KR20100045948A - 적층 필름의 결함 검사 방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

보호 필름이 박리된 필름 본체의 표면에 있어서의 결함의 유무를 검사하는 제1 검사 과정과, 검사 후의 적층 필름으로부터 세퍼레이터를 박리하는 세퍼레이터 제거 과정과, 세퍼레이터가 박리 제거된 필름 본체를 종방향을 향하는 필름 주행 경로로 유도하면서 종방향 자세의 필름 본체에 있어서의 결함의 유무를 검사하여 검출 데이터를 기억 저장하는 제2 검사 과정과, 검사가 종료된 필름 본체의 이면 및 표면의 각각에 세퍼레이터 및 보호 필름을 부착하는 세퍼레이터 부착 과정 및 보호 필름 부착 과정과, 보호 필름 및 세퍼레이터가 부착된 검사 종료된 적층 필름을 롤 권취하는 필름 회수 과정을 구비한다.
적층 필름, 보호 필름, 세퍼레이터, 검출 데이터, 박리 롤러

Description

적층 필름의 결함 검사 방법 및 그 장치 {METHOD AND APPARATUS FOR INSPECTING DEFECT OF LAMINATED FILM}

본 발명은 액정 디스플레이의 편광판이나 유리 기판 등에 사용하는 적층 필름의 오손(汚損)이나 손상 등의 결함을 검사하는 적층 필름의 결함 검사 방법 및 그 장치에 관한 것이다.

액정 디스플레이의 제조 공정에 있어서는, 띠 형상의 기능 필름(위상차 필름)에 얇은 낱장의 필름(편광판)을 접합하여 적층 광학 필름을 제작하는 공정이 사용되고 있다(특허 문헌 1 참조).

특허 문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 제2007-76106호 공보

띠 형상의 기능 필름에 접합되는 낱장의 필름(편광판)은 필름 본체의 이측 점착면에 세퍼레이터를 접합하고, 표면에 보호 필름을 접합한 적층 필름으로서 형성된 것이다. 이 긴 적층 필름을 롤 권취한 원반 롤이 펀칭 재단 공정에 공급되어, 소정의 치수의 낱장 필름으로 펀칭 재단된다.

롤 권취된 적층 필름의 필름 본체에는 그 표면 또는 내부에 미세한 먼지가 부착되거나, 광학적 왜곡을 발생시키는 이물질이 맞물려 움푹 패인 형상으로 비틀어진 특수 종류의 형상 결함(이하, 적절하게 「크닉(knick)」이라고 함)이 잔존하거나, 필름 표면 처리에 불균일이 발생되어 있는 경우가 있다. 이들의 결함을 포함하지 않도록 펀칭 재단하여 낱장의 필름을 얻는 것이 필요해진다. 그래서, 적층 필름의 오손이나 손상 등의 결함을 반사식 혹은 투과식 광학 수단으로 검사하여, 결함의 발생 위치를 인식해 두는 것이 중요해진다.

이 경우, 적층 필름은 표리에 각각 보호 필름과 세퍼레이터를 접합하고 있으므로, 보호 필름이나 세퍼레이터가 갖는 광학 특성(복굴절 등)에 의한 투과 장해나 표면의 난반사에 의해 결함의 간과나 오인 등이 발생하여, 고정밀도로 검출할 수 없는 등의 문제가 있다.

또한, 보호 필름이나 세퍼레이터에 흠집 등이 존재하는 경우, 당해 흠집을 필름 본체의 흠집으로서 오인해 버리는 등의 문제도 있다.

본 발명은 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 롤 권취된 적층 필름에 있어서의 결함을 고정밀도로 검사할 수 있는 적층 필름의 결함 검사 방법 및 그 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 하고 있다.

제1 발명은 롤 권취된 적층 필름의 결함을 검사하는 적층 필름의 결함 검사 방법이며,

필름 본체의 표면에 보호 필름과 이측 점착면에 세퍼레이터가 접합된 적층 필름을 원반 롤로부터 조출하는 적층 필름 조출 과정과,

조출된 상기 적층 필름을 소정의 경로로 유도하면서 적층 필름으로부터 상기 세퍼레이터를 박리할 때까지에 있어서, 적어도 박리 시점에서 세퍼레이터 박리면을 하향으로 하는 세퍼레이터 박리 과정과,

