JPH03296112A - ４軸姿勢制御装置 - Google Patents
４軸姿勢制御装置Info
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- JPH03296112A JPH03296112A JP9872090A JP9872090A JPH03296112A JP H03296112 A JPH03296112 A JP H03296112A JP 9872090 A JP9872090 A JP 9872090A JP 9872090 A JP9872090 A JP 9872090A JP H03296112 A JPH03296112 A JP H03296112A
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- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electromagnets (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、精密位置決め用駆動テーブルに用いられる４
軸姿勢制御装置に関するものである。
軸姿勢制御装置に関するものである。
［従来の技術］
従来、この種の精密位置決め用駆動テーブルとして、ボ
ールネジとステップモータを用いて姿勢制御（位置制御
）を行うようにしたＸＹ子テーブルＸＹｚテーブル、Ｘ
Ｙθテーブルなどがある。
ールネジとステップモータを用いて姿勢制御（位置制御
）を行うようにしたＸＹ子テーブルＸＹｚテーブル、Ｘ
Ｙθテーブルなどがある。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上述のようにボールネジとステップモー
タを用いて姿勢制御装置を構成した場合、多軸制御を行
うには、１軸駆動装置を軸数だけ重ね合わせて構成しな
ければならず、構成が複雑になるとともに、全体形状が
大型化するという問題があった。
タを用いて姿勢制御装置を構成した場合、多軸制御を行
うには、１軸駆動装置を軸数だけ重ね合わせて構成しな
ければならず、構成が複雑になるとともに、全体形状が
大型化するという問題があった。
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、構成が簡単で、全体形状が小型の４
軸姿勢制御装置を提供することにある。
的とするところは、構成が簡単で、全体形状が小型の４
軸姿勢制御装置を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の４軸姿勢制御装置は、２個の口字状のコイルを
十字形に組み合わせた組コイルを２組重ね合わせた可動
コイルブロックと、上記可動コイルブロックの各コイル
が間挿される３個のスリットが各側面の軸方向にそれぞ
れ穿設されスリット内の磁界が軸方向となるようにした
四角柱状の磁気回路ブロックと、可動コイルブロックの
位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段出力に基
づいて各コイルに流す電流をフィードバック制御する制
御手段とで構成され、各側面のスリット内の磁界の方向
を適宜設定し、各コイルに所定電流を流すことにより発
生するローレンツ力にて可動コイルブロックを４自由度
をもって姿勢自在にしたものである。
十字形に組み合わせた組コイルを２組重ね合わせた可動
コイルブロックと、上記可動コイルブロックの各コイル
が間挿される３個のスリットが各側面の軸方向にそれぞ
れ穿設されスリット内の磁界が軸方向となるようにした
四角柱状の磁気回路ブロックと、可動コイルブロックの
位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段出力に基
づいて各コイルに流す電流をフィードバック制御する制
御手段とで構成され、各側面のスリット内の磁界の方向
を適宜設定し、各コイルに所定電流を流すことにより発
生するローレンツ力にて可動コイルブロックを４自由度
をもって姿勢自在にしたものである。
［作 用］
本発明は上述のように構成されており、２個の口字状の
コイルを十字形に組み合わせた組コイルを２組重ね合わ
せた可動コイルブロックと、上記可動コイルブロックの
各コイルが間挿される３個のスリットが各側面の軸方向
にそれぞれ穿設されスリット内の磁界が軸方向となるよ
うにした四角柱状の磁気回路ブロックとで構成され、位
置検出手段出力に基づいて各コイルに所定電流を流すこ
とにより、可動コイルに発生ずるローレンツ力にて可動
コイルブロックを４自由度をもって姿勢自在にしたもの
