２方向Ｘに向けて第１ヨーク６４の第１板部６４０に配置されることにより、可動体３における第２方向Ｘ（第１移動方向）の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続される。すなわち、第１接続体４１は、第１ヨーク６４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂのそれぞれと、第１板部中央部６４０ａと、に接続される。第１接続体４１は、第１端板部２８１と第１ヨーク６４との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で、支持体２と可動体３とを接続する。第１接続体４１は、支持体２に対して可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに変位可能に支持する。第１接続体４１は、第１方向Ｚの両面が、接着剤により、可動体３および拘束部材２７に固定される。

第２接続体４２は、図４に示すように、長手方向を第３方向Ｙに向けて第２ヨーク７４の第２板部７４０に固定されることにより、可動体３における第３方向Ｙ（第２移動方向）の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続されている。すなわち、第２接続体
４２は、第２ヨーク７４において、第３方向Ｙの両側に突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃと、第２板部中央部７４０ａと、に接続される。第２接続体４２は、第２端板部２９１と第２ヨーク７４との間で第１方向Ｚに圧縮された状態で、支持体２と可動体３とを接続する。第２接続体４２は、支持体２に対して可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに変位可能に支持する。第２接続体４２は、第１方向Ｚの両面が、接着剤により、可動体３および拘束部材２７に固定される。第１方向Ｚから見た場合に、第１接続体４１の長手方向と第２接続体４２の長手方向とは直交する。

ここで、第１接続体４１および第２接続体４２を構成するゲル状部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、板状のゲル状部材は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。また、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合も、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。本例において、可動体３が第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに振動した際、接続体４（粘弾性体）は、せん断方向に変形するように構成されている。従って、接続体４は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。

（磁気駆動回路の磁気的中心と可動体の重心との位置関係）
このように構成したアクチュエータ１において、第１コイル６１、第２コイル７１、第１コイルホルダ１１、および第２コイルホルダ１２は、可動体３の第２方向Ｘの中心を通って第３方向Ｙに延在する仮想線を中心とする線対称、かつ、第３方向Ｙの中心を通って第２方向Ｘに延在する仮想線を中心とする線対称に構成されている。また、第１磁石６２１、６２２、第２磁石７２１、７２２、第１ヨーク６４、および第２ヨーク７４は、可動体３の第２方向Ｘの中心を通って第３方向Ｙに延在する仮想線を中心とする線対称、かつ、第３方向Ｙの中心を通って第２方向Ｘに延在する仮想線を中心とする線対称に構成されている。従って、図２、図３に示すように、アクチュエータ１の重心Ｇは、アクチュエータ１の中心（第１方向Ｙの中心、第２方向Ｘの中心および第３方向Ｙの中心）、或は、ほぼ中心に位置する。

また、第１磁気駆動回路６の磁気的中心位置、すなわち、第１磁気駆動回路６を駆動した場合に可動体３に働く駆動力の第１作用点Ｅ１は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙにおいて可動体３の重心と一致する位置であって、第１方向Ｚにおいて重心Ｇから一方側Ｚ１に外れた位置にある。第２磁気駆動回路７の磁気的中心位置、すなわち、第２磁気駆動回路７を駆動した場合に可動体３に働く駆動力の第２作用点Ｅ２は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙにおいて可動体３の重心Ｇと一致する位置であって、第１方向Ｚにおいて重心Ｇから他方側Ｚ２に外れた位置にある。

（動作）
本例のアクチュエータ１において、第１コイル６１に交流を印加する一方、第２コイル７１への通電を停止すると、可動体３は、第２方向Ｘに振動するので、アクチュエータ１における重心Ｇが第２方向Ｘに変動する。従って、利用者は、第２方向Ｘの振動を体感することができる。その際、第１コイル６１に印加する交流波形を調整して、可動体３が第２方向Ｘの一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向Ｘの他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第２方向Ｘにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