상기 세퍼레이터 박리면을 하향으로 하여 반송하면서 결함의 유무를 검사하여, 그 검사 정보를 기억 수단에 저장하는 검사 과정과,

검사가 종료된 상기 필름 본체의 세퍼레이터의 박리면을 하향으로 한 상태로, 당해 박리면에 세퍼레이터를 접합하는 세퍼레이터 접합 과정과,

상기 필름 본체의 이면에 세퍼레이터를 접합하여 이루어지는 검사 종료된 적층 필름을 롤 권취하여 검사 종료된 원반 롤을 형성하는 적층 필름 회수 과정을 구비한 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 방법에 따르면, 원반 롤로부터 조출된 적층 필름의 이측 점착면으로부터 세퍼레이터가 박리되어, 점착면이 노출된 상태의 필름 본체가 이면을 하향으로 하여 안내된다. 이 과정에서 미세한 이물질의 부착이나 크닉 등의 결함이 있는지 여부가 적절하게 광학 수단으로 검사된다. 검출된 결함 발생 위치 등의 검사 정보는 기억 수단에 저장된다. 여기서, 필름 본체가 하향이라 함은, 점착면이 상향으로 되지 않은 상태를 의미한다. 따라서, 수직 자세로 필름 본체를 반송하는 것도 포함한다.

이 경우, 만일, 검사 처리 공간에서 먼지가 낙하해도, 이면이 하향인 필름 본체의 점착면에 먼지가 부착되는 것을 억제할 수 있다.

그 후, 검사가 종료된 필름 본체의 이면에 세퍼레이터가 접합되어 원래의 적층 필름으로 복원되고, 이 적층 필름이 롤 권취 회수되어 검사 종료된 원반 롤이 형성된다.

여기서, 세퍼레이터 박리면의 노출 시간을 짧게 하면 당해 박리면으로의 먼지의 부착을 회피할 수 있다. 그러나, 필름에는 먼지 이외의 이물질의 부착, 혹은 크닉 등이 존재하고, 이들을 고정밀도로 인식하기 위해서는 상이한 검사 방식, 예를 들어 투과 방식, 반사 방식 등 복수 종류의 검사 공정을 경유할 필요가 있다. 그러므로, 세퍼레이터 박리면의 노출 시간이 필연적으로 길어진다. 따라서, 이 방법은 상술한 바와 같이 복수의 검사 공정을 필요로 하는 경우에 있어서 유효하게 기능한다.

또한, 검사 과정에서 얻어진 검사 정보를 기억 매체나 통신 수단의 호스트 컴퓨터 등에 기억해 둠으로써, 이후의 처리 공정이나 펀칭 가공 공정에 있어서 결함 발생 부위를 회피하는 정보로서 이용할 수 있다.

제2 발명은 제1 발명에 있어서,

또한, 적층 필름으로부터 상기 보호 필름을 박리하는 보호 필름 박리 과정과,

보호 필름이 박리된 적층 필름을 소정의 필름 주행 경로로 유도하면서 필름 본체의 표면에 있어서의 결함의 유무를 검사하는 동시에, 그 검사 정보를 기억 수단에 저장하는 검사 과정과,

검사가 종료된 상기 필름 본체의 표면에 보호 필름을 접합하는 보호 필름 접합 과정을 구비하고,

적층 필름 회수 과정은 상기 필름 본체의 표면에 보호 필름 및 이면에 세퍼레이터를 접합하여 이루어지는 검사 종료된 적층 필름을 롤 권취하여 검사 종료된 원반 롤을 형성하는 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 방법에 따르면, 원반 롤로부터 조출된 적층 필름으로부터 보호 필름이 박리되어 필름 본체의 표면이 노출된다. 이 필름 본체의 노출된 표면에 결함이 있는지 여부가 적절하게 광학 수단으로 검사되어, 검출된 결함의 발생 위치 등의 검사 정보가 기억 수단에 저장된다.

또한, 당해 검사 과정에서 얻어진 검사 정보를 기억 매체나 통신 수단의 호스트 컴퓨터 등에 기억해 둠으로써, 이후의 처리 공정이나 펀칭 가공 공정에 있어서 결함 발생 부위를 회피하는 정보로서 이용할 수 있다.

제3 발명은 제2 발명에 있어서,

상기 필름 본체로부터 보호 필름을 박리하여 검사한 후에, 필름 본체의 이면으로부터 세퍼레이터를 박리하여 검사하고,

검사가 종료된 상기 필름 본체의 표면 및 이면에 보호 필름 및 세퍼레이터를 접합한 후에, 적층 필름을 롤 권취하여 검사 종료된 원반 롤을 형성하는 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 방법에 따르면, 필름의 점착면의 노출 시간을 짧게 할 수 있다. 따라서, 점착면으로의 먼지의 부착을 더욱 효과적으로 억제할 수 있다.

제4 발명은 제2 또는 제3 발명에 있어서,

상기 보호 필름의 박리된 필름 본체의 검사 과정을 경유한 후, 필름 본체의 결함 검출 부위에 마크를 부설하는 마킹 과정을 구비한 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 방법에 따르면, 필름 본체에 있어서의 결함 발생 부위를 용이하게 시인하는 것이 가능해져, 이후의 공정에 있어서의 목시 검사 등이 용이해진다.