であり、構成が簡単で、全体形状が小型の４軸姿勢制御
装置を提供することができるようになっている。
コイルを十字形に組み合わせた組コイルを２組重ね合わ
せた可動コイルブロックと、上記可動コイルブロックの
各コイルが間挿される３個のスリットが各側面の軸方向
にそれぞれ穿設されスリット内の磁界が軸方向となるよ
うにした四角柱状の磁気回路ブロックとで構成され、位
置検出手段出力に基づいて各コイルに所定電流を流すこ
とにより、可動コイルに発生ずるローレンツ力にて可動
コイルブロックを４自由度をもって姿勢自在にしたもの
であり、構成が簡単で、全体形状が小型の４軸姿勢制御
装置を提供することができるようになっている。
［実施例］
第１図ないし第４図は精密位置決め用駆動テーブルに適
用した本発明一実施例を示すものて、２個の口字状のコ
イル（但し、第２図に示すように、断面が口字状の角筒
状コイルとしても良い。）１ａ〜１ｄを十字形に組み合
わせた組コイルを２組重ね合わせた可動コイルブロック
１と、上記可動コイルブロック１の各コイル１ａ〜１ｄ
が間挿される３個のスリット３ａ〜３ｃが各側面の軸方
向にそれぞれ穿設されスリット３ａ〜３ｃ内の磁界が軸
方向となるようにした四角柱状の磁気回路ブロック２と
、可動コイルブロック］の位置を検出する位置検出セン
サ４ａ〜４ｄよりなる位置検出手段と、位置検出手段出
力に基づいて各コイル１ａ〜１ｄに流す電流をフィード
バック制御する制御手段６とで構成され、各側面のスリ
ット３ａ〜３Ｃ内の磁界の方向を適宜設定し、各コイル
１ａ〜１ｄに所定電流を流すことにより発生するローレ
ンツ力にて可動コイルブロック１を４自由度をもって姿
勢自在にしたものである。ここに、実施例では、磁気回
路ブロック２は、第５図に示すように、永久磁石２ａを
用いて形成されており、並設されたスリット３ａ〜３Ｃ
内の磁界の方向を軸方向とし、下側からＮ−＋Ｓ、Ｎ→
Ｓ、Ｓ−＋Ｎ（あるいは、第６図に示すように、Ｓ−＋
Ｎ、Ｓ→Ｎ、Ｎ−＋Ｓ）となるようにしている。また、
制御手段６は、可動コイルブロック１の４個のコイル１
ａ〜１ｄに作用するローレンツ力の相互作用を考慮して
フィードバック制御の演算を行う必要があるため、行列
演算を高速処理できるマイクロコンピュータ６ａを用い
て形成されている。また、センサターゲット４ａ’〜４
ｄ” との間の距離を検出する各位置検出センサ４ａ〜
４ｄ出力は、インタフェ−ス６ｂを介してマイクロコン
ピュータ６ａに入力され、マイクロコンピュータ６ａか
ら出力される制御出力は、アンプ６Ｃを介して各コイル
１ａ〜１ｄにψ加されるようになっている。また、可動
コイルブロック１には、４本のアーム５ａを介してテー
ブル５が取着されている。
用した本発明一実施例を示すものて、２個の口字状のコ
イル（但し、第２図に示すように、断面が口字状の角筒
状コイルとしても良い。）１ａ〜１ｄを十字形に組み合
わせた組コイルを２組重ね合わせた可動コイルブロック
１と、上記可動コイルブロック１の各コイル１ａ〜１ｄ
が間挿される３個のスリット３ａ〜３ｃが各側面の軸方
向にそれぞれ穿設されスリット３ａ〜３ｃ内の磁界が軸
方向となるようにした四角柱状の磁気回路ブロック２と
、可動コイルブロック］の位置を検出する位置検出セン
サ４ａ〜４ｄよりなる位置検出手段と、位置検出手段出
力に基づいて各コイル１ａ〜１ｄに流す電流をフィード
バック制御する制御手段６とで構成され、各側面のスリ
ット３ａ〜３Ｃ内の磁界の方向を適宜設定し、各コイル
１ａ〜１ｄに所定電流を流すことにより発生するローレ
ンツ力にて可動コイルブロック１を４自由度をもって姿
勢自在にしたものである。ここに、実施例では、磁気回
路ブロック２は、第５図に示すように、永久磁石２ａを
用いて形成されており、並設されたスリット３ａ〜３Ｃ
内の磁界の方向を軸方向とし、下側からＮ−＋Ｓ、Ｎ→
Ｓ、Ｓ−＋Ｎ（あるいは、第６図に示すように、Ｓ−＋
Ｎ、Ｓ→Ｎ、Ｎ−＋Ｓ）となるようにしている。また、
制御手段６は、可動コイルブロック１の４個のコイル１
ａ〜１ｄに作用するローレンツ力の相互作用を考慮して
フィードバック制御の演算を行う必要があるため、行列
演算を高速処理できるマイクロコンピュータ６ａを用い
て形成されている。また、センサターゲット４ａ’〜４
ｄ” との間の距離を検出する各位置検出センサ４ａ〜
４ｄ出力は、インタフェ−ス６ｂを介してマイクロコン
ピュータ６ａに入力され、マイクロコンピュータ６ａか
ら出力される制御出力は、アンプ６Ｃを介して各コイル
１ａ〜１ｄにψ加されるようになっている。また、可動
コイルブロック１には、４本のアーム５ａを介してテー
ブル５が取着されている。
以下、実施例の動作について説明する。いま、可動コイ
