JPWO2018180946A1

JPWO2018180946A1 - アクチュエータ

Info

Publication number: JPWO2018180946A1
Application number: JP2018518678A
Authority: JP
Inventors: 北原　裕士; 裕士北原; 正武田; 将生土橋
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2017-03-30
Filing date: 2018-03-23
Publication date: 2020-02-06
Anticipated expiration: 2038-03-23
Also published as: US20210104943A1; CN110521096A; WO2018180946A1; JP7039465B2; CN110521096B; US11283338B2

Abstract

アクチュエータ（１）において、磁気駆動回路に用いたコイルまたは磁石を保持する複数のホルダをガタつくことなく第１方向に重ねて配置するために、第１磁気駆動回路（６）の第１コイルホルダ（６５）、第２磁気駆動回路（７）の第２コイルホルダ（７５）、および第３磁気駆動回路（８）の第３コイルホルダ（８５）がＺ方向に重ねて配置され、第１コイルホルダ（６５）、第２コイルホルダ（７５）および第３コイルホルダ（８５）は、拘束部材（９０）によってＺ方向で締め付けられている。このため、第１コイルホルダ（６５）、第２コイルホルダ（７５）および第３コイルホルダ（８５）をガタつくことなくＺ方向に重ねて配置することができる。拘束部材（９０）は、サイズおよび形状を含めて構成が同じような第１部材（９１）と第２部材（９２）とによって構成されている。

Description

本発明は、各種振動を発生させるアクチュエータに関するものである。

磁気駆動回路によって振動を発生させる機器として、磁石を備えた支持体と、磁石と対向するコイルを備えた可動体とを有し、可動体と支持体との間に弾性部材が配置されたアクチュエータが提案されている（特許文献１参照）。また、特許文献１に記載のアクチュエータでは、第１方向に板厚方向を向けたホルダにおいて、第１方向に直交する第２方向で離間する位置に２つの第１コイルが設けられている一方、第１方向および第２方向に対して直交する第３方向で離間する位置に２つの第２コイルを設けられている。また、支持体には、第１コイルに対して第１方向の両側に第１磁石が配置され、第２コイルに対して第１方向の両側に第２磁石が配置されている。したがって、第１コイルおよび第１磁石は、可動体を第２方向に振動させる第１磁気駆動回路を構成し、第２コイルおよび第２磁石は、可動体を第３方向に振動させる第２磁気駆動回路を構成している。それゆえ、アクチュエータによって、第２方向の振動や第３方向の振動を発生させる。

特開２０１６−１２７７８９号公報

特許文献１に記載のアクチュエータにおいて、可動体では、第１方向に板厚方向を向けたホルダに対して第１コイルおよび第２コイルが平面的に設けられているため、可動体の平面積が大きい。かかる問題を解消するには、第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路を第１方向に重ねて配置すればよいが、その場合、第１磁気駆動回路のコイルまたは磁石を保持する第１ホルダと、第２磁気駆動回路のコイルまたは磁石を保持する第２ホルダを第１方向に重ねて配置することになる。その結果、部品公差等の影響でホルダにガタ付きが発生してしまう。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、磁気駆動回路に用いたコイルまたは磁石を保持する複数のホルダをガタつくことなく第１方向に重ねて配置することのできるアクチュエータを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、第１ホルダおよび前記第１ホルダに第１方向で重なる第２ホルダを備えた支持体と、前記支持体に対して移動可能な可動体と、前記第１ホルダに第１コイルおよび第１磁石の一方が保持され、前記可動体に他方が保持されて、前記可動体を前記第１方向と直交する第２方向に駆動する第１磁気駆動回路と、前記第２ホルダに第２コイルおよび第２磁石の一方が保持され、前記可動体に他方が保持されて、前記可動体を前記第１方向と直交し、前記第２方向と交差する第３方向に駆動する第２磁気駆動回路と、前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記第１方向の両側から締め付けて拘束する拘束部材と、を有し、前記拘束部材は、前記第１ホルダに前記第１方向の一方側から直接または他の部材を介して重なる第１部分と、前記第２ホルダに前記第１方向の他方側から直接または他の部材を介して重なる第２部分と、前記支持体の前記第２方向の一方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第３部分と、前記支持体の前記第２方向の他方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第４部分と、前記支持体の前記第３方向の一方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第５部分と、前記支持体の前記第３方向の他方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第６部分と、を備えていることを特徴とする。

本発明に係るアクチュエータにおいて、支持体では、磁気駆動回路のコイルまたは磁石を保持する複数のホルダ（第１ホルダおよび第２ホルダ）が第１方向に重ねて配置されている。このため、複数の磁気駆動回路（第１磁気駆動回路および第２磁気駆動回路）が第１方向に重ねて配置されている。したがって、アクチュエータを第１方向からみたときのサイズ（平面積）が小さい。また、複数のホルダが第１方向で重ねて配置されているが、拘束部材は、複数のホルダを第１方向の両側から締め付けて拘束している。このため、複数のホルダをガタつくことなく第１方向に重ねて配置することができる。

本発明において、前記拘束部材は、前記第１部分の前記第２方向の一方側の端部および前記第２方向の他方側の端部から前記第３部分および前記第４部分が前記第１方向の他方側に向けて折れ曲がった第１部材と、前記第２部分の前記第３方向の一方側の端部および前記第２方向の他方側の端部から前記第５部分および前記第６部分が前記第１方向の一方側に向けて折れ曲がった第２部材と、を有し、前記第３部分および前記第４部分の前記第１方向の他方側の端部は各々、前記第２部分に連結され、前記第５部分および前記第６部分の前記第１方向の一方側の端部は各々、前記第１部分に連結されている態様を採用することができる。

本発明において、前記第１部材および前記第２部材は各々、金属製の板状部材であって、前記第３部分および前記第４部分の前記第１方向の他方側の端部は各々、前記第２部分に溶接により連結され、前記第５部分および前記第６部分の前記第１方向の一方側の端部は各々、前記第１部分に連結されている態様を採用することができる。

本発明において、前記第１部材と前記第２部材とは、サイズおよび形状を含めて構成が同じような構成である態様を採用することができる。かかる態様によれば、第１部材および第２部材に共通の拘束部材を用いることもできる。したがって、アクチュエータのコストを低減することができる。

本発明において、前記第１ホルダは、前記第１コイルまたは前記第１磁石を保持する第１保持部と、前記第１保持部の端部で前記第１方向に突出した複数の第１柱状部と、を備え、前記第２ホルダは、前記第２コイルまたは前記第２磁石を保持する第２保持部と、前記第２保持部の端部で前記第１方向に突出した複数の第２柱状部と、を備え、前記複数の第１柱状部と前記複数の第２柱状部とは各々、連結されている態様を採用することができる。