제5 발명은 제2 내지 제4 중 어느 하나의 발명에 있어서,

상기 세퍼레이터 접합 과정 및 보호 필름 접합 과정 중 적어도 어느 하나 이후, 검사 종료된 적층 필름에 있어서의 표면 혹은 이면의 적소에, 검출된 결함 부위의 위치 데이터를 부설하는 데이터 기록 과정을 구비한 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 방법에 따르면, 검사 처리가 종료된 원반 롤마다 검사 데이터가 기록되게 되어, 이후의 공정에 있어서 적절하게 리더를 사용하여 원반 롤마다의 검사 데이터를 판독함으로써, 결함 발생 부위의 사용을 회피한 처리를 적절하게 행할 수 있다.

제6 발명은 제2 내지 제5 중 어느 하나의 발명에 있어서,

적어도 상기 제2 검사 과정을 클린 룸 내에서 행하는 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 방법에 따르면, 보호 필름 및 세퍼레이터가 박리되어 표리가 노출된 상태의 필름 본체를 청정한 상태로 정확하게 검사할 수 있다. 바꾸어 말하면, 보호 필름 등이 갖는 광학 특성을 제거한 상태로 고정밀도로 검사할 수 있다.

제7 발명은 제6 발명에 있어서,

종방향 자세로 주행하는 상기 필름 본체에 대해 필름 표면측을 기류의 상측으로 하여 클린 룸을 소기하는 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 방법에 따르면, 만일, 소기 기류의 먼지가 존재한다고 하더라도, 필름 본체에 있어서의 이측 점착면에 접촉할 우려가 없어져, 검사 중의 오손을 미연에 회피할 수 있다.

제8 발명은 롤 권취된 적층 필름의 결함을 검사하는 적층 필름의 결함 검사 장치이며,

필름 본체의 표면에 보호 필름과 이측 점착면에 세퍼레이터가 접합된 적층 필름을 공급하는 적층 필름 공급 수단과,

상기 적층 필름 공급 수단으로부터 조출된 적층 필름을 소정의 경로로 유도하면서 적층 필름으로부터 상기 세퍼레이터를 박리하는 세퍼레이터 박리 수단과,

적어도 상기 세퍼레이터의 박리 시점에서 세퍼레이터 박리면을 하향으로 하고, 그 상태를 유지하여 반송하면서 결함의 유무를 검사하는 검사 수단과,

상기 검사 결과의 정보를 기억하는 기억 수단과,

세퍼레이터를 필름 본체의 이면에 조출하는 세퍼레이터 공급 수단과,

검사가 종료된 상기 필름 본체의 세퍼레이터의 박리면을 하향으로 한 상태로, 세퍼레이터 공급 수단으로부터 조출되는 세퍼레이터를 당해 박리면에 접합하는 세퍼레이터 접합 수단과,

상기 필름 본체의 이면에 세퍼레이터를 접합하여 이루어지는 검사 종료된 적층 필름을 롤 권취하는 적층 필름 회수 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

(작용ㆍ효과) 이 구성에 따르면, 상기 제1 발명을 적절하게 실시할 수 있다.

또한, 상기 구성에 있어서, 적층 필름으로부터 상기 보호 필름을 박리하는 보호 필름 박리 수단과,

보호 필름이 박리된 적층 필름을 소정의 필름 주행 경로로 유도하면서 필름 본체의 표면에 있어서의 결함의 유무를 검사하는 검사 수단과,

상기 검사 결과의 정보를 기억하는 기억 수단과,

보호 필름을 필름 본체의 표면에 조출하는 보호 필름 공급 수단과,

보호 필름 공급 수단으로부터 조출된 보호 필름을 검사가 종료된 상기 필름 본체의 표면에 접합하는 보호 필름 접합 수단을 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 따르면, 필름 본체로부터 박리한 보호 필름과 세퍼레이터가 갖는 광학 특성을 제거한 상태로 결함이 검출된다. 따라서, 결함의 검출 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 상기 구성에 따르면, 이하의 구성을 구비해도 좋다.

예를 들어, 상기 장치는 보호 필름의 박리 후의 검사 결과에 기초하여 필름 본체의 결함 검출 부위에 마크를 부설하는 마킹 수단이나, 상기 세퍼레이터 접합 또는 보호 필름 접합 중 적어도 어느 하나 이후, 검사 종료된 적층 필름의 표면 또는 이면의 적소에, 검출된 결함 부위의 위치 데이터를 부설하는 데이터 기록 수단을 구비한다.