ルブロック１の各コイル１ａ〜１ｄと磁界の方向が第１
図に示すような関係になっている場合において、Ｘ、Ｙ
方向の位置制御およびθＸ。
ルブロック１の各コイル１ａ〜１ｄと磁界の方向が第１
図に示すような関係になっている場合において、Ｘ、Ｙ
方向の位置制御およびθＸ。
θｙ方向の回転の駆動力は以下のようになる。
Ｘ方向
コイル１ａに発生するローレンツ力
Ｙ方向
コイル１ｂに発生するローレンツ力
θＸ回転
コイル１ｃに発生するコイル上下のローレンツ力の差に
よるモーメント θｙ回転 コイル１ｄに発生するコイル上下のローレンツ力の差に
よるモーメント このとき、磁界中に配置されている各コイル１ａ〜１ｄ
に発生するローレンツ力は、コイル１ａ〜１ｄの巻数を
ｎ、コイル１ａ〜１ｄに流す電流を■、永久磁石２ａに
よる磁束密度をＢ、磁界中のコイル１ａ〜１ｄの長さを
Ｌとすれば、Ｆ＝ｎ・■・Ｂ−Ｌ となり、電流■に比例した駆動力が得られるので、良好
な制御性が得られる。
よるモーメント θｙ回転 コイル１ｄに発生するコイル上下のローレンツ力の差に
よるモーメント このとき、磁界中に配置されている各コイル１ａ〜１ｄ
に発生するローレンツ力は、コイル１ａ〜１ｄの巻数を
ｎ、コイル１ａ〜１ｄに流す電流を■、永久磁石２ａに
よる磁束密度をＢ、磁界中のコイル１ａ〜１ｄの長さを
Ｌとすれば、Ｆ＝ｎ・■・Ｂ−Ｌ となり、電流■に比例した駆動力が得られるので、良好
な制御性が得られる。
また、コイルｌｃ、ｌｄにより可動コイルブロック１に
作用するコイル上下方向のローレンツ力の差によるモー
メントＭは、コイルの高さをＬｈとすれば、 Ｍ＝ｎ・Ｉ−Ｂ−Ｌ−Ｌｈ／２ となり、電流■に比例しな力となって良好な制御性が得
られる。
作用するコイル上下方向のローレンツ力の差によるモー
メントＭは、コイルの高さをＬｈとすれば、 Ｍ＝ｎ・Ｉ−Ｂ−Ｌ−Ｌｈ／２ となり、電流■に比例しな力となって良好な制御性が得
られる。
また、コイル１ａ〜１ｄに流す電流は、制御手段６によ
り位置検出センサ４ａ〜４ｄ出力に基づいてフィードバ
ック制御され、可動コイルブロック１の姿勢を、４自由
度（ｘ、ｙ、θＸ、θｙ）をもって制御でき、４軸の駆
動テーブルを簡単な構成で実現でき、しかも自由度の割
りに磁気空隙が少ないため、永久磁石を少なくすること
ができるので、構成の簡略化および小型化がはかれるよ
うになっている。さらに、電気−磁気相互作用によるロ
ーレンツ力を利用しているので、コンプライアンス制御
が容易に行えることになる。
り位置検出センサ４ａ〜４ｄ出力に基づいてフィードバ
ック制御され、可動コイルブロック１の姿勢を、４自由
度（ｘ、ｙ、θＸ、θｙ）をもって制御でき、４軸の駆
動テーブルを簡単な構成で実現でき、しかも自由度の割
りに磁気空隙が少ないため、永久磁石を少なくすること
ができるので、構成の簡略化および小型化がはかれるよ
うになっている。さらに、電気−磁気相互作用によるロ
ーレンツ力を利用しているので、コンプライアンス制御
が容易に行えることになる。
また、所定範囲（永久磁石２ａの磁束内にコイル１ａ〜
１ｄが存在する範囲）内において、コイル１ａ〜１ｄに
流れる電流と、可動コイル１ａ〜１ｄに発生するローレ
ンツ力とが比例するリニア直流アクチュエータ方式を用
いているので、駆動量を考慮することなくコイル１ａ〜
１ｄの電流制御が行え、制御手段６における電流制御用
演算が容易に行える。
１ｄが存在する範囲）内において、コイル１ａ〜１ｄに
流れる電流と、可動コイル１ａ〜１ｄに発生するローレ
ンツ力とが比例するリニア直流アクチュエータ方式を用
いているので、駆動量を考慮することなくコイル１ａ〜
１ｄの電流制御が行え、制御手段６における電流制御用
演算が容易に行える。
以上のようにして構成された４軸姿勢制御装置の可動コ
イルブロック１に、第１図のように、テーブル５を取り
付けることにより、精密駆動用の４軸テーブルが得られ
ることになる。
イルブロック１に、第１図のように、テーブル５を取り
付けることにより、精密駆動用の４軸テーブルが得られ
ることになる。
［発明の効果］
本発明は上述のように構成されており、２個の口字状の
コイルを十字形に組み合わせた組コイルを２組重ね合わ
せた可動コイルブロックと、上記可動コイルブロックの
各コイルが間挿される３個のスリットが各側面の軸方向
にそれぞれ穿設されスリット内の磁界が軸方向となるよ
うにした四角柱状の磁気回路ブロックとで構成され、位
置検出手段出力に基づいて各コイルに所定電流を流すこ
とにより、各コイルに発生するローレンツ力にて可動コ
イルブロックを４自由度をもって姿勢自在にしたもので
あり、構成が簡単で、全体形状が小型の４軸姿勢制御装