本発明では、前記支持体において前記第２ホルダに対して前記第１ホルダとは反対側に重ねて配置された第３ホルダと、前記第３ホルダに第３コイルおよび第３磁石の一方が保持され、前記可動体に他方が保持されて、前記可動体を前記第２方向に駆動する第３磁気駆動回路と、を有し、前記拘束部材は、前記第１ホルダ、前記第２ホルダおよび前記第３ホルダを前記第１方向の両側から締め付けて拘束している態様を採用することができる。

本発明において、前記第１ホルダは、前記第１コイルを保持する第１コイルホルダであり、前記第２ホルダは、前記第２コイルを保持する第２コイルホルダである態様を採用することができる。

本発明の実施の形態１に係るアクチュエータの斜視図である。図１に示すカバーを外した状態のアクチュエータの分解斜視図である。図１に示すアクチュエータを第１方向および第２方向に切断したときの説明図である。図１に示すアクチュエータを第１方向および第３方向に切断したときの説明図である。図１に示す第１端板および第２端板を外した状態のアクチュエータの分解斜視図である。図１に示すアクチュエータに用いた磁気駆動回路を分解したときの分解斜視図である。図６に示す第１磁気駆動回路の分解斜視図である。図６に示す第２磁気駆動回路の分解斜視図である。図６に示す第３磁気駆動回路の分解斜視図である。本発明を適用したアクチュエータに用いられる拘束部材の変形例を示す説明図である。

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、互いに交差する３つの方向を各々、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向として説明する。Ｚ方向はＸ方向およびＹ方向に対して直交する方向である。また、Ｘ方向の一方側にＸ１を付し、Ｘ方向の他方側にＸ２を付し、Ｙ方向の一方側にＹ１を付し、Ｙ方向の他方側にＹ２を付し、Ｚ方向の一方側にＺ１を付し、Ｚ方向の他方側にＺ２を付して説明する。ここで、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向は各々、本発明における方向と以下の関係を有している。
Ｘ方向＝本発明における「第２方向」
Ｙ方向＝本発明における「第３方向」
Ｚ方向＝本発明における「第１方向」

（全体構成）
図１は、本発明を適用したアクチュエータ１の斜視図である。図２は、図１に示すアクチュエータから拘束部材を外した状態の分解斜視図である。図３は、図１に示すアクチュエータ１を第１方向（Ｚ方向）および第２方向（Ｘ方向）に切断したときの説明図である。図４は、図１に示すアクチュエータ１を第１方向（Ｚ方向）および第３方向（Ｙ方向）に切断したときの説明図である。図５は、図１に示す第１端板２８および第２端板２９を外した状態のアクチュエータ１の分解斜視図である。

図１に示すように、本形態のアクチュエータ１は、直方体形状の本体部分１０と、本体部分１０を覆うカバー９とを有している。本体部分１０のＹ方向の一方側Ｙ１の面にはフレキシブル配線基板からなる配線基板１６が貼付されている。配線基板１６には、複数の電極１６１および配線パターン１６２が形成されており、かかる電極１６１には、後述するコイルの端部が接続される。

図３、図４および図５に示すように、アクチュエータ１は、支持体２と、可動体３と、支持体２と可動体３との間に配置された弾性部材４とを有しており、可動体３は、弾性部材４を介してＺ方向、Ｘ方向およびＹ方向に移動可能に支持体２に支持されている。また、アクチュエータ１は、可動体３を支持体２に対してＸ方向およびＹ方向に駆動して振動させる複数の磁気駆動回路（第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８）を有している。

支持体２は、Ｚ方向の一方側Ｚ１の端部および他方側Ｚ２の端部に、第１端板２８および第２端板２９を有している。第１端板２８は、可動体３に対してＺ方向の一方側Ｚ１で対向しており、可動体３と第１端板２８との間に第１弾性部材４１（弾性部材４）が配置されている。第２端板２９は、可動体３に対してＺ方向の他方側Ｚ２で対向しており、可動体３と第２端板２９との間に第２弾性部材４２（弾性部材４）が配置されている。

本形態において、弾性部材４は、粘弾性を備えた粘弾性体であり、本形態では、弾性部材４（粘弾性体）として板状のゲル状ダンパー部材が用いられている。第１弾性部材４１は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第１端板２８に接着等の方法で接続されている。第２端板２９は、第２弾性部材４２は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第２端板２９に接着等の方法で接続されている。すなわち、弾性部材４は、可動体３に対する第１方向Ｚの一方側Ｚ１、および可動体３に対する第１方向Ｚの他方側Ｚ２の各々に設けられている。また、弾性部材４は、可動体３、および支持体２において可動体３に第１方向Ｚの一方側Ｚ１で対向する部分（第１端板２８）の双方に接する第１弾性部材４１と、可動体３、および支持体２において可動体３に第１方向Ｚの他方側Ｚ２で対向する部分（第２端板２９）の双方に接する第２弾性部材４２として配置されている。

ゲル状ダンパー部材は、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、板状のゲル状ダンパー部材は、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分よりも線形の成分が大きい伸縮特性を備える。また、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合も、非線形の成分よりも線形の成分が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体３がＸ方向およびＹ方向に振動した際、弾性部材４（粘弾性体）は、せん断方向に変形するように構成されている。

複数の磁気駆動回路（第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８）はいずれも、コイルと、コイルの各々と対向する磁石とを有している。コイルは、支持体２および可動体３の一方側部材に設けられ、磁石は、他方側部材に設けられる。また、コイルおよび磁石のうち、支持体２の側に設けられている一方の部材は、支持体２の側に設けられたホルダに保持され、他方の部材は可動体３に保持されている。本形態では、以下に説明するように、コイル（第１コイル６１、第２コイル７１、および第３コイル８１）が支持体２に設けられている。したがって、ホルダは、コイル（第１コイル６１、第２コイル７１、および第３コイル８１）を保持するコイルホルダ（第１コイルホル６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５）として構成されている。また、磁石（第１磁石、６２２、第２磁石７２１、７２２、および第３磁石８２１）、およびヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）が可動体３に設けられている。また、第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８は、Ｚ方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねて配置されている。

（駆動回路の構成）
図６は、図１に示すアクチュエータ１に用いた磁気駆動回路を分解したときの分解斜視図である。図３、図４、図５および図６に示すように、第１磁気駆動回路６は、第１コイル６１と、第１コイル６１にＺ方向の他方側Ｚ２で対向する第１磁石６２２とを有している。第２磁気駆動回路７は、第２コイル７１と、第２コイル７１にＺ方向の一方側Ｚ１で対向する第２磁石７２１と、第２コイル７１にＺ方向の他方側Ｚ２で対向する第２磁石７２２とを有している。第３磁気駆動回路８は、第３コイル８１と、第３コイル８１にＺ方向の一方側Ｚ１で対向する第３磁石８２１とを有している。

このように構成した第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８をＺ方向に重ねて配置するために、支持体２は、第１コイル６１を保持する第１コイルホルダ６５と、第２コイル７１を保持する第２コイルホルダ７５と、第３コイル８１を保持する第３コイルホルダ８５とを有しており、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５は、Ｚ方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねて配置されている。また、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５は、Ｚ方向で隣り合うコイルホルダ同士が連結されている。

また、可動体３は、第１コイル６１に対してＺ方向の一方側Ｚ１、第１コイル６１と第２コイル７１との間、第２コイル７１と第３コイル８１との間、および第３コイル８１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置された複数のヨーク（第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４）を備えており、第１磁石６２２、第２磁石７２１、７２２、および第３磁石８２１は各々、複数のヨークのいずれかに保持されている。また、複数のヨークは、Ｚ方向で隣り合うヨーク同士が連結されている。

本形態において、複数のヨークには、第１コイル６１に対してＺ方向の一方側Ｚ１に配置された第１ヨーク６４（ヨーク板６４１）と、第２コイル７１に対してＺ方向の両側に配置された第２ヨーク７４（ヨーク板７４１、７４２）と、第３コイル８１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置された第３ヨーク８４とが含まれている。ここで、第２ヨーク７４は、第２コイル７１に対してＺ方向の両側に配置された第２磁石７２１、７２２を保持している。また、第２ヨーク７４は、第１コイル６１にＺ方向の他方側Ｚ２で対向する第１磁石６２２、および第３コイル８１にＺ方向の一方側Ｚ１で対向する第３磁石８２１を保持している。したがって、第１ヨーク６４および第３ヨーク８４は、磁石を保持していない。

（第１磁気駆動回路６の詳細構成）
図７は、図６に示す第１磁気駆動回路６の分解斜視図である。図５、図６および図７に示すように、第１コイルホルダ６５は、第１コイル６１を内側に保持する第１枠部６６（第１コイル保持部）と、第１枠部６６の端部（４つの角）からＺ方向の両側に向けて突出した複数の第１柱状部６９とを備えており、第１柱状部６９は、第１端板２８と連結されている。第１コイルホルダ６５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第１コイルホルダ６５および第１端板２８は樹脂製であり、第１柱状部６９と第１端板２８とは接着等により連結されている。

第１磁気駆動回路６に用いた第１コイル６１は、Ｙ方向に延在する第１有効辺部分６１１、６１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第１コイルホルダ６５の第１枠部６６には、Ｙ方向に長径方向を向けた長円形状の第１開口部６７が形成されており、第１開口部６７の内側に第１コイル６１が接着等により固定される。

第１コイルホルダ６５において、第１枠部６６に対してＺ方向の他方側Ｚ２には、第１開口部６７のＹ方向の両端部と重なる位置に、第１コイル６１の両端部でＹ方向に延在する第１無効辺部分６１３、６１４（短辺部分）をＺ方向の他方側Ｚ２で支持する第１座部６８１、６８２が形成されている。第１座部６８１、６８２は、第１枠部６６からＺ方向の他方側Ｚ２に突出し、第１開口部６７のＸ方向の両端部でＺ方向の他方側Ｚ２の底部を構成している。なお、第１枠部６６のＺ方向の一方側Ｚ１の面には、第１開口部６７から縁まで凹部（図示せず）が延在しており、かかる凹部は、第１コイル６１の巻き始めの引き出し部分を通すためのガイド部である。第１枠部６６の厚さ（Ｚ方向の寸法）は、第１コイル６１の厚さ（Ｚ方向の寸法）より大である。このため、第１開口部６７の内側に第１コイル６１が収容された状態で、第１コイル６１は、第１枠部６６からＺ方向の一方側Ｚ１に突出していない。

第１磁石６２２は、長方形の平面形状を有しており、Ｘ方向に長辺が延在し、Ｙ方向に短辺が延在している。第１磁石６２２は、Ｘ方向に分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第１コイル６１の第１有効辺部分６１１、６１２に対向している。したがって、第１コイル６１に通電すると、第１磁気駆動回路６は、可動体３をＸ方向に駆動する駆動力を発生させる。第１磁気駆動回路６において、第１ヨーク６４は、第１コイル６１に対してＺ方向の一方側Ｚ１に配置されたヨーク板６４１からなる。ヨーク板６４１は、Ｘ方向の両端部からＺ方向の他方側Ｚ２に向けて折れ曲がった側板部６４１ｂ、６４１ｃを有しており、側板部６４１ｂ、６４１ｃの先端には凹部が形成されている。

（第２磁気駆動回路７の詳細構成）
図８は、図６に示す第２磁気駆動回路７の分解斜視図である。図５、図６および図８に示すように、第２コイルホルダ７５は、第２コイル７１を内側に保持する第２枠部７６（第２コイル保持部）と、第２枠部７６の端部（４つの角）からＺ方向の両側に突出した複数の第２柱状部７９とを備えており、第２柱状部７９は、Ｚ方向の一方側Ｚ１で隣り合う第１コイルホルダ６５の第１柱状部６９と連結されている。第２コイルホルダ７５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第２コイルホルダ７５は樹脂製であり、第１柱状部６９と第２柱状部７９は接着等により連結されている。

第２磁気駆動回路７に用いた第２コイル７１は、Ｘ方向に延在する第２有効辺部分７１１、７１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第２コイルホルダ７５の第２枠部７６には、Ｘ方向に長径方向を向けた長円形状の第２開口部７７が形成されており、第２開口部７７の内側に第２コイル７１が接着等により固定される。

第２コイルホルダ７５において、第２枠部７６に対してＺ方向の一方側Ｚ１には、第２開口部７７のＸ方向の両端部と重なる位置に、第２コイル７１の両端部でＹ方向に延在する第２無効辺部分７１３、７１４（短辺部分）をＺ方向の一方側Ｚ１で支持する第２座部７８１、７８２が形成されている。第２座部７８１、７８２は、第２枠部７６からＺ方向の一方側Ｚ１に突出し、第２開口部７７のＸ方向の両端部でＺ方向の一方側Ｚ１の底部を構成している。第２枠部７６には、第２開口部７７から縁に向けて凹部７６２が延在しており、かかる凹部７６２は、第２コイル７１の巻き始めの引き出し部分を通すガイド部である。第２枠部７６の厚さ（Ｚ方向の寸法）は、第２コイル７１の厚さ（Ｚ方向の寸法）より大である。このため、第２開口部７７の内側に第２コイル７１が収容された状態で、第２コイル７１は、第２枠部７６からＺ方向の他方側Ｚ２に突出していない。

第２磁石７２１、７２２は各々、長方形の平面形状を有しており、Ｙ方向に長辺が延在し、Ｙ方向に短辺が延在している。第２磁石７２１、７２２は各々、Ｙ方向に分極着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第２コイル７１の第２有効辺部分７１１、７１２に対向している。したがって、第２コイル７１に通電すると、第２磁気駆動回路７は、可動体３をＹ方向に駆動する駆動力を発生させる。第２磁気駆動回路７において、第２ヨーク７４は、第２コイル７１に対してＺ方向の一方側Ｚ１に配置されたヨーク板７４１と、第２コイル７１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置されたヨーク板７４２とからなる。ヨーク板７４２は、第２磁石７２２をＺ方向の一方側Ｚ１の面で保持する平板状の磁石保持部７４２ａと、磁石保持部７４２ａのＹ方向の両端部からＺ方向の一方側Ｚ１に向けて折れ曲がった側板部７４２ｂ、７４２ｃと、磁石保持部７４２ａのＸ方向の両端部からＸ方向の両側に突出した連結板部７４２ｆ、７４２ｇとを有している。側板部７４２ｂ、７４２ｃの先端部には凸部が形成され、連結板部７４２ｆ、７４２ｇの先端部には切り欠きが形成されている。本形態では、ヨーク板７４２の磁石保持部７４２ａのＺ方向の他方側Ｚ２の面には、第３磁気駆動回路８の第３磁石８２１が保持されている。

ヨーク板７４１は、第２磁石７２１をＺ方向の他方側Ｚ２の面で保持する平板状の磁石保持部７４１ａと、磁石保持部７４１ａのＹ方向の両端部からＹ方向の一方側Ｙ１および他方側Ｙ２に突出した連結板部７４１ｂ、７４１ｃと、磁石保持部７４１ａのＸ方向の両端部からＸ方向の一方側Ｙ１および他方側Ｙ２に突出した連結板部７４１ｆ、７４１ｇとを有している。連結板部７４１ｂ、７４１ｃ、７４１ｆ、７４１ｇの先端部には切り欠きが形成されている。本形態では、ヨーク板７４２の磁石保持部７４２ａのＺ方向の他方側Ｚ２の面には、第３磁気駆動回路８の第３磁石８２１が保持されている。

本形態では、ヨーク板７４２の側板部７４２ｂの先端部に形成された凸部がヨーク板７４１の連結板部７４１ｂの先端部に形成された切り欠きに嵌った状態で、側板部７４２ｂの先端部と連結板部７４１ｂの先端部とが溶接やカシメ等により連結される。また、ヨーク板７４２の側板部７４２ｃの先端部に形成された凸部がヨーク板７４１の連結板部７４１ｃの先端部に形成された切り欠きに嵌った状態で、側板部７４２ｃの先端部と連結板部７４１ｃの先端部とが溶接やカシメ等により連結される。

また、ヨーク板７４１の連結板部７４１ｆの先端部に形成された切り欠きに、図７に示すヨーク板６４１の側板部６４１ｂの先端部に形成された凸部が嵌った状態で、側板部６４１ｂの先端部と連結板部７４１ｆの先端部とが溶接やカシメ等により連結される。また、ヨーク板７４１の連結板部７４１ｇの先端部に形成された切り欠きに、図７に示すヨーク板６４１の側板部６４１ｃの先端部に形成された凸部が嵌った状態で、側板部６４１ｃの先端部と連結板部７４１ｇの先端部とが溶接やカシメ等によって連結される。

（第３磁気駆動回路８の詳細構成）
図９は、図６に示す第３磁気駆動回路８の分解斜視図である。図５、図６および図９に示すように、第３コイルホルダ８５は、第３コイル８１を内側に保持する第３枠部８６（第３コイル保持部）と、第３枠部８６の端部（４つの角）からＺ方向の両側に突出した複数の第３柱状部８９とを備えており、第３柱状部８９は、Ｚ方向の一方側Ｚ１で隣り合う第２コイルホルダ７５の第２柱状部７９と連結されている。また、第３柱状部８９は、第２端板２９と連結されている。第３コイルホルダ８５は、樹脂製あるいは金属製である。本形態において、第３コイルホルダ８５は樹脂製であり、第２柱状部７９と第３柱状部８９とは接着等により連結されている。また、第２端板２９は樹脂製であり、第３柱状部８９と第２端板２９とは接着等により連結されている。

第３磁気駆動回路８は、第１磁気駆動回路６と同様に構成されている。より具体的には、第３磁気駆動回路８に用いた第３コイル８１は、Ｙ方向に延在する第３有効辺部分８１１、８１２（長辺部分）を有する長円形状の空芯コイルである。かかる形状に対応して、第３コイルホルダ８５の第３枠部８６には、Ｙ方向に長径方向を向けた長円形状の第３開口部８７が形成されており、第３開口部８７の内側に第３コイル８１が接着等により固定される。

第３コイルホルダ８５において、第３枠部８６に対してＺ方向の一方側Ｚ１には、第３開口部８７のＹ方向の両端部と重なる位置に、第３コイル８１の両端部でＸ方向に延在する第３無効辺部分８１３、８１４（短辺部分）をＺ方向の一方側Ｚ１で支持する第３座部８８１、８８２が形成されている。第３座部８８１、８８２は、第３枠部８６からＺ方向の一方側Ｚ１に突出し、第３開口部８７のＹ方向の両端部でＺ方向の一方側Ｚ１の底部を構成している。第３枠部８６には、第３開口部８７から縁に向けて凹部８６２が延在しており、かかる凹部８６２は、第３コイル８１の巻き始めの引き出し部分を通すためのガイド部である。第３枠部８６の厚さ（Ｚ方向の寸法）は、第３コイル８１の厚さ（Ｚ方向の寸法）より大である。このため、第３開口部８７の内側に第３コイル８１が収容された状態で、第３コイル８１は、第３枠部８６からＺ方向の他方側Ｚ２に突出していない。

第３磁石８２１は、長方形の平面形状を有しており、Ｘ方向に長辺が延在し、Ｙ方向に短辺が延在している。第３磁石８２１は、Ｘ方向で着磁されており、Ｎ極およびＳ極が各々、第３コイル８１の第３有効辺部分８１１、８１２に対向している。したがって、第３コイル８１に通電すると、第３磁気駆動回路８は、第１磁気駆動回路６と同様、可動体３をＸ方向に駆動する駆動力を発生させる。本形態において、第３磁石８２１は、第１磁気駆動回路６の第１磁石６２２と同一の向きに着磁されている。

第３磁気駆動回路８において、第３ヨーク８４は、第３コイル８１に対してＺ方向の他方側Ｚ２に配置されたヨーク板８４２とからなる。ヨーク板８４２は、Ｘ方向の両端部からＺ方向の一方側Ｚ１に向けて折れ曲がった側板部８４２ｂ、８４２ｃを有しており、側板部８４２ｂ、８４２ｃの先端部には凸部が形成されている。本形態では、ヨーク板８４２の側板部８４２ｂの先端部に形成された凸部がヨーク板７４２の連結板部７４２ｆの先端部に形成された切り欠きに嵌った状態で、側板部８４２ｂの先端部と連結板部７４２ｆの先端部とが溶接やカシメ等により連結される。また、ヨーク板８４２の側板部８４２ｃの先端部に形成された凸部がヨーク板７４２の連結板部７４２ｇの先端部に形成された切り欠きに嵌った状態で、側板部８４２ｃの先端部と連結板部７４２ｇの先端部とが溶接やカシメ等により連結される。

（磁気駆動回路の磁気的中心と可動体３の重心との位置関係）
このように構成したアクチュエータ１において、第１コイル６１、第２コイル７１、第３コイル８１、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、第３コイルホルダ８５、は、可動体３のＸ方向の中心を通ってＹ方向に延在する仮想線の中心とする線対称、かつ、Ｙ方向の中心を通ってＸ方向に延在する仮想線の中心とする線対称に構成されている。また、第１磁石６２２、第２磁石７２１、７２２、第３磁石８２１、第１ヨーク６４、第２ヨーク７４、および第３ヨーク８４は、可動体３のＸ方向の中心を通ってＹ方向に延在する仮想線の中心とする線対称、かつ、Ｙ方向の中心を通ってＸ方向に延在する仮想線の中心とする線対称に構成されている。また、第２コイル７１は、可動体３のＺ方向の中心に配置され、第２磁石７２１、７２２は、第２コイル７１を中心にＺ方向で面対称に配置されている。また、第１磁石６２２、および第１ヨーク６４は、第３磁石８２１および第３ヨーク８４に対して、第２コイル７１を中心にＺ方向で面対称に配置されている。

したがって、第２磁気駆動回路７の磁気的中心位置（駆動中心）は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。また、第１磁気駆動回路６の磁気的中心位置と第３磁気駆動回路８の磁気的中心位置とを合成した磁気的中心位置は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。

（拘束部材９０の構成）
再び図１および図２において、支持体２では、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５がＺ方向の一方側Ｚ１から他方側Ｚ２に順に重ねて配置されており、支持体２および本体部分１０の外形は、第１端板２８、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、第３コイルホルダ８５、および第２端板２９によって構成されている。

このように構成したアクチュエータ１を組み立てる際には、第１端板２８と、第１弾性部材４１と、第１ヨーク６４、第１コイル６１を保持した第１コイルホルダ６５と、第１磁石６２２、第２磁石７２１、７２２および第３磁石８２１を保持した第２ヨーク７４、第２コイル７１を保持した第２コイルホルダ７５と、第３コイル８１を保持した第３コイルホルダ８５と、第３ヨーク８４、第２弾性部材４２と、第２端板２９とをＺ方向に重ねて本体部分１０を構成する。次に、図１および図２に示すカバー９を取り付ける。その際、カバー９は、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５をＺ方向の両側から締め付けて拘束する拘束部材９０として機能する。

本形態において、拘束部材９０は、本体部分１０にＺ方向の一方側Ｚ１から被さった第１部材９１と、本体部分１０にＺ方向の他方側Ｚ２から被さった第２部材９２とからなり、第１部材９１と第２部材９２とを結合させた状態で、拘束部材９０（第１部分９１および第２部材９２）は、Ｚ方向の両側から重なる第１部分９０１および第２部分９０２が本体部分１０をＺ方向の両側から締め付ける。本形態において、第１部材９１および第２部材９２は、所定形状に折り曲げられた金属製の板状部材からなる。

より具体的には、第１部材９１は、第１コイルホルダ６５にＺ方向の一方側Ｚ１から第１端板２８および第１弾性部材４１を介して重なる板状の第１部分９０１と、第１部分９０１のＸ方向の一方側Ｘ１の端部からＺ方向の他方側Ｚ２に向けて折れ曲がった板状の第３部分９０３と、第１部分９０１のＸ方向の他方側Ｘ２の端部からＺ方向の他方側Ｚ２に向けて折れ曲がった板状の第４部分９０４とを有している。なお、第１部分９０１は、Ｙ方向の一方側Ｙ１の端部および他方側Ｙ２の端部でＺ方向の他方側Ｚ２部に向けて折れ曲がった連結部９０１ａ、９０１ｂを有している。

第２部材９２は、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５にＺ方向の他方側Ｚ２から第２端板２９および第２弾性部材４２を介して重なる板状の第２部分９０２と、第２部分９０２のＹ方向の一方側Ｙ１の端部からＺ方向の一方側Ｚ１に向けて折れ曲がった板状の第５部分９０５と、第２部分９０２のＹ方向の他方側Ｙ２の端部からＺ方向の一方側Ｚ１に向けて折れ曲がった板状の第６部分９０６とを有している。なお、第２部分９０２は、Ｘ方向の一方側Ｘ１の端部および他方側Ｘ２の端部でＺ方向の一方側Ｚ１に向けて折れ曲がった連結部９０２ａ、９０２ｂを有している。

本形態において、第１部材９１と第２部材９２とは、サイズおよび形状を含めて構成が全て同一な金属部材からなる。したがって、本体部分１０に対してＺ方向の両側から第１部材９１および第２部材９２を被せて両側から押圧して、第１端板２８、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、第３コイルホルダ８５および第２端板２９が第１柱状部６９、第２柱状部７９および第３柱状部８９での隙間がないように締め付けると、第１部分９０１の連結部９０１ａ、９０１ｂの先端部に第５部分９０５および第６部分９０６の先端部が重なり、第２部分９０２の連結部９０２ａ、９０２ｂの先端部に第３部分９０３および第４部分９０４の先端部が重なる。それゆえ、第１部分９０１の連結部９０１ａ、９０１ｂと第５部分９０５および第６部分９０６とを各々、溶接し、第２部分９０２の連結部９０２ａ、９０２ｂと第３部分９０３および第４部分９０４を各々、溶接すると、図１に示す状態となる。すなわち、拘束部材９０において、第３部分９０３は、支持体２のＸ方向の一方側Ｘ１で第１部分９０１および第２部分９０２に接続され、第４部分９０４は、支持体２のＸ方向の他方側Ｘ２で第１部分９０１および第２部分９０２に接続された状態となる。また、第５部分９０５は、支持体２のＹ方向の一方側Ｙ１で第１部分９０１および第２部分９０２に接続され、第６部分９０６は、支持体２のＹ方向の他方側Ｙ２で第１部分９０１および第２部分９０２に接続された状態となる。

この状態で、角部分では、第１部材９１と第２部材９２との隙間から、第１端板２８、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、第３コイルホルダ８５、および第２端板２９が露出している。このため、第１端板２８、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、第３コイルホルダ８５、および第２端板２９の各境界部分を溶接することができるので、余計な隙間を発生させずに、第１端板２８、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、第３コイルホルダ８５、および第２端板２９を連結することができる。なお、本形態では、第１部材９１と第２部材９２とは、全て同一な金属部材からなっているが、これに限定されることはない。これらの部材は、サイズおよび形状を含めて構成が同じような構成であればよい。

（基本動作）
本形態のアクチュエータ１において、第１コイル６１および第３コイル８１に交流を印加する一方、第２コイル７１への通電を停止すると、可動体３は、Ｘ方向に振動するため、アクチュエータ１における重心がＸ方向に変動する。このため、利用者は、Ｘ方向の振動を体感することができる。その際、第１コイル６１および第３コイル８１に印加する交流波形を調整して、可動体３がＸ方向の一方側Ｘ１に移動する加速度と、可動体３が第２方向の他方側Ｘ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、Ｘ方向において方向性を有する振動を体感することができる。

また、第２コイル７１に交流を印加する一方、第１コイル６１および第３コイル８１への通電を停止する。その結果、可動体３は、Ｙ方向に振動するため、アクチュエータ１における重心がＹ方向に変動する。このため、利用者は、Ｙ方向の振動を体感することができる。その際、第２コイル７１に印加する交流波形を調整して、可動体３がＹ方向の一方側Ｙ１に移動する加速度と、可動体３が第３方向の他方側Ｙ２に移動する加速度とを相違させれば、利用者は、Ｙ方向において方向性を有する振動を体感することができる。

また、第１コイル６１および第３コイル８１への通電と第２コイル７１への通電とを組み合わせれば、利用者は、Ｘ方向での振動とＹ方向での振動とを組み合わせた体感を得ることができる。さらに、第１コイル６１と第３コイル８１とに逆位相の交流を印加すると、可動体３には、Ｚ方向に延在する中心軸線周りの偶力が加わるので、利用者は、さらに複雑な体感を得ることができる。

（ストッパ機構）
本形態のアクチュエータ１では、可動体３が支持体２に対して過度に移動した際、強度の弱い個所が当接しないように、図３および図４に示すストッパ機構が設けられている。より具体的には、図４に示すように、第１磁石６２２に対してＹ方向の一方側Ｙ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第１コイルホルダ６５の第１座部６８１が位置し、第１磁石６２２に対してＹ方向の他方側Ｙ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第１コイルホルダ６５の第１座部６８２が位置している。また、第３磁石８２１に対してＹ方向の一方側Ｙ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第３コイルホルダ８５の第３座部８８１が位置し、第３磁石８２１に対してＹ方向の他方側Ｙ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第３コイルホルダ８５の第３座部８８２が位置している。本形態において、第１座部６８１、６８２のＹ方向で第１磁石６２２と対向する側端部が第１ストッパ部６８３、６８４として機能する。また、第３座部８８１、８８２のＹ方向で第３磁石８２１と対向する側端部が第３ストッパ部８８３、８８４として機能する。したがって、第２磁気駆動回路７によって可動体３をＹ方向に駆動した際の可動体３のＹ方向への可動範囲は、第１磁気駆動回路６の第１磁石６２２と第１コイルホルダ６５の第１座部６８１、６８２（第１ストッパ部６８３、６８４）とによって構成されたストッパ機構、および第３磁気駆動回路８の第３磁石８２１と第３コイルホルダ８５の第３座部８８１、８８２（第３ストッパ部８８３、８８４）とによって構成されたストッパ機構によって規制されている。

本形態において、第１ストッパ部６８３、６８４は、第１コイル６１の第１無効辺部分６１３、６１４の内縁より第１磁石６２２の側に位置している。このため、第１コイル６１の巻き始め側の引き出し部分が、例えば、第１無効辺部分６１３の内縁から第１コイル６１と第１座部６８１との間を通っている場合でも、第１コイル６１の巻き始め側の引き出し部分に第１磁石６２２が接触するという事態が発生しにくい。それゆえ、第１コイル６１の巻き始め側の引き出し部分が断線するという事態が発生しにくい。また、第３ストッパ部８８３、８８４は、第３コイル８１の第３無効辺部分８１３、８１４の内縁より第３磁石８２１の側に位置している。このため、第３コイル８１の巻き始め側の引き出し部分が、例えば、第３無効辺部分８１３の内縁から第３コイル８１と第３座部８８１との間を通っている場合でも、第３コイル８１の巻き始め側の引き出し部分に第３磁石８２１が接触するという事態が発生しにくい。それゆえ、第３コイル８１の巻き始め側の引き出し部分が断線するという事態が発生しにくい。

また、図３に示すように、第２磁気駆動回路７の第２磁石７２１に対してＸ方向の一方側Ｘ１で所定の間隔を介して対向する位置には、第２コイルホルダ７５の第２座部７８１が位置し、第２磁石７２１に対してＸ方向の他方側Ｘ２で所定の間隔を介して対向する位置には、第２コイルホルダ７５の第２座部７８２が位置している。本形態において、第２座部７８１および第２座部７８２のＸ方向で第２磁石７２１と対向する側端部が第２ストッパ部７８３、７８４として機能する。したがって、第１磁気駆動回路６および第３磁気駆動回路８によって可動体３をＸ方向に駆動した際の可動範囲は、第２磁気駆動回路７の第２磁石７２１と第２コイルホルダ７５の第２座部７８１、７８２（第２ストッパ部７８３、７８４）とによって構成されたストッパ機構によって規制されている。

本形態において、第２ストッパ部７８３、７８４は、第２コイル７１の第２無効辺部分７１３、７１４の内縁より第２磁石７２１の側に位置している。このため、第２コイル７１の巻き始め側の引き出し部分が、例えば、第２無効辺部分７１３の内縁から第２コイル７１と第２座部７８１との間を通っている場合でも、第２コイル７１の巻き始め側の引き出し部分に第２磁石７２１が接触するという事態が発生しにくい。それゆえ、第２コイル７１の巻き始め側の引き出し部分が断線するという事態が発生しにくい。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態のアクチュエータ１において、可動体３をＸ方向に振動させる第１磁気駆動回路６、可動体３をＹ方向に振動させる第２磁気駆動回路７、および可動体３をＸ方向に振動させる第３磁気駆動回路８が設けられているため、可動体３をＸ方向およびＹ方向に振動させることができる。したがって、使用者にＸ方向の振動、Ｙ方向の振動、Ｘ方向の振動とＹ方向の振動とを組み合わせた振動を体感させることができる。また、第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８がＺ方向に重ねて配置されているため、アクチュエータ１をＺ方向からみたときのサイズ（平面積）が小さい。それゆえ、本形態のアクチュエータ１は、手に持つコントローラ等の機器に搭載するのに適している。さらに、可動体３をＹ方向に振動させる第２磁気駆動回路７に対してＺ方向の両側に、可動体３をＸ方向に振動させる第１磁気駆動回路６および第３磁気駆動回路８が設けられているため、可動体３をＸ方向に振動させた際、可動体３が傾く等の事態が発生しにくい。また、第２磁気駆動回路７の磁気的中心位置（駆動点）は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。また、第１磁気駆動回路６の磁気的中心位置（駆動点）と第３磁気駆動回路８の磁気的中心位置（駆動点）とを合成した磁気的中心位置は、Ｚ方向、Ｘ方向、およびＹ方向において可動体３の重心と一致する位置、またはほぼ一致する位置にある。このため、可動体３をＸ方向およびＹ方向に振動させた際、可動体３が傾く等の事態が発生しにくい。

また、第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７、および第３磁気駆動回路８をＺ方向に重ねて配置した場合、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５をＺ方向に重ねて配置することになるが、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５は、第１端板２８および第２端板２９とともに、拘束部材９０によってＺ方向で締め付けられている。このため、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５をガタつくことなくＺ方向に重ねて配置することができる。また、拘束部材９０は、サイズおよび形状を含めて構成が全て同一である第１部材９１と第２部材９２とによって構成されている。拘束部材９０にかかるコストを低減することができるので、アクチュエータ１のコストを低減することができる。

また、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５は、第１コイルホルダ６５の第１柱状部６９、第２コイルホルダ７５の第２柱状部７９、および第３コイルホルダ８５の第３柱状部８９を介して連結しているので、第１コイル６１、第２コイル７１、および第３コイル８１の各間に磁石やヨークを配置するスペースを確保した状態で、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５、および第３コイルホルダ８５を一体化することができる。この場合でも、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５は、拘束部材９０によってＺ方向で締め付けられているため、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５を補強することができる。

また、弾性部材４は、粘弾性を備えた粘弾性部材であって、可動体３に対するＺ方向の一方側Ｚ１、および可動体３に対するＺ方向の他方側Ｚ２の各々に設けられている。このため、可動体３が支持体２に対してＸ方向およびＹ方向に振動するとき、弾性部材４は、伸縮方向と直交するせん断方向に変形する。したがって、弾性部材４は、線形性が高い範囲で変形するので、リニアリティが良好な振動特性を得ることができる。

すなわち、弾性部材４（第１弾性部材４１および第２弾性部材４２）は、粘弾性部材（板状のゲル状ダンパー部材）であって、その伸縮方向によって、線形あるいは非線形の伸縮特性を備える。例えば、その厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分が大きい伸縮特性を備える一方、厚さ方向（軸方向）に引っ張られて伸びる場合は、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。また、厚さ方向（軸方向）と交差する方向（せん断方向）に変形する場合、いずれの方向に動いても、引っ張られて伸びる方向の変形であるため、非線形の成分（バネ係数）よりも線形の成分（バネ係数）が大きい変形特性を持つ。本形態において、可動体３がＸ方向およびＹ方向に振動した際、弾性部材４（粘弾性部材）は、せん断方向に変形するように構成されている。したがって、弾性部材４では、可動体３がＸ方向およびＹ方向に振動した際、運動方向によるバネ力が一定となる。それゆえ、弾性部材４のせん断方向のバネ要素を用いることにより、入力信号に対する振動加速度の再現性を向上することができるので、微妙なニュアンスをもって振動を実現することができる。

また、弾性部材４は、可動体３と支持体２との間で第１方向Ｚに伸縮するように取り付けられ、弾性部材４が可動体３と支持体２との間で厚さ方向（軸方向）に押圧されて圧縮変形する際は、線形の成分（バネ係数）よりも非線形の成分（バネ係数）が大きい伸縮特性を備える。したがって、可動体３の駆動方向と直交するＺ方向では、弾性部材４が大きく変形することを抑制できるので、可動体３と支持体２とのギャップが大きく変化することを抑制できる。

また、第１弾性部材４１は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第１端板２８に接着等の方法で接続され、第２弾性部材４２は、Ｚ方向の両面が各々、可動体３および第２端板２９に接着等の方法で接続されている。したがって、弾性部材４は、可動体３の移動に確実に追従するので、可動体３の共振を効果的に防止することができる。

また、第１磁気駆動回路６および第３磁気駆動回路８によって可動体３をＸ方向に駆動した際の可動範囲は、第２磁気駆動回路７の第２磁石７２１と第２コイルホルダ７５の第２座部７８１、７８２とによって構成されたストッパ機構によって規制されている。また、第２磁気駆動回路７によって可動体３をＹ方向に駆動した際の可動体３のＹ方向への可動範囲は、第１磁気駆動回路６の第１磁石６２２と第１コイルホルダ６５の第１座部６８１、６８２とによって構成されたストッパ機構、および第３磁気駆動回路８の第３磁石８２１と第３コイルホルダ８５の第３座部８８１、８８２とによって構成されたストッパ機構によって規制されている。それゆえ、可動体３が過度に移動した場合でも、強度が弱い個所同士が当接しにくいので、アクチュエータ１の信頼性が高い。また、支持体２に対する可動体２Ｘ方向およびＹ方向への可動範囲は、第１コイルホルダ６５と第１磁石６２２との間に構成されたストッパ機構、および第２コイルホルダ７５と第２磁石７２１との間に構成されたストッパ機構、および第３コイルホルダ８５と第３磁石８２１との間に構成されたストッパ機構とによって規制される。かかるストッパ機構であれば、第１磁気駆動回路６、第２磁気駆動回路７および第３磁気駆動回路８に対してＺ方向で重なる位置に設けることができる。したがって、Ｚ方向からみたときのアクチュエータ１の平面積を縮小することができる。

［拘束部材９０の変形例］
図１０は、本発明を適用したアクチュエータ１に用いられる拘束部材９０の変形例を示す説明図である。上記実施の形態では、金属製の板状部材を予め折り曲げた第１部材９１および第２部材９２によって拘束部材９０を構成したが、本形態では、図１０に示すように、帯状に延在する第１部材９６および第２部材９７によって拘束部材９０が構成されている。

より具体的には、第１部材９６は、本体部分１０のＺ方向の他方側Ｚ２からＸ方向の一方側Ｘ１、Ｚ方向の一方側Ｚ１、およびＸ方向の他方側Ｘ２を通ってＺ方向の他方側Ｚ２に戻るように巻き付け、Ｚ方向の他方側Ｚ２で端部９７０を溶接等の方法で固定してある。また、第２部材９７は、本体部分１０のＺ方向の他方側Ｚ２からＹ方向の一方側Ｙ１、Ｚ方向の一方側Ｚ１、およびＹ方向の他方側Ｙ２を通ってＺ方向の他方側Ｚ２に戻るように巻き付け、Ｚ方向の他方側Ｚ２で端部９６０を溶接等の方法で固定してある。したがって、本形態の拘束部材９０において、第１部材９６は、第１コイルホルダ６５にＺ方向の一方側Ｚ１から直接重なる第１部分９０１と、第２コイルホルダ７５にＺ方向の他方側Ｚ２から第３コイルホルダ８５を介して重なる第２部分９０２と、支持体２のＸ方向の一方側Ｘ１で第１部分９０１および第２部分に接続された第３部分９０３と、支持体２のＸ方向の他方側Ｘ２で第１部分９０１および第２部分９０２に接続された第４部分９０４とを備えている。また、本形態の拘束部材９０において、第２部材９７は、第１コイルホルダ６５にＺ方向の一方側Ｚ１から直接重なる第１部分９０１と、第２コイルホルダ７５にＺ方向の他方側Ｚ２から第３コイルホルダ８５を介して重なる第２部分９０２と、支持体２のＹ方向の一方側Ｙ１で第１部分９０１および第２部分に接続された第５部分９０５と、支持体２のＹ方向の他方側Ｙ２で第１部分９０１および第２部分９０２に接続された第６部分９０６とを備えている。

このような構成でも、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５は、拘束部材９０によってＺ方向で締め付けられている。このため、第１コイルホルダ６５、第２コイルホルダ７５および第３コイルホルダ８５をガタつくことなくＺ方向に重ねて配置することができる。

［他の実施の形態］
上記実施の形態では、第１磁気駆動回路６に１枚の第１磁石６２２を用い、第３磁気駆動回路８に１枚の第３磁石８２１を用いたが、第１磁気駆動回路６において第１コイル６１のＺ方向の両側に第１磁石を配置し、第３磁気駆動回路８において第３コイル８１のＺ方向の両側に第３磁石を配置してもよい。

上記実施の形態では、弾性部材４（粘弾性部材）を可動体３のＺ方向の両側に配置したが、可動体３のＸ方向の両側、および可動体３のＹ方向の両側に弾性部材４（粘弾性部材）を配置してもよい。また、上記実施の形態では、弾性部材４としてゲル状ダンパー部材を用いたが、ゴムやバネ等を弾性部材４として用いてもよい。ゲル状部材（ゲル状ダンパー部材）としては、シリコーン系ゲルを例示することができる。より具体的には、弾性部材４として、針入度が１０度から１１０度であるシリコーン系ゲルを用いることができる。針入度とは、ＪＩＳ−Ｋ−２２０７やＪＩＳ−Ｋ−２２２０で規定されており、この値が小さい程、硬いことを意味する。

また、粘弾性とは、粘性と弾性の両方を合わせた性質のことであり、ゲル状部材、プラスチック、ゴム等の高分子物質に顕著に見られる性質である。したがって、粘弾性を備えた弾性部材４として、天然ゴム、ジエン系ゴム（例えば、スチレン・ブタジエンゴム、イソプレンゴム、ブタジエンゴム）、クロロプレンゴム、アクリロニトリル・ブタジエンゴム等）、非ジエン系ゴム（例えば、ブチルゴム、エチレン・プロピレンゴム、エチレン・プロピレン・ジエンゴム、ウレタンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等）、熱可塑性エラストマー等の各種ゴム材料及びそれらの変性材料を用いてもよい。

また、上記実施の形態において、第１弾性部材４１のＺ方向の両面を各々、可動体３および第１端板２８に接着により接続し、第２弾性部材４２のＺ方向の両面を各々、可動体３および第２端板２９に接着により接続する際、弾性部材４（第１弾性部材４１および第２弾性部材４２）は、支持体２と可動体３との間でＺ方向に圧縮された状態にある。したがって、弾性部材４は、可動体３の移動に確実に追従するので、可動体３の共振を効果的に防止することができる。

上記実施の形態では、コイルおよびコイルホルダが支持体２に設けられ、磁石およびヨークが可動体３に設けられていたが、コイルおよびコイルホルダが可動体３に設けられ、磁石およびヨークが支持体２に設けられている場合に本発明を適用してもよい。この場合、ホルダは、磁石を保持するヨークによって構成される。

Claims

第１ホルダおよび前記第１ホルダに第１方向で重なる第２ホルダを備えた支持体と、
前記支持体に対して移動可能な可動体と、
前記第１ホルダに第１コイルおよび第１磁石の一方が保持され、前記可動体に他方が保持されて、前記可動体を前記第１方向と直交する第２方向に駆動する第１磁気駆動回路と、
前記第２ホルダに第２コイルおよび第２磁石の一方が保持され、前記可動体に他方が保持されて、前記可動体を前記第１方向と直交し、前記第２方向と交差する第３方向に駆動する第２磁気駆動回路と、
前記第１ホルダおよび前記第２ホルダを前記第１方向の両側から締め付けて拘束する拘束部材と、
を有し、
前記拘束部材は、前記第１ホルダに前記第１方向の一方側から直接または他の部材を介して重なる第１部分と、前記第２ホルダに前記第１方向の他方側から直接または他の部材を介して重なる第２部分と、前記支持体の前記第２方向の一方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第３部分と、前記支持体の前記第２方向の他方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第４部分と、前記支持体の前記第３方向の一方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第５部分と、前記支持体の前記第３方向の他方側で前記第１部分および前記第２部分に接続された第６部分と、を備えていることを特徴とするアクチュエータ。
前記拘束部材は、前記第１部分の前記第２方向の一方側の端部および前記第２方向の他方側の端部から前記第３部分および前記第４部分が前記第１方向の他方側に向けて折れ曲がった第１部材と、前記第２部分の前記第３方向の一方側の端部および前記第２方向の他方側の端部から前記第５部分および前記第６部分が前記第１方向の一方側に向けて折れ曲がった第２部材と、を有し、
前記第３部分および前記第４部分の前記第１方向の他方側の端部は各々、前記第２部分に連結され、
前記第５部分および前記第６部分の前記第１方向の一方側の端部は各々、前記第１部分に連結されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
前記第１部材および前記第２部材は各々、金属製の板状部材であって、
前記第３部分および前記第４部分の前記第１方向の他方側の端部は各々、前記第２部分に溶接により連結され、
前記第５部分および前記第６部分の前記第１方向の一方側の端部は各々、前記第１部分に連結されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
前記第１部材と前記第２部材とは、サイズおよび形状を含めて構成が同じような構成であることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
前記第１ホルダは、前記第１コイルまたは前記第１磁石を保持する第１保持部と、前記第１保持部の端部で前記第１方向に突出した複数の第１柱状部と、を備え、
前記第２ホルダは、前記第２コイルまたは前記第２磁石を保持する第２保持部と、前記第２保持部の端部で前記第１方向に突出した複数の第２柱状部と、を備え、
前記複数の第１柱状部と前記複数の第２柱状部とは各々、連結されていることを特徴とする請求項１から４までの何れか一項に記載のアクチュエータ。
前記支持体において前記第２ホルダに対して前記第１ホルダとは反対側に重ねて配置された第３ホルダと、
前記第３ホルダに第３コイルおよび第３磁石の一方が保持され、前記可動体に他方が保持されて、前記可動体を前記第２方向に駆動する第３磁気駆動回路と、
を有し、
前記拘束部材は、前記第１ホルダ、前記第２ホルダおよび前記第３ホルダを前記第１方向の両側から締め付けて拘束していることを特徴とする請求項５に記載のアクチュエータ。
前記第１ホルダは、前記第１コイルを保持する第１コイルホルダであり、
前記第２ホルダは、前記第２コイルを保持する第２コイルホルダであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。