이 구성에 따르면, 필름 본체에 있어서의 결함 발생 부위를 용이하게 시인하는 것이 가능해진다. 또한, 이후의 공정에 있어서 적절하게 리더를 사용하여 원반 롤마다의 검사 데이터를 판독할 수 있다. 따라서, 이후의 공정에 있어서, 결함 발생 부위의 사용을 회피한 처리를 적절하게 행할 수 있다.

이상과 같이 본 발명의 적층 필름의 결함 검사 방법 및 그 장치에 따르면, 롤 권취된 적층 필름에 있어서의 결함을 고정밀도로 검사할 수 있어, 검사에 의해 얻어진 정보에 기초하여 후공정에서 결함 발생이 없는 부위를 사용하는 것이 용이해진다.

도 1은 결함 검사 장치의 전체 측면도이다.

도 2는 결함 검사 장치의 전단부측의 일부분을 도시하는 측면도이다.

도 3은 결함 검사 장치의 중간 부분을 도시하는 측면도이다.

도 4는 결함 검사 장치의 후단부측의 일부분을 도시하는 측면도이다.

도 5는 적층 필름의 일부를 도시하는 사시도이다.

도 6은 검사 과정을 도시하는 흐름도이다.

[부호의 설명]

15 : 클린 룸

f : 필름 본체

F : 적층 필름(검사 전)

F' : 적층 필름(검사 종료됨)

p : 보호 필름

p' : 보호 필름

s : 세퍼레이터

s' : 세퍼레이터

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 설명한다.

도 1에 본 발명 방법을 실시하는 결함 검사 장치의 전체가 도시되고, 또한 도 2 내지 도 4에 결함 검사 장치의 각 부가 확대되어 도시되어 있다. 이 결함 검사 장치에는 도 1의 우측으로부터 차례로 보호 필름 회수부(1), 제1 검사부(2), 적층 필름 공급부(3), 세퍼레이터 회수부(4), 제2 검사부(5), 세퍼레이터 접합부(6), 세퍼레이터 공급부(7), 마킹 처리부(8), 보호 필름 접합부(9), 데이터 기록 처리부(10), 적층 필름 회수부(11), 보호 필름 공급부(12), 보호 필름 귀부 회수부(13) 및 보호 필름용 세퍼레이터 회수부(14)가 이 순서로 종렬 배치되는 동시에, 보호 필름 회수부(1) 이외의 각 부가, 강제 소기되는 클린 룸(15)의 내부에 배치되어 있다.

또한, 제1 검사부(2)는 본 발명의 보호 필름 박리 후의 검사 수단에, 적층 필름 공급부(3)는 적층 필름 공급 수단에, 제2 검사부(5)는 세퍼레이터 박리 후의 검사 수단에, 세퍼레이터 접합부(6)는 세퍼레이터 접합 수단에, 세퍼레이터 공급부(7)는 세퍼레이터 공급 수단에, 마킹 처리부(8)는 마킹 수단에, 보호 필름 접합부(9)는 보호 필름 접합 수단에, 데이터 기록 처리부(10)는 데이터 기록 수단에, 적층 필름 회수부(11)는 적층 필름 회수 수단에, 보호 필름 공급부(12)는 보호 필름 공급 수단에 각각 상당한다.

상기 결함 검사 장치를 사용하여 행해지는 적층 필름 검사 과정을 도 6에 도시하는 흐름도에 기초하여 설명한다.

〔적층 필름 조출 과정〕

도 2에 도시한 바와 같이, 적층 필름 공급부(3)에는 받침대(21)와 컨베이어(22)가 배치되어 있고, 가대(23)에 지지 가설되어 반입되어 온 원반 롤(R)은 컨베이어(22)에 의해 받침대(21) 상의 소정 위치로 이동 적재 세트된다. 받침대(21) 상의 원반 롤(R)로부터 적층 필름(F)이 조출되어, 소정의 주행 경로를 통해 제1 검사부(2)로 유도된다. 적층 필름(F)은, 도 5에 도시한 바와 같이 편광 필름으로 이루어지는 필름 본체(f)의 표면에 보호 필름(p)이 접합되는 동시에, 필름 본체(f)의 이면측 점착면에 세퍼레이터(s)가 접합된 3매가 겹쳐진 적층 구조로 되어 있다.

〔보호 필름 제거 과정〕

도 2로 복귀하여, 적층 필름(F)은 보호 필름(p)이 하향이 되는 자세로 제1 검사부(2)의 하부로 유도되어, 바닥면 근처에 배치된 박리 롤러(24)를 통해 보호 필름(p)이 박리 제거된다. 박리된 보호 필름(p)은 보호 필름 회수부(1)로 유도되어 권취 장치(25)에서 롤 권취 회수된다. 또한, 권취 회수된 보호 필름(p)은 반출 컨베이어(26)로 이동 적재되어 반출된다.

〔제1 검사 과정〕

보호 필름(p)이 박리 제거되어 세퍼레이터(s)만이 접합된 2층 구조의 적층 필름(F)(1)은 CCD 카메라(28)로 감시된다. 이 과정에서 필름 본체(f)에 있어서의 노출된 표면의 반사 방지 코팅 등의 표면 처리의 상태 및 이물질 부착의 유무 등의 검사가 행해져, 그 검사 데이터가 필름 본체(f)에 있어서의 주행 방향에서의 위치 데이터와 함께 기억 저장된다.

또한, 제1 검사부(2)에는 작업자가 필름 주행 경로를 감시할 수 있는 작업 공간(M)이 형성되어 있고, 필요에 따라서 목시 검사를 행하는 것이 가능하게 되어 있다.

〔세퍼레이터 제거 과정〕

보호 필름(p)이 제거되어 제1 검사부(2)에서의 검사를 종료한 적층 필름(F)(1)은 적층 필름 공급부(3) 및 세퍼레이터 회수부(4)의 상방을 넘어, 도 3에 도시하는 제2 검사부(5)로 송입된다. 제2 검사부(5)의 상부에는 박리 롤러(29)가 배치되어 있고, 도입된 적층 필름(F)(1)으로부터 세퍼레이터(s)가 박리되고, 박리된 세퍼레이터(s)는 도 2에 도시하는 세퍼레이터 회수부(4)로 유도되어 권취 장치(30)에서 롤 권취 회수된다. 또한, 권취 회수된 세퍼레이터(s)는 반출 컨베이어(31)로 이동 적재되어 반출된다.

〔제2 검사 과정〕

세퍼레이터(s)가 박리 제거되어 표리가 노출된 필름 본체(f)는 박리와 동시에 종방향 경로(c)를 따라서 하방으로 유도된다. 이 경로(c)에 있어서, 종방향 자세의 필름 본체(f)에 대해 광투과식(혹은 반사식)의 감시 장치(32)가 작용하여, 필름 본체(f)에 발생한 광학적 왜곡을 발생시키는 이물질이 맞물려 움푹 패인 형상으로 비틀어진 특수 종류의 형상 결함인 크닉이나 이물질의 부착 등의 결함 검사가 행해진다. 예를 들어, 광투과식 감시 장치에서는 이물질이나 실밥, 크닉이나 휘점 등의 결함 검사가 행해지고, 반사식 감시 장치에서는 점착물 이물질의 부착이나 점착층에 포함되는 기포에 의해 발생하는 요철 등의 결함 검사가 행해진다. 이들 복수 종류의 검사 데이터가 필름 본체(f)에 있어서의 주행 방향에서의 위치 데이터와 함께 기억 저장된다.

〔세퍼레이터 접합 과정〕

제2 검사부(5)에서의 검사를 종료한 필름 본체(f)는 즉시 세퍼레이터 접합부(6)로 유도된다. 공급되어 온 새로운 세퍼레이터(s')는 좌우 한 쌍의 닙 롤러(N1)와 반송 롤러 사이에 반송되어 끼움 지지되면서 필름 본체(f)의 이측 점착면에 접합된다. 이 세퍼레이터(s')는 세퍼레이터 공급부(7)에 장전된 세퍼레이터 원반 롤(SR)로부터 조출된 것이 사용된다. 또한, 세퍼레이터 원반 롤(SR)은 반입 컨베이어(33)로 이동 적재되어 반입된다.

즉, 필름 본체(f)로부터 세퍼레이터(s)가 박리된 후 새로운 세퍼레이터(s')가 접합될 때까지 점착면이 상향으로 되는 경우가 없다.

〔마킹 과정〕

검사 종료된 필름 본체(f)에 세퍼레이터(s')만을 접합한 2층 구조의 적층 필름(F)(2)은 세퍼레이터 공급부(7)의 상부를 통과하여 후방으로 보내져, 마킹 처리부(8)로 유도된다. 마킹 처리부(8)로 도입된 적층 필름(F)(2)은 수직 자세로 하방으로 주행 안내되어 마킹 장치(34)에 의한 마크 부설 처리가 이루어진다.

마킹 장치(34)는, 예를 들어 잉크젯식 혹은 플롯식의 것이 사용되어, 기억 저장된 검사 데이터에 기초하여 결함 부위를 나타내는 마크가 세퍼레이터(s')의 외면에 부설된다. 이때, 결함의 종류에 따라서 구분하여 마크하는 것도 가능하다.

〔보호 필름 접합 과정〕

도 3에 도시한 바와 같이, 마킹 처리가 종료된 적층 필름(F)(2)은 보호 필름 접합부(9)로 유도되어, 도 4에 도시하는 보호 필름 공급부(12)로부터 공급되어 온 새로운 보호 필름(p')이 적층 필름(F)(2)의 필름 본체(f)의 표면에 부착된다.

보호 필름 공급부(12)에는 세퍼레이터가 부착된 보호 필름(sp)을 롤 권취한 보호 필름 원반 롤(PR)이 가대(35)를 통해 지지 가설되어 있다. 보호 필름 원반 롤(PR)로부터 조출된 세퍼레이터가 부착된 보호 필름(sp)은 슬리터(36)에 의해 필름 양단부변(이하, 적절하게 「귀부」라고 함)이 절단되고, 세퍼레이터가 부착된 보호 필름(sp)의 양단부 귀부(sp')가 안내 롤러(37)를 통해 반전 안내되어, 보호 필름 귀부 회수부(13)의 권취 장치(38)에서 권취 회수된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 양단부 귀부(sp')가 잘라내어져 소정의 폭으로 조정된 세퍼레이터가 부착된 보호 필름(sp)은 보호 필름 공급부(12), 적층 필름 회수부(11) 및 데이터 기록 처리부(10)를 넘어 도 3에 도시하는 보호 필름 접합부(9)로 보내져, 보호 필름 접합부(9)의 상부에 배치된 박리 롤러(39)를 통해 세퍼레이터(st)가 반전 박리된다. 이 세퍼레이터(st)가 박리 제거된 직후의 보호 필름(p')이, 하방으로부터 공급되어 온 적층 필름(F)(2)의 필름 본체(f)의 표면에 닙 롤러(N2)에 의해 접합된다. 또한, 도 4에 도시한 바와 같이, 양단부 귀부(sp')가 잘라내어진 세퍼레이터가 부착된 보호 필름(sp)은 전사 롤러군을 구비한 제진 장치(46)에 삽입 통과되고, 세퍼레이터가 부착된 보호 필름(sp) 절단 단부에 부착 잔류된 절단 먼지가 전사 제거된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 박리된 세퍼레이터(st)는 데이터 기록 처리부(10), 적층 필름 회수부(11), 보호 필름 공급부(12), 보호 필름 귀부 회수부(13) 의 상방을 지나 보호 필름용 세퍼레이터 회수부(14)로 보내져, 권취 장치(40)에서 롤 권취 회수된다. 또한, 권취 회수된 세퍼레이터(st)는 반출 컨베이어(41)로 이동 적재되어 반출된다.

〔데이터 기록 과정〕

새롭게 보호 필름(p)과 세퍼레이터(s')가 표리에 부착되어 원래의 3층 접합 구조로 된 검사 종료된 적층 필름(F')은 데이터 기록 처리부(10)로 유도된다. 상기 검사에 의해 검지된 결함의 발생 위치가 좌표 데이터로 변환되고, 이것이 2차원 코드화되어 적층 필름(F')에 기록 장치(42)에 의해 기록된다. 기록 장치(42)는, 예를 들어 필름 주행 방향의 소정 피치(예를 들어 500㎜)마다 데이터(2차원 코드)를 레이저 베이킹에 의해 기록하는 것이다. 적층 필름(F')이 폭 방향으로 3분할되어 사용되는 경우에는, 분할 폭 내의 검사 데이터가 폭 방향 3개소에 각각 기록된다. 또한, 레이저 베이킹 처리에 수반하여 진애가 발생하므로, 기록 장치(42)에는 제진 기능이 구비되어 있다.

도 4에서는 적층 필름(F')의 표면을 기록면으로 하고 있고, 표면측에 위치하는 보호 필름(p')에 데이터를 베이킹 기록하는 형태로 되어 있으나, 필요에 따라서 도 4 중 가상선으로 나타내는 경로(d)로 적층 필름(F')을 안내함으로써, 적층 필름(F')의 이면을 기록면으로 하는 형태로 할 수도 있다. 이 경우에는, 이면측에 위치하는 세퍼레이터(s')에 데이터를 베이킹 기록하게 된다.

〔적층 필름 회수 과정〕

검사 및 데이터 기록 처리가 종료된 적층 필름(F')은 적층 필름 회수부(11) 로 유도되어, 받침대(43) 상에 세트된 가대(44) 상에 롤 형상으로 권취 회수되고, 권취된 검사 종료된 원반 롤(R')은 가대(44)와 컨베이어(45)로 이동 적재되어 장치 밖으로 반출된다. 이 컨베이어(45)는 적층 필름 회수부(11)와 보호 필름 공급부(12) 사이에 배치되어 있고, 보호 필름 원반 롤(PR)의 반입에도 이용된다.

또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 당해 장치를 수납한 클린 룸(15)은 천장부의 적소에 배치된 송풍부로부터 실내 청정 공기를 송입하고, 바닥면 근처의 적소에 배치된 배기부로부터 배출함으로써 실내를 소기하도록 구성되어 있다. 특히, 필름 본체(f)가 표리가 모두 노출되는 제2 검사부(5)에 있어서는, 종방향 자세로 주행하는 필름 본체(f)의 표면측이 소기 기류의 상측이 되도록 설정함으로써, 이물질이 기류를 타고 유동해도 필름 본체(f)의 이측 점착면으로 돌아 들어가 부착되는 것이 회피되고 있다.

각 처리부의 적소에는 제1 검사부(2)와 같이 작업자의 출입이 가능한 작업 공간이 형성되어 있어, 사람의 손에 의한 필름 장전 조작이나 각종 메인터넌스를 행할 수 있도록 구성되어 있다.

이상과 같이, 적층 필름(F)으로부터 광학 특성을 갖는 보호 필름(p) 및 세퍼레이터(s)를 박리하여, 투과식 및 반사식의 각 감시 장치로 결함 부위를 검사함으로써, 복굴절의 영향 등으로 검출할 수 없었던 이물질의 부착이나 크닉 등의 결함을 고정밀도로 검출할 수 있다.

또한, 점착층을 갖는 적층 필름(F)(1)의 이면으로부터 세퍼레이터를 박리하여 검사할 때, 박리와 동시에 점착면이 상향으로 되지 않은 상태, 예를 들어 종방 향 자세로 필름 본체(f)를 반송함으로써, 필름 본체(f)로의 먼지의 부착이 억제된다. 특히, 비점착면측으로부터 청정 공기를 송입함으로써, 먼지 등의 이물질의 부착을 가일층 억제할 수 있다.

또한, 필름 본체(f)의 점착면에 접합되는 새로운 세퍼레이터(s')는 접합 부위에 도달할 때까지 접합면이 하향으로 반송되므로, 당해면으로의 먼지의 부착이 억제된다. 즉, 필름 본체(f)와 세퍼레이터(s')의 계면으로 먼지가 휩쓸려 들어가는 것이 억제된다.

본 발명은 상술한 실시예의 것으로 한정되지 않고, 다음과 같이 변형 실시할 수도 있다.

(1) 상기 실시예에서는 각 원반 롤(R')마다 검사 데이터의 기록 처리를 실시하고 있으나, 검사 데이터를 적절하게 디바이스에 기억 저장하여, 이후의 처리 장치에 있어서의 제어 장치로 전달하고, 각 원반 롤(R')의 고체 식별에 기초하여 해당하는 검사 데이터를 판독하여 이용하는 것도 가능하다.

(2) 기록 장치(42)로서는, 레이저 베이킹식의 것으로 한정되지 않고, 다양한 인쇄 방식의 것을 이용할 수 있다.

(3) 상기 실시예에 있어서, 적층 필름(F)으로부터 보호 필름(p)을 박리하지 않고, 세퍼레이터(s)만을 박리하는 구성이라도 좋다. 따라서, 상기 실시예 장치의 제1 검사부(2)에 있어서, 박리 롤러(24)에 보호 필름(p)을 감아 걸어 박리되지 않도록 미리 설정함으로써, 당해 구성을 실현할 수 있다. 바꾸어 말하면, 세퍼레이터(s)만을 박리하여 검사한 필름 본체(f)에 대해, 각종 마킹도 실시한 후에 롤 형 상으로 권취 회수한다.

이상과 같이, 본 발명은 적층 필름의 검사를 고정밀도로 행하는데에도 적합하다.

Claims (12)

  1. 롤 권취된 적층 필름의 결함을 검사하는 적층 필름의 결함 검사 방법이며,
    필름 본체의 표면에 보호 필름과 이측 점착면에 세퍼레이터가 접합된 적층 필름을 원반 롤로부터 조출하는 적층 필름 조출 과정과,
    조출된 상기 적층 필름을 소정의 경로로 유도하면서 적층 필름으로부터 상기 세퍼레이터를 박리할 때까지에 있어서, 적어도 박리 시점에서 세퍼레이터 박리면을 하향으로 하는 세퍼레이터 박리 과정과,
    상기 세퍼레이터 박리면을 하향으로 하여 반송하면서 결함의 유무를 검사하여, 그 검사 정보를 기억 수단에 저장하는 검사 과정과,
    검사가 종료된 상기 필름 본체의 세퍼레이터의 박리면을 하향으로 한 상태로, 당해 박리면에 세퍼레이터를 접합하는 세퍼레이터 접합 과정과,
    상기 필름 본체의 이면에 세퍼레이터를 접합하여 이루어지는 검사 종료된 적층 필름을 롤 권취하여 검사 종료된 원반 롤을 형성하는 적층 필름 회수 과정을 구비한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 방법.
  2. 제1항에 있어서, 적층 필름으로부터 상기 보호 필름을 박리하는 보호 필름 박리 과정과,
    보호 필름이 박리된 적층 필름을 소정의 필름 주행 경로로 유도하면서 필름 본체의 표면에 있어서의 결함의 유무를 검사하는 동시에, 그 검사 정보를 기억 수 단에 저장하는 검사 과정과,
    검사가 종료된 상기 필름 본체의 표면에 보호 필름을 접합하는 보호 필름 접합 과정을 더 구비하고,
    적층 필름 회수 과정은 상기 필름 본체의 표면에 보호 필름 및 이면에 세퍼레이터를 접합하여 이루어지는 검사 종료된 적층 필름을 롤 권취하여 검사 종료된 원반 롤을 형성하는 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 필름 본체로부터 보호 필름을 박리하여 검사한 후에, 필름 본체의 이면으로부터 세퍼레이터를 박리하여 검사하고,
    검사가 종료된 상기 필름 본체의 표면 및 이면에 보호 필름 및 세퍼레이터를 접합한 후에, 적층 필름을 롤 권취하여 검사 종료된 원반 롤을 형성하는 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 방법.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 보호 필름의 박리된 필름 본체의 검사 과정을 경유한 후, 필름 본체의 결함 검출 부위에 마크를 부설하는 마킹 과정을 구비한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 방법.
  5. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 세퍼레이터 접합 과정 및 보호 필름 접합 과정 중 적어도 어느 하나 이후, 검사 종료된 적층 필름에 있어서의 표면 혹은 이면의 적소에, 검출된 결함 부위의 위치 데이터를 부설하는 데이터 기록 과정을 구 비한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 방법.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 상기 제2 검사 과정을 클린 룸 내에서 행하는 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 방법.
  7. 제6항에 있어서, 종방향 자세로 주행하는 상기 필름 본체에 대해 필름 표면측을 기류의 상측으로 하여 클린 룸을 소기하는 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 방법.
  8. 롤 권취된 적층 필름의 결함을 검사하는 적층 필름의 결함 검사 장치이며,
    필름 본체의 표면에 보호 필름과 이측 점착면에 세퍼레이터가 접합된 적층 필름을 공급하는 적층 필름 공급 수단과,
    상기 적층 필름 공급 수단으로부터 조출된 적층 필름을 소정의 경로로 유도하면서 적층 필름으로부터 상기 세퍼레이터를 박리하는 세퍼레이터 박리 수단과,
    적어도 상기 세퍼레이터의 박리 시점에서 세퍼레이터 박리면을 하향으로 하여, 그 상태를 유지하여 반송하면서 결함의 유무를 검사하는 검사 수단과,
    상기 검사 결과의 정보를 기억하는 기억 수단과,
    세퍼레이터를 필름 본체의 이면에 조출하는 세퍼레이터 공급 수단과,
    검사가 종료된 상기 필름 본체의 세퍼레이터의 박리면을 하향으로 한 상태로, 세퍼레이터 공급 수단으로부터 조출되는 세퍼레이터를 당해 박리면에 접합하는 세퍼레이터 접합 수단과,
    상기 필름 본체의 이면에 세퍼레이터를 접합하여 이루어지는 검사 종료된 적층 필름을 롤 권취하는 적층 필름 회수 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 장치.
  9. 제8항에 있어서, 적층 필름으로부터 상기 보호 필름을 박리하는 보호 필름 박리 수단과,
    보호 필름이 박리된 적층 필름을 소정의 필름 주행 경로로 유도하면서 필름 본체의 표면에 있어서의 결함의 유무를 검사하는 검사 수단과,
    상기 검사 결과의 정보를 기억하는 기억 수단과,
    보호 필름을 필름 본체의 표면에 조출하는 보호 필름 공급 수단과,
    보호 필름 공급 수단으로부터 조출된 보호 필름을 검사가 종료된 상기 필름 본체의 표면에 접합하는 보호 필름 접합 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 보호 필름의 박리 후의 검사 결과에 기초하여 필름 본체의 결함 검출 부위에 마크를 부설하는 마킹 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 세퍼레이터 접합 또는 보호 필름 접합 중 적어도 어느 하나 이후, 검사 종료된 적층 필름의 표면 또는 이면의 적소에, 검출된 결함 부위의 위치 데이터를 부설하는 데이터 기록 수단을 구비한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 장치.
  12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 세퍼레이터 박리 후의 검사 수단을 클린 룸에 배치한 것을 특징으로 하는, 적층 필름의 결함 검사 장치.
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