置を提供することができるという効果がある。
コイルを十字形に組み合わせた組コイルを２組重ね合わ
せた可動コイルブロックと、上記可動コイルブロックの
各コイルが間挿される３個のスリットが各側面の軸方向
にそれぞれ穿設されスリット内の磁界が軸方向となるよ
うにした四角柱状の磁気回路ブロックとで構成され、位
置検出手段出力に基づいて各コイルに所定電流を流すこ
とにより、各コイルに発生するローレンツ力にて可動コ
イルブロックを４自由度をもって姿勢自在にしたもので
あり、構成が簡単で、全体形状が小型の４軸姿勢制御装
置を提供することができるという効果がある。
第１図は本発明一実施例の概略構成図、第２図は同上の
要部斜視図、第３図は同上の要部斜視図、第４図は同上
の要部斜視図、第５図は同上の要部側面図、第６図の要
部斜視図である。 １は可動コイルブロック、１ａ〜１ｄはコイル、２は磁
気回路ブロック、２ａは永久磁石、３ａ〜３ｄはスリッ
ト、４ａ〜４ｄは位置検出センサ、５はテーブル、６は
制御手段である。
要部斜視図、第３図は同上の要部斜視図、第４図は同上
の要部斜視図、第５図は同上の要部側面図、第６図の要
部斜視図である。 １は可動コイルブロック、１ａ〜１ｄはコイル、２は磁
気回路ブロック、２ａは永久磁石、３ａ〜３ｄはスリッ
ト、４ａ〜４ｄは位置検出センサ、５はテーブル、６は
制御手段である。
Claims (1)
- （１）２個のロ字状のコイルを十字形に組み合わせた組
コイルを２組重ね合わせた可動コイルブロックと、上記
可動コイルブロックの各コイルが間挿される３個のスリ
ットが各側面の軸方向にそれぞれ穿設されスリット内の
磁界が軸方向となるようにした四角柱状の磁気回路ブロ
ックと、可動コイルブロックの位置を検出する位置検出
手段と、位置検出手段出力に基づいて各コイルに流す電
流をフィードバック制御する制御手段とで構成され、各
側面のスリット内の磁界の方向を適宜設定し、各コイル
に所定電流を流すことにより発生するローレンツ力にて
可動コイルブロックを４自由度をもって姿勢自在にした
ことを特徴とする４軸姿勢制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9872090A JP2740330B2 (ja) | 1990-04-14 | 1990-04-14 | ４軸姿勢制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9872090A JP2740330B2 (ja) | 1990-04-14 | 1990-04-14 | ４軸姿勢制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03296112A true JPH03296112A (ja) | 1991-12-26 |
| JP2740330B2 JP2740330B2 (ja) | 1998-04-15 |
Family
ID=14227358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9872090A Expired - Fee Related JP2740330B2 (ja) | 1990-04-14 | 1990-04-14 | ４軸姿勢制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2740330B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10234174A (ja) * | 1997-02-19 | 1998-09-02 | Toshiba Corp | Ｘｙ移動用アクチュエータおよび半導体接続装置 |
| WO2018180949A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180945A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180947A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180948A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180946A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| US11482916B2 (en) * | 2019-03-20 | 2022-10-25 | AAC Technologies Pte. Ltd. | Linear motor |
-
1990