また、第２コイル７１に交流を印加する一方、第１コイル６１への通電を停止すると、可動体３は、第３方向Ｙに振動するので、アクチュエータ１における重心Ｇが第３方向Ｙに変動する。従って、利用者は、第３方向Ｙの振動を体感することができる。その際、第
２コイル７１に印加する交流波形を調整して、可動体３が第３方向Ｙの一方側Ｙ１に移動する加速度と、可動体３が第３方向Ｙの他方側Ｙ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、第３方向Ｙにおいて方向性を有する振動を体感することができる。

さらに、第１コイル６１と第２コイル７１への通電とを組み合わせれば、利用者は、第２方向Ｘでの振動と第３方向Ｙでの振動とを組み合わせた体感を得ることができる。

ここで、本例では、第１磁気駆動回路６を駆動した場合に可動体３に働く駆動力の第１作用点Ｅ１と、第２磁気駆動回路７を駆動した場合に可動体３に働く力の第２作用点Ｅ２が、第１方向Ｚで重心Ｇと異なる位置にある。従って、可動体３を第２方向Ｘや第３方向Ｙに振動させる際に、可動体３が、重心Ｇを中心に、揺動しやすいという問題がある。可動体３を第２方向Ｘや第３方向Ｙに振動させる際に可動体３が揺動すると、第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７が発生させる推力の向きが分散する。従って、アクチュエータを振動によって情報を報知するデバイスとして用いている場合などには、ユーザーがデバイスから受ける感触に影響が出る。

かかる問題に対して、本例のアクチュエータ１は、可動体３と支持体２とに接続されて可動体３を第２方向Ｘおよび第３方向Ｙに変位可能に支持する第１接続体４１および第２接続体４２を備える。また、第１接続体４１は、可動体３の第１方向Ｚの一方側Ｚ１において、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分に接続されている。第２接続体４２は、可動体３の第１方向Ｚの他方側において、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分に接続されている。従って、第１磁気駆動回路６を駆動して可動体３を第２方向Ｘに移動させたときに当該可動体３が第２方向Ｘに揺動しようとした場合には、可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分に接続された第１接続体４１がその揺動を抑制する。また、第２磁気駆動回路７を駆動して可動体３を第３方向Ｙに移動させたときに当該可動体３が第３方向Ｙに揺動しようとした場合には、第２接続体４２がその揺動を抑制する。よって、可動体３の移動方向と直交する第１方向Ｚに第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７を重ねた場合でも、移動時に可動体３が揺動することを防止或いは抑制できる。

ここで、第１接続体４１および第２接続体４２のそれぞれは、第１方向Ｚから見た場合の形状が長方形形状である。従って、一つの部材からなる第１接続体４１を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と、支持体２と、を接続できる。また、一つの部材からなる第２接続体４２を用いて、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と、支持体２と、を接続できる。

また、本例では、可動体３において、第１接続体４１が固定される第１ヨーク６４の第１板部６４０は、第１方向Ｚから見た場合の形状が、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂおよび第３方向Ｙの両側に突出する一対の第１板部第２突部６４０ｃを備える十字形状である。また、第２接続体４２が固定される第２ヨーク７４の第２板部７４０は、第２板部７４０を第１方向Ｚから見た場合の形状が、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第２板部第１突部７４０ｂおよび第３方向Ｙの両側に突出する第２板部第２突部７４０ｃ突部を備える十字形状である。そして、第１接続体４１は、一対の第１板部第１突部６４０ｂおよび第１板部中央部６４０ａに接続されており、第２接続体４２は、一対の第２板部第２突部７４０ｃおよび第２板部中央部７４０ａに接続されている。このように、各ヨーク６４、７４が第２方向Ｘおよび第３方向Ｙのそれぞれに突出する突部を備えるので、第１ヨーク６４および第２ヨーク７４の形状を同一として部品点数を削減した場合でも、第１ヨーク６４に第１接続体４１を接続することにより、第１接続体４
１を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と、支持体２と、を接続できる。また、第２ヨーク７４に第２接続体４２を接続することにより、第２接続体４２を用いて、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と、支持体２と、を接続できる。

ここで、本例では、可動体３は、第１方向Ｚで第１磁気駆動回路６と第２磁気駆動回路７との間に位置する第３ヨーク８４（磁性部材）を備える。第１ヨーク６４は、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂの両端部のそれぞれから第１方向Ｚに延びる一対の第１延設部６４１、６４２を備え、第２ヨーク７４は、第３方向Ｙの両側に突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃの両端部のそれぞれから第１方向Ｚに延びる一対の第２延設部７４１、７４２を備える。そして、第３ヨーク８４には、一対の第１延設部６４１、６４２の第１方向Ｚの他方側Ｚ２の端、および、一対の第２延設部７４１、７４２の第１方向Ｚの一方側Ｚ１の端が接続されている。これにより、第１ヨーク６４と第３ヨーク８４によって第１コイル６１を囲む磁路を形成できるので、第１磁気駆動回路６から磁束が漏れることを抑制できる。よって、第１磁気駆動回路６の駆動力を確保することが容易となる。また、第２ヨーク７４と第３ヨーク８４とによって第２コイル７１を囲む磁路を形成できるので、第２磁気駆動回路７から磁束が漏れることを抑制できる。従って、第２磁気駆動回路７の駆動力を確保することが容易となる。

また、本例では、第１コイル６１および第２コイル７１は、支持体２の側に設けられ、第１磁石６２１、６２２および第２磁石７２１、７２２は、可動体３の側に設けられている。従って、第１コイル６１および第２コイル７１が可動体３に設けられている場合と比較して、第１コイル６１および第２コイル７１への配線が容易となる。また、可動体３が移動する際に第１コイル６１への配線および第２コイル７１への配線が変形することによる負荷が発生しない。

（変形例）
なお、第１接続体４１が可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分に接続され、かつ、第２接続体４２が可動体３の第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分に接続されていてもよい。すなわち、第１接続体４１の長手方向の向きと、第２接続体４２の長手方向の向きを入れ替えてもよい。このようにしても、上記と同様の作用効果を得ることができる。

また、アクチュエータ１を構成する際に、上記の接続体４（第１接続体４１および第２接続体４２）に替えて、以下の変形例の接続体を用いることができる。図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、変形例１の接続体の説明図である。図１１（ａ）および図１１（ｂ）は、変形例２、３の接続体の説明図である。図１２（ａ）および図１２（ｂ）は変形例４、５の接続体の説明図である。図１３（ａ）および図１３（ｂ）は、変形例６、７の接続体の説明図である。

図１０（ａ）に示すように、変形例１の接続体４Ａにおいて、可動体３の第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置される第１接続体４１は、第２方向Ｘまたは第３方向Ｙにおける可動体３の一方側の端側部分に接続された一方側第１接続体４１ａと、他方側の端側部分に接続された他方側第１接続体４１ｂと、を備える。図１０（ａ）に示す例では、一方側第１接続体４１ａと他方側第１接続体４１ｂとは、第１ヨーク６４の第１板部６４０において、第２方向Ｘの一方側Ｘ１および他方側Ｘ２に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂのそれぞれに接続されている。

また、可動体３の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第２接続体４２は、第２方向Ｘおよび第３方向Ｙのうち一方側第１接続体４１ａと他方側第１接続体４１ｂとが配列され
た方向とは異なる方向における可動体３の一方側の端側部分に接続された一方側第２接続体４２ａと、他方側の端側部分に接続された他方側第２接続体４２ｂと、を備える。図１０（ｂ）に示す例では、一方側第２接続体４２ａと他方側第２接続体４２ｂとは、第２ヨーク７４の第２板部７４０において、第３方向Ｙに突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃのそれぞれに接続されている。

本例の接続体４Ａ（第１接続体４１および第２接続体４２）を採用した場合でも、可動体３が第２方向Ｘ或いは第３方向Ｙに移動する際に当該可動体３の揺動を防止或いは抑制できる。また、本例によれば、第１接続体４１および第２接続体４２のそれぞれを一つの部材から構成した場合と比較して、第１接続体４１および第２接続体４２を小さくできる。なお、第１ヨーク６４の第１板部６４０において一方側第１接続体４１ａと他方側第１接続体４１ｂとを第３方向Ｙに配列し、第２ヨーク７４の第２板部７４０において、一方側第２接続体４２ａと他方側第２接続体４２ｂとを第２方向Ｘに配列してもよい。

次に、図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示す変形例２の接続体４Ｂおよび変形例３の接続体４Ｃでは、可動体３の第１方向Ｚの一方側Ｚ１に配置される第１接続体４１と、可動体３の第１方向Ｚの他方側Ｚ２に配置される第２接続体４２とが、それぞれ、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分、および可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分に接続されている。このようにすれば、第１接続体４１により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。また、第２接続体４２により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。

図１１（ａ）に示すように、変形例２の接続体４Ｂでは、第１接続体４１および第２接続体４２は、第１方向Ｚから見た場合に十字形状である。第１接続体４１は、第１ヨーク６４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂのそれぞれと、第３方向Ｙに突出する一対の第１板部第２突部６４０ｃのそれぞれと、第１板部中央部６４０ａと、に接続されている。第２接続体４２は、第２ヨーク７４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第２板部第１突部７４０ｂのそれぞれと、第３方向Ｙに突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃのそれぞれと、第２板部中央部７４０ａと、に接続されている。

本例によれば、第１接続体４１により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。また、第２接続体４２により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。さらに、本例によれば、一つの部材からなる第１接続体４１を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と支持体２とを接続するとともに、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と支持体２とを接続できる。また、一つの部材からなる第２接続体４２を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と支持体２とを接続するとともに、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と、支持体２と、を接続できる。

図１１（ｂ）に示すように、変形例２の接続体４Ｃでは、第１接続体４１は、第２方向Ｘにおける可動体３の一方側Ｘ１の端側部分に接続された第１の一方側第１接続体４１ａと、他方側Ｘ２の端側部分に接続された第１の他方側第１接続体４１ｂと、第３方向Ｙにおける可動体３の一方側Ｙ１の端側部分に接続された第２の一方側第１接続体４１ｃと、他方側Ｙ２の端側部分に接続された第２の他方側第１接続体４１ｄと、を備える。第２接続体４２も、第１接続体４１と同様に、第２方向Ｘにおける可動体３の一方側Ｘ１の端側部分に接続された第１の一方側第２接続体４２ａと、他方側Ｘ２の端側部分に接続された
第１の他方側第２接続体４２ｂと、第３方向Ｙにおける可動体３の一方側Ｙ１の端側部分に接続された第２の一方側第２接続体４２ｃと、他方側Ｙ２の端側部分に接続された第２の他方側第２接続体４２ｄと、を備える。第１の一方側第１接続体４１ａと第１の他方側第１接続体４１ｂは、第１ヨーク６４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂのそれぞれに接続されている。第２の一方側第１接続体４１ｃと第２の他方側第１接続体４１ｄは、第１ヨーク６４において、第３方向Ｙの両側に突出する一対の第１板部第２突部６４０ｃのそれぞれに接続されている。第１の一方側第２接続体４２ａと第１の他方側第２接続体４２ｂは、第２ヨーク７４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃのそれぞれに接続されている。第２の一方側第２接続体４２ｃと第２の他方側第２接続体４２ｄは、第２ヨーク７４において、第３方向Ｙの両側に突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃのそれぞれに接続されている。

本例によれば、第１接続体４１により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。また、第２接続体４２により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。

図１２（ａ）に示すように、変形例４の接続体４Ｄでは、第１接続体４１および第２接続体４２は、第１方向Ｚから見た場合に、円形である。図１２（ｂ）に示すように、変形例５の接続体４Ｅでは、第１接続体４１および第２接続体４２は、第１方向Ｚから見た場合に、矩形である。変形例５の接続体は、対角にある２つの角部を第２方向Ｘと第３方向Ｙとに向けている。変形例４、５において、第１接続体４１は、第１ヨーク６４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂのそれぞれと、第３方向Ｙに突出する一対の第１板部第２突部６４０ｃのそれぞれと、第１板部中央部６４０ａと、に接続されている。第２接続体４２は、第２ヨーク７４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第２板部第１突部７４０ｂのそれぞれと、第３方向Ｙに突出する一対の第２板部第２突部７４０ｃのそれぞれと、第２板部中央部７４０ａと、に接続されている。

変形例４、５によれば、第１接続体４１により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。また、第２接続体４２により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。さらに、本例によれば、一つの部材からなる第１接続体４１を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と支持体２とを接続するとともに、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と支持体２とを接続できる。また、一つの部材からなる第２接続体４２を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と支持体２とを接続するとともに、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と、支持体２と、を接続できる。

図１３（ａ）に示す変形例６の接続体４Ｆでは、第１接続体４１および第２接続体４２は、第１方向Ｚから見た場合に、円形である。図１３（ｂ）に示す変形例７の接続体４Ｇでは、第１接続体４１および第２接続体４２は、第１方向Ｚから見た場合に、矩形である。第１接続体４１および第２接続体４２は、２辺の対向方向を、第２方向Ｘと第３方向Ｙとに向けている。変形例６の接続体４Ｆおよび変形例７の接続体４Ｇは、第１方向Ｚから見た場合に、ヨーク６４、７４から外周側に突出する突出部分を備える大きさである。変形例６、７において、第１接続体４１は、第１ヨーク６４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部６４０ｂのそれぞれと、第３方向Ｙに突出する一対の第１板部第２突部６４０ｃのそれぞれと、第１板部中央部６４０ａと、を被う。第２接続体４２は、第２ヨーク７４において、第２方向Ｘの両側に突出する一対の第１板部第１突部７４０ｂのそれぞれと、第３方向Ｙに突出する一対の第１板部第２突部７４０ｃのそれぞれと、第２板部中央部７４０ａと、を被う。

変形例６、７によれば、第１接続体４１により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。また、第２接続体４２により、第２方向Ｘへの可動体３の揺動および第３方向Ｙへの可動体３の揺動を抑制できる。さらに、本例によれば、一つの部材からなる第１接続体４１を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と支持体２とを接続するとともに、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と支持体２とを接続できる。また、一つの部材からなる第２接続体４２を用いて、可動体３における第２方向Ｘの一方側Ｘ１の端側部分および他方側Ｘ２の端側部分と支持体２とを接続するとともに、可動体３における第３方向Ｙの一方側Ｙ１の端側部分および他方側Ｙ２の端側部分と、支持体２と、を接続できる。

（その他の実施の形態）
上記実施の形態では、接続体４としてゲル状部材を用いたが、ゴムやバネ等を接続体４として用いてもよい。また、接続体４の形状は、上記以外に楕円形や他の多角形などであってもよい。

上記実施の形態では、第１方向Ｚの一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に向かって、第１ヨーク６４、第１磁石６２１、第１コイル６１、第１磁石６２２、第３ヨーク８４、第２磁石７２１、第２コイル７１、第２磁石７２２、および第２ヨーク７４が順に配置されている。これに対して、第１磁気駆動回路６および第２磁気駆動回路７の各々に磁石が１つずつ用いられている場合に本例を適用してもよい。例えば、第１ヨーク６４、第１コイル６１、第１磁石６２２、第３ヨーク８４、第２磁石７２１、第２コイル７１、および第２ヨーク７４が順に配置されたアクチュエータ１に本例を適用してもよい。また、第１ヨーク６４、第１磁石６２１、第１コイル６１、第３ヨーク８４、第２コイル７１、第２磁石７２２、および第２ヨーク７４が順に配置されたアクチュエータ１に本例を適用してもよい。

上記実施の形態では、コイルおよびコイルホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびコイルホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本例を適用してもよい。

１…アクチュエータ、２…支持体、３…可動体、４,４Ａ～４Ｇ…接続体、６…第１磁気駆動回路、７…第２磁気駆動回路、９…フレキシブル配線基板、１１…第１コイルホルダ、１２…第２コイルホルダ、２０…ピン、２７…拘束部材、２８…第１板状部材、２９…第２板状部材、４１…第１接続体、４１ａ…一方側第１接続体、４１ｂ…他方側第１接続体、４１ｃ…第２の一方側第１接続体、４１ｄ…第２の他方側第１接続体、４２…第２接続体、４２ａ…一方側第２接続体、４２ｂ…他方側第２接続体、４２ｃ…第２の一方側第２接続体、４２ｄ…第２の他方側第２接続体、６１…第１コイル、６２…第２コイル、６４…第１ヨーク、６６…第１枠部、６７…第１補強枠、６９…第１柱状部、７１…第２コイル、７２…第２コイル、７４…第２ヨーク、７６…第２枠部、７７…第２補強枠、７９…第２柱状部、８４…第３ヨーク（磁性部材）、９０…屈曲部、９０…屈曲した屈曲部、９１…第１部分、９２…第２部分、９３…第３部分、９４…第４部分、２８１…第１端板部、２８１ａ…第１端板中央部、２８１ｂ…第１端板第１突部、２８１ｃ…第１端板第２突部、２８２…第１側板部、２９１…第２端板部、２９１ａ…第２端板中央部、２９１ｂ…第２端板第１突部、２９１ｃ…第２端板第２突部、２９２…第２側板部、６１１、６１２…第１有効辺部分、６１３、６１４…第１無効辺部分、６２１、６２２…第１磁石、６４０…第１板部、６４０ａ…第１板部中央部、６４０ｂ…第１板部第１突部、６４０ｃ…第１板部第２突部、６４１、６４２…第１延設部、６４１、６４２…一対の第１延設部、６４１ａ…凹部、６６０…第１開口部、６６１、６６２…第１座部、６６５…凹部、６６
６…凸部、７１１、７１２…第２有効辺部分、７１３、７１４…第２無効辺部分、７２１、７２２…第２磁石、７２２…第２磁石、７４０…第２板部、７４０ａ…第２板部中央部、７４０ｂ…第２板部第１突部、７４０ｃ…第２板部第２突部、７４１、７４２…第２延設部、７４１ａ…凹部、７６０…第２開口部、７６１、７６２…第２座部、７６５…凹部、７６６…凸部、８４０…板部、Ｅ１…第１作用点、Ｅ２…第２作用点、Ｘ…第２方向（第１移動方向）、Ｙ…第３方向（第２移動方向）、Ｚ…第１方向（直交方向）

Claims

支持体と、
可動体と、
前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、
前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、
前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、
前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、
前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、
前記第１接続体と前記第２接続体とは、それぞれが、前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分、および前記可動体における前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続され、
前記第１接続体および前記第２接続体は、前記直交方向から見た場合に、十字形状であることを特徴とするアクチュエータ。
支持体と、
可動体と、
前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、
前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前
記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、
前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、
前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、
前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、
前記第１接続体と前記第２接続体とは、前記第１接続体が前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続され、かつ、前記第２接続体が前記可動体の前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続されており、
第１接続体は、前記直交方向から見た場合の形状が第１移動方向を長辺方向とする長方形形状であり、
第２接続体は、前記直交方向から見た場合の形状が第２移動方向を長辺方向とする長方形形状であることを特徴とするアクチュエータ。
支持体と、
可動体と、
前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、
前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、
前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、
前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、
前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、
前記第１接続体と前記第２接続体とは、前記第１接続体が前記第１移動方向に１列に配列され、前記第１接続体が接続される位置は、前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分の２箇所であり、かつ、前記第２接続体が前記第２移動方向に１列に配列され、前記第２接続体が配置される位置は、前記可動体の前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分の２箇所であることを特徴とするアクチュエータ。
支持体と、
可動体と、
前記可動体を第１移動方向に移動させる第１磁気駆動回路と、
前記可動体を前記第１移動方向と交差する第２移動方向に移動させる第２磁気駆動回路
と、
弾性および粘弾性の少なくとも一方を備え、前記可動体と前記支持体とに接続されて前記可動体を前記第１移動方向および前記第２移動方向に変位可能に支持する第１接続体および第２接続体と、を有し、
前記第１磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第１コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記第１移動方向および前記第２移動方向と直交する直交方向で前記第１コイルに対向する第１磁石と、を備え、
前記第２磁気駆動回路は、前記支持体および前記可動体のうちの一方側部材に設けられた第２コイルと、前記支持体および前記可動体のうちの他方側部材に設けられて前記直交方向で前記２コイルに対向する第２磁石と、を備え、
前記第１磁気駆動回路は、前記第２磁気駆動回路の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第１接続体は、前記可動体の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第２接続体は、前記可動体の前記直交方向の他方側に位置し、
前記第１接続体と前記第２接続体とは、それぞれが、前記可動体における前記第１移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分、および前記可動体における前記第２移動方向の一方側の端側部分および他方側の端側部分に接続され、
前記第１および前記第２接続体は、前記第１移動方向および前記第２移動方向を対角方向とする矩形状であることを特徴とするアクチュエータ。
前記第１コイルおよび前記第２コイルは、前記支持体の側に設けられ、
前記第１磁石および前記第２磁石は、前記可動体の側に設けられていることを特徴とする請求項１から４のうちの何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記可動体は、前記第１磁石が固定された第１板部を有する第１ヨークと、前記第２磁石が固定された第２板部を有する第２ヨークと、を備え、
前記第１板部は、前記第１コイルおよび前記第１磁石の前記直交方向の一方側に位置し、
前記第２板部は、前記第２コイルおよび前記第２磁石の前記直交方向の他方側に位置し、
前記第１板部を前記直交方向から見た場合の形状は、前記第１移動方向の両側に突出する一対の第１板部第１突部および前記第２移動方向の両側に突出する一対の第１板部第２突部を備える十字形状であり、
前記第２板部を前記直交方向から見た場合の形状は、前記第１移動方向の両側に突出する一対の第２板部第１突部および前記第２移動方向の両側に突出する第２板部第２突部を備える十字形状であり、
前記第１接続体は、一対の前記第１板部第１突部および一対の前記第１板部第２突部の少なくとも一方に接続されており、
前記第２接続体は、一対の前記第２板部第１突部および一対の前記第２板部第２突部の少なくとも一方に接続されていることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。
前記可動体は、前記直交方向で前記第１磁気駆動回路と前記第２磁気駆動回路との間に位置する磁性部材を備え、
前記第１ヨークは、前記第１移動方向の両側に突出する一対の第１板部第１突部の両端部のそれぞれから前記直交方向に延びる一対の第１延設部を備え、
前記第２ヨークは、前記第２移動方向の両側に突出する一対の第２板部第２突部の両端部のそれぞれから前記直交方向に延びる一対の第２延設部を備え、
前記磁性部材には、一対の前記第１延設部の前記直交方向の他方側の端、および、前記一対の前記第２延設部の前記直交方向の一方側の端が接続されていることを特徴とする請求項６に記載のアクチュエータ。
前記第１接続体および前記第２接続体は、ゲル状部材であることを特徴とする請求項１から６のうちのいずれか一項に記載のアクチュエータ。