- 1990-04-14 JP JP9872090A patent/JP2740330B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10234174A (ja) * | 1997-02-19 | 1998-09-02 | Toshiba Corp | Ｘｙ移動用アクチュエータおよび半導体接続装置 |
| WO2018180949A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180945A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180947A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180948A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| WO2018180946A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| CN110495081A (zh) * | 2017-03-30 | 2019-11-22 | 日本电产三协株式会社 | 致动器 |
| JPWO2018180949A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-02-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| JPWO2018180945A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-02-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| JPWO2018180947A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-02-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| JPWO2018180948A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-02-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| JPWO2018180946A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2020-02-06 | 日本電産サンキョー株式会社 | アクチュエータ |
| CN110495081B (zh) * | 2017-03-30 | 2021-06-25 | 日本电产三协株式会社 | 致动器 |
| US11070120B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-07-20 | Nidec Sankyo Corporation | Actuator |
| US11095200B2 (en) | 2017-03-30 | 2021-08-17 | Nidec Sankyo Corporation | Actuator |
| US11283338B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-03-22 | Nidec Sankyo Corporation | Actuator |
| US11323015B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-05-03 | Nidec Sankyo Corporation | Actuator |
| US11411482B2 (en) | 2017-03-30 | 2022-08-09 | Nidec Sankyo Corporation | Actuator with two magnetic drive circuits to vibrate a body in two directions |
| US11482916B2 (en) * | 2019-03-20 | 2022-10-25 | AAC Technologies Pte. Ltd. | Linear motor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2740330B2 (ja) | 1998-04-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |